CN108538692B - 升降门装置和晶片传输系统 - Google Patents

Abstract

本发明属于半导体加工技术领域，具体涉及升降门装置和晶片传输系统。该升降门装置包括连接模块、定位模块、传动模块和动力模块：连接模块用于连接腔室门和腔室，并与定位模块可活动连接；定位模块设置于与腔室门所在平面垂直的腔室的外壁，用于调节腔室门相对于腔室的距离，并限制传动模块在腔室的外壁的相对移动位置；动力模块设置于腔室的一端，与传动模块连接，用于为传动模块提供动力；传动模块设置于腔室与腔室门所在平面垂直的腔室的外壁，与定位模块可活动连接，用于在动力模块的动力驱动下沿平行于腔室门所在平面的方向移动。该升降门装置结构简单、装配调试简单，能准确限制腔室门的上升和下降，压紧和顶开过程中腔室门始终与腔室平行。

Description

升降门装置和晶片传输系统

技术领域

本发明属于半导体加工技术领域，具体涉及一种升降门装置和晶片传输系统。

背景技术

在半导体的制程工艺中(比如8英寸晶片)，需要处理的晶片需要从大气环境中逐步传送到密封的反应腔室中进行工艺处理，比如刻蚀工艺(Etch)、物理气象沉积工艺(PVD)等。把晶片传送到反应腔室，需要一个由一系列的大气设备和真空设备等组成的晶片传输系统，如图1所示即常见的半导体工艺用晶片传输系统的局部示意图。

图1中，传输系统由装载腔102(Loadlock)、真空机械手103(Vacuum Robot)、传输腔室104(Transport Chamber)、工艺腔室105(Process Chamber)构成，其中装载腔102会在大气和真空之间切换，而传输腔室104和工艺腔室105一直处于高真空状态，当装载腔102处于大气时，将晶片放入装载腔102，然后装载腔102的腔室门自动关上，装载腔102的腔室抽成真空后，机械手103再进入装载腔102将晶片取走送入工艺腔室105进行相应的工艺。工艺完成后，机械手103将晶片从工艺腔室105取出放入装载腔102，然后装载腔102充大气，腔室门自动打开，操作人员从腔内取走晶片。

由于装载腔102需要在真空状态和大气状态切换，并且需要开关腔室门进行晶片的放入和取出操作，因此上述腔室门需要能够自动开关，且能够保证装载腔室的真空密封。如图2所示为现有升降门装置的示意图。其中，气缸110安装于腔室底板上，驱动板106(包括横向和纵向两部分，横向部分可参考图3)与气缸110之间分别用螺钉77连接，气缸110的升降实现驱动板106的升降。

如图3和图4所示，纵向的驱动板106上通过螺母固定有三个滚子115，滚子115布置在导轨107的两侧，保证纵向的驱动板106的升降过程中始终沿着导轨107运动。左侧的腔室门111(例如装载腔102的腔室门)与腔室门的连接板108之间通过螺钉77连接，连接板108与纵向的驱动板106之间下端有两根连杆109连接，形成平行四边形的四连杆结构，保证连接板108始终与纵向的驱动板106平行，从而保证腔室门111始终与腔室平行的升降。连接板108的上端与驱动板106之间有一根拉伸弹簧119连接，其拉力大于腔室门111的自重，保证腔室门111在升降时连杆109与纵向的驱动板106成垂直状态，从而将腔室门111推离腔室2(例如装载腔102的腔室)，腔室门111与腔室2之间有一定的缝隙，保证腔室门111在升降过程中不会蹭到腔室2。另外，腔室2的侧壁通过螺钉77固定有限位块126，挡块124通过螺钉固定在连接板108下端，连接板108上通过螺母固定有滚子115。

上述的升降门装置在腔室的另一侧成对称布置。

在关腔室门时，驱动板106被气缸110驱动上升，带动腔室门111与连接板108上升到预定位置，滚子115会碰到限位块126，限制腔室门111继续上升。同时驱动板106继续被气缸110驱动上升，四连杆结构中连杆109会相对连接板108转动，配合限位块126的限位作用，则使得腔室门111沿着水平方向被拉向腔室2，从而压紧腔室2与腔室门111之间的密封圈，实现密封。

相反，在腔室门开启时，首先驱动板106被气缸110驱动下降，由于弹簧119的拉伸作用，连杆109相对连接板108转动，趋近于水平，则驱动板106的下降会通过连杆109将腔室门111沿限位块126的下沿顶开，直至连杆109的转动碰到挡块124，防止连杆109在弹簧119的拉伸作用下转动角度过大而超过连杆109的水平位置(旋转轴121保证连杆109和连接板108之间能相对转动)，若转动超过图2的水平位置，则腔室门111又会被拉向腔室2，升降过程存在刮蹭腔室2的风险。

可见，现有的升降门装置存在如下问题：结构较为复杂，零件较多，装配调试复杂；以及弹簧在制作过程难以保持线性系数左右相同，会出现两端的连杆结构受力不同，两边磨损程度不同。因此，设计一种结构简单、装配简单、性能稳定的升降门装置成为目前亟待解决的技术问题。

发明内容

本发明所要解决的技术问题是针对现有技术中存在的上述不足，提供一种升降门装置和晶片传输系统，至少部分解决现有技术中升降门装置结构较为复杂，零件较多，装配调试复杂；以及，弹簧在制作过程难以保持线性系数左右相同，会出现两端的连杆结构受力不同，两边磨损不同的问题。

解决本发明技术问题所采用的技术方案是该升降门装置，用于使腔室门能相对腔室远离打开或靠近关闭密封，包括连接模块、定位模块、传动模块和动力模块，其中：

所述连接模块，用于连接所述腔室门和所述腔室，并与所述定位模块可活动连接；

所述定位模块，设置于与所述腔室门所在平面垂直的所述腔室的外壁，用于调节所述腔室门相对于所述腔室的距离，并限制所述传动模块在所述腔室的外壁的相对移动位置；

所述动力模块，设置于所述腔室的一端，与所述传动模块连接，用于为所述传动模块提供动力；

所述传动模块，设置于所述腔室与所述腔室门所在平面垂直的所述腔室的外壁，与所述定位模块可活动连接，用于在所述动力模块的动力驱动下沿平行于所述腔室门所在平面的方向移动，进而带动所述腔室门相对所述腔室做远离或靠近的方向移动。

优选的是，所述连接模块包括条状的第一连接板和第二连接板，所述第一连接板的一端固定连接至所述腔室门上，另一端活动连接至与所述腔室门所在平面垂直的所述腔室的外壁；所述第二连接板的一端固定连接至所述腔室门上，另一端活动连接至与所述腔室门所在平面垂直的所述腔室的外壁；

所述第一连接板与所述第二连接板长度不相等，互相平行设置、且二者均垂直于所述腔室门所在平面。

优选的是，所述定位模块包括第一导轨和第二导轨，所述第一导轨和所述第二导轨均固定设置于与所述腔室门所在平面垂直的所述腔室的外壁，所述第一连接板的另一端活动设置于所述第一导轨内，所述第二连接板的另一端活动设置于所述第二导轨内；

其中，所述第一导轨和所述第二导轨分别为同时包括两个具有夹角的方向延伸的、连续的封闭滚道，且封闭滚道中一个方向的延伸长度大于另一个方向的延伸长度。

优选的是，所述第一连接板的另一端设置有第一滚子，所述第一滚子的轴心与所述第一连接板固定连接，所述第一滚子的滚轮能沿所述第一导轨的封闭滚道做往复运动；

所述第二连接板的另一端设置有第二滚子，所述第二滚子的轴心与所述第二连接板固定连接，所述第二滚子的滚轮能沿所述第二导轨的封闭滚道做往复运动。

优选的是，所述第一导轨和所述第二导轨分别为包括条状以及在所述条状末端的直角外凸的轨道，所述外凸的延伸方向朝向所述腔室门所在平面；所述第一导轨和所述第二导轨的条状部分互相平行于所述腔室门所在平面设置、且延伸方向朝向所述动力模块所在端。

优选的是，所述第一导轨和所述第二导轨的所述条状部分之间的距离，等于所述第一连接板和所述第二连接板之间的距离。

优选的是，所述第一导轨和所述第二导轨形状相同、长度相等。

优选的是，所述传动模块包括固定杆、连接杆和传动板，其中：

所述传动板活动设置于与所述腔室门所在平面垂直的所述腔室的外壁，所述传动板位于所述第一导轨和所述第二导轨之间、且与所述第一导轨和所述第二导轨的条状部分互相平行；

所述固定杆与所述腔室门所在平面垂直设置，所述固定杆的一端固定连接至所述腔室门上、另一端与所述连接杆的一端活动连接，所述连接杆的另一端与所述传动板的一端活动连接，所述传动板的另一端突出于所述腔室的端部、且与所述动力模块连接。

优选的是，所述连接杆与所述固定杆和所述传动板的两转动中心之间的距离S1，所述固定杆的转动中心与所述传动板的转动中心之间与所述腔室门的垂直距离S3，以及所述第一导轨和所述第二导轨中与所述腔室门的有效垂直距离S2，满足算式：S1＞S2+S3。

优选的是，所述动力模块包括气缸以及与所述气缸连接的支撑板，所述气缸和所述支撑板均设置于所述腔室的端部的同侧，所述支撑板与所述传动板突出于所述腔室的端部的另一端连接；

所述气缸的直线往复方向与所述第一导轨和所述第二导轨的延伸长度较大的方向相同，所述支撑板所在平面与所述腔室门所在平面平行。

优选的是，包括两组所述连接模块、所述定位模块和所述传动模块，且分别对称设置于所述腔室相对的两侧；

两组所述传动模块均分别与所述动力模块连接。

一种晶片传输系统，包括可密封腔室，所述可密封腔室设置有能相对腔室远离打开或靠近关闭密封的腔室门，其中，所述可密封腔室的腔室门周边设置有上述的升降门装置。

本发明的有益效果是：该升降门装置结构简单、可靠性高及装配调试简单，且左右一致性好，能够准确限制腔室门的上升和下降，压紧和顶开过程中腔室门始终与腔室平行，完全解决了现有技术中升降门装置存在的问题，提高了生产效率及可靠性；

相应的，使得采用该升降门装置的晶片传输系统具有更佳的性能。

附图说明

图1为现有技术中晶片传输系统的结构示意图；

图2为现有技术中升降门装置的结构示意图；

图3为现有技术中升降门装置的侧视图；

图4为现有技术中升降门装置的局部侧视图；

图5为本发明实施例中升降门装置的结构示意图；

图6为本发明实施例中腔室门关闭状态的升降门装置的结构示意图；

图7为本发明实施例中腔室门打开状态的升降门装置结构示意图；

附图标记中：

对于图1-图4：

102－装载腔；103－机械手；104－传输腔室；105－工艺腔室；106－驱动板；107－导轨；108－连接板；109－连杆；110－气缸；111－腔室门；115－滚子；119－弹簧；121－旋转轴；124－挡块；126－限位块；2－腔室；77－螺钉；

对于图5-图7：

2－腔室；7－腔室门；8－第一连接板；9－固定杆；10－第一导轨；11－第一滚子；12－气缸；13－第二导轨；14－支撑板；15－第二连接板；16－传动板；17－第二滚子；18－旋转轴；19－连接杆；21－螺钉。

具体实施方式

为使本领域技术人员更好地理解本发明的技术方案，下面结合附图和具体实施方式对本发明升降门装置和晶片传输系统作进一步详细描述。

实施例1：

本实施例提供一种升降门装置和晶片传输系统，该升降门装置结构简单、装配简单、性能稳定。

一种升降门装置，用于使腔室门能相对腔室远离打开或靠近关闭密封，包括连接模块、定位模块、传动模块和动力模块，其中：

连接模块，用于连接腔室门和腔室，并与定位模块可活动连接；

定位模块，设置于与腔室门所在平面垂直的腔室的外壁，用于调节腔室门相对于腔室的距离，并限制传动模块在腔室的外壁的相对移动位置；

动力模块，设置于腔室的一端，与传动模块连接，用于为传动模块提供动力；

传动模块，设置于腔室与腔室门所在平面垂直的腔室的外壁，与定位模块可活动连接，用于在动力模块的驱动下沿平行于腔室门所在平面的方向移动，进而带动腔室门相对腔室做远离或靠近的方向移动。

该升降门装置适用于各种需自动打开或关闭腔室门的腔室应用，且根据腔室的设置方向，该升降门装置可置于腔室外壁的任意方向，只需依附于腔室门开口附近的外壁即可。例如，对于在竖直方向设置、腔室门的开启方向为水平方向(腔室门所在平面为竖直方向)的腔室，该升降门装置的动力模块竖直放置；而对于在水平方向设置、腔室门的开启方向为竖直方向(腔室门所在平面为水平方向)的腔室，该升降门装置的动力模块整体水平放置；当然，在某些特殊应用场合下，该升降门装置也可倾斜放置。本实施例以将升降门装置竖直放置作为示例，其他放置方向的情况可以此为例类比设置。

如图5-图7所示，该升降门装置中连接模块包括条状的第一连接板8和第二连接板15，第一连接板8的一端固定连接至腔室门7上，另一端活动连接至与腔室门7所在平面垂直的腔室2的外壁，第二连接板15的一端固定连接至腔室门7上，另一端活动连接至与腔室门7所在平面垂直的腔室2的外壁；第一连接板8与第二连接板15长度不相等，互相平行设置、且二者均垂直于腔室门7所在平面。这里，第一连接板8和第二连接板15的“一端”、“另一端”为固定特指，由与其连接的连接对象所决定，例如在本实施例中定义第一连接板8和第二连接板15与“腔室门”侧连接的为“一端”，与“腔室外壁”侧连接的为“另一端”。第一连接板8和第二连接板15二者一方面实现腔室门7与腔室2的连接，另一方面用于安装滚子，以便于对腔室门7的自动移动进行控制。

定位模块包括第一导轨10和第二导轨13，第一导轨10和第二导轨13固定设置于与腔室门7所在平面垂直的腔室2的外壁，第一导轨10和第二导轨13分别为同时包括两个具有夹角的方向延伸的、连续的封闭滚道，且封闭滚道中一个方向的延伸长度大于另一个方向的延伸长度；第一连接板8的另一端活动设置于第一导轨10内，第二连接板15的另一端活动设置于第二导轨13内。

本实施例的升降门装置中，对于封闭滚道，其延伸长度较大的一个方向用于限制传送模块的运动范围，也即限制腔室门相对腔室平移开的竖直距离；延伸长度较小的一个方向用于限制腔室门相对于腔室打开的水平距离。而且，两个延伸方向之间的夹角可以根据腔室外壁的可供固定定位模块的面积、以及预设的腔室门的打开或关闭轨道线路设置为不同的角度，锐角、直角或钝角均不做限定。

其中，第一连接板8的另一端设置有第一滚子11，第一滚子11的轴心与第一连接板8固定连接，第一滚子11的滚轮能沿第一导轨10的封闭滚道做往复运动；第二连接板15的另一端设置有第二滚子17，第二滚子17的轴心与第二连接板15固定连接，第二滚子17的滚轮能沿第二导轨13的封闭滚道做往复运动。滚子沿封闭滚道做往复运动，起到腔室门竖直方向导向和限位(本实施例中即腔室门下移打开，并露出腔室最大开口的程度)和横向移动的导向和限位作用(本实施例中即腔室门外推打开，以及最大打开程度)。

优选的是，第一导轨10和第二导轨13为包括条状以及在条状末端的直角外凸的轨道，由于条状部分远大于外凸部分的尺寸，使得第一导轨10和第二导轨13形成整体呈条状的轨道。其中，外凸与条状垂直设置，且外凸的延伸方向朝向腔室门7所在平面；第一导轨10和第二导轨13的条状部分互相平行于腔室门7所在平面设置、且延伸方向朝向动力模块所在端，第一导轨10和第二导轨13中外凸的距离决定了腔室门7相对腔室2能外推打开的最大距离。例如，在图5-图7中，第一导轨10和第二导轨13整体竖直设置，因此第一导轨10和第二导轨13形成同时具备竖直轨道(条状部分)和水平轨道(外凸部分)的封闭轨道，且一个方向的延伸长度大于另一个方向的延伸长度(条状部分的竖直延伸方向大于外凸部分的水平延伸长度)，这样就形成一种竖直和水平连接的滚道结构，第一导轨10和第二导轨13的顶端分别形成一段行程为S2的横向行程的外凸(图5-图7中可直观看到在顶端的外凸的拐弯部分，水平部分的长度小于竖直部分的长度)，从而使得第一导轨10和第二导轨13分别形成凸轮滚道，滚子在该凸轮滚道内往复运动。

优选的是，第一导轨10和第二导轨13形状相同、长度相等。第一导轨10和第二导轨13可完全设置在腔室2的外壁，也可以如图5-图7所示部分超出腔室2外壁悬空，这里不做限定。

传动模块包括固定杆9、连接杆19和传动板16，旋转轴18保证传动板16和连接杆19之间能相对转动。其中：传动板16活动设置于与腔室门7所在平面垂直的腔室2的外壁，传动板16位于第一导轨10和第二导轨13之间、且与第一导轨10和第二导轨13的条状部分互相平行；固定杆9与腔室门7所在平面垂直设置，固定杆9的一端固定连接至腔室门7上、另一端与连接杆19的一端活动连接，连接杆19的另一端与传动板16的一端活动连接，传动板16的另一端突出于腔室2的端部、且与动力模块连接。同理，这里固定杆9、连接杆19、传动板16的“一端”、“另一端”为固定特指，由与其连接的连接对象所决定，例如在本实施例中定义固定杆9与“腔室门”侧连接的为“一端”，与“连接杆19”侧连接的为“另一端”；连接杆19与“固定杆9”连接的为“一端”，与“传动板16”连接的为“另一端”；传动板16与“腔室外壁”侧连接的为“一端”，突出于腔室的为“另一端”。

图5-图7中，腔室门7的侧边从上到下分别通过螺钉21固定有第一连接板8、固定杆9和第二连接板15，第一连接板8上安装有第一滚子11，第一滚子11贴合在第一导轨10的封闭滚道内；第二连接板15上安装有第二滚子17，第二滚子17贴合在第二导轨13的封闭滚道内。第一导轨10和第二导轨13通过螺钉21固定在腔室2的侧壁上。传动板16与固定杆9之间通过连接杆19形成转动副连接。第一导轨10和第二导轨13的顶端有一段行程为S2的横向行程，第一导轨10和第二导轨13整体上呈平行布置，保证处在封闭滚道内的第一滚子11和第二滚子17始终平行运动，以及腔室门7始终与腔室2平行。

第一导轨10和第二导轨13的条状部分之间的距离，等于第一连接板8和第二连接板15之间的距离，从而有效保证滚子同时进入第一导轨10和第二导轨13的封闭滚道内，且运动步调一致。

本实施例的升降门装置中，参考图7，连接杆19与固定杆9和传动板16的两转动中心之间的距离S1，固定杆9的转动中心与传动板16的转动中心之间的水平距离S3(与腔室门的垂直距离)，以及第一导轨10和第二导轨13中外凸的有效水平距离S2(与腔室门的有效垂直距离)，满足算式：S1＞S2+S3。即固定杆9的两转动中心之间的距离S1、连接杆19的转动中心与传动板16转动中心之间的水平距离S3以及水平滚道距离S2之间的应该满足如下关系：S1＞S2+S3，以保证夹角β不小于0°，从而保证连接杆19的驱动端高于被动端，即连接杆19与传动板16形成的转动中心高于与固定杆9形成的转动中心。

动力模块包括气缸12以及与气缸12连接的支撑板14，气缸12和支撑板14均设置于腔室2的端部(例如顶部或底部)的同侧，支撑板14与传动板16突出于腔室2的端部的另一端连接；气缸12的直线往复方向与第一导轨10和第二导轨13的延伸长度较大的方向(即条状部分的延伸方向)相同，支撑板14所在平面与腔室门7所在平面平行。气缸12以及与气缸12连接的支撑板14，当腔室2为图5-图7所示的竖直设置方向时，根据应用条件，可设置于腔室2的上方或下方(例如顶部或底部)，图5-图7中以将其放置在腔室2的下方(底部)进行示例。

图5-图7中，气缸12通过螺钉21固定在腔室2的底板上，气缸12的往复升降带动支撑板14的升降，传动板16通过螺钉21固定在支撑板14上，随着支撑板14升降。

本实施例的升降门装置包括两组连接模块、定位模块和传动模块，且分别对称设置于腔室2相对的两侧；两组传动模块均分别与动力模块连接。即除动力模块外，其他模块在腔室门7的两侧以相同的方式对称布置，以保证腔室门7的左右一致性和稳定开闭。

如图7所示，关门的过程为：在腔室门7打开状态下，腔室门7与腔室2之间有一定距离，该距离和第一导轨10或第二导轨13上端的横向行程S2相等，气缸12上升时由于导轨的限制，连接杆19与固定杆9之间的夹角β保持不变，腔室门7随着传动板16上升，直至第一滚子11和第二滚子17分别进入相应导轨顶端外凸的水平滚道，腔室门7停止上升。此时传动板16继续被气缸12驱动上升，连接杆19与固定杆9之间的夹角β增大，腔室门7被固定杆9沿着水平滚道拉向腔室2方向，直至压紧密封圈。

相反，开门的过程为：气缸12下降，驱动连接杆19下降，带动固定杆9转动，连接杆19与固定杆9之间的夹角β减小，固定杆9推动腔室门7沿着外凸的水平滚道向远离腔室2的方向运动，并随着气缸12的继续下降，腔室门7会打开并保持与腔室2之间的距离S2同步下降。

相应的，本实施例提供一种晶片传输系统，该晶片传输系统包括可密封腔室，可密封腔室设置有能相对腔室远离打开或靠近关闭密封的腔室门，且可密封腔室的腔室门周边设置有上述的升降门装置。

本实施例提供了一种新型自动升降门装置，该升降门装置结构简单、可靠性高及装配调试简单，且左右一致性好，能够准确限制腔室门的上升和下降，压紧和顶开过程中腔室门始终与腔室平行，完全解决了现有技术中升降门装置存在的问题，提高了生产效率及可靠性；

相应的，使得采用该升降门装置的晶片传输系统具有更佳的性能。

可以理解的是，以上实施方式仅仅是为了说明本发明的原理而采用的示例性实施方式，然而本发明并不局限于此。对于本领域内的普通技术人员而言，在不脱离本发明的精神和实质的情况下，可以做出各种变型和改进，这些变型和改进也视为本发明的保护范围。

Claims (11)

1.一种升降门装置，用于使腔室门能相对腔室远离打开或靠近关闭密封，其特征在于，包括连接模块、定位模块、传动模块和动力模块，其中：

所述连接模块，用于连接所述腔室门和所述腔室，并与所述定位模块可活动连接；

所述定位模块，设置于与所述腔室门所在平面垂直的所述腔室的外壁，用于调节所述腔室门相对于所述腔室的距离，并限制所述传动模块在所述腔室的外壁的相对移动位置；

所述动力模块，设置于所述腔室的一端，与所述传动模块连接，用于为所述传动模块提供动力；

所述传动模块，活动设置于与所述腔室门所在平面垂直的所述腔室的外壁，用于在所述动力模块的动力驱动下沿平行于所述腔室门所在平面的方向移动，进而带动所述腔室门相对所述腔室做远离或靠近的方向移动；其中，

所述连接模块包括条状的第一连接板和第二连接板，所述第一连接板的一端固定连接至所述腔室门上，另一端活动连接至与所述腔室门所在平面垂直的所述腔室的外壁；所述第二连接板的一端固定连接至所述腔室门上，另一端活动连接至与所述腔室门所在平面垂直的所述腔室的外壁；

所述第一连接板与所述第二连接板长度不相等，互相平行设置、且二者均垂直于所述腔室门所在平面。

2.根据权利要求1所述升降门装置，其特征在于，所述定位模块包括第一导轨和第二导轨，所述第一导轨和所述第二导轨均固定设置于与所述腔室门所在平面垂直的所述腔室的外壁，所述第一连接板的另一端活动设置于所述第一导轨内，所述第二连接板的另一端活动设置于所述第二导轨内；

其中，所述第一导轨和所述第二导轨分别为同时包括两个具有夹角的方向延伸的、连续的封闭滚道，且封闭滚道中一个方向的延伸长度大于另一个方向的延伸长度。

3.根据权利要求2所述升降门装置，其特征在于，所述第一连接板的另一端设置有第一滚子，所述第一滚子的轴心与所述第一连接板固定连接，所述第一滚子的滚轮能沿所述第一导轨的封闭滚道做往复运动；

所述第二连接板的另一端设置有第二滚子，所述第二滚子的轴心与所述第二连接板固定连接，所述第二滚子的滚轮能沿所述第二导轨的封闭滚道做往复运动。

4.根据权利要求2所述升降门装置，其特征在于，所述第一导轨和所述第二导轨分别为包括条状以及在所述条状末端的直角外凸的轨道，所述外凸的延伸方向朝向所述腔室门所在平面；所述第一导轨和所述第二导轨的条状部分互相平行于所述腔室门所在平面设置、且延伸方向朝向所述动力模块所在端。

5.根据权利要求4所述升降门装置，其特征在于，所述第一导轨和所述第二导轨的所述条状部分之间的距离，等于所述第一连接板和所述第二连接板之间的距离。

6.根据权利要求2所述升降门装置，其特征在于，所述第一导轨和所述第二导轨形状相同、长度相等。

7.根据权利要求2所述升降门装置，其特征在于，所述传动模块包括固定杆、连接杆和传动板，其中：

所述传动板活动设置于与所述腔室门所在平面垂直的所述腔室的外壁，所述传动板位于所述第一导轨和所述第二导轨之间、且与所述第一导轨和所述第二导轨的条状部分互相平行；

所述固定杆与所述腔室门所在平面垂直设置，所述固定杆的一端固定连接至所述腔室门上、另一端与所述连接杆的一端活动连接，所述连接杆的另一端与所述传动板的一端活动连接，所述传动板的另一端突出于所述腔室的端部、且与所述动力模块连接。

8.根据权利要求7所述升降门装置，其特征在于，所述连接杆与所述固定杆和所述传动板的两转动中心之间的距离S1，所述固定杆的转动中心与所述传动板的转动中心之间与所述腔室门的垂直距离S3，以及所述第一导轨和所述第二导轨中与所述腔室门的有效垂直距离S2，满足算式：S1＞S2+S3。

9.根据权利要求7所述升降门装置，其特征在于，所述动力模块包括气缸以及与所述气缸连接的支撑板，所述气缸和所述支撑板均设置于所述腔室的端部的同侧，所述支撑板与所述传动板突出于所述腔室的端部的另一端连接；

所述气缸的直线往复方向与所述第一导轨和所述第二导轨的延伸长度较大的方向相同，所述支撑板所在平面与所述腔室门所在平面平行。

10.根据权利要求1-9任一项所述升降门装置，其特征在于，包括两组所述连接模块、所述定位模块和所述传动模块，且分别对称设置于所述腔室相对的两侧；

两组所述传动模块均分别与所述动力模块连接。

11.一种晶片传输系统，包括可密封腔室，所述可密封腔室设置有能相对腔室远离打开或靠近关闭密封的腔室门，其特征在于，所述可密封腔室的腔室门周边设置有权利要求1-10任一项所述的升降门装置。

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