KR20130135720A - 반송 로봇 및 반송 로봇을 구비한 설비 전방 단부 모듈 - Google Patents

반송 로봇 및 반송 로봇을 구비한 설비 전방 단부 모듈 Download PDF

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KR20130135720A
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Abstract

본 실시형태에 따른 반송 로봇은 아암 유닛, 가이드 유닛, 승강 유닛 및 통기부를 포함한다. 아암 유닛은 피반송물을 유지 가능한 로봇 핸드를 구비한다. 베이스 유닛은 대략 상자형상으로 형성된다. 가이드 유닛은 베이스 유닛의 내부에 수직 배치된 연직축을 구비한다. 승강 유닛은 연직축을 따라 승강 가능하게 마련되고, 상단부에서 아암 유닛을 지지한다. 통기부는 베이스 유닛의 상면에 개구되어, 베이스 유닛의 외부로부터 내부로 다운플로우를 통기시킨다.

Description

반송 로봇 및 반송 로봇을 구비한 설비 전방 단부 모듈{TRANSFER ROBOT AND EQUIPMENT FRONT END MODULE INCLUDING TRANSFER ROBOT}
본 명세서에 개시된 실시형태는 반송 로봇 및 반송 로봇을 구비한 설비 전방 단부 모듈에 관한 것이다.
종래에, 설비 전방 단부 모듈(Equipment Front End Module; EFEM) 내에 형성된 공간에 배치되어, 반도체 웨이퍼 등의 기판을 반송하는 반송 로봇이 알려져 있다.
이러한 반송 로봇은, 일반적으로 아암체를 구비하고, 이러한 아암체나 아암체의 선단부에 마련된 엔드 이펙터(end effector)에 의해 기판을 유지하면서, 예를 들어 아암체를 수평 방향으로 동작시키는 것에 의해 기판을 반송한다. 아암체 자체는 흔히 승강 동작을 수행할 수 있는 승강 유닛에 의해 지지된다.
EFEM 내에서 반도체 웨이퍼 등의 제품을 취급하기 때문에, EFEM 내부의 공기를 극히 청정하게 유지할 필요성이 높다. 그러므로, EFEM의 상부로부터 청정 공기의 다운플로우(downflow)가 형성되게 하는 경우가 많지만, 추가적인 방법을 이용하여 파티클에 의한 오염을 방지하는 반송 로봇도 다양하게 제안되고 있다.
예를 들면, 전술한 아암체 및 승강 유닛을 포함하는 반송 유닛을 커버 부재로 덮는 것에 의해, 다운플로우의 혼란에 의해 흩어지는 파티클의 부착을 방지하는 반송 로봇이 제안되어 있다(예를 들면, 일본 공개 특허 제 1998-261690 호 공보 참조).
일본 공개 특허 제 1998-261690 호 공보
그러나, 종래의 반송 로봇은, 승강 동작에 의해 발생되는 파티클을 억제하는 점에서 추가적인 개선의 여지가 있다. 구체적으로는, 전술한 승강 유닛이 반송 로봇의 본체 유닛(이하, 「베이스 유닛」을 기재함)으로부터 돌출하여 승강하는 구조일 경우, 승강 동작에 따라 베이스 유닛의 내부로부터 흩어지는 파티클에 의해 기판이 오염될 수도 있다.
본 실시형태의 일 태양은, 상기에 비추어 이루어진 것으로서, 승강 동작에 따른 파티클의 발생을 억제할 수 있는 반송 로봇 및 반송 로봇을 구비한 설비 전방 단부 모듈을 제공하는 것을 목적으로 한다.
본 실시형태의 일 태양에 따른 반송 로봇은 아암 유닛, 가이드 유닛, 승강 유닛 및 통기부를 포함한다. 아암 유닛은 피반송물을 유지 가능한 로봇 핸드를 구비한다. 베이스 유닛은 대략 상자형상으로 형성된다. 가이드 유닛은 베이스 유닛의 내부에 수직 배치된 연직축을 구비한다. 승강 유닛은 연직축을 따라 승강 가능하게 마련되고, 상단부에서 아암 유닛을 지지한다. 통기부는 베이스 유닛의 상면에 개구되어, 베이스 유닛의 외부로부터 내부로 다운플로우를 통기시킨다.
본 실시형태의 일 태양에 따르면, 승강 동작에 따른 파티클의 발생을 억제할 수 있다.
본 발명의 보다 완전한 인식과 그에 따른 많은 이점은 이하의 발명의 상세한 설명을 참조하여 첨부 도면과 관련하여 고려되면 보다 잘 이해되어, 용이하게 얻어질 것이다.
도 1은 본 실시형태에 따른 반송 로봇의 전체 구성을 도시하는 개략 사시도,
도 2a는 상면에서 본 경우의 베이스 유닛의 제 1 개략도,
도 2b는 측면에서 본 경우의 종래 기술 및 본 실시형태의 대비를 도시하는 개략도,
도 2c는 상면에서 본 경우의 베이스 유닛의 제 2 개략도,
도 3a는 Y축의 정방향에서 본 경우의 베이스 유닛의 내부 개략도,
도 3b는 Y축의 부방향에서 본 경우의 베이스 유닛의 개략도,
도 4a는 X축의 정방향에서 본 경우의 베이스 유닛의 내부 개략도,
도 4b는 A면측의 통기부의 폭을 설명하기 위한 상면에서 본 경우의 베이스 유닛의 개략도,
도 5는 도입된 다운플로우의 유로를 도시하는 것으로, X축의 정방향에서 본 경우의 베이스 유닛의 내부 개략도.
이하, 첨부 도면을 참조하여, 본원에 개시된 반송 로봇 및 반송 로봇을 구비한 설비 전방 단부 모듈의 실시형태를 상세하게 설명한다. 또한, 이하의 실시형태는 본 발명을 한정하고자 하는 것은 아니다.
이하에서는, EFEM 내에 배치되어, 피반송물로서 반도체 웨이퍼를 반송하는 반송 로봇을 예로 들어서 설명한다. 또한, 「반도체 웨이퍼」는 「웨이퍼」라고 기재한다. 또, 엔드 이펙터인 「로봇 핸드」는 「핸드」라고 기재한다.
우선, 실시형태에 따른 반송 로봇의 구성에 대해서 도 1을 참조하여 설명한다. 도 1은 본 실시형태에 따른 반송 로봇(10)의 구성을 도시하는 개략 사시도이다.
설명의 이해를 용이하게 하기 위해서, 도 1에는, 연직 상향을 정방향으로 하고, 연직 하향을 부방향으로 하는 Z축을 포함하는 3차원의 직교좌표계를 도시하고 있다. 따라서, XY 평면을 따르는 방향은 「수평 방향」을 가리킨다. 이러한 직교좌표계는 이하의 설명에 사용되는 다른 도면에도 도시되는 경우가 있다.
또한, 이하에서는, 복수개의 요소로 구성되는 구성요소에 대해서는, 요소 중 하나에만 도면부호가 부여되고 다른 요소의 도면부호가 생략되는 경우가 있다. 이러한 경우, 도면부호가 부여된 요소와 다른 요소는 동일한 구성을 갖는다.
도 1에 도시하는 바와 같이, 반송 로봇(10)은 핸드(11), 승강 유닛(12), 제 1 아암(13), 제 2 아암(14) 및 베이스 유닛(15)을 구비한다. 베이스 유닛(15)은 통기부(15a) 및 배기부(15b)를 구비한다.
제 1 아암(13) 및 제 2 아암(14)은 반송 로봇(10)의 아암인 아암 유닛을 구성한다.
베이스 유닛(15)은 대략 상자형상으로 형성되고, EFEM의 바닥벽부(도시하지 않음)에 고정된 반송 로봇(10)의 본체 유닛이다. 베이스 유닛(15)은 반드시 EFEM의 바닥벽부에 고정될 필요는 없고, 예를 들어 측벽부에 고정될 수도 있다. 또한, 베이스 유닛(15)은 고정되지 않고, EFEM 내에 마련된 주행 기구 등을 따라 이동 가능할 수도 있다.
통기부(15a)는 베이스 유닛(15)의 상면에 개구된 개구부이다. 이러한 통기부(15a)는 EFEM 상부에 마련된 필터 유닛(도시하지 않음)을 거쳐서 형성되는 청정 공기의 다운플로우를 베이스 유닛(15) 내로 도입하여 통기시킨다.
또한, 배기부(15b)는 베이스 유닛(15)의 외부로부터 내부로 통기된 다운플로우의 배기류를 연직 하향으로 배기시킨다. 통기부(15a) 및 배기부(15b)의 상세 구성에 대해서는, 도 2a 이후의 도면을 참조하여 후술한다.
승강 유닛(12)은, 베이스 유닛(15) 내에 수직 배치된 연직축을 따라 승강 가능하게 마련되고[도 1의 화살표(a1) 참조], 상단부에서 지지하는 아암 유닛 전체를 연직 방향(Z축 방향)을 따라 승강시킨다.
제 1 아암(13)은, 축(a2) 주위의 회전 관절(도시하지 않음)을 거쳐서, 승강 유닛(12)에 대하여 선회 가능하게 연결된다[도 1의 축(a2) 주위의 화살표 참조].
제 2 아암(14)은 축(a3) 주위의 회전 관절(도시하지 않음)을 거쳐서, 제 1 아암(13)에 대하여 선회 가능하게 연결된다[도 1의 축(a3) 주위의 화살표 참조].
웨이퍼를 유지하는 엔드 이펙터인 핸드(11)는 축(a4) 주위의 회전 관절(도시하지 않음)을 거쳐서, 제 2 아암(14)에 대하여 선회 가능하게 연결된다[도 1의 축(a4) 주위의 화살표 참조]. 따라서, 핸드(11)를 포함하는 아암 유닛 전체는 수평 방향으로 동작한다.
전술한 각 회전 관절은 모터 등의 구동원의 구동에 따라 회전한다. 예를 들면, 축(a2) 주위의 회전 관절을 회전시키는 구동원은 승강 유닛(12)의 상면에 개구된 개구부(12a)를 포함하여 형성된 공간에 배치된다.
다음에, 베이스 유닛(15)의 상세 구성에 대하여 도 2a 및 도 2c를 참조하여 설명한다. 도 2a 및 도 2c는 상면에서 본 경우의 베이스 유닛(15)의 개략도이다.
도 1을 참조하여 이미 설명되었듯이, 도 2a에 도시하는 바와 같이, 베이스 유닛(15)은 그 상면에 통기부(15a)를 구비한다. 통기부(15a)는 승강 유닛(12)의 외주를 따라 형성된다.
도 2a에 도시하는 바와 같이, 개구부(12a)는 승강 유닛(12)의 상면에 있어서의 X축의 부방향측의 부위에 마련된다. 이러한 개구부(12a)와 함께, 승강 유닛(12) 자체도 X축의 부방향측에 배치된다.
이와 같이, 개구부(12a) 및 승강 유닛(12)을 소정 방향으로 오프셋하여 배치하는 것에 의해, 아암 유닛의 선회 영역을 소정 방향측으로 크게 취할 수 있다.
그리고, 이러한 경우, 도 2a에 도시하는 바와 같이, 통기부(15a)는 승강 유닛(12)의 외주의 일부, 즉 전술한 소정 방향의 측벽을 제외한 베이스 유닛(15)의 측벽을 따라, 영역 A, 영역 B 및 영역 C로 이루어지는 대략 U자형으로 형성된다. 이 때, 통기부(15a)는 각각의 영역 A, 영역 B 및 영역 C가 충분한 폭을 갖도록 형성된다.
전술한 충분한 폭에 대해서 도 2b를 참조하여 설명한다. 도 2b는 측면에서 본 경우의 종래 기술 및 본 실시형태의 대비를 도시하는 개략도이다. 도 2b는 지면상의 좌측에 종래 기술에 있어서의 승강 유닛(12) 및 베이스 유닛(15')을, 지면상의 우측에 본 실시형태에 있어서의 승강 유닛(12) 및 베이스 유닛(15)을 개략적으로 도시하고 있다.
도 2b의 좌측에 도시하는 바와 같이, 종래 기술에서는, 승강 동작을 가능하게 하기 위해서, 승강 유닛(12) 및 베이스 유닛(15') 사이에 공간(15a')이 마련된다. 그렇지만, 예를 들어 승강 유닛(12)을 상승시켰을 경우[도 2b의 화살표(201) 참조], 이러한 공간(15a')을 통해서 난류가 발생하기 쉽다(도 2b의 곡선 화살표 참조).
그리고, 종래 기술에서는, 파티클(P)이 이러한 난류에 의해 흩어져서 EFEM 내로 확산될 수 있어, 웨이퍼를 오염시킬 수 있다.
따라서, 도 2b의 우측에 도시하는 바와 같이, 본 실시형태에서는, 승강 유닛(12)과 베이스 유닛(15) 사이에 충분한 폭을 갖는 통기부(15a)가 마련되어 있다. 본 실시형태에 있어서의 충분한 폭이란, 승강 유닛(12)이 예를 들어 상승했을 경우라도[도 2b의 화살표(201) 참조], 난류가 생기게 어렵게 하고, 또한 화살표(202)로 나타내는 다운플로우를 원활하게 도입하기에 충분한 폭을 가리킨다.
결과적으로, 파티클(P)을 난류에 의해 흩어지기 어렵게 하고, 또한 파티클(P)을 다운플로우에 의해 베이스 유닛(15) 내에 용이하게 수용할 수 있으므로, 승강 동작에 따른 파티클(P)의 발생을 억제할 수 있다.
통기부(15a)에 있어서, 도 2a에 도시한 영역 A의 폭 WA이 영역 B의 폭 WB보다 크게 설정된다는 점에 대하여, 도 4b를 참조하여 상세하게 후술한다. 또한, 이하에서는, 도 2a에 도시한 바와 같이, 베이스 유닛(15)을 형성하는 영역 A측의 측벽을 「A면」으로서 기재하고, 또한 베이스 유닛(15)을 형성하는 영역 B측의 측벽을 「B면」으로서 기재한다.
도 2c에 도시하는 바와 같이, 표면에 복수개의 구멍부가 형성되고, 소위 망 부재나 천공 금속으로 불리는 것으로 이루어지는 커버 부재(15c)가 통기부(15a)를 덮도록 마련될 수도 있다. 구멍부의 형상이나 배치 등은 특별히 한정되는 것은 아니고, 베이스 유닛(15) 내에 난류를 발생시키기 않고 다운플로우를 도입할 수 있다면 어떠한 형상이나 배치도 적용할 수 있다.
도 2c는 커버 부재(15c)의 표면에 복수개의 구멍부가 실질적으로 균일하게 형성되어 있는 경우를 해칭에 의해 나타내고 있다. 이와 같이, 정류 작용을 얻을 수 있고, 베이스 유닛(15) 내에 난류가 발생하기 어렵게 할 수 있으므로, 복수개의 구멍부를 실질적으로 균일하게 형성하는 것이 보다 바람직하다.
결과적으로, 구멍부를 통해서 다운플로우를 정류시키고, 원활하게 베이스 유닛(15) 내로 통기시킬 수 있다. 본 실시형태에서는, 커버 부재(15c)가 통기부(15a)를 덮도록 마련되어 있지만, 설명의 이해를 용이하게 하기 위해서, 커버 부재(15c)가 도면에서 생략되는 경우가 있다.
다음에, 측면에서 본 경우의 베이스 유닛(15)의 상세 구성에 대해서 도 3a 및 도 3b를 참조하여 설명한다. 도 3a는 Y축의 정방향에서 본 경우, 즉 「A면」측에서 본 경우의 베이스 유닛(15)의 내부 개략도이다. 도 3b는 Y축의 부방향에서 본 경우, 즉 「B면」측에서 본 경우의 베이스 유닛(15)의 개략도이다.
도 3a에 도시하는 바와 같이, 베이스 유닛(15)은 그 내부에, 수직 배치된 연직축인 볼 나사(15SS) 및 한쌍의 가이드 레일(15SR)을 구비한다. 이들 볼 나사(15SS) 및 한쌍의 가이드 레일(15SR)은 가이드 유닛(15S)을 구성한다.
또한, 베이스 유닛(15)은 모터(M)를 구비한다. 이러한 모터(M)의 출력축은 타이밍 벨트(TB)를 거쳐서 볼 나사(15SS)의 하단부에 연결되고, 볼 나사(15SS)를 그 축심 주위로 회전시킨다[도 3a의 화살표(301) 참조].
도 3a에 도시하는 바와 같이, 승강 유닛(12)의 하단부에는, 승강 베이스(12B)가 마련되어 있다. 승강 베이스(12B)는 볼 너트(12Ba) 및 승강 블록(12Bb)을 구비한다.
볼 너트(12Ba)는 볼 나사(15SS)와 결합하여, 볼 나사(15SS)의 회전운동을 직선 운동으로 변환함으로써 볼 나사(15SS)를 따라 이동 가능한 부재이다. 또한, 승강 블록(12Bb)은 가이드 레일(15SR)과 활주 가능하게 결합된 부재이다.
결과적으로, 승강 베이스(12B)는 볼 나사(15SS)의 회전에 맞춰서 가이드 유닛(15S)을 따라 이동 가능하여[도 3a의 화살표(302) 참조], 승강 유닛(12)을 승강시킨다.
또한, 도 3b에 도시하는 바와 같이, 베이스 유닛(15)은 「B면」에 배기부(15b)를 구비한다. 배기부(15b)는 팬(15ba)과, 이 팬(15ba)을 덮도록 마련된 배기 커버(15bb)를 구비한다.
팬(15ba)은 베이스 유닛(15) 내로 통기된 다운플로우를 배기한다. 배기 커버(15bb)는 팬(15ba)으로부터의 배기류를 연직 하향으로 배기시키는 형상으로 형성된 커버 부재이다.
도 3b에서는, 하나의 배기부(15b)가 마련되어 있는 경우를 실선으로 나타내고 있지만, 배기부(15b)의 개수 및 배기부(15b)의 배치 위치를 한정하는 것은 아니고, 이점쇄선으로 나타낸 바와 같이, 예를 들어 배기부(15b)의 대칭 위치에 다른 배기부(15b)가 마련될 수도 있다.
또한, 도 3b에 이점쇄선으로 나타낸 바와 같이, 예를 들어 배기부(15)의 상방 등에 흡기구(15d)가 마련될 수도 있다. 이러한 흡기구(15d)를 마련함으로써, 통기부(15a)를 통해서 도입되는 다운플로우가 부족한 경우에, 예를 들어 다운플로우를 측벽측으로부터 보충하여 기압의 감소된 베이스 유닛(15) 내로 도입할 수 있고, 승강 유닛(12)의 요철로 인한 베이스 유닛(15) 내에서의 다운플로우의 배기류의 혼란을 정류할 수 있다.
그러므로, 베이스 유닛(15) 내로 다운플로우를 충분히 도입할 수 있고, 베이스 유닛(15) 내에서의 다운플로우의 배기류의 혼란을 정류할 수 있으므로, 파티클이 흩어지는 것을 방지할 수 있다. 도 3b에 도시하는 바와 같이, 통기부(15a)의 경우와 마찬가지로 흡기구(15d)를 덮도록 커버 부재(15c)를 마련하여, 다운플로우를 정류하는 정류 작용을 얻는 것이 보다 바람직하다.
또한, 도 3b는 배기부(15b)가 마련된 「B면」에도 흡기구(15d)가 마련되는 예를 도시하고 있지만, 흡기구(15d)가 배치되는 면을 특별히 한정하는 것은 아니고, 베이스 유닛(15)을 형성하는 어떠한 측벽에도 흡기구(15d)가 마련될 수도 있다. 또한, 도 3b의 예시는 흡기구(15d)의 형상 및 흡기구(15d)의 개수를 한정하는 것도 아니다.
도 3a 및 도 3b를 참조하여 설명한 가이드 유닛(15S) 및 배기부(15) 사이의 배치 관계에 대해서, 도 4a를 참조하여 명확하게 설명한다. 도 4a는 X축의 정방향에서 본 경우의 베이스 유닛(15)의 내부 개략도이다.
도 4a에 도시하는 바와 같이, 볼 나사(15SS) 및 가이드 레일(15SR)을 포함하는 가이드 유닛(15S)은 베이스 유닛(15)의 「A면」에 근접하여 마련된다. 또한, 전술한 바와 같이, 배기부(15b)는 베이스 유닛(15)의 「B면」에 마련된다.
그러므로, 가이드 유닛(15S) 및 배기부(15b)는 베이스 유닛(15)의 대향하는 측벽에 마련된다. 모터(M)는 대향하는 측벽 사이에 배치된다.
이러한 점을 전제로 하여, 다음에, A면측의 통기부(15a)의 폭(즉, 도 2a에 도시한 영역 A의 폭 WA)에 대해서 설명한다. 도 4b는 A면측의 통기부(15a)의 폭을 설명하기 위한 상면에서 본 경우의 베이스 유닛(15)의 개략도이다.
도 4b에 도시하는 바와 같이, 또한 상기에서 설명한 바와 같이, 가이드 유닛(15S)을 구성하는 볼 나사(15SS) 및 가이드 레일(15SR)은 베이스 유닛(15)의 「A면」에 근접하여 마련된다.
그러므로, 가이드 유닛(15S)에 대하여 활주 가능하게 마련된 승강 베이스(12B)의 승강 블록(12Bb) 등도 베이스 유닛(15)의 「A면」 부근에 마련된다.
즉, 본 실시형태에서는, 승강 유닛(12)의 승강 동작에 의해 파티클(P)을 흩어지게 하기 쉬운 가동 유닛은 베이스 유닛(15)의 「A면」 부근에 집중된다. 이것을 전제로 하여, 통기부(15a)의 영역 A의 폭 WA를 다른 폭(예를 들면, 영역 B의 폭 WB)보다 크게 설정하여, 가동 유닛이 집중하여 있는 「A면」측으로 다운플로우를 적극적으로 도입하게 한다.
구체적으로는, 도 4b에 도시하는 바와 같이, 상면에서 본 경우에, 가이드 유닛(15S)을 구성하는 각 부재[볼 나사(15SS) 및 가이드 레일(15SR) 등]의 일부가 적어도 통기부(15a)와 겹치도록, 영역 A의 폭 WA를 유지하도록 통기부(15a)를 형성한다.
결과적으로, 파티클(P)이 발생하기 쉬운 가동 유닛에서의 파티클(P)을 효과적으로 억제할 수 있다.
다음에, 베이스 유닛(15) 내로 도입된 다운플로우의 유로에 대해서 도 5를 참조하여 설명한다. 도 5는 도입된 다운플로우의 유로를 도시하는 것으로, X축의 정방향에서 본 경우의 베이스 유닛(15)의 내부 개략도이다. 도 5는 설명에 필요한 부재만을 간략하게 도시한 것이다.
도 5에 도시하는 바와 같이, 승강 베이스(12B)를 이동하여, 승강 유닛(12)을 상승시킨다[도 5의 화살표(501) 참조]. 이러한 경우, 「A면」측의 영역 A로부터 도입된 다운플로우[도 5의 화살표(502) 참조]는 승강 유닛(12)의 상승에 의해 형성된 공간(D)을 베이스 유닛(15)의 내벽을 따라 돌아 흘러서, 배기부(15b)에 이르는 유로를 따라간다[도 5의 화살표 (504) 참조].
이와 같이 형성된 다운플로우의 유로에 의해, 가동 유닛에서 생기는 파티클(P)을 효과적으로 억제하면서, 모터(M)를 냉각할 수 있다.
또한, 도 5에 도시하는 바와 같이, 영역 A 이외의 영역(예를 들면, 「B면」측의 영역 B)으로부터 도입된 다운플로우[도 5의 화살표(503) 참조]는 승강 유닛(12)의 외주를 연직 방향으로 아래로 흘러서, 배기부(15b)에 이르는 유로를 따라간다[도 5의 화살표(505) 참조].
그리고, 이러한 다운플로우는 영역 A로부터 도입된 다운플로우와 함께 배기부(15b)로부터 연직 하향으로 배출된다[도 5의 화살표(506) 참조].
즉, 베이스 유닛(15)에 도입된 다운플로우는, 베이스 유닛(15) 내에서는 정류되어 파티클(P)을 억제하면서, 베이스 유닛(15)의 외부에서는, EFEM 내부 전체에서의 다운플로우를 혼란시키지 않도록 배기된다.
그러므로, 반송 로봇(10)의 승강 동작에 따른 파티클(P)의 발생을 억제하면서, 반송 로봇(10)이 배치되는 EFEM 전체의 다운플로우 환경을 적절한 상태로 유지할 수 있다.
전술한 바와 같이, 본 실시형태에 따른 반송 로봇은 아암 유닛, 베이스 유닛, 가이드 유닛, 승강 유닛 및 통기부를 포함한다. 아암 유닛은 피반송물을 유지 가능한 로봇 핸드를 구비한다. 베이스 유닛은 대략 상자형상으로 형성된다. 가이드 유닛은 베이스 유닛 내에 수직 배치된 연직축을 포함한다. 승강 유닛은 연직축을 따라 승강 가능하게 마련되고, 상단부에서 아암 유닛을 지지한다. 통기부는 베이스 유닛의 상면에 개구되어, 베이스 유닛의 외부로부터 내부로 다운플로우를 통기시킨다.
그러므로, 본 실시형태에 따른 반송 로봇에 따르면, 승강 동작에 따른 파티클의 발생을 억제할 수 있다.
전술한 실시형태에서는, 승강 유닛이 베이스 유닛에 대하여 소정 방향측에 배치되어 있는 경우를 나타냈지만, 이것에 베이스 유닛에 대한 승강 유닛의 배치 위치를 한정하는 것은 아니다. 따라서, 예를 들어 승강 유닛이 베이스 유닛의 중앙에 배치될 수도 있다.
또한, 전술한 실시형태에서는, 승강 유닛을 승강시키는 기구(이하, 「승강 기구」로 기재함)가 볼 나사 및 볼 너트를 포함하여 구성되어 있는 경우를 나타냈지만, 이것에 승강 기구의 구성 요소를 한정하는 것은 아니다. 예를 들면, 승강 기구는 벨트 구동이나 리니어 모터 구동에 의해 승강 유닛을 승강시키도록 구성될 수도 있다.
또한, 전술한 실시형태에서는, 통기부가 승강 유닛의 외주의 일부를 따라 형성되어 있는 경우를 예시했지만, 통기부는 승강 유닛의 외주 전체를 둘러싸도록 형성될 수도 있다.
또한, 전술한 실시형태에서는, 승강 유닛이 수평 방향으로 동작하는 아암 유닛을 지지하고 있는 경우를 예시했지만, 아암 유닛의 동작 방향을 한정하는 것은 아니다.
또한, 전술한 실시형태에서는, 다일 아암 로봇을 예로 들어서 설명했지만, 아암 유닛을 지지하는 승강 유닛을 구비하면, 아암 유닛의 개수를 한정하는 것은 아니다. 따라서, 2개 이상의 아암을 갖는 다중 아암 로봇에 적용할 수도 있다.
또한, 전술한 실시형태에서는, 아암 유닛의 선단부에 하나의 핸드가 마련되어 있는 경우를 예로 들어서 설명했지만, 핸드의 개수를 한정하는 것은 아니고, 2개 이상일 수도 있다.
또한, 전술한 실시형태에서는, 피반송물이 주로 웨이퍼인 경우를 예로 들어서 설명했지만, 피반송물의 타입을 한정하는 것은 아니다.
10 : 반송 로봇 11 : 로봇 핸드
12 : 승강 유닛 13 : 제 1 아암
14 : 제 2 아암 15 : 베이스 유닛
15a : 통기부 15b : 배기부
15S : 가이드 유닛

Claims (9)

  1. 반송 로봇에 있어서,
    피반송물을 유지 가능한 로봇 핸드를 구비하는 아암 유닛과,
    대략 상자형상으로 형성된 베이스 유닛과,
    상기 베이스 유닛 내에 수직 배치된 연직축을 구비하는 가이드 유닛과,
    상기 연직축을 따라 승강 가능하게 마련되고, 상단부에서 상기 아암 유닛을 지지하는 승강 유닛과,
    상기 베이스 유닛의 상면에 개구되어, 상기 베이스 유닛의 외부로부터 내부로 다운플로우를 통기시키는 통기부를 포함하는
    반송 로봇.
  2. 제 1 항에 있어서,
    상기 통기부는 상기 베이스 유닛의 상면에 상기 승강 유닛의 외주를 따라 형성되는
    반송 로봇.
  3. 제 2 항에 있어서,
    상기 승강 유닛은 상기 베이스 유닛을 형성하는 측벽 중 하나의 측벽에 근접하여 배치되어 있으며,
    상기 통기부는 상기 하나의 측벽 이외의 측벽을 따라 형성되는
    반송 로봇.
  4. 제 1 항 내지 제 3 항 중 어느 한 항에 있어서,
    상기 통기부는 표면에 복수개의 구멍부가 형성된 커버 부재에 의해 덮여지는
    반송 로봇.
  5. 제 1 항 내지 제 3 항 중 어느 한 항에 있어서,
    상기 통기부는, 상기 베이스 유닛의 상면에 있어서의 상기 가이드 유닛의 상부에 대응하는 부위의 폭이 상기 베이스 유닛의 상면에 있어서의 상기 가이드 유닛의 상부에 대응하지 않는 부위의 폭보다 크게 설정되는
    반송 로봇.
  6. 제 1 항 내지 제 3 항 중 어느 한 항에 있어서,
    상기 가이드 유닛은 상기 베이스 유닛을 형성하는 측벽 중 하나의 측벽에 근접하여 배치되어 있으며,
    상기 통기부는, 상면에서 본 경우에, 상기 가이드 유닛의 일부와 겹치도록 형성되는
    반송 로봇.
  7. 제 1 항 내지 제 3 항 중 어느 한 항에 있어서,
    상기 베이스 유닛의 측벽에 마련되는 팬과, 상기 팬을 덮도록 마련되고, 상기 팬으로부터의 배기류를 연직 하향으로 배기시키는 형상으로 형성된 배기 커버를 구비하는 배기부를 더 포함하는
    반송 로봇.
  8. 제 7 항에 있어서,
    상기 배기부는 상기 가이드 유닛이 근접하여 있는 측벽과 대향하는 측의 측벽에 마련되는
    반송 로봇.
  9. 제 1 항에 기재된 반송 로봇을 포함하는
    설비 전방 단부 모듈.
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