TW201445662A - 載入埠裝置 - Google Patents

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Abstract

本發明的課題係在於提供當開閉晶圓傳送盒的門時，可抑制2軸的連結部位之微粒產生，並且能夠抑制裝置本身的振動之載入埠裝置。用以解決課題之手段為，載入埠裝置(10)係構成為具備有：連桿機構(130)，該連桿機構具有一端可轉動地連結於門保持構件(12)之主動連桿(131)；導引件(14)，該導引件是從水平方向朝垂直方向屈曲而延伸，用以導引主動連桿(131)的一端(131d)；驅動塊(133)，該驅動塊是可供主動連桿(131)的另一端(131e)可轉動地連結；及門升降軸(15)，該門升降軸是朝垂直方向延伸，使驅動塊(133)朝該延伸方向移動，連桿機構(130)係在主動連桿(131)的另一端(131e)朝垂直方向移動之狀態下，容許主動連桿(131)的一端(131d)沿著導引件(14)從水平方向朝垂直方向移動或從垂直方向朝水平方向移動。

Description

載入埠裝置
本發明係關於可抑制當開閉晶圓傳送盒的門時之微粒產生的載入埠裝置。
在半導體製造程序，使用被稱為晶圓傳送盒(Front Open Unified Pod/FOUP)之密閉型收納容器。該晶圓傳送盒係被使用於例如用來收容半導體晶圓而在半導體處理裝置之間進行搬送。
在專利文獻1揭示有在將被收容於晶圓傳送盒的半導體晶圓搬送至半導體處理裝置的內部時所使用之載入埠裝置。
在此載入埠裝置，具備有：將保持晶圓傳送盒的門之保持構件從晶圓傳送盒向水平接近或分離之第1驅動單元；及讓分離後的保持構件朝垂直方向移動之第2驅動單元。第1驅動單元係具有朝水平方向延伸的第1導軌，第2驅動單元係具有朝垂直方向延伸之第2導軌，將保持構件沿著該等導軌移動而進行晶圓傳送盒的門之開閉。
[先前技術文獻] [專利文獻]
[專利文獻1]日本特開2012-54271號公報
在近年，形成於半導體晶圓表面之配線更精密化(細微化)，即使有稍許的微粒附著也會造成半導體晶圓品質降低，會有無法獲得期望的半導體性能之虞。
如專利文獻1所揭示的載入埠裝置，當與門的開閉相關之驅動機構和與升降相關之驅動機構個別設置時，會有在將各導軌彼此連結之連結部位產生微粒之問題。具體而言，由於具備2個驅動機構造成構造變得複雜，不易達到圓滑的開閉動作，故，會有負擔施加到導軌的連結部位，變得容易產生微粒。又，會因使一方的驅動機構作動而振動、衝擊等亦會傳達到另一方的驅動機構，會有從各驅動機構的內部也產生微粒之情況。且，因無法圓滑地進行使用2個驅動機構所進行之門的開閉動作，造成會有即使在保持門之門保持構件也產生微粒之虞。
本發明係為了有效地解決這樣的課題而開發完成之發明，其目的係在於提供載入埠裝置，具體而言，該裝置係當開閉晶圓傳送盒的門時，能夠抑制導軌等的軸之連結部位產生微粒，並且可圓滑地進行門的開閉動作。
本發明係為了達到該目的而採用下述手段。
亦即，本發明的載入埠裝置，用來支承可收容複數個半導體晶圓的收納容器，藉由使該收納容器的門從第1方向朝與該第1方向不同之第2方向相互地移動進行開閉之裝置，其特徵為具備有：用來保持前述收納容器的門之門保持構件；具有一端可轉動地連結於該門保持構件的主動連桿之連桿機構；從第1方向朝第2方向屈曲而延伸，用來導引前述主動連桿的一端之導引手段；至少具有一個供前述主動連桿的另一端可轉動地連結的驅動構件，可使前述門保持構件進行往復移動之往復移動手段；朝第2方向延伸，用來使前述驅動構件朝該延伸方向移動之主軸；及將前述驅動構件沿著前述主軸驅動之驅動手段，前述連桿機構係構成為在前述主動連桿的另一端朝第2方向移動之狀態下，容許前述主動連桿的一端沿著前述導引手段自第1方向朝第2方向或自第2方向朝第1方向移動。
由於為這樣的結構，連動於驅動構件朝第2方向之往復移動，主動連桿的一端沿著導引手段自第1方向朝第2方向或自第2方向朝第1方向移動。因此，僅藉由讓驅動構件在1個主軸上作動，即可使各構件圓滑地移動，可開閉保持於門保持構件的收納容器之門，可抑制在2軸的連結部位產生微粒，並且可圓滑地進行門之開閉動作。又，藉由使用主動連桿將驅動構件朝第2方向之移動 力變換成門保持構件從第1方向朝第2方向之移動力，能夠圓滑地進行此變換，藉此，可更進一步抑制微粒產生。且由於主軸僅要1個即可，故，能夠將裝置結構簡單化，並且亦可將驅動源作成為1個，可抑制製造成本。
為了使門保持構件圓滑且穩定地朝第1方向及第2方向移動，來進一步抑制微粒產生，前述往復移動手段係還具有與前述驅動構件分離並藉由前述主軸可朝第2方向移動之從動構件，前述連桿機構係還具有一端可轉動地連結於前述主動連桿而另一端可轉動地連結於前述從動構件之從動連桿，前述門保持構件係可朝第1方向移動地支承於前述從動構件為佳。
或者，前述往復移動手段還具有：被前述驅動手段所驅動且可沿著前述主軸朝第2方向移動之第2驅動構件，前述導引手段係具有相同形狀的第1導引部與第2導引部，前述連桿機構係以一端被第2導引部所導引而另一端可轉動地連結於前述第2驅動構件之連桿和前述主動連桿構成平行連桿，前述門保持構件係可朝第1方向移動地支承於前述第2驅動構件為佳。
為了不需另外設置鎖緊機構，而可對門保持構件賦予高鎖緊力，期望前述連桿機構及導引手段係構成當為了進行門的封閉，前述主動連桿的另一方朝第2方向移動而一端朝第1方向移動時發揮肘節作用之鎖緊機構。
且，為了提高透過前述肘節作用之封閉力，期望前述第1方向為與收納容器之門的安裝面大致正交之 方向。
為了作成為即使從主軸等產生微粒，該微粒也不易進入到半導體處理裝置內的裝置，期望構成為還具備有在一面固定有前述導引構件及前述主軸的板狀基礎構件，在此基礎構件，形成有朝第2方向延伸且供前述門保持構件插通的構件插通開口，前述門保持構件係經由此構件插通開口從前述基礎構件的一面側朝另一面側延伸，在前述一面側連結於前述主動連桿的一端，並且在前述另一面側保持前述門保持構件。
若依據以上說明的本發明，僅藉由使驅動構件在1個主軸上作動，即使讓門保持構件朝第1方向及第2方向移動而開閉晶圓傳送盒之門，並且藉由使用連桿機構能夠圓滑地進行伴隨門的開閉之各構件的移動，因此可提供能夠抑制微粒產生的載入埠裝置。
10‧‧‧載入埠裝置
12‧‧‧門保持構件
13‧‧‧往復移動手段
14、19‧‧‧導引件(導引手段)
15‧‧‧門升降軸(主軸)
17‧‧‧驅動手段
30‧‧‧晶圓傳送盒(收納容器)
31‧‧‧門
32a‧‧‧安裝面
50‧‧‧鎖緊機構
130‧‧‧連桿機構
131、232‧‧‧主動連桿
131d‧‧‧連桿的一端
131e‧‧‧連桿的另一端
132‧‧‧從動連桿
132a‧‧‧連桿的另一端
132b‧‧‧連桿的一端
133‧‧‧驅動塊(驅動構件)
134‧‧‧從動塊
190‧‧‧第2導引部
191‧‧‧第1導引部
230‧‧‧平行連桿機構(連桿機構)
231‧‧‧連桿
231a‧‧‧連桿的一端
231b‧‧‧連桿的另一端
圖1係本發明的一實施形態之載入埠裝置的側面圖。
圖2係同載入埠裝置之正面圖。
圖3係同載入埠裝置之斜視圖。
圖4係顯示同載入埠裝置的局部之分解斜視圖。
圖5係顯示設在同載入埠裝置的連桿機構的動作之說 明圖。
圖6係顯示設在同載入埠裝置的連桿機構的動作之說明圖。
圖7係顯示設在同載入埠裝置的連桿機構的動作之說明圖。
圖8係顯示同載入埠裝置的變形例之圖。
以下，參照圖面詳細地說明本發明的實施形態。
如圖1所示，本實施形態之載入埠裝置10係安裝於半導體處理裝置20的安裝面21加以利用之裝置，將支承於載置台11的晶圓傳送盒30之門31保持於門保持構件12，使該門保持構件12朝與安裝面21正交的方向(水平方向)及與安裝面21平行的方向(垂直方向)移動，藉此開閉門31。再者，在以下的說明，亦將與安裝面21正交的方向(水平方向)記載為第1方向X，將與水平方向平行的方向(垂直方向)記載為第2方向Y。
晶圓傳送盒30係具備有：在內部形成有用來朝水平方向收納半導體晶圓的空間之本體32；及用來封閉本體32的開口之門31，收納於本體32的內部之半導體晶圓係藉由以彈簧等所構成之未圖示的保持架穩定地支承於本體32內部。
載置台11係在其上面經由晶圓傳送盒支承機 構11a支承晶圓傳送盒30。晶圓傳送盒支承機構11a係構成為在將要支承的晶圓傳送盒30之狀態下使其可朝第1方向X往復移動，使晶圓傳送盒30從圖1所示的狀態成為圖5所示的狀態的方式接近半導體處理裝置20或從半導體處理裝置20分離。
如圖1~圖4所示的門保持構件12係由：保持晶圓傳送盒30的門31之載入埠門120、將載入埠門120固定在其一端121a之連接部121、固定在此連接部121的另一端121b的連桿連結部122、及經由連桿連結部122固定在連接部121的另一端121b的開閉軸卡合部123所構成。載入埠門120係為具有與晶圓傳送盒30的門31大致相同的尺寸之略矩形狀的構件，設有用來保持門31的未圖示的門保持機構。連接部121係為從其一端121a朝垂直方向延伸並向第1方向X屈曲之構件，在朝第1方向X延伸的部分之前端部(另一端121b)的下面配置有連桿連結部122。連桿連結部122係在正面視角呈倒L字狀，在朝下方屈曲的部分形成有插入孔122a(參照圖4)。再者，此插入孔122a係供設在後述的主動連桿131之一端131d的連結軸131b插入。在開閉軸卡合部123形成有朝第1方向X延伸並向下開放之溝槽123a。此溝槽123a係從開口部朝向內部暫時變窄而自該窄部朝更內側逐漸變大之形狀，卡合於設在後述的從動塊134之作為導軌的門開閉軸134b。
如圖3、4等所示，主動連桿131係一端131d 被作為導引構件的導引件14所導引，並且可轉動地連結於門保持構件12，而另一端131e可轉動地連結於驅動塊133者。主動連桿131係與一端132b連結於主動連桿131的略中央且另一端132a可轉動地連結於從動塊134的從動連桿132一同構成連桿機構130。在主動連桿131的一面131f，於其一端131d設有前述連結軸131b，在另一端131e設有連結軸131c。再者，此連結軸131c係可插入於形成在驅動塊133的連桿連結部133a之插入孔133ab。又，從動連桿132係與主動連桿131的一面131f相對向，而在從動連桿132的另一端132a設有連結軸132g。此連結軸132g係在從動連桿132中設於和與主動連桿131相對向的面相反側之面132h，插入於驅動塊133的未圖示的插入孔。在主動連桿131的另一面之一端131d，嵌入至導引件14的溝槽14a並可在此溝槽14a內移動之導引滾子131a可旋轉地被連結著。導引件14係為具有朝第2方向Y延伸的垂直部142和從垂直部142的上端朝第1方向X突出的水平部141之倒L字狀構件，前述溝槽14a係以與主動連桿131的另一面相對向的方式形成在垂直部142及水平部141。由於動連桿131的一端131d係沿著這種結構之導引件14移動，故，連結於主動連桿131的一端131d之門保持構件12係在處於與晶圓傳送盒30的載置位置相同程度之高度位置的情況，朝水平方向移動，在處於晶圓傳送盒30的載置位置或較該位置下方的高度位置之情況，朝垂直方向移動。
連結於圖3、4等所示的主動連桿131的一端131d之驅動塊133係藉由驅動手段17，沿著朝第2方向Y延伸之作為主軸的門升降軸15進行往復移動。驅動手段17係藉由利用驅動馬達170之驅動進行旋轉的驅動軸172a(參照圖2)和對此驅動軸172a朝第2方向Y分離而可旋轉地設置之從動軸172b(參照圖2)支承無端狀具齒皮帶171，構成可使此具齒皮帶171旋轉。驅動塊133係以固定在此具齒皮帶171之皮帶固定部133c、朝第2方向Y延伸並形成有向門升降軸15開放的溝槽133bc之主軸卡合部133b、及介裝於皮帶固定部133c與主軸卡合部133b之間的連桿連結部133a所構成。在皮帶固定部133c形成有用來將具齒皮帶171朝其厚度方向夾入之開口133cd，在連桿連結部133a形成有供圖4所示的前述連結軸131c插入之插入孔133ab。形成於主軸卡合部133b的溝槽133bc、及形成於後述的主軸卡合部134c之溝槽134cd係呈從開口部朝內部暫時變窄而朝更深部逐漸擴大之形狀。再者，驅動馬達170係為作動預定的旋轉數(脈衝數)之數值控制驅動馬達170。
連結於前述從動連桿132的另一端132a之從動塊134係隨著圖3、4等所示的驅動塊133朝第2方向Y往復移動。如圖2所示，從動塊134係與驅動塊133一同構成讓連桿機構130進行往復移動之往復移動手段13，以供主動連桿131的一端131d連結的連桿連結部分134a、固定在此連桿連結部分134a並形成有朝第2方向 Y延伸且向門升降軸15開放的溝槽134cd之主軸卡合部134c、和設在連桿連結部分134a的上面134ab並朝第2方向Y延伸之門開閉軸134b所構成。此門開閉軸134b係其兩側面的中央部在延伸方向全範圍凹陷之形狀，如圖3、4所示，由於前述開閉軸卡合部123的溝槽123a係形成為與這種形狀的門開閉軸134b卡合，故，即使讓從動塊134朝下方移動，與開閉軸卡合部123的卡合狀態也不會脫離，能夠伴隨從動塊134的移動而讓門保持構件12移動。門升降軸15也與門開閉軸134b同樣地呈其兩側面的中央部在延伸方向全範圍凹陷之形狀，如圖3、4所示，形成於驅動塊133的主軸卡合部133b之溝槽133bc、及形成於從動塊134的主軸卡合部134c之溝槽134cd也形成可與前述這樣形狀的門升降軸15卡合。因此，驅動塊133及從動塊134對門升降軸15不會朝第1方向X脫離，門升降軸15可將驅動塊133及從動塊134自由移動地支承。再者，此門開閉軸134b及形成於前述導引件14的水平部141之溝槽14a係以門保持構件12朝第1方向X之移動距離以上的長度延伸，形成於導引件14的垂直部142之溝槽14a及門升降軸15係以門保持構件12朝第1方向X之移動距離以上的長度延伸。
如圖1、2、3所示，前述門升降軸15、導引件14及驅動馬達170係固定在板狀的基礎構件18的一面180上。此基礎構件18係為構成載入埠裝置10的一壁面者，載入埠裝置10係在基礎構件18的另一面181抵接於 安裝面21之狀態下固定於半導體處理裝置20。在基礎構件18，形成有在門開閉軸134b與導引件14之間朝第2方向Y延伸之構件插通開口16。前述門保持構件12係經由此構件插通開口16自基礎構件18的一面180側朝另一面181側延伸，在一面180側連結於主動連桿131的一端131d，並且在另一面181側保持門保持構件12。又，門保持構件12係沿著此構件插通開口16朝第2方向Y移動。
再者，在載置台11的下部配置有覆蓋配置於基礎構件18的一面180側之前述各構件的未圖示的覆蓋件。
在以上這樣的載入埠裝置10，在開放晶圓傳送盒30的門31之開門動作，藉由驅動驅動馬達170使具齒皮帶171旋轉移動，使得與具齒皮帶171連結的驅動塊133沿著門升降軸15開始下降。此時，固定在主動連桿131的一端131d之導引滾子131a係因嵌入於導引件14的水平部141之溝槽14a，所以不能朝下方移動，而是朝如圖3等所示的基礎構件18向水平方向開始移動。伴隨導引滾子131a之此移動，主動連桿131一邊對門保持構件12及驅動塊133轉動，一邊縮小對垂直方向之傾斜度而從圖5所示的狀態成為圖6所示的狀態。又，從動連桿132也一邊對主動連桿131及從動塊134轉動，一邊縮小對垂直方向之傾斜度而從圖5所示的狀態成為圖6所示的狀態。且，連結於主動連桿131的一端131d之門保持構 件12係沿著如圖3等所示的從動塊134之門開閉軸134b(參照圖4)向水平方向移動。藉此，門31朝第1方向X移動。
當如圖6、7等所示的導引滾子131a來到導引件14的垂直部142時，從動塊134也沿著門升降軸15開始下降，門31從打開動作移行至下降動作。在下降動作，驅動塊133及從動塊134一同沿著門升降軸15下降，導引滾子131a使導引件14的垂直部142下降。此時，主動連桿131及從動連桿132係不會使來到導引件14的垂直部142之時間點的傾斜度改變而逐漸地下降成從圖6所示的狀態成為圖7所示的狀態。藉此，門31下降亦即朝第2方向Y移動。
其次，在封閉晶圓傳送盒30的門31之門封閉動作，驅動馬達170朝與前述打開動作時相反方向驅動而讓具齒皮帶171逆旋轉移動，藉此，如圖3所示的驅動塊133及從動塊134沿著門升降軸15共同上升，如圖6、7等所示的導引滾子131a使導引件14的垂直部142上升而門31上升。此時，主動連桿131及從動連桿132係不會使傾斜度改變而逐漸地上升成從圖7所示的狀態成為圖6所示的狀態。當導引滾子131a進入到導引件14的水平部141時，從動塊134變得不會上升，門31移行至關閉動作。在關閉動作，即使驅動塊133上升，也因導引滾子131a係因嵌入於導引件14的水平部141之溝槽14a，所以不能朝上方移動，而是自如圖3等所示的基礎 構件18分離地向水平方向開始移動。伴隨導引滾子131a之此移動，主動連桿131一邊對門保持構件12及驅動塊133轉動，一邊增大對垂直方向之傾斜度而從圖6所示的狀態成為圖5所示的狀態。又，從動連桿132也一邊對主動連桿131及從動塊134轉動，一邊增大對垂直方向之傾斜度而從圖6所示的狀態成為圖5所示的狀態。且，門保持構件12係沿著從動塊134的門開閉軸134b朝水平方向移動。此時，如圖3、4等所示的連桿機構130及導引件14係構成發揮肘節作用之鎖緊機構50，可藉由主動連桿131傾斜，將傳達至驅動塊133的上方向之驅動力變換成藉由門保持構件12之朝第1方向X的按壓力。在這樣的鎖緊機構50，藉由主動連桿131的傾斜度成為接近水平，在原理上能夠獲得無限大之極大的按壓力。數值控制驅動馬達170之驅動馬達170係當驅動預定的旋轉數(脈衝數)時則停止，藉此，門31在設定的位置停止。
如以上所述，本實施形態的載入埠裝置10，係構成為用來支承可收容複數個半導體晶圓的作為收納容器之晶圓傳送盒30，藉由使該晶圓傳送盒30的門31從第1方向X之水平方向朝第2方向之垂直方向相互地移動進行開閉之裝置，其具備有：用來保持晶圓傳送盒30的門31之門保持構件12；具有一端可轉動地連結於該門保持構件12的主動連桿131之連桿機構130；從水平方向朝垂直方向屈曲而延伸，用來導引主動連桿131的一端131d之作為導引手段的導引件14；至少具有一個供主動 連桿131的另一端131e可轉動地連結之作為驅動構件的驅動塊133，可使門保持構件12進行往復移動之往復移動手段13；朝垂直方向延伸，用來使驅動塊133朝該延伸方向移動之作為主軸的門升降軸15；及將前述驅動塊133沿著門升降軸15驅動之驅動手段17，連桿機構130係構成為在主動連桿131的另一端131e朝垂直方向移動之狀態下，容許主動連桿131的一端131d沿著導引件14自水平方向朝垂直方向或自垂直方向朝水平方向移動。
由於如此構成，故，與驅動塊133朝垂直方向的往復移動連動，主動連桿131的一端131d沿著導引件14從水平方向朝垂直方向、或從垂直方向朝水平方向移動。因此，僅藉由讓驅動塊133在1個門升降軸15上作動，即可使各構件133、134、130圓滑地移動，可開閉保持於門保持構件12的晶圓傳送盒30之門31，可抑制微粒產生，並且可圓滑地進行門31之開閉動作。又，藉由使用主動連桿將驅動塊133朝垂直方向之移動力變換成門保持構件12朝垂直方向之移動力，能夠圓滑地進行此變換，藉此，可更進一步抑制微粒產生。且由於門升降軸15僅要1個即可，故，能夠將裝置結構簡單化，並且亦可將驅動源作成為1個，可抑制製造成本。
作為具體的結構，往復移動手段13還具有與前述驅動塊133分離並藉由門升降軸15可朝垂直方向移動之從動塊134，連桿機構130還具有一端132b可轉動地連結於主動連桿131且另一端132a可轉動地連結於從 動塊134之從動連桿132，門保持構件12係可朝水平方向移動地支承於從動塊134。
因此，在驅動塊133及主動連桿131的一端131d朝垂直方向移動之情況，經由主動連桿131及從動連桿132連結於驅動塊133之從動塊134也朝垂直方向移動，因此，能夠將支承於該從動塊134之門保持構件12朝垂直方向圓滑且穩定地移動。又，在伴隨驅動塊133朝垂直方向之移動，主動連桿131的一端131d朝水平方向移動之情況，由於主動連桿131對從動連桿132之角度改變，故，從動塊134的位置不會改變。因此，能夠將連結於主動連桿131的一端131d的門保持構件12在被支承於從動塊134的狀態下朝水平方向移動，可讓門保持構件12朝水平方向圓滑且穩定地移動。
又，由於連桿機構130及導引件14係構成進行門31的封閉，主動連桿131的另一端131e一邊朝垂直方向移動，一端131d一邊朝水平方向移動時發揮肘節作用之鎖緊機構50者，藉由此肘節作用能夠對門保持構件12賦予高鎖緊力，當封閉時能夠將門31以強的力量對晶圓傳送盒30按壓。因此，能夠不需要另外構成鎖緊機構。又，藉由以強的力量將門31對晶圓傳送盒30按壓，使得前述保持架能夠勝過將晶圓傳送盒30的門31朝外側按壓之力量，藉此可封閉晶圓傳送盒30之門31。並且，由於當進行開閉時，門保持構件12朝對晶圓傳送盒30的門31之安裝面32a呈正交的方向移動，故，可提高透過 前述肘節作用之門31的封閉力。
並且，由於還具備在一面180固定有導引件14及門升降軸15之板狀基礎構件18，在此基礎構件18，形成有朝垂直方向延伸且供門保持構件12插通之構件插通開口16，門保持構件12係構成為經由此構件插通開口16從基礎構件18的一面180側朝另一面181側延伸，在一面180側連結於主動連桿131的一端131d並且在另一面181側保持門保持構件12，故，能夠作成為即使從門升降軸15等產生微粒，該微粒也不容易進入到半導體處理裝置20的內部之裝置。
其理由為門保持構件12係當主動連桿131朝水平方向移動時，在構件插通開口16內朝水平方向移動，另外當主動連桿131朝垂直方向移動時，在構件插通開口16內朝垂直方向移動。如此，由於藉由使配置在基礎構件18的一面180側之連桿機構130移動，即可讓配置在另一面181側的門保持構件12移動，故，如圖1所示，在將本發明的載入埠裝置10安裝於半導體處理裝置20之情況，能夠將門保持構件12配置在裝置內部，藉由配置在裝置外部之連桿機構130及門升降軸15等，使該門保持構件12移動。因此，浮游在裝置外部之微粒不易進入到裝置內部，可抑制位於裝置內部的半導體晶圓受到微粒汙染的情況產生。
又，安裝有本發明的載入埠裝置10之半導體處理裝置20係如圖1所示，具備有對裝置內部供給氣體 之氣體供給手段22，可將裝置內部的壓力Pa設定成較裝置外部Pb高。因此，裝置外部的氣體不易流入至裝置內部，可進一步抑制浮游在裝置外部的微粒進入到裝置內部，所以，可進一步抑制半導體晶圓受到汙染。且，由於本發明的載入埠裝置10可抑制裝置伴隨門31的開閉所產生之振動，故，能夠使自半導體處理裝置20流入至晶圓傳送盒30的本體32之內部的氣流穩定，亦可抑制因門保持構件12振動造成氣流紊亂所引起之微粒產生。
再者，各部的具體結構不限於前述實施形態。
例如，在本實施形態，將第1方向設定為水平方向，將第2方向設定為垂直方向，但，亦可設定成與水平方向、垂直方向不同之方向。
又，在本實施形態，驅動塊133係伴隨具齒皮帶171的旋轉而移動，但，作為使驅動塊133移動之構件，亦可使用例如滾珠螺桿、朝上下方向進行往復移動之升降裝置等。
且，亦可僅以主動連桿131構成連桿機構，又，作為連桿機構亦可使用構成如圖8所示的平行連桿機構230者。在此情況，例如，可將往復移動手段作成為不具有從動塊134，而具有與驅動塊133(參照圖3等)之相同結構的第1驅動塊、和被驅動手段17所驅動而可沿著門升降軸15朝垂直方向移動之第2驅動塊者。又，可將導引件19作成為具有相同形狀的第1導引部191和連 續於第1導引部191的上方之第2導引部190者。又，平行連桿機構230包含：一端231a被第2導引部190所導引，另一端231b可轉動地連結於第2驅動塊之連桿231；一端232a被第1導引部191所導引，另一端232b可轉動地連結於第1驅動塊之主動連桿232；可轉動地連結於連桿231的一端231a與主動連桿232的一端232a之連桿233；及供前述第1驅動塊及前述第2驅動塊個別連接之具齒皮帶171(參照圖3等)。在此，連桿231與主動連桿232構成平行連桿，連桿233與具齒皮帶171構成平行連桿。且，在第2驅動塊與門保持構件12之間，設有用來使在第2驅動塊朝垂直方向移動的狀態下讓門保持構件12可朝第1方向X移動之未圖示的機構，門保持構件12可朝第1方向X移動地支承於第2驅動塊。
藉由作成為具備這樣平行連桿機構230之結構，在第1驅動塊、第2驅動塊及各連桿231、232的一端231a、232a朝垂直方向移動之情況，可使被支承於第2驅動塊的門保持構件12朝垂直方向圓滑且穩定地移動。又，伴隨驅動塊133及第2驅動塊朝垂直方向之移動，各連桿231、232的一端231a、232a朝水平方向移動之情況，由於各連桿231、232對第1驅動塊或第2驅動塊轉動而使得傾斜度改變，故，該等驅動塊的位置不會改變。因此，能夠將連結於連桿231的一端131d的門保持構件12在被支承於第2驅動塊的狀態下朝水平方向移動，可讓門保持構件12朝水平方向圓滑且穩定地移動。
又，在前述結構，連桿231及主動連桿232，該等連桿的另一端231b、232b彼此亦可不經由具齒皮帶171而是經由其他連桿加以連結。且，連桿233不限於將連桿231的一端231a與主動連桿232的一端232a連結之結構，可為將該等連桿231、232的中央部連結之結構。
其他的結構，在不超出本發明的技術思想範圍內可進行各種變形。
10‧‧‧載入埠裝置
11‧‧‧載置台
14‧‧‧導引件
14a‧‧‧溝槽
15‧‧‧門升降軸
16‧‧‧構件插通開口
17‧‧‧驅動手段
18‧‧‧基礎構件
133‧‧‧驅動塊
134‧‧‧從動塊
141‧‧‧水平部
142‧‧‧垂直部
170‧‧‧驅動馬達
171‧‧‧具齒皮帶
180‧‧‧基礎構件的一面
181‧‧‧基礎構件的另一面

Claims (6)

  1. 一種載入埠裝置，用來支承可收容複數個半導體晶圓的收納容器，藉由使該收納容器的門從第1方向朝與該第1方向不同之第2方向相互地移動進行開閉，其特徵為具備有：用來保持前述收納容器的門之門保持構件；具有一端可轉動地連結於該門保持構件的主動連桿之連桿機構；從第1方向朝第2方向屈曲而延伸，用來導引前述主動連桿的一端之導引手段；至少具有一個供前述主動連桿的另一端可轉動地連結的驅動構件，可使前述門保持構件進行往復移動之往復移動手段；朝第2方向延伸，用來使前述驅動構件朝該延伸方向移動之主軸；及將前述驅動構件沿著前述主軸驅動之驅動手段，前述連桿機構係構成為在前述主動連桿的另一端朝第2方向移動之狀態下，容許前述主動連桿的一端沿著前述導引手段自第1方向朝第2方向或自第2方向朝第1方向移動。
  2. 如申請專利範圍第1項之載入埠裝置，其中，前述往復移動手段還具有與前述驅動構件分離並藉由前述主軸可朝第2方向自由移動地被支承的從動構件，前述連桿機構還具有一端可轉動地連結於前述主動連 桿而另一端可轉動地連結於前述從動構件之從動連桿，前述門保持構件係可朝第1方向移動地支承於前述從動構件。
  3. 如申請專利範圍第1項之載入埠裝置，其中，前述往復移動手段還具有被前述驅動構件所驅動且沿著前述主軸可朝第2方向移動之第2驅動構件，前述導引手段具有相同形狀的第1導引部與第2導引部，前述連桿機構係由一端被第2導引部所導引而另一端可轉動地連結於前述第2驅動構件的連桿及前述主動連桿構成平行連桿者，前述門保持構件係可朝第1方向移動地支承於前述第2驅動構件。
  4. 如申請專利範圍第1至3項中任一項之載入埠裝置，其中，前述連桿機構及導引手段係構成當為了進行前述門的封閉，前述主動連桿的另一端朝第2方向移動而一端朝第1方向移動時發揮肘節作用之鎖緊機構。
  5. 如申請專利範圍第4項之載入埠裝置，其中，前述第1方向為與收納容器之門的安裝面大致正交之方向。
  6. 如申請專利範圍第5項之載入埠裝置，其中，還具備有在一面固定有前述導引構件及前述主軸的板狀基礎構件，在此基礎構件，形成有朝第2方向延伸且供前述門保持構件插通的構件插通開口， 前述門保持構件係經由此構件插通開口從前述基礎構件的一面側朝另一面側延伸，在前述一面側連結於前述主動連桿的一端，並且在前述另一面側保持前述門保持構件。
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