JP2024063734A - ロードポート - Google Patents

Abstract

【課題】ドア開閉時におけるドアの振動を抑制する。【解決手段】半導体処理装置のロードポートは、搬送対象物を出し入れする開口を有する板状のベース部材と、開口を開閉可能なドア部材と、ドア部材に一端が回動可能に連結されたリンク部材を有するリンク機構と、ドア部材とともに移動するガイドローラ６１と、Ｙ方向からＺ方向に屈曲して延在し、ガイドローラを案内するガイド面と、リンク部材の他端が回動可能に連結される駆動部材と、駆動部材をＺ方向に移動させるための駆動手段とを備える。リンク機構は、リンク部材の他端がＺ方向へ移動している状態で、ガイドローラがガイド面に沿ってＹ方向からＺ方向又はＺ方向からＹ方向へ移動することを許容し、ガイドローラが、Ｙ方向に沿った第１ガイド面５２ａとＺ方向に沿った第２ガイド面５２ｂとを接続するガイド接続部５２Ｎを通過する際に、ガイドローラをガイド接続部に向かって押圧する押圧手段を備える。【選択図】図１２

Description

本発明は、例えば半導体処理装置に隣接して配置されるロードポートに関するものである。

従来、ウェーハなどの搬送対象物に対して種々の処理工程が施されることにより半導体の製造がなされてきている。近年では素子の高集積化や回路の微細化がますます進められており、搬送対象物の表面へのパーティクルの付着が生じないように、搬送対象物周辺を高いクリーン度に維持することが求められている。

搬送対象物に処理を行う処理装置とＦＯＵＰ（Front-Opening Unified Pod）との間で搬送対象物の受け渡しを行うロードポート（Load Port）として、ドアの開閉に関する駆動機構とドアの昇降に関する駆動機構とが個別に設けられていると、各ガイドレール同士を連結する連結箇所でパーティクルが発生するという問題がある。

そのため、特許文献１に開示されるロードポートでは、駆動部材の上下方向への往復移動に連動して、リンク機構に取り付けられるガイドローラがガイド溝に沿って水平方向から上下方向へ、又は、上下方向から水平方向へ移動するようにして、２軸の連結箇所でパーティクルが発生することを抑制している。

特開２０１４－２２５５４７号公報

しかしながら、特許文献１のロードポートにおいて、リンク機構に取り付けられるガイドローラをガイド溝に沿って滑らかに移動させるためには、リンク機構に適正なクリアランスが必要である。その影響により、図２１（ａ）に示すように、ガイドローラ５６１が、水平方向（Ｙ方向）に沿ったガイド面５５２ａと上下方向（Ｚ方向）に沿ったガイド面５５２ｂとを接続するガイド接続部５５２Ｎを通過する際に、ガイドローラ５６１とガイド接続部５５２Ｎとの間に隙間が形成される場合がある。その場合、ガイドローラ５６１が水平方向から上下方向に移動方向が切り替わる際に、上記の隙間を埋めようとしてガイドローラ５６１が重力により落下する。そのため、図２１（ｂ）に示すように、ガイドローラ５６１とガイド接続部５５２Ｎとが接触して、ドア開閉時にドアが振動する原因となる。そのような振動が発生すると、異音の発生やＦＯＵＰドアの落下の原因となるとともに、ガイドローラ５６１の摩耗を早めたり、ガイドローラ５６１に亀裂が発生したり、他の部品と共振したり、パーティクルが発生する問題がある。その場合に、そのような問題を発生させないためにドア開閉速度を低下させると、ドア開閉動作時間が長くなってしまう。

本発明は、ドア開閉時にドアが振動するのを抑制できるロードポートを提供することを目的としている。

本発明は、かかる目的を達成するために、次のような手段を講じたものである。

すなわち、本発明のロードポートは、搬送対象物を出し入れする開口を有する板状のベース部材と、前記開口を開閉可能なドア部材と、前記ドア部材に一端が回動可能に連結されたリンク部材を有するリンク機構と、前記ドア部材とともに移動するガイドローラと、第１方向から第２方向に屈曲して延在し、前記ガイドローラを案内するガイド面と、前記リンク部材の他端が回動可能に連結される駆動部材と、前記駆動部材を前記第２方向に移動させるための駆動手段とを備え、前記リンク機構は、前記リンク部材の他端が前記第２方向へ移動している状態で、前記ガイドローラが前記ガイド面に沿って前記第１方向から前記第２方向または前記第２方向から前記第１方向へ移動することを許容するように構成され、前記ガイドローラが、前記第１方向に沿った第１ガイド面と前記第２方向に沿った第２ガイド面とを接続するガイド接続部を通過する際に、前記ガイドローラを前記ガイド接続部に向かって押圧する押圧手段を備えることを特徴とする。

このようにすると、ガイドローラが第１方向に沿ったガイド面と第２方向に沿ったガイド面とのガイド接続部を通過する際に、ガイド接続部に向かって押圧されるため、ガイドローラは、ガイド接続部と接触した状態でガイド接続部を通過する。そのため、ガイドローラとガイド接続部との間に隙間が形成されなくなり、ドア開閉時にドアが振動するのを抑制できる。そのため、ドアの振動により、異音の発生やＦＯＵＰドアの落下を防止することができるとともに、ガイドローラの摩耗を早めたり、ガイドローラに亀裂が発生したり、他の部品と共振したり、パーティクルが発生する問題を防止できる。よって、ドア開閉速度の向上が可能となり、ドア開閉動作時間を短縮することができる。

本発明のロードポートにおいて、前記押圧手段は、前記第１方向に沿って配置される弾性部材を有している。

このように構成すると、押圧手段をロードポートに対して容易に配置することができる。

本発明のロードポートにおいて、前記弾性部材は、前記ドア部材とともに移動可能であり、前記ガイドローラが前記ガイド接続部に近づくように移動して両者間の距離が所定距離になった場合に、前記弾性部材と接触する位置に配置された弾性部材受け部材を備える。

このように構成すると、弾性部材が移動する側のドア部材に取り付けられており、弾性部材が移動しない側の部材に取り付けられている場合と比べて、弾性部材を容易に取り換えることができる。

本発明のロードポートにおいて、前記押圧手段の押圧力は、前記駆動部材が前記第２方向に移動する際に前記ドア部材を前記第１方向へ移動させる駆動力よりも小さい。

このように構成すると、押圧手段を配置した場合でも、ドア部材を第１方向へ移動させるための駆動力をほとんど増加させる必要がない。

本発明のロードポートにおいて、前記ガイド面は、前記駆動部材の両側に２つ配置され、前記押圧手段は、前記ガイド面ごとに配置される。

このように構成すると、リンク部材の一端が２つのガイド面に対して均等に押圧されるため、ドアが傾くのを抑制することができる。

以上説明した本発明によれば、ドア開閉時にドアが振動するのを抑制できる。

本発明の第１実施形態に係るロードポート１の側面図である。 ロードポート１の載置テーブル１０及びフープ支持機構１１を取り外した状態を示す斜視図である。 ロードポート１の載置テーブル１０及びフープ支持機構１１を取り外した状態を示す正面図である。 ロードポート１の載置テーブル１０の上面に配置されるフープ支持機構１１を取り外した状態を示す斜視図である。 ドア部材１２と駆動部材３２とを接続するリンク部材５４を説明する斜視図である。 ドア部材１２と駆動部材３２とを接続するリンク部材５４を説明する斜視図である。 ドア部材１２の構成を説明する側面図である。 ロードポートドア１２０が閉じられた状態を示す側面図である。 ロードポートドア１２０がＹ方向に移動した状態を示す側面図である。 ロードポートドア１２０がＺ方向に移動した状態を示す側面図である。 ロードポートドア１２０がＺ方向に下降した状態を示す側面図である。 ガイドローラ６１がガイド接続部５２Ｎを移動する動作を説明する模式図である。 本発明の第２実施形態に係るロードポート１０１のドア部材１２の構成を説明する側面図である。 ロードポートドア１２０が閉じられた状態を示す側面図である。 ロードポートドア１２０がＹ方向に移動した状態を示す側面図である。 ガイドローラ６１がガイド接続部５２Ｎを移動する状態を示す側面図である。 ロードポートドア１２０がＺ方向に移動した状態を示す側面図である。 ロードポートドア１２０がＺ方向に下降した状態を示す側面図である。 ロードポートドア１２０がＺ方向に下降した状態を示す側面図である。 本発明の変形例を説明する図である。 従来のロードポートが有する技術課題を説明する図である。

（第１実施形態）
以下、本発明の第１実施形態を、図面を参照して説明する。図１は、本発明の第１実施形態に係るロードポート１の側面図である。図２は、ロードポート１の載置テーブル１０及びフープ支持機構１１を取り外した状態を示す斜視図である。図３は、ロードポート１の載置テーブル１０及びフープ支持機構１１を取り外した状態を示す正面図である。

図１～図３に示すように、本実施形態のロードポート１は、半導体処理装置２０の取り付け面２１に固定して利用されるものである。ロードポート１は、載置テーブル１０に支持されたフープ５のフープドア６をドア部材１２に保持させて、ドア部材１２を取り付け面２１に直交する方向（水平方向）及び取り付け面２１に平行な方向（鉛直方向）に移動させることでフープドア６を開閉する。なお、以下では、取り付け面２１に直交する方向（水平方向）をＹ方向、取り付け面２１に平行な方向（鉛直方向）をＺ方向とも記載する。

フープ５は、内部に搬送対象物を水平方向に収納するための空間が形成された本体５ａと、本体５ａの開口を閉止するフープドア６とを備え、本体５ａの内部に収納された搬送対象物は、バネ等によって構成される図示しないリテーナにより本体５ａ内部に安定して支持されている。本実施形態では、矩形状（角型）をなす比較的大型の薄い搬送対象物（例えば平面サイズが６００ｍｍ×６００ｍｍ、５１５ｍｍ×５１０ｍｍ、厚さが０．２ｍｍから４．０ｍｍの基板）を適用している。

ロードポート１は、板状のベース部材３０を有している。ベース部材３０は、ロードポート装置１の一壁面を構成するものであり、ロードポート１は、ベース部材３０の裏面が取り付け面２１に当接した状態で半導体処理装置２０に固定される。ベース部材３０は、搬送対象物を出し入れする開口３０ａを有しており、開口３０ａの下方には、水平方向に延びる載置テーブル１０が取り付けられる。載置テーブル１０は、図２に示すように、水平方向に離れた２枚の載置板１０ａにより支持される。

載置テーブル１０は、その上面にフープ支持機構１１を介してフープ５を支持する。フープ支持機構１１は、支持するフープ５を固定した状態でＹ方向に往復移動可能に構成されており、フープ５を半導体処理装置２０に近接させたり、半導体処理装置２０から離間させることができる。

ドア部材１２は、開口３０ａを開閉可能な部材であり、フープ５のフープドア６を保持するロードポートドア１２０と、ロードポートドア１２０の下端に固定される接続部材１２１と、接続部材１２１に固定された２つのアーム部材１２２と、２つのアーム部材１２２を接続して保持する保持部材１２２ａとを有している。

ロードポートドア１２０は、フープ５のフープドア６と略同一の大きさを有する略矩形状の部材であり、フープドア６を保持するためのドア保持部１２０ａが設けられる。接続部１２１は、ロードポートドア１２０とアーム部材１２２とを接続する部材である。アーム部材１２２は、後で説明するように、Ｙ方向に延びた長方形状の部材である。

ベース部材３０には、図３に示すように、Ｚ方向に延びる挿通開口３１が形成されている。２つのアーム部材１２２は、それぞれ挿通開口３１を介してベース部材３０の裏面側から表面側に延びる。図３では、ベース部材３０の表面側が図示されている。２つのアーム部材１２２は、ベース部材３０の表面側で昇降移動する駆動部材３２にそれぞれ連結されるとともに、ベース部材３０の裏面側でロードポートドア１２０を保持する。アーム部材１２２は、挿通開口３１に沿ってＹ方向に移動する。

ベース部材３０の表面には、２つのガイド３３と、ボールねじ３４と、昇降用モータ３５とが固定されている。２つのガイド３３は、２つの挿通開口３１の外側において、挿通開口３１に沿ってＺ方向に延びる。ボールねじ３４は、２つのガイド３３の間においてＺ方向に延びる。ボールねじ３４の上端側部分は、支持部材３４ａ１により回転可能に支持され、その下端側部分は、支持部材３４ａ２により回転可能に支持される。

昇降用モータ３５は、ステッピングモータであり、その回転軸３５ａは、ボールねじ３４の下端部に形成された駆動軸３４ａとベルト３６を介して接続される。そのため、昇降用モータ３５の回転軸３５ａが回転駆動されると、その回転がボールねじ３４の駆動軸３４ａに伝達されて、ボールねじ３４が回転駆動される。

駆動部材３２は、ベース部材３０の表面に沿って延びる板状の部材であり、その両端部が２つのガイド３３に係合している。駆動部材３２は、ボールねじ３４を回転可能に支持するねじ穴（図示省略）を有しており、そのねじ穴を介してボールねじ３４に接続される。そのため、ボールねじ３４が回転駆動された場合、ボールねじ３４の回転移動が上下方向の直線移動に変換されて、駆動部材３２が２つのガイド３３に沿ってＺ方向に移動する。

本実施形態のロードポート１では、昇降用モータ３５の回転軸３５ａが所定方向に回転駆動されると、駆動部材３２がＺ方向に沿って下方に移動し、昇降用モータ３５の回転軸３５ａが所定方向と反対方向に回転駆動されると、駆動部材３２がＺ方向に沿って上方に移動する。そのため、本実施形態において、昇降用モータ３５、ベルト３６及びボールねじ３４は、駆動部材３２がＺ方向に移動させるための駆動手段Ｔを構成する。

２つの載置板１０ａは、図４に示すように、水平に配置される接続部材５０により接続されて一体に形成される。接続部材５０の先端側（ベース部材３０から離れた側）の外側には、略直方体形状のガイド部材５１が取り付けられる。２つのガイド部材５１は、接続部材５０の先端側の両側において載置板１０ａの内側に配置される。

２つのアーム部材１２２は、２枚の載置板１０ａの間において載置板１０ａに沿ってそれぞれ配置される。２つのアーム部材１２２は、図５及び図６に示すように、水平に配置される保持部材１２２ａにより接続されて一体に形成される。保持部材１２２ａ（ドア部材１２）の下面には、取付部材５３を介してリンク部材５４の上端が回転可能に取り付けられる。駆動部材３２の下端には、取付部材５５を介してリンク部材５４の下端が回転可能に取り付けられる。このように、リンク部材５４の両端が回転可能に接続されており、リンク部材５４の傾斜方向（鉛直方向に対するリンク部材５４の長手方向の傾斜方向）が変化可能である。本実施形態では、１つのリンク部材５４によりリンク機構Ｎが構成される。

アーム部材１２２の先端側（ベース部材３０から離れた側）の外側面には、図７に示すように、ローラ保持部６０を介してガイドローラ６１が取り付けられる。ローラ保持部６０は、アーム部材１２２の上端に取り付けられ、アーム部材１２２の上端より上方に突出する。ガイドローラ６１は、ローラ保持部６０の上端において回転可能に取り付けられる。そのため、ガイドローラ６１は、アーム部材１２２の上端より上方に配置される。

また、アーム部材１２２の先端面には、ばね保持部材６２を介してばね６３が取り付けられる。ばね６３は、アーム部材１２２の外側面に沿って配置され、その長手方向は、Ｙ方向と略平行である。ばね６３は、ドア部材１２とともに移動可能である。

アーム部材１２２と載置板１０ａとの間には、ばね受け板６４が配置される。ばね受け板６４の先端面（ベース部材３０から離れた側の面）の下部には、ばね受け部６４ａが形成される。アーム部材１２２の外周面とばね受け板６４の内周面との距離と、アーム部材１２２の外周面とばね６３の軸中心との距離とは、略同一である。そのため、ばね６３とばね受け部６４ａとが離れた状態から、アーム部材１２２がＹ方向に移動すると、ばね６３がばね受け部６４ａと接触する。ばね受け部材６４は、ガイドローラ６１がガイド接続部５２Ｎに近づくように移動して、ガイドローラ６１とガイド接続部５２Ｎとの距離が所定距離（ガイドローラ６１がガイド接続部５２Ｎの直前の位置に到達したときのガイドローラ６１とガイド接続部５２Ｎとの距離）になった場合に、ばね６３と接触する位置に配置される。

本実施形態において、ガイドローラ６１に作用するばね６３の押圧力の方向は、フープドア６（ドア部材１２）をＹ方向に移動させるドア駆動力と反対方向である。駆動部材３２をＺ方向に移動させることによりフープドア６をＹ方向に移動させるが、ばね６３の押圧力は、フープドア６（ドア部材１２）をＹ方向に移動させるドア駆動力よりも小さい。

ガイドローラ６１及びばね６３は、アーム部材１２２に取り付けられており、アーム部材１２２と一体に移動する。具体的には、アーム部材１２２がＹ方向に沿って移動すると、ガイドローラ６１及びばね６３も同様にＹ方向に移動する。アーム部材１２２がＺ方向に沿って移動すると、ガイドローラ６１及びばね６３も同様にＺ方向に移動する。

ガイド部材５１の上面は、ガイドローラ６１をＹ方向に沿って案内するガイド面５２aであり、ガイド部材５１のベース部材３０側の端面は、ガイドローラ６１をＺ方向に沿って案内するガイド面５２ｂである。本実施形態において、Ｙ方向に沿ったガイド面５２ａとＺ方向に沿ったガイド面５２ｂとは、ガイド接続部５２Ｎにより接続され、ガイド面５２ａ、ガイド接続部５２Ｎ及びガイド面５２ｂは、ガイド面５２を構成する。

なお、本実施形態のロードポート１において、載置テーブル１０の下部には、ベース部材３０の表面側に配置された上記の各部材を覆う図示しないカバーが配置されている。

本実施形態のロードポート１では、２つのアーム部材１２２のそれぞれにガイドローラ６１が取り付けられており、２つのガイドローラ６１に対してガイド面５２がそれぞれ配置される。２つのアーム部材１２２及び２つのガイド面５２は、駆動部材３２の両側に配置されており、ばね６３は、ガイドローラ６１を案内するガイド面５２ごとに配置される。

本実施形態のロードポート１において、フープ５のフープドア６を開放するドア開動作について、図８～図１２に基づいて説明する。

図８（ａ）は、フープ５のフープドア６を保持したロードポートドア１２０が閉じられた状態を示しており、そのときのアーム部材１２２などの状態を図示するために、図８（ｂ）では、載置板１０ａの図示を省略している（図９（ｂ）～図１０（ｂ）においても同様）。

ロードポートドア１２０が閉じられた状態では、図８（ｂ）に示すように、アーム部材１２２に取り付けられたガイドローラ６１は、Ｙ方向に沿ったガイド面５２ａの先端側（ベース部材３０から離れた側）に配置される。そのとき、アーム部材１２２に取り付けられたばね６３は、ばね受け部６４ａから離れた状態である。

ロードポート装置１において、フープ５のフープドア６を開放するドア開動作が開始されると、昇降用モータ３５が駆動されてボールねじ３４を回転させることで、駆動部材３２がガイド３３に沿ってＺ方向に下降を開始する。そのとき、ガイドローラ６１は、Ｙ方向に沿ったガイド面５２ａ上に配置されるため、下方向に移動することはできず、Ｙ方向に沿ったガイド面５２ａ上をベース部材３０に向けてＹ方向に動き出す。

ガイドローラ６１の移動に伴って、リンク部材５４は、２つのアーム部材１２２を保持する保持部材１２２ａに取り付けられた取り付け部材５３と、駆動部材３２に取り付けられた取り付け部材５５とに対してそれぞれ回動しながら、鉛直方向に対する傾きを小さくしていく。そのとき、アーム部材１２２に取り付けられたばね６３は、ばね受け部６４ａに向かって移動する。

さらに、駆動部材３２がガイド３３に沿って下降すると、ガイドローラ６１は、Ｙ方向に沿ったガイド面５２ａ上をベース部材３０に向けてＹ方向に移動して、図９（ｂ）に示すように、ガイド接続部５２Ｎの直前の位置に到達する。そのとき、アーム部材１２２に取り付けられたばね６３は、ばね受け部６４ａに接触する。フープドア６は、図９（ａ）に示すように、ベース部材３０の開口３０ａ内をＹ方向に移動して開かれる。

引き続き、駆動部材３２がガイド３３に沿って下降すると、アーム部材１２２に取り付けられたばね６３は縮んでいき、ガイドローラ６１は、ガイド接続部５２Ｎを超えて、図１０（ｂ）に示すように、Ｙ方向に沿ったガイド面５２ａからＺ方向に沿ったガイド面５２ｂに移動する。そのとき、ガイドローラ６１の移動に伴って、リンク部材５４は、鉛直方向に対する傾きを小さくしていくとともに、フープドア６は、図１０（ａ）に示すように、Ｚ方向に移動する。

その後、駆動部材３２がガイド３３に沿って下降すると、ガイドローラ６１は、Ｚ方向に沿ったガイド面５２ｂに沿ってＺ方向に下降する。そのとき、ガイドローラ６１の移動に伴って、リンク部材５４は、鉛直方向に対する傾きを変わらない。アーム部材１２２に取り付けられたばね６３の縮んだ長さも変わらない。フープドア６は、図１１に示すように、Ｚ方向に移動する。

ガイドローラ６１がガイド接続部５２Ｎを超えて移動する際の動作について、図１２に基づいて説明する。

図１２（ａ）は、ガイドローラ６１が、図９（ｂ）に示すように、Ｙ方向に沿ったガイド面５２ａ上を移動してガイド接続部５２Ｎの直前の位置に到達した状態を示している。そのとき、アーム部材１２２に取り付けられたばね６３は、ばね受け部６４ａに接触するが、そのばね６３が縮んでないため、ガイドローラ６１に対してばね６３の押圧力は作用しない。

本実施形態において、Ｙ方向に沿ったガイド面５２ａは、水平方向に延びた平面であり、Ｚ方向に沿ったガイド面５２ｂは、鉛直方向に延びた平面である。ガイド面５２ａとガイド面５２ｂとを接続するガイド接続部５２Ｎは、ガイドローラ６１が、ガイド面５２ａからガイド面５２ｂに滑らかに移動するように、Ｒ形状（曲面）に形成される。

図１２（ｂ）は、ガイドローラ６１が、ガイド接続部５２Ｎを移動する状態を示している。ガイドローラ６１の下端部の一部は、Ｙ方向に沿ったガイド面５２ａよりも下方に配置される。そのとき、アーム部材１２２に取り付けられたばね６３は、ばね受け部６４ａに接触して縮んでいるため、ガイドローラ６１に対してばね６３のＹ方向に沿った押圧力が作用する。そのため、ガイドローラ６１は、ガイド接続部５２Ｎに向かって押圧された状態で移動することから、ガイドローラ６１の下端部の一部は、ガイド接続部５２Ｎに接触した状態で移動する。よって、リンク機構Ｎに適正なクリアランスがあったとしても、ガイドローラ６１とガイド接続部５２Ｎとの間に隙間が形成されない。

図１２（ｃ）は、ガイドローラ６１が、図１０（ｂ）に示すように、ガイド接続部５２Ｎを超えた状態を示している。そのとき、アーム部材１２２に取り付けられたばね６３の縮んだ長さが、図１２（ｂ）と比べて大きくなり、ガイドローラ６１に対して作用するばね６３の押圧力が大きくなる。

本実施形態では、ガイドローラ６１がガイド接続部５２Ｎを移動する際、ガイドローラ６１に対して作用するばね６３の押圧力は、徐々に増加して、ガイドローラ６１がガイド接続部５２Ｎを超えたときに、ばね６３の縮んだ長さが最大となり、ばね６３の押圧力が最大となる。

フープ５のフープドア６を閉止するドア閉止動作時では、昇降用モータ３５が前述の開動作時とは逆方向に駆動されてボールねじ３４が逆方向に回転することで、駆動部材３２がガイド３３に沿って上昇し、フープ５のフープドア６を保持したロードポートドア１２０が上昇する。そのとき、リンク部材５４は、図１１に示す状態から図１０に示す状態となるように傾きを変化させることなく上昇して、ガイドローラ６１は、Ｚ方向に沿ったガイド面５２ｂ上を上下方向に移動して、ガイド接続部５２Ｎの直前の位置に到達する。

さらに、駆動部材３２がガイド３３に沿って上昇すると、ガイドローラ６１は、図９に示す状態となるように、ガイド接続部５２Ｎを超えてＺ方向に沿ったガイド面５２ｂからＹ方向に沿ったガイド面５２ａに移動する。その後、フープドア６の閉動作では、ガイドローラ６１がＹ方向に沿って移動すると、リンク部材５４は、鉛直方向に対する傾きを大きくしていくとともに、アーム部材１２２に取り付けられたばね６３は、ばね受け部６４ａから離れていく。そのとき、図８に示す状態となり、フープ５のフープドア６を保持するポートドア１２０が閉じられた状態になる。

以上のように本実施形態におけるロードポート１は、搬送対象物を出し入れする開口３０ａを有する板状のベース部材３０と、開口３０ａを開閉可能なドア部材１２と、ドア部材１２に一端が回動可能に連結されたリンク部材５４を有するリンク機構Ｎと、ドア部材１２とともに移動するガイドローラ６１と、Ｙ方向からＺ方向に屈曲して延在し、ガイドローラ６１を案内するガイド面５２と、リンク部材５４の他端が回動可能に連結される駆動部材３２と、駆動部材３２をＺ方向に移動させるための駆動手段Ｔとを備え、リンク機構Ｎは、リンク部材５４の他端がＺ方向へ移動している状態で、ガイドローラ６１がガイド面５２に沿ってＹ方向からＺ方向またはＺ方向からＹ方向へ移動することを許容するように構成され、ガイドローラ６１が、Ｙ方向に沿ったガイド面５２ａ（第１ガイド面）とＺ方向に沿ったガイド面５２ｂ（第２ガイド面）とを接続するガイド接続部５２Ｎを通過する際に、ガイドローラ６１をガイド接続部５２Ｎに向かって押圧するばね６３（押圧手段）を備える。

このようにすると、ガイドローラ６１がＹ方向に沿ったガイド面５２ａとＺ方向に沿ったガイド面５２ｂとを接続するガイド接続部５２Ｎを通過する際に、ガイド接続部５２Ｎに向かって押圧されるため、ガイドローラ６１は、ガイド接続部５２Ｎと接触した状態でガイド接続部５２Ｎを通過する。そのため、ガイドローラ６１とガイド接続部５２Ｎとの間に隙間が形成されなくなり、ドア開閉時にフープドア６が振動するのを抑制できる。そのため、フープドア６の振動により、異音の発生やＦＯＵＰドアの落下を防止することができるとともに、ガイドローラ６１の摩耗を早めたり、ガイドローラ６１に亀裂が発生したり、他の部品と共振したり、パーティクルが発生する問題を防止できる。よって、ドア開閉速度の向上が可能となり、ドア開閉動作時間を短縮することができる。

本実施形態におけるロードポート１において、押圧手段として、Ｙ方向に沿って配置されるばね６３を有している

このように構成すると、ガイドローラ６１をガイド接続部５２Ｎに向かって押圧する押圧手段をロードポート１に対して容易に配置することができる。

本実施形態におけるロードポート１において、ばね６３は、ドア部材１２とともに移動可能であり、ガイドローラ６１がガイド接続部５２Ｎに近づくように移動して両者間の距離が所定距離になった場合に、ばね６３と接触する位置に配置されたばね受け部材６４を備える。

このように構成すると、ばね６３が移動する側のドア部材１２に取り付けられており、ばね６３が移動しない側の部材に取り付けられている場合と比べて、ばね６３を容易に取り換えることができる。

本実施形態におけるロードポート１において、ばね６３の押圧力は、駆動部材３２がＺ方向に移動する際にドア部材１２をＹ方向へ移動させるドア駆動力よりも小さい。

このように構成すると、ばね６３を配置した場合でも、ドア部材１２をＹ方向へ移動させるための駆動力をほとんど増加させる必要がない。

本発明のロードポート１において、ガイド面５２は、駆動部材３２の両側に２つ配置され、ばね６３は、ガイド面５２ごとに配置される。

このように構成すると、リンク部材５４の一端に取り付けられたガイドローラ６１が２つのガイド面５２に対して均等に押圧されるため、フープドア６が傾くのを抑制することができる。この構成は、特に、近年の搬送対象物（例えば基板）の大型化によってＦＯＵＰ及びＦＯＵＰドアが大型化して、それらの重量が重くなっており、それに伴って振動も大きくなるような場合に有効である。

（第２実施形態）
本実施形態のロードポート１０１が第１実施形態のロードポート１と異なる点は、第１実施形態のロードポート１では、ドア開動作の際にアーム部材１２２がＺ方向に下降するときにガイドローラ６１がガイド部材５１によりガイドされるのに対して、本実施形態のロードポート１０１では、ドア開動作の際にアーム部材１２２がＺ方向に下降するときにガイドローラ６１がガイド部材５１によりガイドされた後で、ガイドローラ１６１がガイド部材１５１によりガイドされる点である。なお、ロードポート１０１の構成において、ロードポート１の構成と同一である部分については、詳細な説明を省略する。

本実施形態のロードポート１０１は、図１３に示すように、アーム部材１２２の先端側（ベース部材３０から離れた側）の外側面には、ローラ保持部６０を介してガイドローラ６１が取り付けられるとともに、アーム部材１２２の基端側（ベース部材３０に近接する側）の内側面には、ローラ保持部１６０を介してガイドローラ１６１が取り付けられる。なお、図１３では、アーム部材１２２などの状態を図示するために、載置板１０ａ等の図示を省略している。

ローラ保持部１６０は、アーム部材１２２の下端に取り付けられ、アーム部材１２２の下端より下方に突出する。ガイドローラ１６１は、ローラ保持部１６０の下端において回転可能に取り付けられる。そのため、ガイドローラ１６１は、アーム部材１２２の下端より下方に配置される。

ガイドローラ１６１は、アーム部材１２２に取り付けられており、アーム部材１２２と一体に移動する。具体的には、アーム部材１２２がＹ方向に沿って移動すると、ガイドローラ１６１も同様にＹ方向に移動する。アーム部材１２２がＺ方向に沿って移動すると、ガイドローラ１６１も同様にＺ方向に移動する。

ベース部材３０の表面近傍には、ガイド部材１５１が配置される。ガイド部材１５１は、上下方向に延びる板状部材である。ガイド部材１５１は、ロードポート１０１の幅方向について、ガイドローラ１６１と略同一位置に配置される。

ガイド部材１５１のベース部材３０側の端面は、ガイドローラ１６１をＺ方向に沿って案内するガイド面１５２ｂである。本実施形態において、Ｚ方向に沿ったガイド面１５２ｂの上端には、斜面部１５２Ｎが形成される。斜面部１５２Ｎは、ガイドローラ１６１がガイド部材１５１に対して滑らかに接触するために形成される。斜面部１５２Ｎは、下方にいくにつれてベース部材３０に近づくように傾斜する。斜面部１５２Ｎは、Ｒ形状（曲面）に形成されてもよい。

本実施形態のロードポート１０１では、２つのアーム部材１２２のそれぞれにガイドローラ６１及びガイドローラ１６１が取り付けられている。２つのガイドローラ６１に対してガイド部材５１がそれぞれ配置されるとともに、２つのガイドローラ１６１に対してガイド部材１５１がそれぞれ配置される。

本実施形態のロードポート１０１において、フープ５のフープドア６を開放するドア開動作について、図１４～図１９に基づいて説明する。

図１４（ａ）は、フープ５のフープドア６を保持したロードポートドア１２０が閉じられた状態を示しており、そのときのアーム部材１２２などの状態を図示するために、図１４（ｂ）では、載置板１０ａの図示を省略している（図１５（ｂ）～図１９（ｂ）においても同様）。

ロードポートドア１２０が閉じられた状態では、図１４（ｂ）に示すように、アーム部材１２２に取り付けられたガイドローラ６１は、Ｙ方向に沿ったガイド面５２ａの先端側（ベース部材３０から離れた側）に配置される。そのとき、アーム部材１２２に取り付けられたばね６３は、ばね受け部６４ａから離れた状態である。また、アーム部材１２２に取り付けられたガイドローラ１６１は、Ｚ方向に沿ったガイド部材１５１よりも先端側（ベース部材３０から離れた側）にあり、ガイド部材１５１から離れた状態である。

ロードポート装置１０１において、フープ５のフープドア６を開放するドア開動作が開始されると、昇降用モータ３５が駆動されてボールねじ３４を回転させることで、駆動部材３２がガイド３３に沿ってＺ方向に下降を開始する。そのとき、ガイドローラ６１は、Ｙ方向に沿ったガイド面５２ａ上に配置されるため、下方向に移動することはできず、Ｙ方向に沿ったガイド面５２ａ上をベース部材３０に向けてＹ方向に動き出す。

ガイドローラ６１の移動に伴って、リンク部材５４は、２つのアーム部材１２２を保持する保持部材１２２ａに取り付けられた取り付け部材５３と、駆動部材３２に取り付けられた取り付け部材５５とに対してそれぞれ回動しながら、鉛直方向に対する傾きを小さくしていく。そのとき、アーム部材１２２に取り付けられたばね６３は、ばね受け部６４ａに向かって移動する。

さらに、駆動部材３２がガイド３３に沿って下降すると、ガイドローラ６１は、Ｙ方向に沿ったガイド面５２ａ上をベース部材３０に向けてＹ方向に移動して、図１５（ｂ）に示すように、ガイド接続部５２Ｎの直前の位置に到達する。そのとき、アーム部材１２２に取り付けられたばね６３は、ばね受け部６４ａに接触する。フープドア６は、図１５（ａ）に示すように、ベース部材３０の開口３０ａ内をＹ方向に移動して開かれる。

引き続き、駆動部材３２がガイド３３に沿って下降すると、アーム部材１２２に取り付けられたばね６３は縮んでいき、ガイドローラ６１は、図１６（ｂ）に示すように、ガイド接続部５２Ｎと接触しながら移動する。ガイドローラ６１の下端部の一部は、Ｙ方向に沿ったガイド面５２ａよりも下方に配置される。そのとき、アーム部材１２２に取り付けられたばね６３は、ばね受け部６４ａに接触して縮んでいるため、ガイドローラ６１に対してばね６３のＹ方向に沿った押圧力が作用する。そのため、ガイドローラ６１は、ガイド接続部５２Ｎに向かって押圧された状態で移動することから、ガイドローラ６１の下端部の一部は、ガイド接続部５２Ｎに接触した状態で移動する。よって、リンク機構Ｎに適正なクリアランスがあったとしても、ガイドローラ６１とガイド接続部５２Ｎとの間に隙間が形成されない。そのとき、アーム部材１２２に取り付けられたガイドローラ１６１は、Ｚ方向に沿ったガイド部材１５１の上方に配置されるが、ガイド部材１５１から離れた状態である。

引き続き、駆動部材３２がガイド３３に沿って下降すると、アーム部材１２２に取り付けられたばね６３はさらに縮んでいき、ガイドローラ６１は、ガイド接続部５２Ｎを超えて、図１７（ｂ）に示すように、Ｙ方向に沿ったガイド面５２ａからＺ方向に沿ったガイド面５２ｂに移動する。そのとき、ガイドローラ６１の移動に伴って、リンク部材５４は、鉛直方向に対する傾きを小さくしていくとともに、フープドア６は、図１７（ａ）に示すように、Ｚ方向に移動する。

その後、駆動部材３２がガイド３３に沿って下降すると、ガイドローラ６１は、図１８（ｂ）に示すように、Ｚ方向に沿ったガイド面５２ｂによりガイドされてＺ方向に下降する。そのとき、ガイドローラ６１の移動に伴って、リンク部材５４は、鉛直方向に対する傾きを変わらない。アーム部材１２２に取り付けられたばね６３の縮んだ長さも変わらない。フープドア６は、図１８（ａ）に示すように、Ｚ方向に移動する。

このように、ガイドローラ６１がガイド面５２ｂによりガイドされてＺ方向に下降すると、ガイドローラ１６１が、図１８（ｂ）に示すように、Ｚ方向に沿ったガイド部材１５１の斜面部１５２Ｎと接触する。ガイドローラ１６１が、斜面部１５２Ｎと接触したとき、ガイドローラ６１は、Ｚ方向に沿ったガイド面５２ｂと接触している。そのため、アーム部材１２２は、ガイドローラ６１がガイド面５２ｂによりガイドされて移動するとともに、ガイドローラ１６１が斜面部１５２Ｎによりガイドされて下降する。

その後、駆動部材３２がガイド３３に沿って下降すると、アーム部材１２２に取り付けられたばね６３が最も縮んだ状態となり、ガイドローラ１６１は、図１９（ｂ）に示すように、斜面部１５２Ｎを超えて、斜面部１５２ＮからＺ方向に沿ったガイド部材１５１のガイド面１５２ｂに移動する。そのとき、ガイドローラ１６１の移動に伴って、リンク部材５４は、鉛直方向に対する傾きをさらに小さくしていくとともに、フープドア６は、図１９（ａ）に示すように、Ｚ方向に移動する。

このように、ガイドローラ１６１が斜面部１５２Ｎを超えてガイド面１５２ｂに移動すると、ガイドローラ１６１が斜面部１５２Ｎと接触しているときよりもベース部材３０に近接した位置に配置される。そのため、ガイド部材５１のガイド面５２ｂによりガイドされていたガイドローラ６１は、図１９（ｂ）に示すように、ガイド面５２ｂから離れた位置に移動する

その後は、アーム部材１２２は、ガイドローラ６１がガイド面５２ｂから離れた状態で、ガイドローラ１６１がガイド面１５２ｂによりガイドされて下降する。そのとき、フープドア６は、図１１に示したロードポート１と同様に、Ｚ方向に移動する。

なお、ドア開動作時においてガイドローラ６１がガイド接続部５２Ｎを超えて移動する際の動作、および、ドア閉止動作は、第1実施形態と同様である。

以上のように本実施形態におけるロードポート１０１では、第１実施形態におけるロードポート１と同様の効果が得られる。

また、フープ５のフープドア６を開いてアーム部材１２２が下降する場合に、アーム部材１２２は、まず、ガイドローラ６１がガイド面５２ｂによりガイドされた状態で下降した後、ガイドローラ１６１がガイド面１５２ｂによりガイドされた状態で下降する。すなわち、アーム部材１２２が下降する際にガイドする部分が、ガイド面５２ｂからガイド面１５２ｂに切り替わる。

例えば、ガイド面５２ｂが下方に向かって延びており、フープ５のフープドア６を開放するドア開動作が行われている間、常に、アーム部材１２２の先端部に取り付けられたガイドローラ６１がガイド面５２ｂによりガイドされる場合を考える。

その場合、ガイド面５２ｂは、駆動部材３２のガイド３３から比較的離れた位置に配置されているため、アーム部材１２２が下降する間、アーム部材１２２には、常に大きなモーメントが作用する。そのため、その大きなモーメントによりアーム部材１２２が破損しないように、アーム部材１２２の強度を大きくする必要がある。よって、アーム部材１２２が大型化してしまう。

これに対して、本実施形態では、フープ５のフープドア６を開放するドア開動作が行われている間、まず、アーム部材１２２の先端部に取り付けられたガイドローラ６１がガイド面５２ｂによりガイドされるが、その後、アーム部材１２２の基端部に取り付けられたガイドローラ１６１がガイド面１５２ｂによりガイドされるように切り替わる。ガイド面１５２ｂは、駆動部材３２のガイド３３と比較的近接した位置に配置されているため、ガイドローラ１６１がガイド面１５２ｂによりガイドされる場合、アーム部材１２２には、ガイドローラ６１がガイド面５２ｂによりガイドされる場合と比べて、小さなモーメントが作用する。そのため、アーム部材１２２の強度をそれほど大きくする必要がない。よって、アーム部材１２２を小型化することができる。

このように、フープ５のフープドア６を開放するドア開動作が行われる際に、アーム部材１２２をＺ方向にガイドする箇所を、駆動部材３２のガイド３３から比較的離れた位置に配置されたガイド面５２ｂから、駆動部材３２のガイド３３と比較的近接した位置に配置されたガイド面１５２ｂに切り替えることで、アーム部材１２２を小型化することができる。そのため、ロードポート１０１の載置テーブル１０の下方のスペースにおいて、ガイド部材１５１の配置の自由度が大きくなる。また、本実施形態では、図２０のような従来の構造と比較すると、アーム部材１２２をガイドするガイド部材をガイド部材５１とガイド部材１５１にセパレートして別々の場所に配置可能なため、リンク機構を小型化しつつ、ガイド部材の配置場所の自由度を大きくすることができる。

なお、各部の具体的な構成は、上述した実施形態のみに限定されるものではない。

上記第１及び第２実施形態では、ガイドローラ６１をガイド接続部５２Ｎに向かって押圧する押圧手段として、ばね６３が使用されているが、それに限られない。押圧手段は、ガイドローラ６１をガイド接続部５２Ｎに向かって押圧するものであれば、任意である。押圧手段として、例えば、エアシリンダ等の空圧装置や、ショックアブソーバ等の衝撃吸収装置を使用してもよい。

上記第１及び第２実施形態では、ばね６３の押圧力の方向がＹ方向に沿っているが、それに限られない。ばね６３の押圧力の方向は、ガイドローラ６１をガイド接続部５２Ｎに向かって押圧する方向であれば任意である。

上記第１及び第２実施形態では、ガイド面５２（Ｙ方向に沿ったガイド面５２ａ及びＺ方向に沿ったガイド面５２ｂ）が、ガイド部材５１の上面及び端面により形成されるが、それに限られない。ガイド面５２は、ガイドローラ６１を案内可能であれば、例えばガイドローラ６１が移動可能に形成されたガイド溝でもよい。

上記第１及び第２実施形態では、ばね６３が移動するドア部材１２に取り付けられ、ばね６３が移動しない部材（ばね受け部材６４）に近づいて接触するが、それに限られない。例えば、ばね６３が移動しない部材（ばね受け部材６４）に取り付けられ、移動するドア部材１２に取り付けられた部材がばね６３に近づいて接触してもよい。

上記第１及び第２実施形態では、ガイド面５２ａとガイド面５２ｂとを接続するガイド接続部５２Ｎが、ガイドローラ６１が、ガイド面５２ａからガイド面５２ｂに滑らかに移動するように、Ｒ形状（曲面）に形成されるが、それに限られない。ガイド面５２ａとガイド面５２ｂとを接続するガイド接続部５２Ｎが、Ｒ形状（曲面）を介さずに接続されてもよい。例えば、Ｙ方向に沿ったガイド面５２ａは、水平方向に延びた平面であり、Ｚ方向に沿ったガイド面５２ｂは、鉛直方向に延びた平面である場合に、ガイド面５２ａとガイド面５２ｂとが垂直に接続されてもよい。その際、ガイド面５２ａとガイド面５２ｂとを接続するガイド接続部５２Ｎは、ガイド面５２ａとガイド面５２ｂとが直線状に接続される部分である。その場合も、リンク部材の一端が、ガイド接続部５２Ｎを通過する際に、リンク部材の一端をガイド接続部５２Ｎに向かって押圧する押圧手段を備えることで、本発明の効果が得られる。

上記第１及び第２実施形態では、第１方向を水平方向に設定し、第２方向を鉛直方向に設定していたが、第１方向及び第２方向を水平方向、鉛直方向と異なる方向に設定してもよい。

上記第１及び第２実施形態では、駆動部材３２をＺ方向に沿って駆動するための駆動手段Ｔが、ボールねじを有しているが、それに限られない。駆動手段Ｔは、歯付きベルトの回転に伴って駆動部材３２を移動させるものや、上下方向に往復移動する昇降装置を用いてもよい。

上記第１実施形態では、２つのガイド面５２を有しており、ばね６３は、ガイド面５２ごとに配置されるが、それに限られない。例えば、１つのばねが、２つのガイド面５２の何れか一方にだけ配置されてもよい。本発明のロードポートは、１つのガイド面５２を有しており、１つのガイド面５２に対して１つのばねが配置されてもよい。

また、上記第２実施形態では、ロードポート１０１の幅方向に離れた位置に配置された２つのガイド部材５１および２つのガイド部材１５１を有しているが、それに限られない。例えば、ロードポート１０１の幅方向について所定の位置に配置された１つのガイド部材５１および１つのガイド部材１５１を有していてもよい。

上記第１及び第２実施形態では、１つのリンク部材５４によりリンク機構Ｎが構成されるが、それに限られない。本発明のリンク機構Ｎは、リンク部材の他端がＺ方向へ移動している状態で、ガイドローラがガイド面に沿ってＹ方向からＺ方向またはＺ方向からＹ方向へ移動することを許容するように構成されたものであればよい。

例えば、本発明は、図２０に示すように、主動リンク３３１と従動リンク３３２を有するリンク機構Ｎを備えたロードポート３０１（特開２０１４－２２５５４７号公報に記載されたロードポート）にも適用可能である。ロードポート３０１において、主動リンク３３１の他端がＺ方向へ移動している状態で、ドア部材１２とともに移動するガイドローラ３６１が、ガイド面３５２に沿ってＹ方向からＺ方向またはＺ方向からＹ方向へ移動することを許容するように構成され、ガイドローラ３６１が、Ｙ方向に沿ったガイド面３５２ａとＺ方向に沿ったガイド面３５２ｂとを接続するガイド接続部３５２Ｎを通過する際に、ガイドローラ３６１をガイド接続部３５２Ｎに向かって押圧する押圧手段を備えてもよい。

上記第１及び第２実施形態において、搬送対象物である基板の材質は任意である。例えば、搬送対象物である基板は、ウェハ、リングフレームなどの円型基板、ガラス製の基板や樹脂製の基板、その他の角型基板などでもよい。

上記第１及び第２実施形態では、基板を収容する収納容器としてＦＯＵＰ５を用いていたが、他の形態のドア付き収納容器を使用する場合であっても同様に構成し、上記に準じた効果を得ることが可能である。収納容器としては、ＦＯＵＰの他、例えばＦＯＳＢ（Front Opening Shipping Box）、オープンカセットなどを使用可能である。また、収納容器にはＦＯＵＰドアがなくてもよい。

１ ロードポート
５ フープ（収納容器）
６ フープドア
１２ ドア部材
３２ 駆動部材
５１ ガイド部材
５２ ガイド面
５２ａ Ｙ方向に沿ったガイド面
５２ｂ Ｚ方向に沿ったガイド面
５２Ｎ ガイド接続部
５４ リンク部材
６１ ガイドローラ
６３ ばね（弾性部材、押圧手段）
６４ ばね受け部材（弾性部材受け部材）
１０１ ロードポート
１５１ ガイド部材
１５２ｂ Ｚ方向に沿ったガイド面
１６１ ガイドローラ
Ｎ リンク機構
Ｔ 駆動手段

Claims (5)

1. 搬送対象物を出し入れする開口を有する板状のベース部材と、
   前記開口を開閉可能なドア部材と、
   前記ドア部材に一端が回動可能に連結されたリンク部材を有するリンク機構と、
   前記ドア部材とともに移動するガイドローラと、
   第１方向から第２方向に屈曲して延在し、前記ガイドローラを案内するガイド面と、
   前記リンク部材の他端が回動可能に連結される駆動部材と、
   前記駆動部材を前記第２方向に移動させるための駆動手段とを備え、
   前記リンク機構は、前記リンク部材の他端が前記第２方向へ移動している状態で、前記ガイドローラが前記ガイド面に沿って前記第１方向から前記第２方向または前記第２方向から前記第１方向へ移動することを許容するように構成され、
   前記ガイドローラが、前記第１方向に沿った第１ガイド面と前記第２方向に沿った第２ガイド面とを接続するガイド接続部を通過する際に、前記ガイドローラを前記ガイド接続部に向かって押圧する押圧手段を備えることを特徴とするロードポート。
2. 前記押圧手段は、前記第１方向に沿って配置される弾性部材を有していることを特徴とする請求項１記載のロードポート。
3. 前記弾性部材は、前記ドア部材とともに移動可能であり、
   前記ガイドローラが前記ガイド接続部に近づくように移動して両者間の距離が所定距離になった場合に、前記弾性部材と接触する位置に配置された弾性部材受け部材を備えることを特徴とする請求項２記載のロードポート。
4. 前記押圧手段の押圧力は、前記駆動部材が前記第２方向に移動する際に前記ドア部材を前記第１方向へ移動させる駆動力よりも小さいことを特徴とする請求項１～３何れかに記載のロードポート。
5. 前記ガイド面は、前記駆動部材の両側に２つ配置され、
   前記押圧手段は、前記ガイド面ごとに配置されることを特徴とする請求項１～３何れかに記載のロードポート。

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