JP5817787B2 - ロボット - Google Patents

Description

開示の実施形態は、ロボットに関する。

従来、液晶パネルディスプレイの製造ラインにおいて、原材料となるガラス基板を搬送する基板搬送用のロボットが知られている（たとえば、特許文献１参照）。かかるロボットは、塵埃（以下、「パーティクル」と記載する）などによる製品の品質低下を防ぐため、クリーンルームの内部といったクリーン環境下に置かれる。

また、かかるクリーン環境の清浄度を保つため、ロボットが有するアーム部の駆動源は通常、カバーなどによって覆われ、ロボット内部からのパーティクルの飛散を防ぐ構造となっている。

特開２００２−９３８８１号公報

しかしながら、上述した従来技術には、クリーン環境の清浄度を保ちつつ、駆動源を冷却するうえで更なる改善の余地がある。

具体的には、駆動源は、上述のようにカバーなどによって覆われているため、発生した熱が逃げにくいという問題点があった。この点、駆動源が配置された内部空間から外部へ空気を逃がすことが考えられるが、あわせてロボット内部からのパーティクルの飛散を抑える必要がある。

実施形態の一態様は、上記に鑑みてなされたものであって、クリーン環境の清浄度を保ちつつ、駆動源を冷却することができるロボットを提供することを目的とする。

実施形態の一態様に係るロボットは、駆動機構を備える。前記駆動機構は、駆動源と、内部空間と、給気ファンと、排気ファンとを備える。前記内部空間は、前記駆動源を格納する。前記給気ファンは、前記内部空間に給気する。前記排気ファンは、前記内部空間から排気する。また、前記駆動機構は、前記給気ファンおよび前記排気ファンにより発生する気流によって、前記内部空間の内圧を前記内部空間外の気圧よりも低く維持するとともに、連結された一対のリンクの一方を他方に対して相対的に回転させる。

実施形態の一態様によれば、クリーン環境の清浄度を保ちつつ、駆動源を冷却することができる。

図１は、第１の実施形態に係るロボットの斜視模式図である。 図２Ａは、第１関節部周辺の正面模式図である。 図２Ｂは、第１関節部周辺の側面模式図である。 図２Ｃは、給気ファンと排気ファンとの関係の一例を示す図である。 図３Ａは、空気の流れを示す第１関節部周辺の平面透過図である。 図３Ｂは、空気の流れを示す第１関節部周辺の側面透過図である。 図３Ｃは、ワークが第１関節部より下方に位置付けられた状態を示す模式図である。 図４Ａは、第１の変形例に係る第１関節部周辺の正面模式図である。 図４Ｂは、第２の変形例に係る第２関節部周辺の正面模式図である。 図５は、第２の実施形態に係るロボットの斜視模式図である。

以下、添付図面を参照して、本願の開示するロボットの実施形態を詳細に説明する。なお、以下に示す実施形態によりこの発明が限定されるものではない。

また、以下では、ロボットが、被搬送物としてガラス基板を搬送する搬送ロボットである場合を例に挙げて説明を行う。また、被搬送物については、「ワーク」と記載する。また、以下では、「機械構造を構成し、互いに相対運動可能な個々の剛体要素」を「リンク」とし、かかる「リンク」を「アーム」と記載する場合がある。

また、図１〜図４Ｂを用いた説明では、シングルリンク型のロボットを例に挙げた第１の実施形態について、図５を用いた説明では、ダブルリンク型のロボットを例に挙げた第２の実施形態について、それぞれ説明する。

（第１の実施形態）
まず、第１の実施形態に係るロボット１の構成について図１を用いて説明する。図１は、第１の実施形態に係るロボット１の斜視模式図である。なお、以下では、説明の便宜上、ロボット１の旋回位置が図１に示す状態であるものとして、ロボット１における各部位の位置関係を説明する。

また、説明を分かりやすくするために、図１には、鉛直上向きを正方向とし、鉛直下向きを負方向とするＺ軸を含む３次元の直交座標系を図示している。したがって、ＸＹ平面に沿った方向は、「水平方向」を指す。かかる直交座標系は、以下の説明に用いる他の図面においても示す場合がある。また、以下の説明では、Ｘ軸の正方向からみた場合を「正面」と規定する。

図１に示すように、ロボット１は、旋回機構１０と、昇降アーム部２０と、水平アーム部３０とを備える。

旋回機構１０は、基台１１と、旋回台１２とを備える。基台１１は、たとえば床面等に設置される。基台１１の上部には、旋回台１２が旋回軸Ｓを中心に旋回可能に取り付けられる。旋回台１２は、鉛直軸である旋回軸Ｓを中心として旋回する。かかる旋回台１２が旋回することにより、昇降アーム部２０および水平アーム部３０は、旋回軸Ｓを中心として旋回する。

昇降アーム部２０は、基端部が旋回台１２の先端部に支持され、先端部において水平アーム部３０を支持する部材である。ロボット１は、かかる昇降アーム部２０を屈伸動作させることで、ワークＷを上下方向に搬送する（図中の矢印１０１参照）。なお、ロボット１は、大型のワークＷを数メートル規模で上下方向に搬送可能な高ストローク型として構成可能である。

昇降アーム部２０は、具体的には、支柱部２１と、第１関節部２３と、第１昇降用アーム２４と、第２関節部２５と、第２昇降用アーム２６と、第３関節部２７とを備える。第１関節部２３は、本実施形態に係る駆動機構Ｄの一例であり、その詳細については後述する。

支柱部２１は、旋回台１２の先端部から鉛直方向に沿って立設されるリンクである。なお、ロボット１は、かかる支柱部２１を１つ有するシングルリンク型のロボットである。

第１昇降用アーム２４は、基端部が支柱部２１の先端部と第１関節部２３を介して連結される。これにより、第１昇降用アーム２４は、水平軸である第１関節部２３の関節軸「軸Ｕ１」を中心として、支柱部２１の先端部に回転可能に支持される。

第２昇降用アーム２６は、基端部が第１昇降用アーム２４の先端部と第２関節部２５を介して連結される。これにより、第２昇降用アーム２６は、水平軸である第２関節部２５の関節軸「軸Ｕ２」を中心として、第１昇降用アーム２４の先端部に回転可能に支持される。

水平アーム部３０は、第２昇降用アーム２６の先端部と第３関節部２７を介して連結される。これにより、水平アーム部３０は、水平軸である第３関節部２７の関節軸「軸Ｕ３」を中心として、第２昇降用アーム２６の先端部に回転可能に支持される。このように、ロボット１は、昇降アーム部２０を用いて水平アーム部３０を支持する。

水平アーム部３０は、下側アームユニット３１ａと、上側アームユニット３１ｂとを備える。下側アームユニット３１ａは、伸縮アーム部３２ａと、ハンド部３３ａと、下側支持部材３４ａとを備える。上側アームユニット３１ｂは、伸縮アーム部３２ｂと、ハンド部３３ｂと、上側支持部材３４ｂとを備える。なお、上側アームユニット３１ｂは、下側アームユニット３１ａと略同一の構成のため、ここでは、下側アームユニット３１ａの構成部品を用いた説明を行う。

伸縮アーム部３２ａは、基端部が下側支持部材３４ａに支持され、先端部においてハンド部３３ａを支持する。ハンド部３３ａは、ワークＷを載置する。下側支持部材３４ａは、第２昇降用アーム２６の先端部に、軸Ｕ３を中心として回転可能に支持される。また、下側支持部材３４ａには、上側支持部材３４ｂの基端部が固定される。

そして、ロボット１は、かかる水平アーム部３０を伸縮動作させることで、ワークＷを水平方向に搬送する。たとえば、ロボット１が図１に示す旋回位置にある場合、ロボット１は、伸縮アーム部３２ａ，３２ｂを伸縮させて、Ｘ軸の正方向または負方向にワークＷを直線的に移動させる（図中の矢印１０２参照）。

なお、上述のような旋回機構１０の旋回動作、昇降アーム部２０の屈伸動作および水平アーム部３０の伸縮動作は、通信ネットワークを介してロボット１と接続された制御装置５からの指示によって行われる。

制御装置５は、ロボット１の駆動制御を行う制御装置である。たとえば、ロボット１の各関節部２３，２５，２７には、連結された一対のアームの一方を他方に対して相対的に回転させる駆動源が搭載されており、制御装置５は、これら駆動源の駆動を指示する。

駆動源は、モータ部（以下、単に「モータ」と記載する）と、減速機部（以下、単に「減速機」と記載する）とを備える。減速機は、モータから入力される回転を減じて出力する伝達機構である。上述の水平アーム部３０や第１昇降用アーム２４、第２昇降用アーム２６は、かかる減速機の出力軸に連結される。

そして、ロボット１は、制御装置５からの指示に従って各モータを個別に任意の角度だけ回転させ、減速機を介してかかる回転を減じて出力することで、昇降アーム部２０を屈伸動作させる。

ロボット１と制御装置５とを接続する通信ネットワークとしては、たとえば有線ＬＡＮ（Local Area Network）や無線ＬＡＮといった一般的なネットワークを用いることができる。なお、ここでは図示を省略するが、旋回台１２および伸縮アーム部３２ａ，３２ｂにも同様の駆動源が設けられており、制御装置５は、これら駆動源の駆動指示もあわせて行う。

また、図１に示すように、第１関節部２３は、給気ファン２３ａと、排気ファン２３ｂとをさらに備える。第１関節部２３は、かかる給気ファン２３ａおよび排気ファン２３ｂにより発生する気流によって、駆動源が格納される内部空間の内圧を内部空間外の気圧よりも低く維持する。

次に、この第１関節部２３の構成について具体的に説明する。図２Ａは、第１関節部２３周辺の正面模式図である。図２Ｂは、第１関節部２３周辺の側面模式図である。図２Ｃは、給気ファン２３ａと排気ファン２３ｂとの関係の一例を示す図である。

図２Ａに示すように、第１関節部２３は、第１昇降用アーム２４の基端部と支柱部２１の先端部とを連結する。また、既に述べたように、第１関節部２３は、給気ファン２３ａと、排気ファン２３ｂとを備える。

また、図２Ｂに示すように、第１関節部２３は、モータ２３ｃと、減速機２３ｄと、モータカバー２３ｅとをさらに備える。また、第１関節部２３は、支柱部２１、第１昇降用アーム２４の各フレーム、および、モータカバー２３ｅによって形成された内部空間ＳＰを有する。

給気ファン２３ａは、かかる内部空間ＳＰに給気し、排気ファン２３ｂは、かかる内部空間ＳＰから排気することとなる。

また、モータ２３ｃおよび減速機２３ｄは、軸Ｕ１に略同軸配置され、この内部空間ＳＰに格納される。なお、モータ２３ｃおよび減速機２３ｄは、かかるモータ２３ｃおよび減速機２３ｄにそれぞれ接した隔壁２１ａによって隔てられる。

具体的には、第１関節部２３では、モータ２３ｃが支柱部２１の隔壁２１ａに固定され、減速機２３ｄが第１昇降用アーム２４に固定される。

減速機２３ｄは、たとえばＲＶ（Rotary Vector）型の減速機であり、本体部と、入力部と、出力部とを備える。第１昇降用アーム２４に固定されるのは、本体部および入力部である。

この減速機２３ｄの入力部は、モータ２３ｃの出力軸と接続され、モータ２３ｃの回転力の入力を受けることとなる。そして、減速機２３ｄは、かかる入力部へモータ２３ｃの回転力が入力されると、モータ２３ｃの回転速度よりも遅い回転速度で出力部を回転させる。

この減速機２３ｄの出力部は、支柱部２１の隔壁２１ａに固定されている。このため、第１関節部２３では、モータ２３ｃの回転が減速機２３ｄの入力部へ入力されると、隔壁２１ａに固定された出力部に対して、減速機２３ｄの本体部が相対回転することとなる。この結果、第１関節部２３では、減速機２３ｄの本体部を固定する側の第１昇降用アーム２４が回転し、支柱部２１に対する第１昇降用アーム２４の姿勢が変化する。

また、図２Ｂに示すように、排気ファン２３ｂは、エアフィルタ２３ｂａを有する。エアフィルタ２３ｂａは、ＨＥＰＡフィルタ（High Efficiency Particulate Air Filter）やＵＬＰＡフィルタ（Ultra Low Penetration Air Filter）のようなクリーンルーム用の高性能フィルタが好適である。

また、排気ファン２３ｂは、カバー２３ｂｂをさらに有する。なお、図２Ｂでは分かりにくいが、カバー２３ｂｂは、エアフィルタ２３ｂａ越しに排気流を下方へ誘導する形状に形成され、たとえば、下方に開口部を有する。また、排気ファン２３ｂは、モータ２３ｃの反負荷側に設けられる。

また、図２Ａに示すように、給気ファン２３ａは、第１関節部２３を正面視した場合の、減速機２３ｄ（図２Ｂ参照）の周囲に設けられる。また、このとき、給気ファン２３ａは、給気流が上述の隔壁２１ａへ吹き付けられるように設けられる。

ここで、給気ファン２３ａと排気ファン２３ｂとの関係の一例について説明しておく。本実施形態では、給気ファン２３ａの流量は、排気ファン２３ｂの流量未満となるように設けられる。

たとえば、図２Ｃに示すように、給気ファン２３ａの１個当りの流量が「ａ」である場合、排気ファン２３ｂは、その２倍の「２ａ」より大きい流量のものが選定される。なお、ここでは、「流量」は、給気ファン２３ａおよび排気ファン２３ｂそれぞれの定格流量であるものとする。

また、かかる場合に、排気ファン２３ｂが１個設けられるのに対して、給気ファン２３ａはその２倍の２個が設けられる。したがって、ここでは、給気ファン２３ａの総流量＜排気ファン２３ｂの総流量となる。

本実施形態では、このように給気ファン２３ａおよび排気ファン２３ｂを組み合わせることによって、これらが発生する気流で、内部空間ＳＰの内圧を内部空間ＳＰ外の気圧よりも低く維持する。これによりまず、内部空間ＳＰが陽圧とならないので、ロボット１内部のパーティクルが飛散するのを抑えることができる。なお、図２Ｃに示した組み合わせは、あくまで一例であるのは言うまでもない。

図２Ａの説明に戻る。上述の図２Ｃの組み合わせで選定された給気ファン２３ａおよび排気ファン２３ｂは、たとえば、図２Ａに示すように、中心部の高さ位置を揃え、排気ファン２３ｂを中央に配置した横並びに設けられる。

なお、給気ファン２３ａおよび排気ファン２３ｂによる冷却性能は、たとえば、内部空間ＳＰの形状や空間容積等の諸条件により左右される。このため、給気ファン２３ａおよび排気ファン２３ｂの配置形態は、実験データ等に基づき、最適なものを選定することが好ましい。なお、本実施形態では、図２Ａに示す配置形態であるものとして説明を進める。

また、図２Ａに示すように、排気ファン２３ｂは、その中心部を軸Ｕ１から距離ｏだけオフセットさせることが好ましい。これは、排気ファン２３ｂは、エアフィルタ２３ｂａを有し、これをさらにカバー２３ｂｂで覆うため、これらの厚みによってロボット１の最小旋回径が拡大することになるのを防ぐためである。距離ｏは、カバー２３ｂｂの外形等に応じたものであればよい。なお、最小旋回径に影響しなければ、このようなオフセットは行わなくともよい。

次に、図３Ａおよび図３Ｂを用いて、給気ファン２３ａおよび排気ファン２３ｂによって発生する空気の流れを具体的に説明する。図３Ａは、空気の流れを示す第１関節部２３周辺の平面透過図である。図３Ｂは、空気の流れを示す第１関節部２３周辺の側面透過図である。

図３Ａに示すように、まず、内部空間ＳＰ外の空気が、給気ファン２３ａによって内部空間ＳＰに給気される（図中の矢印３０１参照）。

そして、図３Ａまたは図３Ｂに示すように、内部空間ＳＰに給気された空気は、給気ファン２３ａによって隔壁２１ａへ吹き付けられ、隔壁２１ａに沿って流れる気流を形成する。また、これとともに、排気ファン２３ｂの回転により、モータ２３ｃの負荷側から反負荷側に沿って誘導される気流を形成する（両図中の矢印３０２参照）。

そして、図３Ａまたは図３Ｂに示すように、排気ファン２３ｂによって誘導された空気は、エアフィルタ２３ｂａを介して除塵された後、カバー２３ｂｂにより下方へ誘導されつつ排気される（両図中の矢印３０３参照）。

ここで、このような空気の流れによって得られる効果について説明する。まず、減速機２３ｄは、主に隔壁２１ａに吹き付けられた空気によって冷却される。これは、隔壁２１ａがいわば放熱板の役割を果たし、出力部２３ｄａにおいて隔壁２１ａに接する減速機２３ｄの熱を放散するためである。

このため、少なくとも隔壁２１ａは、熱伝導性のよいアルミニウム等の金属素材であることが好ましい。また、隔壁２１ａにフィンを設けることで、さらなる冷却効率の向上を図ってもよい。

また、モータ２１ｃは、減速機２３ｄとともに隔壁２１ａによる熱の放散の効果を受けるとともに、モータ２１ｃに沿って流れる空気によっても放熱される。これは、減速機２３ｄよりも高温になりやすいモータ２１ｃを冷却するうえで効果的である。

また、上述のように、給気ファン２３ａおよび排気ファン２３ｂにより発生する気流によって、内部空間ＳＰの内圧は内部空間ＳＰ外の気圧よりも低く維持されるので、内部空間ＳＰ内のパーティクルは、その飛散を抑えられている。

そのうえで、さらに内部空間ＳＰ内の空気を高性能フィルタであるエアフィルタ２３ｂａを介して除塵するので、内部空間ＳＰの内部から外部へ清浄な空気を排気することができる。すなわち、クリーン環境の清浄度を保ちつつ、駆動源を冷却することができる。

また、本実施形態に係るロボット１の場合、ワークＷを上下方向に搬送する場合において、より効果的にワークＷの汚染を防ぐことができるというメリットが得られる。この点につき、図３Ｃを用いて具体的に説明する。

図３Ｃは、ワークＷが第１関節部２３より下方に位置付けられた状態を示す模式図である。なお、図３Ｃでは、関節を示す図記号を用いてロボット１をごく模式的に示している。

図３Ｃに示すように、ロボット１は、ワークＷを上下方向に搬送する際、第１関節部２３、第２関節部２５および第３関節部２７を回転させて、水平アーム部３０の保持するワークＷを第１関節部２３より下方に位置付ける姿勢をとる場合がある。

このような姿勢をとった場合であっても、本実施形態によれば、ワークＷを汚染することなく、駆動源を冷却することができる。すなわち、給気ファン２３ａおよび排気ファン２３ｂにより発生する気流によって、上述のように効果的にモータ２３ｃおよび減速機２３ｄを冷却することができる。

また、給気ファン２３ａおよび排気ファン２３ｂにより発生する気流によって、内部空間ＳＰの内圧は内部空間ＳＰ外の気圧よりも低く維持され、内部空間ＳＰ内のパーティクルは、その飛散を抑えられながら、さらにエアフィルタ２３ｂａを介して除塵される。

そのうえ、この除塵された空気は、さらに第１関節部２３のほぼ真下へ向けて排気される。このため、ロボット１が図３Ｃのような姿勢をとった場合であっても、排気によってワークＷが汚染されるのを防ぐことができる。すなわち、クリーン環境の清浄度を保ちつつ、駆動源を冷却することができる。

また、上述してきた効果に加えて、本実施形態では、給気ファン２３ａによって給気される空気を直接モータ２３ｃや減速機２３ｄへ吹き付けず、隔壁２１ａへ吹き付けることとしたので、モータ２３ｃや減速機２３ｄに結露が生じるのを防ぐことができる。

なお、これまでは、上述の図２Ｃの組み合わせで選定された給気ファン２３ａおよび排気ファン２３ｂを、中心部の高さ位置を揃え、横並びに配置した配置形態を例に挙げたが、配置形態はこれに限られない。

図４Ａは、第１の変形例に係る第１関節部２３Ａ周辺の正面模式図である。また、図４Ｂは、第２の変形例に係る第２関節部２３Ｂ周辺の正面模式図である。

たとえば、第１の変形例として図４Ａに示すように、給気ファン２３ａおよび排気ファン２３ｂを水平方向に横並びにではなく、給気ファン２３ａが水平方向に対して斜向かいとなるような配置形態であってもよい。

また、たとえば、第２の変形例として図４Ｂに示すように、水平方向に横並びに配置した給気ファン２３ａ×２個および排気ファン２３ｂ×１個の組を、２組上下に配置することとしてもよい。

これら第１の変形例および第２の変形例のような配置形態は、既に述べたように、たとえば、内部空間ＳＰの形状や空間容積等の諸条件に応じ、冷却効率が最適なものとなるような形態であればよい。

また、これまでは、給気ファン２３ａの流量は、排気ファン２３ｂの流量未満となるように設けられるとし、かかる流量は、給気ファン２３ａおよび排気ファン２３ｂの定格流量であるものとしたが、たとえば、同一定格であってもよい。

この場合には、流量を実際に流れる空気の量としたうえで、給気ファン２３ａの流量が、排気ファン２３ｂの流量未満となるように、給気ファン２３ａおよび排気ファン２３ｂそれぞれの回転数を適宜制御すればよい。

これは、給気ファン２３ａおよび排気ファン２３ｂの回転を制御装置５から制御可能な接続構成とし、内部空間ＳＰの内圧を感圧センサ等で適宜検出して制御装置５へ出力するようにすることで実現可能である。

また、排気ファン２３ｂの近傍に温度センサを設けることとしたうえで、排気ファン２３ｂからの排気の温度を制御装置５で逐次監視し、かかる温度に応じて制御装置５が給気ファン２３ａおよび排気ファン２３ｂそれぞれの回転数を制御するようにしてもよい。

上述してきたように、第１の実施形態に係る駆動機構（第１関節部）は、駆動源と、内部空間と、給気ファンと、排気ファンとを備える。上記内部空間は、上記駆動源を格納する。上記給気ファンは、上記内部空間に給気する。上記排気ファンは、上記内部空間から排気する。

また、上記駆動機構は、上記給気ファンおよび上記排気ファンにより発生する気流によって、上記内部空間の内圧を上記内部空間外の気圧よりも低く維持する。

したがって、第１の実施形態に係る駆動機構によれば、クリーン環境の清浄度を保ちつつ、駆動源を冷却することができる。

ところで、これまでは、ロボットが、シングルリンク型のロボットである場合を例に挙げたが、ダブルリンク型であってもよい。かかる場合を第２の実施形態として、図５を用いて説明する。

（第２の実施形態）
図５は、第２の実施形態に係るロボット１ａの斜視模式図である。なお、第２の実施形態では、主に第１の実施形態と異なる構成要素についてのみ説明する。

図５に示すように、ロボット１ａは、基台１１と、旋回台１２と、第１昇降アーム部２０−１と、第２昇降アーム部２０−２とを備える。第１昇降アーム部２０−１は、支柱部２１−１と、第１関節部２３−１とを備える。また、第２昇降アーム部２０−２は、支柱部２１−２と、第１関節部２３−２とを備える。

支柱部２１−１，２１−２は、旋回軸Ｓまわりに旋回する旋回台１２左右の両端部にそれぞれ立設される。第１関節部２３−１，２３−２は、支柱部２１−１，２１−２の先端部と、これに隣り合うリンク（図１の第１昇降用アーム２４参照）の基端部とを軸Ｕ１−１，Ｕ１−２まわりに回転可能に連結する。

すなわち、図５に示すように、ロボット１ａは、２つの支柱部２１から延びる２つの昇降アーム部２０を有するダブルリンク型のロボットである。

かかるダブルリンク型として構成することによって、ロボット１ａは、２つの昇降アーム部２０による高剛性を得ることができるので、たわみの少ない高精度な上下方向の搬送を実現することができる。この点は、ワークＷが大型の場合などに有用である。

そして、本実施形態に係る駆動機構Ｄは、かかるロボット１ａの第１関節部２３−１，２３−２として適用可能である。これにより、ロボット１ａが、ワークＷを上下方向に搬送する際、水平アーム部３０の保持するワークＷを第１関節部２３より下方に位置付ける姿勢をとった場合でも、排気によってワークＷを汚染することなく駆動源を冷却することができる。

なお、上述した各実施形態では、ロボットが高ストローク型として構成可能としたが、低ストローク型であってもよい。

また、上述した各実施形態では、主に昇降アーム部の第１関節部を例に挙げて説明を行ったが、鉛直方向に沿って立設される支柱部に対して連結されたリンクを相対的に回転させる関節であれば、部位を問わない。

さらに、上述した各実施形態では、駆動機構が、ロボットの関節機構として用いられる場合を例に挙げたがこれに限られるものではない。したがって、たとえば、駆動機構が、ロボット以外の装置に備えられ、単に駆動源の駆動力を外部へ出力するようなものであってもよい。

また、上述した各実施形態では、給気ファンが、排気ファンの２倍の個数設けられる場合を例に挙げたが、これら双方の個数の比を限定するものではない。したがって、内部空間の形状等に応じて、最適な冷却効率を得られるような個数比とすればよい。

また、上述した各実施形態では、ロボットが、ガラス基板を搬送する搬送ロボットである場合を例に挙げて説明を行ったが、被搬送物の種別を問うものではない。また、ロボットが、搬送作業以外の作業を行うロボットであってもよい。

また、上述した各実施形態によって、ロボットの腕の数やハンドの数、軸数などが限定されるものではない。

さらなる効果や変形例は、当業者によって容易に導き出すことができる。このため、本発明のより広範な態様は、以上のように表しかつ記述した特定の詳細および代表的な実施形態に限定されるものではない。したがって、添付の特許請求の範囲およびその均等物によって定義される総括的な発明の概念の精神または範囲から逸脱することなく、様々な変更が可能である。

１，１ａ ロボット
５ 制御装置
１０ 旋回機構
１１ 基台
１２ 旋回台
２０ 昇降アーム部
２１ 支柱部
２１ａ 隔壁
２３，２３Ａ，２３Ｂ 第１関節部
２３ａ 給気ファン
２３ｂ 排気ファン
２３ｂａ エアフィルタ
２３ｂｂ カバー
２３ｃ モータ
２３ｄ 減速機
２３ｄａ 出力部
２３ｅ モータカバー
２４ 第１昇降用アーム
２５ 第２関節部
２６ 第２昇降用アーム
２７ 第３関節部
３０ 水平アーム部
３１ａ 下側アームユニット
３１ｂ 上側アームユニット
３２ａ，３２ｂ 伸縮アーム部
３３ａ，３３ｂ ハンド部
３４ａ 下側支持部材
３４ｂ 上側支持部材
Ｄ 駆動機構
Ｓ 旋回軸
ＳＰ 内部空間
Ｕ１ 軸
Ｕ２ 軸
Ｕ３ 軸
Ｗ ワーク
ｏ 距離

Claims (9)

1. 駆動機構を備え、
   前記駆動機構は、
   駆動源と、
   前記駆動源を格納する内部空間と、
   前記内部空間に給気する給気ファンと、
   前記内部空間から排気する排気ファンと
   を備え、
   前記駆動機構は、
   前記給気ファンおよび前記排気ファンにより発生する気流によって、前記内部空間の内圧を前記内部空間外の気圧よりも低く維持するとともに、連結された一対のリンクの一方を他方に対して相対的に回転させること
   を特徴とするロボット。
2. 前記給気ファンの流量は、
   前記排気ファンの流量未満であること
   を特徴とする請求項１に記載のロボット。
3. 前記給気ファンは、
   前記排気ファンの２倍の個数設けられること
   を特徴とする請求項２に記載のロボット。
4. 前記駆動源は、
   モータ部と、
   前記モータ部から入力される回転を減じて出力する減速機部と
   を備えることを特徴とする請求項１、２または３に記載のロボット。
5. 前記給気ファンは、
   前記減速機部の周囲に設けられ、
   前記排気ファンは、
   前記モータ部の反負荷側に設けられること
   を特徴とする請求項４に記載のロボット。
6. 前記モータ部および前記減速機部は、
   該モータ部および該減速機部にそれぞれ接した隔壁によって隔てられ、
   前記給気ファンは、
   給気流が前記隔壁へ吹き付けられるように設けられること
   を特徴とする請求項５に記載のロボット。
7. 前記排気ファンは、
   エアフィルタを有すること
   を特徴とする請求項１〜６のいずれか一つに記載のロボット。
8. 前記排気ファンは、
   排気流を下方へ誘導する形状に形成されたカバーを有すること
   を特徴とする請求項１〜７のいずれか一つに記載のロボット。
9. 立設された少なくとも１つの支柱部と、
   前記駆動機構を介し、前記支柱部に対して相対回転可能に連結されたアーム部と、
   前記アーム部に連結され、ガラス基板を保持する保持部と
   をさらに備え、
   前記アーム部が回転することによって前記ガラス基板が前記駆動機構より下方に位置付けられても、前記排気ファンからの排気流によって前記ガラス基板を汚染しないこと
   を特徴とする請求項１〜８のいずれか一つに記載のロボット。

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