KR101166704B1 - 개폐식 기판 적재 카세트 - Google Patents
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Abstract
개폐식 기판 적재 카세트가 개시되어 있다.
개시된 개폐식 기판 적재 카세트는, 전방의 제1 입구를 제외한 나머지 부분이 금속판에 의해 차폐되어 있는 셔터 수납공간과, 상기 셔터 수납공간의 하부에 격리되게 마련되며 전방의 제2 입구를 제외한 나머지 부분은 금속판에 의해 차폐되어 있는 기판 수납공간을 갖는 카세트 본체; 상기 셔터 수납공간 내에 수평상태로 수납되며, 상기 제1,2 입구를 수직으로 차단할 수 있도록 수평상태로부터 수직으로 굴곡 가능한 구조를 갖는 셔터; 상기 셔터 수납공간의 양쪽 벽면에 배치되는 수평구간, 상기 카세트 본체의 전방 양쪽에 배치되는 수직구간, 상기 수평구간과 수직구간 사이를 연결하는 곡선구간으로 구분되며, 적어도 수평구간 및 수직구간에는 셔터의 양단부가 수용되는 가이드 홈을 갖는 가이드 레일; 및 상기 셔터를 자동 또는 수동으로 개폐구동하기 위한 셔터 구동부를 포함하되,
상기 셔터는, 장변이 서로 접촉되도록 일렬로 배열되는 다수의 셔터바와, 상기 셔터바들을 서로 연결하는 셔터 연결구로 구성되며, 상기 셔터바는 양쪽 단변 내에 슬롯 및 핀 결합부가 형성된 사각바 형태로 구성되고, 상기 셔터 연결구는, 상기 슬롯에 끼워지는 삽입부, 상기 삽입부의 외면에 일체로 형성되는 노출부, 상기 노출부의 일측으로부터 셔터바의 배열방향으로 연장되는 연장부, 상기 연장부의 내면으로부터 돌출되어 상기 핀 결합부에 삽입되는 결합핀으로 구성됨을 더 포함하며, 상기 셔터 연결구의 노출부 상에는 함몰형의 설치공간부가 형성되고, 상기 설치공간부 내에는 상기 가이드 홈의 측벽에 점접촉되는 볼 베어링과 상기 가이드 홈의 상면 및 하면에 선접촉되는 구름롤러가 설치되는 것을 더 포함하는 것이다.
개시된 개폐식 기판 적재 카세트는, 전방의 제1 입구를 제외한 나머지 부분이 금속판에 의해 차폐되어 있는 셔터 수납공간과, 상기 셔터 수납공간의 하부에 격리되게 마련되며 전방의 제2 입구를 제외한 나머지 부분은 금속판에 의해 차폐되어 있는 기판 수납공간을 갖는 카세트 본체; 상기 셔터 수납공간 내에 수평상태로 수납되며, 상기 제1,2 입구를 수직으로 차단할 수 있도록 수평상태로부터 수직으로 굴곡 가능한 구조를 갖는 셔터; 상기 셔터 수납공간의 양쪽 벽면에 배치되는 수평구간, 상기 카세트 본체의 전방 양쪽에 배치되는 수직구간, 상기 수평구간과 수직구간 사이를 연결하는 곡선구간으로 구분되며, 적어도 수평구간 및 수직구간에는 셔터의 양단부가 수용되는 가이드 홈을 갖는 가이드 레일; 및 상기 셔터를 자동 또는 수동으로 개폐구동하기 위한 셔터 구동부를 포함하되,
상기 셔터는, 장변이 서로 접촉되도록 일렬로 배열되는 다수의 셔터바와, 상기 셔터바들을 서로 연결하는 셔터 연결구로 구성되며, 상기 셔터바는 양쪽 단변 내에 슬롯 및 핀 결합부가 형성된 사각바 형태로 구성되고, 상기 셔터 연결구는, 상기 슬롯에 끼워지는 삽입부, 상기 삽입부의 외면에 일체로 형성되는 노출부, 상기 노출부의 일측으로부터 셔터바의 배열방향으로 연장되는 연장부, 상기 연장부의 내면으로부터 돌출되어 상기 핀 결합부에 삽입되는 결합핀으로 구성됨을 더 포함하며, 상기 셔터 연결구의 노출부 상에는 함몰형의 설치공간부가 형성되고, 상기 설치공간부 내에는 상기 가이드 홈의 측벽에 점접촉되는 볼 베어링과 상기 가이드 홈의 상면 및 하면에 선접촉되는 구름롤러가 설치되는 것을 더 포함하는 것이다.
Description
본 발명은 개폐식 기판 적재 카세트에 관한 것이다.
특히, 전방을 전동식 셔터에 의해 개폐할 수 있도록 하고, 전방을 제외한 나머지 부분은 폐쇄된 개폐식 기판 적재 카세트에 관한 것이다.
근래 들어 급속하게 발전하고 있는 반도체 기술을 중심으로 하여, 소형 및 경량화되면서 성능이 더욱 향상되고 있으며, 크기도 대형화되고 있다.
표시 장치로는 액정 표시 장치(liquid crystal display, LCD), 플라스마 표시 장치(plasma display panel, PDP), 전계 방출 표시 장치(flat emission display, FED), 형광 표시판(vacuum fluorescent display, VFD), 유기 발광 표시 장치(organic light emitting display, OLED) 등이 사용되고 있다.
이러한 표시 장치들은 제조 방법이 조금씩 다르긴 하지만, 일반적으로 원판 글라스를 다수 개로 절단하여 셀 글라스를 제조하고, 셀 글라스로 표시 장치를 제조한다.
원판 글라스 또는 셀 글라스는 제조 공정 중의 이송을 위하여 카세트에 적재된다. 예를 들면, 액정 표시 장치를 제조시, 유리 또는 석영 등으로 이루어진 투명 절연 기판 위에 증착 공정과 사진 식각 공정 등을 통해 다층의 박막 패턴을 형성한다. 다음으로, 후속 공정을 실시하기 위하여 글라스를 카세트에 적재시킨 후 운반한다. 카세트에 적재된 원판 글라스나 셀 글라스는 핸들링용 로봇을 이용하여 흡착함으로써 카세트로부터 자유롭게 탈착할 수 있다. 글라스들을 카세트에 담아 운반하면 외부 노출된 글라스들의 손상을 방지하고, 글라스들을 쉽게 보관하거나 이송할 수 있다.
이러한 카세트는 통상 개방된 형태여서 내부로 미세 먼지와 같은 불순물이 쉽게 유입될 수 있다. 이 경우, 카세트에 수납된 기판에 불순물이 부착되어 기판의 품질이 떨어질 수 있다.
종래에는 기판이 오염되는 것을 방지하기 위하여, 카세트를 클린룸 내에 구비하여 불순물의 유입을 최소화하고 있었다.
그러나, 종래의 카세트(1)는 도 1에 도시된 바와 같이, 사방이 개방된 오픈형이기 때문에 클린룸 내에서 공정이 진행되더라도 오염물질이 카세트(1) 내부로 유입되어 기판을 오염시키게 되는 문제점이 있었다.
본 발명의 주요 목적은, 전면(全面)은 모두 폐쇄하고, 전동식 셔터에 의해 전방만을 선택적으로 개폐할 수 있도록 함으로써 밀폐성을 강화함과 아울러 전방 을 편리하게 개폐할 수 있는 개폐식 기판 적재 카세트를 제공하는 것이다.
본 발명은 상기한 목적을 달성하기 위하여,
전방의 제1 입구를 제외한 나머지 부분이 금속판에 의해 차폐되어 있는 셔터 수납공간과, 상기 셔터 수납공간의 하부에 격리되게 마련되며 전방의 제2 입구를 제외한 나머지 부분은 금속판에 의해 차폐되어 있는 기판 수납공간을 갖는 카세트 본체; 상기 셔터 수납공간 내에 수평상태로 수납되며, 상기 제1,2 입구를 수직으로 차단할 수 있도록 수평상태로부터 수직으로 굴곡 가능한 구조를 갖는 셔터; 상기 셔터 수납공간의 양쪽 벽면에 배치되는 수평구간, 상기 카세트 본체의 전방 양쪽에 배치되는 수직구간, 상기 수평구간과 수직구간 사이를 연결하는 곡선구간으로 구분되며, 적어도 수평구간 및 수직구간에는 셔터의 양단부가 수용되는 가이드 홈을 갖는 가이드 레일; 및 상기 셔터를 자동 또는 수동으로 개폐구동하기 위한 셔터 구동부를 포함하되,
상기 셔터는, 장변이 서로 접촉되도록 일렬로 배열되는 다수의 셔터바와, 상기 셔터바들을 서로 연결하는 셔터 연결구로 구성되며, 상기 셔터바는 양쪽 단변 내에 슬롯 및 핀 결합부가 형성된 사각바 형태로 구성되고, 상기 셔터 연결구는, 상기 슬롯에 끼워지는 삽입부, 상기 삽입부의 외면에 일체로 형성되는 노출부, 상기 노출부의 일측으로부터 셔터바의 배열방향으로 연장되는 연장부, 상기 연장부의 내면으로부터 돌출되어 상기 핀 결합부에 삽입되는 결합핀으로 구성됨을 더 포함하며, 상기 셔터 연결구의 노출부 상에는 함몰형의 설치공간부가 형성되고, 상기 설치공간부 내에는 상기 가이드 홈의 측벽에 점접촉되는 볼 베어링과 상기 가이드 홈의 상면 및 하면에 선접촉되는 구름롤러가 설치되는 것을 더 포함하는 개폐식 기판 적재 카세트를 제공한다.
전방의 제1 입구를 제외한 나머지 부분이 금속판에 의해 차폐되어 있는 셔터 수납공간과, 상기 셔터 수납공간의 하부에 격리되게 마련되며 전방의 제2 입구를 제외한 나머지 부분은 금속판에 의해 차폐되어 있는 기판 수납공간을 갖는 카세트 본체; 상기 셔터 수납공간 내에 수평상태로 수납되며, 상기 제1,2 입구를 수직으로 차단할 수 있도록 수평상태로부터 수직으로 굴곡 가능한 구조를 갖는 셔터; 상기 셔터 수납공간의 양쪽 벽면에 배치되는 수평구간, 상기 카세트 본체의 전방 양쪽에 배치되는 수직구간, 상기 수평구간과 수직구간 사이를 연결하는 곡선구간으로 구분되며, 적어도 수평구간 및 수직구간에는 셔터의 양단부가 수용되는 가이드 홈을 갖는 가이드 레일; 및 상기 셔터를 자동 또는 수동으로 개폐구동하기 위한 셔터 구동부를 포함하되,
상기 셔터는, 장변이 서로 접촉되도록 일렬로 배열되는 다수의 셔터바와, 상기 셔터바들을 서로 연결하는 셔터 연결구로 구성되며, 상기 셔터바는 양쪽 단변 내에 슬롯 및 핀 결합부가 형성된 사각바 형태로 구성되고, 상기 셔터 연결구는, 상기 슬롯에 끼워지는 삽입부, 상기 삽입부의 외면에 일체로 형성되는 노출부, 상기 노출부의 일측으로부터 셔터바의 배열방향으로 연장되는 연장부, 상기 연장부의 내면으로부터 돌출되어 상기 핀 결합부에 삽입되는 결합핀으로 구성됨을 더 포함하며, 상기 셔터 연결구의 노출부 상에는 함몰형의 설치공간부가 형성되고, 상기 설치공간부 내에는 상기 가이드 홈의 측벽에 점접촉되는 볼 베어링과 상기 가이드 홈의 상면 및 하면에 선접촉되는 구름롤러가 설치되는 것을 더 포함하는 개폐식 기판 적재 카세트를 제공한다.
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본 발명은, 상기 각 셔터바의 장변 중 어느 한 장변은 오목하고, 다른 한 장변은 볼록하게 형성될 수 있다.
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본 발명은, 상기 가이드 레일의 수평구간에, 가이드홈 아래쪽에 가이드 롤러가 일렬로 설치될 수 있다.
본 발명의 상기 셔터 구동부는, 상기 카세트 본체의 셔터 수납공간 내에 설치되며, 외부전원 또는 충전 배터리 전원에 의해 정?역방향으로 회전 구동되는 구동모터; 상기 구동모터의 축과 결합되는 스크류 샤프트; 상기 셔터의 후단부와 결합되는 셔터 구동판; 상기 셔터 구동판의 중앙에 결합된 채 상기 스크류 샤프트의 표면에 취합되어, 상기 스크류 샤프트가 회전함에 따라 스크류 샤프트의 길이방향을 따라 상기 셔터 구동판과 함께 직선 이동되는 볼부시; 및 상기 셔터 구동판의 양쪽에 결합된 채 셔터 구동판을 가이드 하는 가이드 로드를 포함하여 구성될 수 있다.
본 발명은, 상기 구동모터로의 전원공급을 제어하는 전원공급 제어부가 상기 카세트 본체의 하부에 구비될 수 있다.
본 발명은, 상기 카세트 본체의 셔터 수납공간에 상기 셔터의 위치를 감지하여 상기 전원공급 제어부로 셔터의 위치신호를 송출하는 위치감지센서가 설치되며, 상기 전원공급 제어부는 상기 위치감지센서의 송출신호에 따라 상기 구동모터로의 전원공급을 제어할 수 있게 구성된다.
본 발명의 개폐식 기판 적재 카세트는, 전면(全面)은 모두 폐쇄하여 밀폐성을 높이고, 수납을 위한 출입구인 전방은 전동식 셔터에 의해 자동으로 개폐할 수 있도록 함으로써 편리한 개폐방식을 제공할 수 있다.
도 1은 종래 오픈형 기판 적재 카세트의 일 예시도이다.
도 1은 본 발명에 따른 개폐식 기판 적재 카세트의 전체 사시도로서, 특히 카세트 본체의 전방이 개방된 상태도이다.
도 2는 셔터를 분해한 기판 적재용 카세트의 사시도이다.
도 3은 본 발명에 따른 셔터의 상세 설치상태도이다.
도 4는 본 발명에 따른 셔터의 일부 분해사시도이다.
도 5는 도 3의 A-A선 단면도이다.
도 6은 도 3의 B-B선 단면도이다.
도 7은 본 발명에 따른 셔터 구동부의 측면도로서, 특히 셔터가 열린 상태의 측면도이다.
도 8은 본 발명에 따른 셔터 구동부의 측면도로서, 특히 셔터가 닫힌 상태의 측면도이다.
도 1은 본 발명에 따른 개폐식 기판 적재 카세트의 전체 사시도로서, 특히 카세트 본체의 전방이 개방된 상태도이다.
도 2는 셔터를 분해한 기판 적재용 카세트의 사시도이다.
도 3은 본 발명에 따른 셔터의 상세 설치상태도이다.
도 4는 본 발명에 따른 셔터의 일부 분해사시도이다.
도 5는 도 3의 A-A선 단면도이다.
도 6은 도 3의 B-B선 단면도이다.
도 7은 본 발명에 따른 셔터 구동부의 측면도로서, 특히 셔터가 열린 상태의 측면도이다.
도 8은 본 발명에 따른 셔터 구동부의 측면도로서, 특히 셔터가 닫힌 상태의 측면도이다.
이하에서는 본 발명에 따른 개폐식 기판 적재 카세트의 실시예가 개시된다.
개시되는 실시예들은 본 발명의 사상을 당업자가 용이하게 이해할 수 있도록 제공되는 것으로, 이에 의해 본 발명이 한정되지 않는다. 본 발명의 실시예들은 본 발명의 기술적 사상 및 범위 내에서 다른 형태로 변형될 수 있다. 본 명세서에서 '및/또는'은 전후에 나열한 구성요소들 중 적어도 하나를 포함하는 의미로 사용되었다. 본 명세서에서 다른 구성요소 '상에' 위치한다는 것은 일 구성요소 상에 다른 구성요소가 직접 위치한다는 의미는 물론, 상기 일 구성요소 상에 제 3의 구성요소가 더 위치할 수 있다는 의미도 포함한다. 본 명세서 각 구성요소 또는 부분 등을 제1, 제2 등의 표현을 사용하여 지칭하였으나, 이는 명확한 설명을 위해 사용된 표현으로 이에 의해 한정되지 않는다. 도면에 표현된 구성요소들의 두께 및 상대적인 두께는 본 발명의 실시예들을 명확하게 표현하기 위해 과장된 것일 수 있다. 또한, 첨부된 도면에 표현된 사항들은 본 발명의 실시예들을 쉽게 설명하기 위해 도식화된 도면으로 실제로 구현되는 형태와 상이할 수 있다.
도 2는 본 발명에 따른 개폐식 기판 적재 카세트의 전체 사시도로서 특히 카세트 본체의 전방이 개방된 상태도이고, 도 3은 셔터를 분해한 개폐식 기판 적재 카세트의 사시도이다.
도 2 및 3을 참조하면, 본 발명에 따른 개폐식 기판 적재 카세트(10)는, 카세트 본체(100), 셔터(200), 가이드레일(300) 및 셔터 구동부(400)를 포함한다.
카세트 본체(100)는 다수의 금속바(110)를 이용하여 육면체 형태가 되게 뼈대를 형성하고, 전방을 제외한 나머지 부분을 금속판(120)에 의해 마감하여 이루어진다. 여기서, 상기 각 금속바(110)는 무게 감량을 위해 감량홀(111)이 형성될 수 있다.
카세트 본체(100)는 그 내부 상측에 셔터 수납공간(130)을 갖는다. 이 셔터 수납공간(130)은 그 전방에 제1 입구(131)를 갖는다. 이 셔터 수납공간(130)에는 셔터(200) 및 셔터 구동부(400) 등이 내장된다.
카세트 본체(100)는 상기 셔터 수납공간(130)의 하부에 격판(150)에 의해 셔터 수납공간(130)과 격리된 기판 수납공간(140)을 갖는다. 이 기판 수납공간(140)은 그 전방에 제2 입구(141)를 갖는다. 이 기판 수납공간(140)에는 다단형의 기판 거치대(142)가 설치되어 있어서 다수의 기판(미도시)를 적층하여 수납할 수 있다.
도 4는 본 발명에 따른 셔터의 상세 설치상태도이고, 도 5는 본 발명에 따른 셔터의 일부 분해사시도이며, 도 6은 도 4의 A-A선 단면도이고,도 7은 도 4의 B-B선 단면도이다.
도 2 및 도 4 내지 도 7을 참조하면, 셔터(200)는 상기 셔터 수납공간(130) 내에 수평상태로 수납된다.
셔터(210)는 장변(201)이 서로 접촉되도록 일렬로 배열되는 다수의 셔터바(210) 및 셔터바(210)을 연결하기 위한 셔터 연결구(220)로 구성된다.
셔터바(210)는 비 중공형의 사각바 형태나 중공형의 사각파이프 형태를 취할 수 있으나, 감량을 위해 사각파이프 형태가 바람직하다.
셔터바(210)는 길이가 긴 한 쌍의 장변(201)과 길이가 짧은 한 쌍의 단변(202)을 가지며, 양쪽 단변(202) 내에는 슬롯(211) 및 핀 결합부(212)가 각각 형성되어 있다.
셔터바(210)는 2개의 장변 중 어느 한 장변이 곡면형으로 오목(201a)하게 함몰되고, 나머지 한 장변은 곡면형으로 볼록(201b)하게 돌출되어 있다. 이러한 구성에 따라, 상기 셔터바(210)를 일렬로 배열할 때는 셔터바의 오목한 장변에는 다른 셔터바의 볼록한 장변이 밀착되도록 연속적으로 배열하게 된다. 이러한 배열구조를 가짐에 따라 각 셔터바가 곡면 접촉된다.
셔터 연결구(220)는 상기 각 셔터바(210)의 각 슬롯(211)에 끼워지는 삽입부(221)와, 상기 삽입부(221)의 외면에 일체로 형성되는 노출부(222)와, 상기 노출부(222)의 일측으로부터 셔터바(210)의 배열방향으로 연장되는 연장부(223)와, 상기 연장부(223)의 내면으로부터 돌툴되어 상기 핀 결합부(212)에 삽입되는 결합핀(224)으로 구성된다.
셔터바(210)를 셔터 연결구(220)에 의해 연결하게 되면, 셔터바와 셔터바 사이를 굴곡시키고자 할 때 결합핀(224)과 핀 결합부(212)의 접촉면에서 슬립(slip)이 발생하면서 셔터바(200) 간에 굴곡이 가능하게 된다. 따라서, 상기 셔터 수납공간(130)에 수평상태로 수납되어 있는 셔터(200)가 상기 카세트 본체(100)의 전방을 차폐하고자 할 때 수직으로 굴곡된 상태로 변형되면서 차폐기능을 할 수 있게 된다.
셔터 연결구(220)는 상기 노출부(222) 상에 함몰형의 설치공간부(222a)가 형성된다. 이 설치공간부(222a) 내에는 볼베어링(225) 또는 구름롤러(226)가 설치될 수 있다. 여기서, 볼베어링(225)과 구름롤러(226)는 서로 교번하여 설치될 수 있는데, 예를 들어, 짝수번 째 셔터바(210)에는 볼베어링(225)을 설치하고, 홀수번 째 셔터바(210)에는 구름롤러(226)를 배치할 수 있다. 이와는 다르게 순서를 정하지 않고 랜덤하게 배치하는 것도 가능하다.
가이드레일(300)은 상기 셔터(200)를 가이드 하기 위한 것이다.
가이드레일(300)은 도 3, 도 4, 도 6 및 도 7에서와 같이, 상기 셔터 수납공간(130)의 양쪽 벽면에 배치되는 수평구간(310), 상기 카세트 본체(100)의 전방 양쪽에 배치되는 수직구간(320) 및 상기 수평구간(310)과 수직구간(320) 사이를 연결하는 곡선구간(330)으로 구분된다.
여기서, 가이드레일(300)에는 셔터(200)의 양단부가 수용되는 가이드홈(340)이 형성된다. 상기 가이드 홈(340)은 상면(341), 하면(342) 및 측벽(343)을 가지며, 상기 상,하면(341,342)에는 상기 구름롤러(226)가 선접촉되고, 상기 측벽(343)에는 상기 볼베어링(225)이 점접촉된다. 따라서, 구름롤러(226) 및 볼베어링(225)의 접촉형태에 의해 가이드레일(300)에 대한 셔터(200)의 원활한 가이드 유동이 가능하게 된다.
가이드레일(300)의 수평구간(310) 중 가이드홈(340)의 위쪽과 아래쪽에 가이드롤러(350)가 일렬로 설치될 수 있다. 이와는 다르게 가이드홈(340)의 아래쪽에만 가이드롤러(350)가 설치될 수도 있다. 이 가이드롤러(350)는 셔터(200)를 보다 원활하게 가이드 해 주기 위한 보조 가이드 수단이다.
도 8은 본 발명에 따른 셔터 구동부의 측면도로서, 특히 셔터가 열린 상태의 측면도이고, 도 9는 본 발명에 따른 셔터 구동부의 측면도로서, 특히 셔터가 닫힌 상태의 측면도이다.
도 7 및 도 8을 참조하면, 셔터구동부(400)는 구동모터(410), 스크류 샤프트(420), 셔터 구동판(430), 볼부시(440) 및 가이드로드(450)를 포함한다.
구동모터(410)는 상기 카세트 본체(100)의 셔터 수납공간(130) 내에 설치되며, 외부전원 또는 배터리 전원에 의해 정방향 또는 역방향으로 회전 구동된다.
스크류 샤프트(420)는 상기 구동모터(410)의 축(411)과 직접 또는 간접적으로 결합된 채 상기 셔터(200)의 진행방향으로 설치된다.
셔터 구동판(430)은 상기 구동모터(410)의 전방에 위치한 채 상기 셔터(200)의 후단부와 결합된다. 이 셔터 구동판(430)은 상기 볼부시(440) 및 가이드로드(450)를 설치하기 위한 브라켓의 역할을 하는 것으로서, 무게 감량을 위해 다수개의 감량홀(431)이 형성될 수 있다.
볼부시(440)는 상기 셔터 구동판(430)의 중앙에 결합된 채 상기 스크류 샤프트(420)의 표면에 취합되어, 상기 스크류 샤프트(420)가 회전함에 따라 스크류 샤프트(420)의 길이방향을 따라 상기 셔터 구동판(430)과 함께 직선 이동된다. 따라서, 셔터 구동판(430)에 결합되어 있는 셔터(200)도 스크류 샤프트(420)의 길이방향을 따라 직선이동되는 것이다.
한편, 본 발명에 따른 개폐식 기판 적재 카세트(10)는 도 3에서와 같이, 상기 구동모터(410)로의 전원공급을 제어하는 전원공급 제어부(500)가 구비될 수 있다.
이때, 개폐식 기판 적재 카세트(10)는 공정위치에 안착되었을 때 셔터(200)가 자동으로 열리도록 하기 위해, 상기 전원공급 제어부(500)가 카세트 본체(100)의 하부에 구비되는 것이 바람직하다.
부연하면, 각 공정위치에는 상기 전원공급 제어부(500)로 전원을 공급하기 위한 전원공급장치(미도시)를 이미 구비되어 있는데, 각 공정위치에 개폐식 기판 적재 카세트(10)가 안착되었을 때 전원공급 제어부(500)와 공정위치에 구비된 전원공급장치가 용이하게 결합되기 위해서는 전원공급 제어부(500)가 카세트 본체(100)의 하부에 배치되는 것이 바람직한 것이다.
전원공급장치와 전원공급 제어부(500)가 결합되면, 전원공급장치로부터 제공되는 전기가 전원공급 제어부(500)를 거쳐서 상기 구동모터(410)로 공급된다. 이렇게 공급된 전기는 바로 구동모터(410)로 공급될 수도 있지만, 별도로 배터리(b)를 더 구비하여, 배터리(b)를 통하여 구동모터(410)로 전기를 공급할 수도 있다.
배터리 전원은 전원공급장치와 전원공급 제어부(500) 간의 결합이 해지된 상태에서 유용하게 활용될 수 있다. 즉, 개폐식 기판 적재 카세트(10)가 다음 공정으로 이동하는 사이에는 전원공급 제어부(500)가 전원공급장치와 결합 되지 않은 상태이므로 이 경우에 배터리 전원에 의해 구동모터(410)를 동작시킬 수 있다.
또 한편, 본 발명에 따른 개폐식 기판 적재 카세트(10)는 셔터(200)의 개폐위치를 감지하기 위한 위치감지센서(600)가 설치될 수 있다.
상기 위치감지센서(600)는 셔터(200)의 정상적인 개방위치 및 정상적인 폐쇄위치를 감지하여 셔터(200)가 오버런(over run)되는 것을 방지하기 위한 것으로서, 상기 위치감지센서(600)는 전자식 센서 또는 기계식 센서 중 어느 하나를 선택하여 적용할 수 있다.
기계식 센서는 도 8에서와 같이, 셔터수납공간(130)의 후방 및 전방에 제1 위치감지센서(610) 및 제2 위치감지센서(620)를 각각 설치하고, 상기 셔터구동판(430)의 상측에는 상기 제1, 2 위치감지센서(610,620)와 접촉될 수 있도록 센서 터치부(432)를 설치하여,
상기 셔터구동판(430)이 후방으로 이동하는 과정에서 센서 터치부(432)가 상기 제1 위치감지센서(610)에 접촉되면 제1 위치감지센서(610)로부터 감지신호가 발생하고, 발생된 감지신호는 상기 전원공급 제어부(500)로 송출되며, 전원공급 제어부(500)는 이 송출신호에 따라 구동모터(410)로의 전원을 차단하여 구동모터를 정지시킴에 따라 셔터구동판(430)이 더 이상 후진되는 것을 방지할 수 있게 된다. 이때는 셔터(200)가 개방된 상태가 된다.
반대로, 상기 셔터구동판(430)이 전방으로 이동하는 과정에서 센서 터치부(432)가 상기 제2 위치감지센서(620)에 접촉되면 제2 위치감지센서(620)로부터 감지신호가 발생하고, 발생된 감지신호는 상기 전원공급 제어부(500)로 송출되며, 전원공급 제어부(500)는 이 송출신호에 따라 구동모터(410)로의 전원을 차단하여 구동모터를 정지시킴에 따라 셔터구동판(430)이 더 이상 전진되는 것을 방지할 수 있게 된다. 이때는 셔터(200)가 닫힌 상태가 된다.
본 발명의 권리범위는 상술한 실시예에 한정되는 것이 아니라 첨부된 특허청구범위 내에서 다양한 형태의 실시 예로 구현될 수 있다. 특허청구범위에서 청구하는 본 발명의 요지를 벗어남이 없이 당해 발명이 속하는 기술분야에서 통상의 지식을 가진 자라면 누구든지 변형 가능한 다양한 범위까지 본 발명의 청구범위 기재의 범위 내에 있는 것으로 본다.
10 : 기판 적재용 카세트 100 : 카세트 본체
130 : 셔터 수납공간 131 : 제1 입구
140 : 기판 수납공간 141 : 제2 입구
142 : 기판 거치대 200 : 셔터
201 : 장변 202 : 단변
210 : 셔터바 211 : 슬롯
212 : 핀 결합부 220 : 셔터 연결구
221 : 삽입부 222 : 노출부
223 : 연장부 224 : 결합핀
225 : 볼베어링 226 : 구름롤러
300 : 가이드레일 310 : 수평구간
320 : 수직구간 330 : 곡선구간
400 : 셔터 구동부 410 : 구동모터
420 : 스크류 샤프트 430 : 셔터 구동판
440 : 볼부시 450 : 가이드로드
500 : 전원공급 제어부
130 : 셔터 수납공간 131 : 제1 입구
140 : 기판 수납공간 141 : 제2 입구
142 : 기판 거치대 200 : 셔터
201 : 장변 202 : 단변
210 : 셔터바 211 : 슬롯
212 : 핀 결합부 220 : 셔터 연결구
221 : 삽입부 222 : 노출부
223 : 연장부 224 : 결합핀
225 : 볼베어링 226 : 구름롤러
300 : 가이드레일 310 : 수평구간
320 : 수직구간 330 : 곡선구간
400 : 셔터 구동부 410 : 구동모터
420 : 스크류 샤프트 430 : 셔터 구동판
440 : 볼부시 450 : 가이드로드
500 : 전원공급 제어부
Claims (8)
- 전방의 제1 입구를 제외한 나머지 부분이 금속판에 의해 차폐되어 있는 셔터 수납공간과, 상기 셔터 수납공간의 하부에 격리되게 마련되며 전방의 제2 입구를 제외한 나머지 부분은 금속판에 의해 차폐되어 있는 기판 수납공간을 갖는 카세트 본체;
상기 셔터 수납공간 내에 수평상태로 수납되며, 상기 제1,2 입구를 수직으로 차단할 수 있도록 수평상태로부터 수직으로 굴곡 가능한 구조를 갖는 셔터;
상기 셔터 수납공간의 양쪽 벽면에 배치되는 수평구간, 상기 카세트 본체의 전방 양쪽에 배치되는 수직구간, 상기 수평구간과 수직구간 사이를 연결하는 곡선구간으로 구분되며, 적어도 수평구간 및 수직구간에는 셔터의 양단부가 수용되는 가이드 홈을 갖는 가이드 레일; 및
상기 셔터를 자동 또는 수동으로 개폐구동하기 위한 셔터 구동부를 포함하되,
상기 셔터는, 장변이 서로 접촉되도록 일렬로 배열되는 다수의 셔터바와, 상기 셔터바들을 서로 연결하는 셔터 연결구로 구성되며,
상기 셔터바는 양쪽 단변 내에 슬롯 및 핀 결합부가 형성된 사각바 형태로 구성되고,
상기 셔터 연결구는, 상기 슬롯에 끼워지는 삽입부, 상기 삽입부의 외면에 일체로 형성되는 노출부, 상기 노출부의 일측으로부터 셔터바의 배열방향으로 연장되는 연장부, 상기 연장부의 내면으로부터 돌출되어 상기 핀 결합부에 삽입되는 결합핀으로 구성됨을 더 포함하며,
상기 셔터 연결구의 노출부 상에는 함몰형의 설치공간부가 형성되고,
상기 설치공간부 내에는 상기 가이드 홈의 측벽에 점접촉되는 볼 베어링과 상기 가이드 홈의 상면 및 하면에 선접촉되는 구름롤러가 설치되는 것을 더 포함하는 개폐식 기판 적재 카세트.
- 삭제
- 제1항에 있어서,
상기 각 셔터바의 장변 중 어느 한 장변은 오목하고, 다른 한 장변은 볼록하게 형성되어, 각 셔터바를 배열할 때, 셔터바의 오목한 장변에는 다른 셔터바의 볼록한 장변이 밀착되게 배열되는 것을 특징으로 하는 개폐식 기판 적재 카세트.
- 삭제
- 제1항에 있어서,
상기 가이드 레일의 수평구간에는, 가이드홈 아래쪽에 가이드 롤러가 일렬로 설치된 것을 특징으로 하는 개폐식 기판 적재 카세트.
- 제1항에 있어서,
상기 셔터 구동부는,
상기 카세트 본체의 셔터 수납공간 내에 설치되며, 외부전원 또는 충전 배터리 전원에 의해 정?역방향으로 회전 구동되는 구동모터;
상기 구동모터의 축과 결합되는 스크류 샤프트;
상기 셔터의 후단부와 결합되는 셔터 구동판;
상기 셔터 구동판의 중앙에 결합된 채 상기 스크류 샤프트의 표면에 취합되어, 상기 스크류 샤프트가 회전함에 따라 스크류 샤프트의 길이방향을 따라 상기 셔터 구동판과 함께 직선 이동되는 볼부시; 및
상기 셔터 구동판의 양쪽에 결합된 채 셔터 구동판을 가이드 하는 가이드로드를 포함하여 구성된 것을 특징으로 하는 개폐식 기판 적재 카세트.
- 제6항에 있어서,
상기 구동모터로의 전원공급을 제어하는 전원공급 제어부가 상기 카세트 본체의 하부에 구비된 것을 특징으로 하는 개폐식 기판 적재 카세트.
- 제7항에 있어서,
상기 카세트 본체의 셔터 수납공간에는 상기 셔터의 위치를 감지하여 상기 전원공급 제어부로 셔터의 위치신호를 송출하는 위치감지센서가 설치되며, 상기 전원공급 제어부는 상기 위치감지센서의 송출신호에 따라 상기 구동모터로의 전원공급을 제어하는 것을 특징으로 하는 개폐식 기판 적재 카세트.
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|---|---|---|---|
| CN201110369880.6A CN103029916B (zh) | 2011-10-05 | 2011-11-18 | 开闭式基板装载盒 |
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|---|---|---|---|
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|---|---|
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| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| KR1020110101041A KR101166704B1 (ko) | 2011-06-09 | 2011-10-05 | 개폐식 기판 적재 카세트 |
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| KR (1) | KR101166704B1 (ko) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| KR20160009317A (ko) | 2014-07-16 | 2016-01-26 | 주식회사 도호세미텍 | 웨이퍼 카세트 |
Citations (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH11145269A (ja) * | 1997-11-11 | 1999-05-28 | Starlite Co Ltd | 密閉式基板用カセット及びそれを用いたデバイスの製造方法 |
| JP2002246457A (ja) * | 2001-02-19 | 2002-08-30 | Sharp Corp | 基板収納ボックス |
-
2011
- 2011-10-05 KR KR1020110101041A patent/KR101166704B1/ko active IP Right Grant
Patent Citations (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH11145269A (ja) * | 1997-11-11 | 1999-05-28 | Starlite Co Ltd | 密閉式基板用カセット及びそれを用いたデバイスの製造方法 |
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| KR20160009317A (ko) | 2014-07-16 | 2016-01-26 | 주식회사 도호세미텍 | 웨이퍼 카세트 |
| KR101610168B1 (ko) | 2014-07-16 | 2016-04-08 | 주식회사 도호세미텍 | 웨이퍼 카세트 |
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