KR101610168B1 - 웨이퍼 카세트 - Google Patents

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Abstract

본 발명은 웨이퍼 카세트에 관한 것으로, 특히 도어를 여닫이식으로나 미닫이식으로 선택하여 개폐할 수 있는 반도체 웨이퍼 카세트를 제공하기 위한 것이다.
이를 위해 본 발명에서는 전면이 개구되고 측방으로 소정 간격을 두고 배치된 측면판들의 대향하는 내벽면에 웨이퍼의 양측 테두리 부분을 받쳐주는 슬롯이 다수 형성된 카세트 본체와, 상기 카세트 본체의 개구부를 개폐하는 도어를 포함하며, 상기 측면판들의 대향하는 내벽면 상부에 수평 방향으로 가이드홈이 각각 형성되고, 상기 도어가 상기 가이드홈을 따라 슬라이딩 이동하면서 개폐 작동하도록 상기 도어의 상부 양단에 롤러가 장착되고, 상기 도어가 상기 카세트 본체의 개구부를 폐쇄한 상태를 유지하도록 상기 카세트 본체의 개구부 상측의 상기 가이드홈 상에 상기 롤러를 구속하는 제1스토퍼홈이 형성되며, 상기 측면판들의 대향하는 내벽면 하부에 일정 간격을 두고 제1 및 제2홀딩핀이 구비되고, 상기 도어가 상기 카세트 본체의 개구부를 개방한 상태를 유지하도록 상기 제1스토퍼홈과 일정 간격을 두고 상기 가이드홈 상에 상기 롤러를 구속하는 제2스토퍼홈이 형성된 웨이퍼 카세트를 개시한다.

Description

웨이퍼 카세트{WAFER CASSETTE}
본 발명은 웨이퍼 카세트에 관한 것으로서, 더욱 상세하게는 웨이퍼의 오염을 방지하기 위한 밀폐성과 차폐성이 양호하면서 필요에 따라 도어를 여닫이식으로 개폐하거나 미닫이식으로 개폐할 수 있는 반도체 웨이퍼 카세트에 관한 것이다.
오늘날 반도체 웨이퍼(wafer)는 생산성 향상과 불량률 및 제조단가 절감을 위해 대형화, 고밀도화되고 있다. 웨이퍼의 크기가 커지고 두께가 얇아짐으로 인해 생산성을 높일 수 있고 제조단가를 낮출 수 있지만 그에 따른 여러 가지 문제점 또한 수반된다.
예를 들면, 보관이나 운반 중 기계적인 접촉에 의한 스크래치(scratch)나 휨 발생 및 파손 또는 파티클(particle)에 의한 오염 발생 등이 대표적이다.
특히 반도체 산업에서는 파티클 오염을 단일의 가장 심각한 수율손실(yield loss)의 원인으로 인식하고 있다.
최근에는 반도체의 집적도가 고도화되는 추세에 따라 오염을 야기하는 파티클의 크기 또한 나노 단위로 극소화되는 추세이다.
일반적으로 웨이퍼는 클린룸 환경의 반도체 제조라인에서 20 내지 25개 단위로 웨이퍼 카세트에 격납된 상태로 운반 또는 이송되는 데, 웨이퍼에 파티클이 부착된 상태로 공정을 진행하게 되면 반도체 제조장비의 오염 및 에칭 패턴(etch pattern)의 불량 등으로 이어져 제품의 신뢰성이 저하되므로 파티클에 의한 오염 등을 최소화할 수 있는 웨이퍼 카세트의 구조적 설계가 매우 중요하다.
이에 따라 웨이퍼가 격리되도록 함으로써 파티클 등에 의한 오염 가능성을 낮추고, 아울러 운반 중에 웨이퍼가 외부로 이탈되는 것을 방지하기 위한 구조의 웨이퍼 카세트가 다양하게 제안된 바 있다.
일례로, 대한민국 등록특허공보 제10-1166704호에 개시된 개폐식 기판 적재 카세트는, 도 1 및 도 2에 도시된 바와 같이 전방의 제1입구(131)를 제외한 나머지 부분이 차폐되어 있는 셔터 수납공간(130)과, 상기 셔터 수납공간(130)의 하부에 격리되게 마련되며 전방의 제2입구(141)를 제외한 나머지 부분이 차폐되어 있는 기판 수납공간(140)을 갖는 카세트 본체(100)와, 상기 셔터 수납공간(130) 내에 수납되거나 상기 제1 및 제2입구를 차단할 수 있도록 형성된 셔터(200)와, 상기 셔터 수납공간(130)의 양쪽 벽면(130)과 상기 기판 수납공간(140)의 전방 양쪽에 형성되어 셔터의 이동을 안내하는 가이드 레일(300) 및 상기 셔터(200)를 자동으로 개폐하는 셔터 구동부(400)로 구성되어 있다.
그런데 이는 셔터 방식의 특성상 구조가 매우 복잡하여 제조비용이 많이 드는 단점이 있는 데다 개폐를 위한 작동 시간이 상당히 많이 소요되는 사용상의 불편함이 있다.
다른 예로, 일본 공개특허공보 특개평11-145269호에 개시된 밀폐식 기판용 카세트는, 도 3 및 도 4에 도시된 바와 같이 소정 간격으로 기판(웨이퍼)을 받쳐주는 유지홈(9)을 갖는 지지부재(4)가 내벽면에 마주하도록 설치되고, 정면에 기판의 출납용 개구부(3)가 형성된 카세트 본체(1)와, 상기 카세트 본체의 개구부(3)를 슬라이딩 작동으로 개폐하는 뚜껑체(2)와, 상기 카세트 본체의 개구부(3) 쪽 양측면에 상기 뚜껑체(2)의 개폐 작동을 상하 방향으로 안내하는 슬라이드 레일(5) 및 상기 뚜껑체(2)의 양쪽에 상기 슬라이드 레일(5)을 따라 구름 운동하는 롤러 베어링(16)으로 구성되어 있다.
그런데 이는 도 4에 도시된 바와 같이 뚜껑체(2)가 롤러 베어링(16)에 의해 슬라이드 레일(5)의 가이드홈(15)을 따라 승강하면서 카세트 본체의 개구부(3)를 미닫이식으로 개폐하는 구조이기 때문에 반도체 제조공정 중 여러 대의 카세트 본체(1)를 적층한 상태에서 웨이퍼를 출납하거나 검사할 경우 등에는 뚜껑체(2)를 개폐할 수 없는 사용상의 불편함과 한계가 있다.
대한민국 공개특허공보 제10-2003-0061638호(2003.07.22) 대한민국 공개특허공보 제10-2004-0016977호(2004.02.25) 대한민국 등록특허공보 제10-1166704호(2012.07.19) 대한민국 등록특허공보 제10-1229042(2013.02.12) 일본 공개특허공보 특개평11-145269호(1999.05.28)
이에 본 발명자는 상술한 제반 사항을 고려하고 기존의 기술이 갖는 한계 및 문제점 해결에 역점을 두어 파티클 등에 의한 웨이퍼의 오염을 방지하기 위한 밀폐성과 차폐성이 우수하면서 도어를 여닫이식으로 개폐하거나 미닫이식으로 개폐할 수 있도록 함으로써 작업 환경이나 조건 등에 따라 웨이퍼를 간편하고 용이하게 출납할 수 있는 반도체 웨이퍼 카세트를 개발하고자 각고의 노력을 기울여 부단히 예의 연구하던 중 그 결과로써 본 발명을 창안하게 되었다.
따라서 본 발명의 기술적 해결 과제 및 목적은 도어를 여닫이식으로 개폐하거나 미닫이식으로 개폐할 수 있도록 하는 웨이퍼 카세트를 제공하는 데 있는 것이다.
상술한 바와 같은 기술적 해결 과제 및 목적을 달성하기 위하여 본 발명의 실시 양태는, 전면이 개구되고 측방으로 소정 간격을 두고 배치된 측면판들의 대향하는 내벽면에 상하 방향으로 웨이퍼의 양측 테두리 부분을 받쳐주는 슬롯이 다수 형성된 카세트 본체와, 상기 카세트 본체의 개구부를 선택적으로 개폐하는 도어를 포함하며, 상기 측면판들의 대향하는 내벽면 상부에 수평 방향으로 가이드홈이 각각 형성되고, 상기 도어가 상기 가이드홈을 따라 슬라이딩 이동하면서 개폐 작동하도록 상기 도어의 상부 양단에 롤러가 장착되고, 상기 도어가 상기 카세트 본체의 개구부를 폐쇄한 상태를 유지하도록 상기 카세트 본체의 개구부 상측의 상기 가이드홈 상에 상기 롤러의 이동을 선택적으로 구속하는 제1스토퍼홈이 형성되며, 상기 측면판들의 대향하는 내벽면 하부에 일정 간격을 두고 상기 도어(20)의 하부 양단을 선택적으로 구속하는 제1 및 제2홀딩핀이 구비되고, 상기 도어가 상기 카세트 본체의 개구부를 개방한 상태를 유지하도록 상기 가이드홈 상에 상기 제1스토퍼홈과 일정 간격을 두고 상기 롤러의 이동을 선택적으로 구속하는 제2스토퍼홈이 형성된 것을 특징으로 하는 웨이퍼 카세트를 제시한다.
이로써 본 발명은 도어가 롤러와 가이드홈의 안내에 따라 슬라이딩 이동하면서 카세트 본체의 개구부를 미닫이식으로 간편하고 용이하게 개폐할 수 있고, 아울러 선택이나 필요에 따라 롤러를 중심으로 하는 여닫이식으로도 개폐할 수 있다.
본 발명의 바람직한 실시 양태로, 상기 도어가 상기 롤러를 중심으로 회전하여 상기 도어의 하부 양단이 상기 제1홀딩핀과 상기 제2홀딩핀 사이에 삽입되도록 상기 도어의 하부 양단에 상기 도어가 상기 롤러를 중심으로 회전 시 상기 제1홀딩핀과 접촉 간섭을 방지하는 간섭방지홈이 형성되고, 상기 제1스토퍼홈 상측의 상기 가이드홈 상에 상기 롤러가 일정 높이로 상승 가능하도록 홀딩안내홈이 형성될 수 있다.
본 발명의 바람직한 실시 양태로, 상기 도어가 상기 측면판들과 수직 상태로 상기 가이드홈을 따라 슬라이딩 이동되도록 상기 롤러는 상기 도어의 상부 양단으로부터 일정 간격을 두고 회전축에 장착되고, 상기 가이드홈과 상기 제1 및 제2스토퍼홈은 상기 측면판들의 내벽면에서 일정 간격을 두고 안쪽으로 위치되고, 상기 측면판들의 내벽면에 상기 회전축의 이동을 안내하도록 상기 가이드홈, 상기 제1 및 제2스토퍼홈과 통하면서 상하 폭이 상기 롤러의 지름보다 작고 상기 회전축의 지름보다 큰 축가이드가 형성될 수 있다.
본 발명의 바람직한 실시 양태로, 상기 도어가 상기 카세트 본체의 상면에 수평으로 얹히도록 상기 가이드홈, 상기 제1 및 제2스토퍼홈, 상기 축가이드는 상기 카세트 본체의 상면보다 높은 위치에 형성될 수 있다.
상기와 같은 기술적 과제를 해결하기 위한 수단 및 구성요소를 갖춘 본 발명은, 작업 환경이나 조건 등의 필요에 따라 도어를 여닫이식으로 개폐하거나 미닫이식으로 선택하여 개폐할 수 있고, 또 도어를 미닫이식으로 개방한 경우에는 도어가 카세트 본체에 대하여 돌출됨 없이 열린 상태를 안정적으로 유지하기 때문에 반도체 제조공정에서 웨이퍼의 출납이나 확인 작업 등에 따른 편의성과 사용성은 물론 효율성을 크게 향상시킬 수 있다.
도 1 및 도 2는 종래의 기술에 따른 웨이퍼 카세트의 일례를 나타낸 사시도이다.
도 3은 종래의 기술에 따른 웨이퍼 카세트의 다른 예를 나타낸 사시도이다.
도 4는 도 3의 작동 상태를 나타낸 국부 단면도이다.
도 5는 본 발명의 실시 예에 따른 웨이퍼 카세트를 나타낸 사시도이다.
도 6은 본 발명의 실시 예에 따른 웨이퍼 카세트를 일부 분해하여 나타낸 사시도이다.
도 7은 본 발명의 실시 예에 따른 웨이퍼 카세트의 국부를 나타낸 정단면도이다.
도 8은 본 발명의 실시 예에 따른 웨이퍼 카세트의 도어가 닫힌 상태의 국부를 나타낸 측단면도이다.
도 9는 본 발명의 실시 예에 따른 웨이퍼 카세트의 도어가 열린 상태의 국부를 나타낸 측단면도이다.
도 10은 본 발명의 실시 예에 따른 웨이퍼 카세트의 도어가 닫힌 상태에서 열기 위한 작동 상태를 나타낸 국부 측단면도이다.
이하, 본 발명에 따른 실시 예를 첨부된 도면을 참조하여 보다 구체적으로 설명한다.
이에 앞서, 후술하는 용어들은 본 발명에서의 기능을 고려하여 정의된 것으로서, 이는 본 발명의 기술적 사상에 부합되는 개념과 당해 기술분야에서 통용 또는 통상적으로 인식되는 의미로 해석하여야 함을 명시한다.
또한, 본 발명과 관련된 공지기능 혹은 구성에 대한 구체적인 설명이 본 발명의 요지를 흐릴 수 있다고 판단되는 경우 그 상세한 설명을 생략한다.
여기서 첨부된 도면들은 기술의 구성 및 작용에 대한 설명과 이해의 편의 및 명확성을 위해 일부분을 과장하거나 간략화하여 도시한 것으로서, 각 구성요소가 실제의 크기와 정확하게 일치하는 것은 아님을 밝혀둔다.
아울러 이하의 설명에서 웨이퍼가 출납되는 카세트 본체의 개구부 방향을 전면으로, 이와 반대쪽 방향을 후면으로 정의한다.
도 5 및 도 6에 도시된 바와 같이 본 발명의 실시 예에 따른 웨이퍼 카세트는 크게 카세트 본체(10)와 도어(20)를 포함하여 구성되어 있다.
카세트 본체(10)는 웨이퍼를 출납하기 위해 전면이 개구되어 있고, 측방으로 서로 소정 간격을 두고 배치된 측면판(11)들의 대향하는 내벽면에는 웨이퍼의 양측 가장자리 부분을 받쳐주는 슬롯(12)이 상하 방향으로 일정 간격을 두고 다수 형성되어 있다.
예를 들어, 슬롯(12)은 측면판(11)들의 대향하는 내벽면 각각에 20 내지 25개씩 쌍으로 형성될 수 있다.
그리고 카세트 본체(10)는 측면판(11)들의 대향하는 내벽면의 상부를 연결 고정하는 상부프레임(17)과, 측면판(11)들의 대향하는 내벽면의 하부를 연결 고정하는 하부프레임(14)에 의해 일정 형태를 유지하며, 그 측면판(11)들과 상부 및 하부프레임(17)(14) 사이에는 상면과 하면 및 후면이 일체로 형성된 커버판(19)이 결합 고정됨으로써 전체적으로 전면을 제외한 나머지 면이 기밀하게 폐쇄된 마치 사각통형으로 형성되어 있다.
또한, 상부프레임(17)에는 카세트 본체(10)를 간편하고 용이하게 들 수 있도록 하는 손잡이(18)가 상부프레임(17)에 대하여 회동 및 접철 가능하게 구비되어 있다.
여기서 커버판(19)은 기계적 물성, 내충격성, 내후성, 내열성 및 투명성 등의 특징이 있고, 유연성 및 가공성이 우수한 폴리카보네이트 소재나 무정전 아크릴(Anti-static Acril)로 형성되는 것이 바람직하나, 반도체 제조공정상에 웨이퍼를 외부에서 육안으로 확인이 용이하고 금속분진의 발생이나 정전기에 의한 파티클의 부착 등을 방지하도록 카본이나 유리섬유가 복합화된 폴리아미드 수지 등의 엔지니어링 플라스틱 소재로 형성될 수도 있다.
그리고 측면판(11)들의 대향하는 내벽면 상부에는 도어(20)가 슬라이딩 이동하면서 카세트 본체(10)의 개구부를 개폐하도록 안내하는 가이드홈(13)이 카세트 본체(10)의 상면보다 더 높은 위치에 수평 방향으로 일정 길이를 갖도록 각각 형성되어 있다.
즉, 가이드홈(13)은 도어(20)의 하중을 지지함과 동시에 롤러(21)가 원활한 구름 운동으로 주행하도록 안내하는 레일 역할 및 구실을 한다.
도어(20)는 카세트 본체(10)의 개구부를 선택적으로 개폐하도록 카세트 본체(10)의 개구부와 대응하는 평판 형상으로 형성되어 있고, 그 상부의 양단에는 가이드홈(13)을 따라 슬라이딩 이동하면서 개폐 작동 가능하도록 롤러(21)가 장착되어 있다.
즉, 도어(20)는 카세트 본체(10)의 개구부를 폐쇄 시 그 내부의 밀폐성과 차폐성을 확보하기 위해 카세트 본체(10)의 개구부와 기밀하게 밀착되도록 형성되어 있다.
그리고 롤러(21)는 도어(20)가 측면판(11)들과 수직 상태로 가이드홈(13)을 따라 슬라이딩 이동될 수 있도록 도어(20)의 상부 양단으로부터 일정 간격을 두고 회전축(25)에 장착되어 있다.
여기서 롤러(21)는 원활한 슬라이딩 이동을 위해 베어링 작용으로 도어(20)에 대하여 자유로이 구름 운동하도록 인서트 사출 등의 방법으로 합성수지 외면 내에 윤활 작용을 하는 금속재 베어링이 삽입된 구조를 채용할 수 있다.
그리고 도어(20)는 외부에서 웨이퍼를 육안으로 확인이 용이하도록 내부가 투영되어 보이고, 정전기에 의한 파티클의 부착 등을 방지하는 폴리카보네이트 소재로 형성되는 것이 바람직하다.
또한, 도어(20)의 전면에는 그 개폐 조작 시 파지가 용이하도록 하는 도어노브(29)가 구비될 수도 있다.
여기서 도어(20)의 높이가 도 5 내지 도 10에서는 카세트 본체(10)의 상면과 측면판(11)의 상면과의 간격보다 큰 것으로 도시되었으나, 이는 예시적으로 도시한 것일 뿐, 필요에 따라 카세트 본체(10)의 상면과 측면판(11)의 상면과의 간격보다 도어(20)의 높이가 작도록 형성함으로써 다른 웨이퍼 카세트를 안정적으로 적층할 수 있음은 물론이다.
한편, 도 7 내지 도 9에 도시된 바와 같이 도어(20)가 수직으로 세워져 카세트 본체(10)의 개구부를 폐쇄한 상태를 안정적으로 유지할 수 있도록 하기 위해 카세트 본체(10)의 개구부 상측에 위치하는 가이드홈(13) 상에는 롤러(21)의 이동을 선택적으로 구속하는 제1스토퍼홈(13a)이 형성되어 있고, 측면판(11)들의 대향하는 내벽면 하부에는 일정 간격을 두고 도어(20)의 하부 양단을 선택적으로 구속하는 제1 및 제2홀딩핀(31)(32)이 구비되어 있다.
즉, 제1스토퍼홈(13a)은 롤러(21)의 이동에 제한을 가해 롤러(21)가 회전 및 일정 범위 내로 상승 이동만 가능하도록 가두게 되고, 제1 및 제2홀딩핀(31)(32)은 도어(20)의 하부 양단 모서리 부분 양쪽면과 접촉 간섭을 일으켜 도어(20)가 카세트 본체(10)의 개구부를 폐쇄한 상태에서 카세트 본체(10)의 전후면 방향으로 유동되지 않도록 구속하게 된다.
그리고 도어(20)가 수평으로 누워 카세트 본체(10)의 개구부를 개방한 상태를 안정적으로 유지할 수 있도록 하기 위해 가이드홈(13) 상에는 롤러(21)의 이동을 선택적으로 구속하는 제2스토퍼홈(13b)이 제1스토퍼홈(13a)과 일정 간격을 두고 형성되어 있다.
즉, 제2스토퍼홈(13b)은 가이드홈(13)의 길이 방향 중 제1스토퍼홈(13a)과 반대쪽 방향의 단부 아래쪽에 형성되어 있고, 롤러(21)의 이동에 제한을 가해 롤러(21)가 회전 및 상승 이동만 가능하도록 가두어 도어(20)가 카세트 본체(10)의 개구부를 개방 및 카세트 본체(10)의 상면에 수평으로 얹힌 상태에서 카세트 본체(10)의 전후면 방향으로 유동되지 않도록 구속하게 된다.
또한, 도 8에 도시된 바와 같이 롤러(21)가 제1스토퍼홈(13a) 내에 구속된 상태에서 도어(20)를 열기 위해 롤러(21)를 중심으로 회전시키거나, 도 10에 도시된 바와 같이 도어(20)를 닫기 위해 롤러(21)를 중심으로 회전시킬 때 그 하부의 양단이 제1홀딩핀(31)과 제2홀딩핀(32) 사이에 삽입되도록 도어(20)의 하부 양쪽 단부에는 제1홀딩핀(31)과 접촉 간섭을 방지하는 간섭방지홈(22)이 형성되어 있고, 제1스토퍼홈(13a) 상측의 가이드홈(13) 상에는 롤러(21)가 일정 높이로 상승 가능하도록 홀딩안내홈(13c)이 형성되어 있다.
한편, 도어(20)가 측면판(11)들과 수직 상태로 가이드홈(13)을 따라 슬라이딩 이동되도록 가이드홈(13)과 제1 및 제2스토퍼홈(13a)(13b)은 측면판(11)들의 내벽면에서 일정 간격을 두고 안쪽으로 형성되어 있고, 도어(20)의 양쪽 측면과 대향하는 측면판(11)들의 내벽면에는 회전축(25)의 이동을 안내하도록 가이드홈(13)과 제1 및 제2스토퍼홈(13a)(13b)과 통하면서 상하 폭이 롤러(21)의 지름보다 작고 회전축(25)의 지름보다 큰 축가이드(40)가 형성되어 있다.
즉, 도어(20)를 미닫이식으로 개폐할 때 측면판(11)들과 수직 상태를 이루지 않고 비스듬히 기울어진 상태이면, 롤러(21)와 가이드홈(13) 간의 어그러짐으로 인한 접촉 및 마찰 간섭이 발생하여 개폐 작동이 원활하게 이루어지지 않으므로 이를 회전축(25)과 축가이드(40) 간의 안내를 통해 최소화할 수 있다.
여기서 제1 및 제2스토퍼홈(13a)(13b)과 축가이드(40)는 도어(20)가 카세트 본체(10)의 상면에 수평으로 얹히도록 카세트 본체(10)의 상면보다 높은 위치에 형성되어 있다.
한편, 도 10에 도시된 바와 같이 도어(20)의 개폐 작동이 한결 안정적으로 이루어지도록 도어(20)의 롤러(21)가 가이드홈(13)에 끼워진 상태에서 외부로 이탈되는 것을 방지하는 별도의 이탈방지구(50)를 가이드홈(13)의 개구된 단부를 막는 형태로 측면판(11)들에 고정 결합할 수도 있음은 물론이다.
이와 같이 구성된 본 발명의 실시 예에 따른 웨이퍼 카세트의 도어 개폐 작동 과정을 설명하면 다음과 같다.
먼저, 도 8에 도시된 바와 같이 도어(20)가 닫힌 상태에서 여닫이식으로 열 경우에는, 도 10에 도시된 바와 같이 도어노브(29)를 잡고 카세트 본체(10)의 상방으로 약간 들어올리면서 전방으로 잡아당기면 롤러(21)는 제1스토퍼홈(13a)을 벗어나 위치하게 되고, 도어(20)의 하부 양단은 제1 및 제2홀딩핀(31)(32) 사이를 벗어나 위치하게 되므로 도어(20)가 제1스토퍼홈(13a)과 제1 및 제2홀딩핀(31)(32)에 의해 구속된 상태를 신속하게 해제할 수 있게 된다.
이때, 도어(20)의 하부 양단 모서리 부분에 형성된 간섭방지홈(22)과 가이드홈(13) 상의 제1스토퍼홈(13a)과 대향하는 위치에 형성된 홀딩안내홈(13c)에 의해 도어(20)가 원활하고 수월하게 상승하면서 롤러(21)를 중심으로 하여 전방으로 자연스럽게 회전되므로 제1스토퍼홈(13b)과 제1 및 제2홀딩핀(31)(32)에 의해 구속된 상태를 용이하게 해제할 수 있다.
이와 반대로 도어(20)가 열린 상태에서 여닫이식으로 닫을 경우에는, 롤러(21)가 제1스토퍼홈(13b) 내에 삽입되도록 위치시킨 상태에서 그 롤러(21)를 중심으로 하여 도어(20)를 후방으로 회전시키다가 하부 양단이 제1홀딩핀(31)과 접촉되기 전에 도어노브(29)를 잡고 카세트 본체(10)의 상방으로 약간 들어올리면서 후방으로 밀어젖힘으로써 도어(20)가 제1스토퍼홈(13a)과 제1 및 제2홀딩핀(31)(32)에 의해 구속된 상태를 자연스럽게 유지할 수 있게 된다.
이때, 도어(20)의 하부 양단 모서리 부분에 형성된 간섭방지홈(22)에 의해 제1홀딩핀(31)과 접촉 간섭없이 통과하게 되고, 이후 도어노브(29)를 놓게 되면 자중에 의해 하강하여 도어(20)의 하부가 제1 및 제2홀딩핀(31)(32)에 의해 구속되게 된다.
따라서 도어(20)가 카세트 본체(10)의 개구부를 폐쇄하도록 수직으로 세워지고, 또 이렇게 되면 잠긴 상태를 안정적으로 유지하므로 작업자의 의도 없이 저절로 열리는 것을 방지할 수 있다.
한편, 도어(20)가 닫힌 상태에서 미닫이식으로 열 경우에는, 도 10에 도시된 바와 같이 도어노브(29)를 잡고 카세트 본체(10)의 상방으로 약간 들어올리면서 전방으로 잡아당기면 도어(20)가 제1스토퍼홈(13b)과 제1 및 제2홀딩핀(31)(32)에 의해 구속된 상태를 해제할 수 있다.
이 상태에서 도어(20)를 롤러(21)를 중심으로 회전시킴과 동시에 상방으로 약간 들어올려 카세트 본체(10)의 상면과 수평 상태가 되면, 카세트 본체(10)의 후방으로 밀어서 도 9에 도시된 바와 같이 롤러(21)가 제2스토퍼홈(13b) 내에 구속되도록 한다.
이때, 롤러(21)는 가이드홈(13)을 따라 원활하게 슬라이딩 이동되다가 제2스토퍼홈(13b) 내에 삽입된 상태가 되고, 이와 동시에 도어(20)는 자중에 의해 롤러(21)를 중심으로 회전하면서 카세트 본체(10)의 상면에 자연스럽게 얹힌 상태를 유지하게 된다.
이후, 도어(20)를 원래대로 닫을 경우에는 도어노브(29)를 잡고 약간 들어올리면 롤러(21)가 제2스토퍼홈(13b)에서 벗어나게 되고, 이 상태에서 도어(20)를 전방으로 잡아당기면 롤러(21)에 의해 가이드홈(13)을 따라 슬라이딩 이동되다가 제1스토퍼홈(13a) 상에 위치되게 되고, 이렇게 되면 롤러(21)는 자중에 의해 제1스토퍼홈(13a) 내에 자연스럽게 삽입된다.
이 상태에서 도어(20)를 롤러(21)를 중심으로 후방으로 회전시키다가 하부 양단이 제1홀딩핀(31)과 접촉되기 전에 도어노브(29)를 잡고 카세트 본체(10)의 상방으로 약간 들어올리면서 후방으로 밀어젖히면 도어(20)가 제1스토퍼홈(13a)과 제1 및 제2홀딩핀(31)(32)에 의해 구속된 상태를 자연스럽게 유지할 수 있게 된다.
이때, 도어(20)의 하부 양단 모서리 부분에 형성된 간섭방지홈(22)에 의해 제1홀딩핀(31)과 접촉 간섭없이 통과하게 되고, 이후 도어노브(29)를 놓게 되면 자중에 의해 하강하여 도어(20)의 하부가 제1 및 제2홀딩핀(31)(32)에 의해 구속되게 된다.
이처럼 본 발명의 실시 예에 따른 웨이퍼 카세트는 밀폐성과 차폐성이 우수하여 파티클 등에 의한 웨이퍼의 오염을 효과적으로 방지할 수 있고, 작업자 등이 필요에 따라 도어(20)를 여닫이식이나 미닫이식으로 개폐할 수 있으므로 상황이나 조건에 맞춰 적절히 변경하여 사용할 수 있다. 따라서 반도체 제조공정에서 웨이퍼의 출납이나 확인 작업의 편의성과 사용성을 크게 향상시킬 수 있을 뿐만 아니라 여러 개를 편리하게 적층 및 적재할 수 있어 작업 및 공간 효율성은 물론 편익을 제고할 수 있다.
한편, 본 발명은 상술한 실시 예 및 첨부된 도면에 의해 한정되는 것이 아니고, 본 발명의 기술적 사상을 벗어나지 않는 범위 안에서 예시되지 않은 여러 가지 변형과 응용이 가능함은 물론 구성요소의 치환 및 균등한 타 실시 예로 변경하여 폭넓게 적용할 수도 있음은 본 발명이 속하는 기술분야에서 통상의 지식을 가진자에게 있어서 명백하다.
그러므로 본 발명의 특징에 대한 변형과 응용에 관계된 내용은 본 발명의 기술사상 및 범위 내에 포함되는 것으로 해석하여야 할 것이다.
10: 카세트 본체 11: 측면판
12: 슬롯 13: 가이드홈
13a: 제1스토퍼홈 13b: 제2스토퍼홈
13c: 홀딩안내홈 14: 하부프레임
17: 상부프레임 18: 손잡이
19: 커버판 20: 도어
21: 롤러 22: 간섭방지홈
25: 회전축 29: 도어노브
31: 제1홀딩핀 32: 제2홀딩핀
40: 축가이드 50: 이탈방지구

Claims (4)

  1. 전면이 개구되고 측방으로 소정 간격을 두고 배치된 측면판(11)들의 대향하는 내벽면에 웨이퍼의 양측 테두리 부분을 받쳐주는 슬롯(12)이 다수 형성된 카세트 본체(10)와, 상기 카세트 본체(10)의 개구부를 개폐하는 도어(20)를 포함하는 웨이퍼 카세트에 있어서,
    상기 측면판(11)들의 대향하는 내벽면 상부에 수평 방향으로 가이드홈(13)이 각각 형성되고,
    상기 도어(20)가 상기 가이드홈(13)을 따라 슬라이딩 이동하면서 개폐 작동하도록 상기 도어(20)의 상부 양단에 롤러(21)가 장착되고,
    상기 도어(20)가 상기 카세트 본체(10)의 개구부를 폐쇄한 상태를 유지하도록 상기 카세트 본체(10)의 개구부 상측의 상기 가이드홈(13) 상에 상기 롤러(21)의 이동을 선택적으로 구속하는 제1스토퍼홈(13a)이 형성되며, 상기 측면판(11)들의 대향하는 내벽면 하부에 일정 간격을 두고 상기 도어(20)의 하부 양단을 선택적으로 구속하는 제1 및 제2홀딩핀(31)(32)이 구비되고,
    상기 도어(20)가 상기 카세트 본체(10)의 개구부를 개방한 상태를 유지하도록 상기 가이드홈(13) 상에 상기 제1스토퍼홈(13a)과 일정 간격을 두고 상기 롤러(21)의 이동을 선택적으로 구속하는 제2스토퍼홈(13b)이 형성된 것을 특징으로 하는 웨이퍼 카세트.
  2. 제1항에 있어서,
    상기 도어(20)가 상기 롤러(21)를 중심으로 회전하여 그 하부 양단이 상기 제1홀딩핀(31)과 상기 제2홀딩핀(32) 사이에 삽입 시 상기 제1홀딩핀(31)과 접촉 간섭을 방지하도록 상기 도어(20)의 하부 양단에 간섭방지홈(22)이 형성되고,
    상기 제1스토퍼홈(13a) 상측의 상기 가이드홈(13) 상에 상기 롤러(21)가 일정 높이로 상승 이동 가능하도록 홀딩안내홈(13c)이 형성된 것을 특징으로 하는 웨이퍼 카세트.
  3. 제1항 또는 제2항에 있어서,
    상기 도어(20)가 상기 측면판(11)들과 수직 상태로 상기 가이드홈(13)을 따라 슬라이딩 이동되도록 상기 롤러(21)는 상기 도어(20)의 상부 양단으로부터 일정 간격을 두고 회전축(25)에 장착되고,
    상기 가이드홈(13)과 상기 제1 및 제2스토퍼홈(13a)(13b)은 상기 측면판(11)들의 내벽면에서 일정 간격을 두고 안쪽으로 위치되고,
    상기 측면판(11)들의 내벽면에 상기 회전축(25)의 이동을 안내하도록 상기 가이드홈(13), 상기 제1 및 제2스토퍼홈(13a)(13b)과 통하면서 상하 폭이 상기 롤러(21)의 지름보다 작고 상기 회전축(25)의 지름보다 큰 축가이드(40)가 형성된 것을 특징으로 하는 웨이퍼 카세트.
  4. 제3항에 있어서,
    상기 도어(20)가 상기 카세트 본체(10)의 상면에 수평으로 얹히도록 상기 가이드홈(13), 상기 제1 및 제2스토퍼홈(13a)(13b), 상기 축가이드(40)는 상기 카세트 본체(10)의 상면보다 높은 위치에 형성된 것을 특징으로 하는 웨이퍼 카세트.
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Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
WO2018233612A1 (zh) * 2017-06-23 2018-12-27 上海微电子装备（集团）股份有限公司 晶圆传送盒和晶圆自动传送系统

Families Citing this family (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN205608389U (zh) * 2016-05-11 2016-09-28 重庆京东方光电科技有限公司 一种缓存装置及设有该缓存装置的涂胶显影机
CN107658253B (zh) * 2017-11-03 2023-06-27 通威太阳能（安徽）有限公司 一种多晶硅电池片存放腔
CN114856351B (zh) * 2022-05-11 2023-09-05 中国电子科技集团公司第四十八研究所 一种用于半导体传送腔顶盖的翻盖装置

Citations (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR101166704B1 (ko) 2011-06-09 2012-07-19 (주)상아프론테크 개폐식 기판 적재 카세트

Family Cites Families (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH11145269A (ja) 1997-11-11 1999-05-28 Starlite Co Ltd 密閉式基板用カセット及びそれを用いたデバイスの製造方法
US6923325B2 (en) 2001-07-12 2005-08-02 Entegris, Inc. Horizontal cassette
KR20030061638A (ko) 2002-01-15 2003-07-22 삼성전자주식회사 반도체장치 제조설비용 카세트
KR101229042B1 (ko) 2012-05-07 2013-02-12 주식회사 에스디이엔지 웨이퍼링 카세트

Patent Citations (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR101166704B1 (ko) 2011-06-09 2012-07-19 (주)상아프론테크 개폐식 기판 적재 카세트

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
WO2018233612A1 (zh) * 2017-06-23 2018-12-27 上海微电子装备（集团）股份有限公司 晶圆传送盒和晶圆自动传送系统

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