JPS58118388A - 真空用ゲ−トバルブ - Google Patents
真空用ゲ−トバルブInfo
- Publication number
- JPS58118388A JPS58118388A JP21246381A JP21246381A JPS58118388A JP S58118388 A JPS58118388 A JP S58118388A JP 21246381 A JP21246381 A JP 21246381A JP 21246381 A JP21246381 A JP 21246381A JP S58118388 A JPS58118388 A JP S58118388A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- gate
- seal
- pulp
- supply
- protrusion
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
Classifications
-
- F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
- F16—ENGINEERING ELEMENTS AND UNITS; GENERAL MEASURES FOR PRODUCING AND MAINTAINING EFFECTIVE FUNCTIONING OF MACHINES OR INSTALLATIONS; THERMAL INSULATION IN GENERAL
- F16K—VALVES; TAPS; COCKS; ACTUATING-FLOATS; DEVICES FOR VENTING OR AERATING
- F16K3/00—Gate valves or sliding valves, i.e. cut-off apparatus with closing members having a sliding movement along the seat for opening and closing
- F16K3/02—Gate valves or sliding valves, i.e. cut-off apparatus with closing members having a sliding movement along the seat for opening and closing with flat sealing faces; Packings therefor
- F16K3/16—Gate valves or sliding valves, i.e. cut-off apparatus with closing members having a sliding movement along the seat for opening and closing with flat sealing faces; Packings therefor with special arrangements for separating the sealing faces or for pressing them together
- F16K3/18—Gate valves or sliding valves, i.e. cut-off apparatus with closing members having a sliding movement along the seat for opening and closing with flat sealing faces; Packings therefor with special arrangements for separating the sealing faces or for pressing them together by movement of the closure members
- F16K3/184—Gate valves or sliding valves, i.e. cut-off apparatus with closing members having a sliding movement along the seat for opening and closing with flat sealing faces; Packings therefor with special arrangements for separating the sealing faces or for pressing them together by movement of the closure members by means of cams
Landscapes
- Engineering & Computer Science (AREA)
- General Engineering & Computer Science (AREA)
- Mechanical Engineering (AREA)
- Sliding Valves (AREA)
- Details Of Valves (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
本発明は真空用ゲートパルプに係り、特に）（パルプボ
デー内に設けられた／−ルリングと、この／−ルリング
の開閉を行なうケートシールとを有するオールメタルシ
ールの真空用ゲートバルブに関するものである。
デー内に設けられた／−ルリングと、この／−ルリング
の開閉を行なうケートシールとを有するオールメタルシ
ールの真空用ゲートバルブに関するものである。
この種オールメタルシールの真空用ゲートバルブ（以下
、ゲートバルブと称する）は、最近の核−合装置等のよ
うな超高真空装置では、プラズマ観測１籾子入射装置等
のためのポート群を使用する際にポートの全断面を開閉
する必要上盛んに１吏用されるようになった。このよう
な目的に使用されるゲートバルブの従来例が第１図およ
び第２図に示されている。同図に示されているようにケ
ートバルブは、ゲートバルブを使用機器のボー ト１間
に取り付けるための給排口である給ロ２，１．排口２ｂ
および中空室３を有するバルブボテ−４と、給排口の給
口２ａ部に設けられ、給口２ａを形成しているシールリ
ング５と、バルブボデー４内を移動してノールリング５
との相互作用によりゲートバルブの開閉動作を行なうゲ
ートノール６とから構成され、ゲートシール６にはケー
トシールを支持するガイドローラ７が取り付けられてい
る。
、ゲートバルブと称する）は、最近の核−合装置等のよ
うな超高真空装置では、プラズマ観測１籾子入射装置等
のためのポート群を使用する際にポートの全断面を開閉
する必要上盛んに１吏用されるようになった。このよう
な目的に使用されるゲートバルブの従来例が第１図およ
び第２図に示されている。同図に示されているようにケ
ートバルブは、ゲートバルブを使用機器のボー ト１間
に取り付けるための給排口である給ロ２，１．排口２ｂ
および中空室３を有するバルブボテ−４と、給排口の給
口２ａ部に設けられ、給口２ａを形成しているシールリ
ング５と、バルブボデー４内を移動してノールリング５
との相互作用によりゲートバルブの開閉動作を行なうゲ
ートノール６とから構成され、ゲートシール６にはケー
トシールを支持するガイドローラ７が取り付けられてい
る。
そして閉動作、すなわち給口２ａ側と排口２ｂ側とのボ
ール１間の７−ルば、ゲート開閉ロッド８゜ン−／ｌ／
用へｏ −Ｘ ９を介してゲートシール６を移動させ
、所定の位置に達したらガイドローラ７を、排口２ｂ近
傍の所定位置に設けられ、かつ所定の傾斜面を有する突
起部１ｏの傾斜面に乗り上げてゲ−トシール６を／−ル
リング５に適切な押付圧力で緊密に接触させることによ
って行なわれる。
ール１間の７−ルば、ゲート開閉ロッド８゜ン−／ｌ／
用へｏ −Ｘ ９を介してゲートシール６を移動させ
、所定の位置に達したらガイドローラ７を、排口２ｂ近
傍の所定位置に設けられ、かつ所定の傾斜面を有する突
起部１ｏの傾斜面に乗り上げてゲ−トシール６を／−ル
リング５に適切な押付圧力で緊密に接触させることによ
って行なわれる。
開動作は閉動作とは逆のゲート開閉ロッド８．シール用
ベローズ９を介してゲートシール６を移動し、ガイドロ
ーラ７を突起部１ｏの傾斜面の所定ＭＩ＆からトーげ、
ゲートシール６をシールリング５から離すことによって
行なわれる。
ベローズ９を介してゲートシール６を移動し、ガイドロ
ーラ７を突起部１ｏの傾斜面の所定ＭＩ＆からトーげ、
ゲートシール６をシールリング５から離すことによって
行なわれる。
ところでこの種オールメタルシールのゲートパルプ゛で
最も重要なことは真空の保持であり、真空が維持できず
リークするようではゲートパルプの１史用目的を達し得
ない。ところが上述の構造のゲ用・パルプは使用してい
るうちにシールリング５とゲートシール６との接触が悪
くなり、シール性能が低下する欠点を有していた。この
ため従来はシール性能が低下する度毎にシールリング５
とゲートシール６との押付圧力が強くなるように調整し
て使用していたが、これでは保守管理に長時間を要する
だけでなく、押付圧力の調整にも限界があった。
最も重要なことは真空の保持であり、真空が維持できず
リークするようではゲートパルプの１史用目的を達し得
ない。ところが上述の構造のゲ用・パルプは使用してい
るうちにシールリング５とゲートシール６との接触が悪
くなり、シール性能が低下する欠点を有していた。この
ため従来はシール性能が低下する度毎にシールリング５
とゲートシール６との押付圧力が強くなるように調整し
て使用していたが、これでは保守管理に長時間を要する
だけでなく、押付圧力の調整にも限界があった。
本発明は以上の点に鑑みなさｆ’したものであり、その
目的とするところは、簡易で、シール性能の維持が良好
な真空用ゲートパルプを提供するにある。
目的とするところは、簡易で、シール性能の維持が良好
な真空用ゲートパルプを提供するにある。
すなわち本発明は、パルプボテ−に加振素子を設けて、
ゲートシールの閉鎖時にパルプボデーを振動させるよう
にしたことｆ：特徴とするものである。
ゲートシールの閉鎖時にパルプボデーを振動させるよう
にしたことｆ：特徴とするものである。
シールリングとゲートシールとの接触が悪くなる原因を
検討した。その結果、一般にゲートパルプは、高真空を
得るため２００〜３００ｒに加熱してガス出しを行う情
作、すなわちベークアウトが行なわれる。このため耐熱
性の観点からカイトローラの摺動部の潤滑に匣用してい
る二硫化モリブデン等の固体潤滑剤が、ベークアウトの
繰シ返しによって飛散してしまう。従ってガイドローラ
の潤滑性が悪くなる。この他摩擦抵抗が空気中に比べ５
〜１０倍と大きくなる真空中で操作されるためもあって
、ゲートシールのシールリングへの押付圧力は、ガイド
ローラと突起部の傾斜面との摩擦抵抗で消費されてしま
い、ゲートシールが十分な押付圧力の得られる規定位置
に達していないことが明らかになった。これを解消して
十分な押付圧力を得るには、ゲートシールが規定位置に
達するようにガイドローラを突起部の傾斜面によく乗り
上げるようにすればよく、それにはゲートシールの閉鎖
時にバルブボデーに振動を与え、この振動によってバル
ブボデーと一体になっている突起部が振動して、突起部
の傾斜面とガイドローラとの接触面が間欠的に離れるよ
うになり、この間の摩擦抵抗が減少するので、離れた際
にガイドローラの突起部の傾斜面への乗り上げが容易と
なり、ゲートシールが規定位置に達するようになること
が確められた。そこで本発明では、バルブボデーに加振
素子を設けて、ゲートシールの閉鎖時にパルプボデーを
振動させるようにした。このようにすることにより、簡
易で、シール性能の維持が良好な真空用ゲートパルプを
得ることを可能としたものである。
検討した。その結果、一般にゲートパルプは、高真空を
得るため２００〜３００ｒに加熱してガス出しを行う情
作、すなわちベークアウトが行なわれる。このため耐熱
性の観点からカイトローラの摺動部の潤滑に匣用してい
る二硫化モリブデン等の固体潤滑剤が、ベークアウトの
繰シ返しによって飛散してしまう。従ってガイドローラ
の潤滑性が悪くなる。この他摩擦抵抗が空気中に比べ５
〜１０倍と大きくなる真空中で操作されるためもあって
、ゲートシールのシールリングへの押付圧力は、ガイド
ローラと突起部の傾斜面との摩擦抵抗で消費されてしま
い、ゲートシールが十分な押付圧力の得られる規定位置
に達していないことが明らかになった。これを解消して
十分な押付圧力を得るには、ゲートシールが規定位置に
達するようにガイドローラを突起部の傾斜面によく乗り
上げるようにすればよく、それにはゲートシールの閉鎖
時にバルブボデーに振動を与え、この振動によってバル
ブボデーと一体になっている突起部が振動して、突起部
の傾斜面とガイドローラとの接触面が間欠的に離れるよ
うになり、この間の摩擦抵抗が減少するので、離れた際
にガイドローラの突起部の傾斜面への乗り上げが容易と
なり、ゲートシールが規定位置に達するようになること
が確められた。そこで本発明では、バルブボデーに加振
素子を設けて、ゲートシールの閉鎖時にパルプボデーを
振動させるようにした。このようにすることにより、簡
易で、シール性能の維持が良好な真空用ゲートパルプを
得ることを可能としたものである。
以下、実施例について説明する。第３図には一実施例が
示されている。なお従来と同じ部品には同じ符号を付し
たので説明は省略する。本実施例ではバルブボデー４に
加振素子１１を設けて、ゲートシール６の閉鎖時にパル
プボデー４を振動すせるようにした。そして加振素子１
１には、この加振素子１１を動作させるだめの電源に接
続されたリード線１２を設けた。このようにしてゲート
シール６の閉鎖時には加振素子１１をリード線１２によ
って作動させてやれば、パルプボデー４１なわち突起部
１０が振動し、ガイドローラ７と突起部１０の傾斜面と
の接触面が間欠的に離れ、この間の摩擦抵抗が減少する
ようになって、ガイドローラ７はよく突起部１０の傾斜
面に乗り上げられるようになり、ゲートシール６は規定
位置に達し、ソールリング５との間に十分な押付圧力が
得られるようになる。従って十分な押付圧力で閉鎖され
るので、シール性能が長期に渡って良好に維持される。
示されている。なお従来と同じ部品には同じ符号を付し
たので説明は省略する。本実施例ではバルブボデー４に
加振素子１１を設けて、ゲートシール６の閉鎖時にパル
プボデー４を振動すせるようにした。そして加振素子１
１には、この加振素子１１を動作させるだめの電源に接
続されたリード線１２を設けた。このようにしてゲート
シール６の閉鎖時には加振素子１１をリード線１２によ
って作動させてやれば、パルプボデー４１なわち突起部
１０が振動し、ガイドローラ７と突起部１０の傾斜面と
の接触面が間欠的に離れ、この間の摩擦抵抗が減少する
ようになって、ガイドローラ７はよく突起部１０の傾斜
面に乗り上げられるようになり、ゲートシール６は規定
位置に達し、ソールリング５との間に十分な押付圧力が
得られるようになる。従って十分な押付圧力で閉鎖され
るので、シール性能が長期に渡って良好に維持される。
なお本実施例によればリード線１２により離れた位置か
ら多数のゲートパルプのパルプボデーに同時に振動を与
えることができるので、非常に簡単な操作でシール性能
を良好に維持することができる。
ら多数のゲートパルプのパルプボデーに同時に振動を与
えることができるので、非常に簡単な操作でシール性能
を良好に維持することができる。
上述のように本発明は、ゲートシールの閉鎖時にパルプ
ボデーが振動するようにしたので、パルプボデーすなわ
ちパルプポデーと一体の突起部が振動してガイドローラ
と突起部の傾斜面との間の摩擦抵抗が減少するようにな
って、ガイドローラが突起部の傾斜面によく乗り上げら
れゲートシールとシールリングとの間に十分な押付圧力
が得られるようになり、簡易で、シール性能の維持が良
好な真空用ゲートパルプを得ることができる。
ボデーが振動するようにしたので、パルプボデーすなわ
ちパルプポデーと一体の突起部が振動してガイドローラ
と突起部の傾斜面との間の摩擦抵抗が減少するようにな
って、ガイドローラが突起部の傾斜面によく乗り上げら
れゲートシールとシールリングとの間に十分な押付圧力
が得られるようになり、簡易で、シール性能の維持が良
好な真空用ゲートパルプを得ることができる。
第１図は従来の真空用ゲートパルプの縦断側面図、第２
図は第１図のＡ−Ａ線に沿う断面図、第３図は本発明の
真空用ゲートパルプの一実施例の縦断側面図である。 ２ａ・・・給口、２ｂ・・・排口、３・・・中空室、４
・・・パルプボデー、５・・・シールリング、６・・・
ゲートノール、７・・・ガイドローラ、１０・・・突起
部、１１・・・加振素（ほか１名）
図は第１図のＡ−Ａ線に沿う断面図、第３図は本発明の
真空用ゲートパルプの一実施例の縦断側面図である。 ２ａ・・・給口、２ｂ・・・排口、３・・・中空室、４
・・・パルプボデー、５・・・シールリング、６・・・
ゲートノール、７・・・ガイドローラ、１０・・・突起
部、１１・・・加振素（ほか１名）
Claims (1)
- １、 給排口および中空室を有する・くパルプボデーと
、ｍ Ｓｅ給排口の給口部に設けられ、かつ前記給排口
の給口を形成しているシールリングと、このシールリン
グを開閉して前記給排口を開閉するように前記バルブボ
デー内を移動するゲートシールとをｆｌＷえ、前記ゲー
トシールの閉鎖時には、このゲートノールの下部に設け
られ、かつ前記ゲートシールを支持しているガイドロー
ラを、前記給排口の琲Ｉ］部近傍の所定位置に配設され
、かつ所定の傾＋Ｍ面を有する突起部の前記傾斜面に乗
り上げ、前記ケートシールを前記シールリングに抑圧・
接触させる真空用ゲートバルブにおいて、前記ノ（ルプ
ボデ−に加振菓子を設けて、前記ゲートシールの閉鎖時
に前記バルブボデーを振動させるようにしたことを特徴
とする真空用ゲートパルプ。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP21246381A JPS58118388A (ja) | 1981-12-29 | 1981-12-29 | 真空用ゲ−トバルブ |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP21246381A JPS58118388A (ja) | 1981-12-29 | 1981-12-29 | 真空用ゲ−トバルブ |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS58118388A true JPS58118388A (ja) | 1983-07-14 |
Family
ID=16623048
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP21246381A Pending JPS58118388A (ja) | 1981-12-29 | 1981-12-29 | 真空用ゲ−トバルブ |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS58118388A (ja) |
Cited By (6)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH02150578A (ja) * | 1988-11-30 | 1990-06-08 | Kubota Ltd | 制水扉 |
| KR20030050409A (ko) * | 2001-12-18 | 2003-06-25 | 주식회사 엠지아이 | 마운팅형 사각 게이트밸브 |
| WO2006107855A2 (en) | 2005-04-01 | 2006-10-12 | Salina Vortex Corporation | High pressure gate valve |
| DE102007059039A1 (de) * | 2007-12-06 | 2009-06-18 | Vat Holding Ag | Vakuumventil |
| KR100915341B1 (ko) * | 2008-08-18 | 2009-09-03 | (주)이진엔지니어링 | 나이프 게이트 밸브 |
| CN103574083A (zh) * | 2012-07-23 | 2014-02-12 | Snu精度株式会社 | 利用倾斜驱动的闸门阀 |
-
1981
- 1981-12-29 JP JP21246381A patent/JPS58118388A/ja active Pending
Cited By (9)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH02150578A (ja) * | 1988-11-30 | 1990-06-08 | Kubota Ltd | 制水扉 |
| KR20030050409A (ko) * | 2001-12-18 | 2003-06-25 | 주식회사 엠지아이 | 마운팅형 사각 게이트밸브 |
| WO2006107855A2 (en) | 2005-04-01 | 2006-10-12 | Salina Vortex Corporation | High pressure gate valve |
| EP1869350A2 (en) * | 2005-04-01 | 2007-12-26 | Salina Vortex Corporation | High pressure gate valve |
| EP1869350A4 (en) * | 2005-04-01 | 2013-01-16 | Salina Vortex Corp | HOCHDRUCKTORVENTIL |
| DE102007059039A1 (de) * | 2007-12-06 | 2009-06-18 | Vat Holding Ag | Vakuumventil |
| US8348234B2 (en) | 2007-12-06 | 2013-01-08 | Vat Holding Ag | Vacuum valve |
| KR100915341B1 (ko) * | 2008-08-18 | 2009-09-03 | (주)이진엔지니어링 | 나이프 게이트 밸브 |
| CN103574083A (zh) * | 2012-07-23 | 2014-02-12 | Snu精度株式会社 | 利用倾斜驱动的闸门阀 |
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