TW201515788A

TW201515788A - 驅動機構及機器人

Info

Publication number: TW201515788A
Application number: TW103117150A
Authority: TW
Inventors: Taisuke Namie; Hisaya Inoue; Satoshi Sueyoshi
Original assignee: Yaskawa Denki Seisakusho Kk
Priority date: 2013-06-25
Filing date: 2014-05-15
Publication date: 2015-05-01
Also published as: JP5817787B2; TWI546171B; KR20150001639A; JP2015006711A; CN104249377A; CN203936920U; KR101576375B1; CN104249377B

Abstract

有關實施方式的驅動機構具備：驅動源、內部空間、供氣扇、以及排氣扇。上述內部空間容納上述驅動源。上述供氣扇向上述內部空間供氣。上述排氣扇從上述內部空間排氣。而且，上述驅動機構利用由上述供氣扇及上述排氣扇產生的氣流，將上述內部空間的內壓維持得比上述內部空間外的氣壓低。

Description

驅動機構及機器人

揭示的實施方式有關驅動機構及機器人。

以往，在液晶面板顯示器的生產線上，習知有搬運成為原材料的玻璃基板之基板搬運用機器人(例如，參閱專利文獻1)。為了防止由塵埃(以下，記載為「微粒」)等引起的產品的品質下降，該機器人被置於所謂無塵室的內部這樣的潔淨環境下。

另外，為了保持這種清潔環境的清潔度，機器人所具有的臂部的驅動源通常被罩等覆蓋，形成防止來自機器人內部的微粒的飛散的構造。

〔專利文獻1〕日本特開2002-93881號專利公報

然而，在上述的以往技術中，存在保持清潔環境的清潔度的同時對驅動源進行冷卻的基礎上更有進行改善的餘地。

具體而言，由於驅動源如上述般被罩等覆蓋，因此存在所產生的熱難以逸散這樣的問題。關於該問題，可以考慮使空氣從配置有驅動源的內部空間向外部放出，但需要一併抑制來自機器人內部的微粒的飛散。

本發明實施方式之其中一樣態式是有鑒於上述問題而為之，其目的提供一種能夠保持潔淨環境的清潔度的同時對驅動源進行冷卻的驅動機構及機器人。

有關實施方式之其中一樣態的驅動機構具備：驅動源、內部空間、供氣扇、以及排氣扇。前述內部空間容納前述驅動源。前述供氣扇向前述內部空間供氣。前述排氣扇從前述內部空間排氣。而且，前述驅動機構利用由前述供氣扇及前述排氣扇產生的氣流，將前述內部空間的內壓維持得比前述內部空間外的氣壓低。

根據實施方式之其中一樣態，能夠保持潔淨環境的清潔度的同時對驅動源進行冷卻。

1‧‧‧機器人

5‧‧‧控制裝置

10‧‧‧迴旋機構

11‧‧‧基台

12‧‧‧迴旋台

20‧‧‧升降臂部

21‧‧‧支柱部

23‧‧‧第1關節部

24‧‧‧第1升降用臂

25‧‧‧第2關節部

26‧‧‧第2升降用臂

27‧‧‧第3關節部

30‧‧‧水平臂部

101‧‧‧箭頭

102‧‧‧箭頭

301‧‧‧箭頭

302‧‧‧箭頭

303‧‧‧箭頭

1a‧‧‧機器人

20-1‧‧‧第1升降臂部

20-2‧‧‧第2升降臂部

21-1‧‧‧支柱部

21-2‧‧‧支柱部

21a‧‧‧隔壁

23-1‧‧‧第1關節部

23-2‧‧‧第1關節部

23a‧‧‧供氣扇

23A‧‧‧第1關節部

23b‧‧‧排氣扇

23B‧‧‧第1關節部

23ba‧‧‧空氣過濾器

23bb‧‧‧罩殼

23c‧‧‧馬達

23d‧‧‧減速機

23da‧‧‧輸出部

23e‧‧‧馬達罩

31a‧‧‧下側臂單元

31b‧‧‧上側臂單元

32a‧‧‧伸縮臂部

32b‧‧‧伸縮臂部

33a‧‧‧把持部

33b‧‧‧把持部

34a‧‧‧下側支撐構件

34b‧‧‧上側支撐構件

D‧‧‧驅動機構

o‧‧‧距離

S‧‧‧迴旋軸

SP‧‧‧內部空間

U1‧‧‧軸

U1-1‧‧‧軸

U1-2‧‧‧軸

U2‧‧‧軸

U3‧‧‧軸

W‧‧‧工件

[圖1]圖1是有關第1實施方式之機器人的立體示意圖。

[圖2A]圖2A是第1關節部周邊的正視示意圖。

[圖2B]圖2B是第1關節部周邊的側視示意圖。

[圖2C]圖2C是表示供氣扇和排氣扇的關係的其中一例之圖。

[圖3A]圖3A是表示空氣的流動的第1關節部周邊之俯視透視圖。

[圖3B]圖3B是表示空氣的流動的第1關節部周邊之側視透視圖。

[圖3C]圖3C是表示工件位於比第1關節部更靠下方位置的狀態的示意圖。

[圖4A]圖4A是有關第1變形例之第1關節部周邊的正視示意圖。

[圖4B]圖4B是有關第2變形例之第2關節部周邊的正視示意圖。

[圖5]圖5是有關第2實施方式之機器人的立體示意圖。

以下，參閱附圖，對本案公開的驅動機構和機器人的實施方式進行詳細說明。尚且，由以下所示之實施方式，該發明並不限定於此。

另外，以下，是以機器人為搬運作為被搬運物的玻璃基板的搬運機器人的情況為例，進行說明。另外，對於被搬運物，記載為「工件」。另外，以下，有時將「構成機械構造並且相互能夠相對運動的各個剛性元件」記載為「連桿」，將相關的「連桿」記載為「臂」。

另外，在使用圖1至圖4B的說明中，對以單連桿式機器人為例的第1實施方式進行說明，在使用圖5的說明中，對以雙連桿式機器人為例的第2實施方式進行說明。

(第1實施型態)

首先，使用圖1對第1實施方式有關的機器人1的結構進行說明。圖1是有關第1實施方式之機器人1的立體示意圖。此外，以下，為了便於說明，設機器人1的旋轉位置處於圖1所示的狀態，對機器人1的各部位的位置關係進行說明。

另外，為了使說明容易理解，在圖1中，圖示了包含將垂直向上設為正方向、將垂直向下設為負方向的Z軸的3維正交座標系。因此，沿XY平面的方向指「水平方向」。以下的說明中所使用到其他的圖面中有時也示出了該正交座標系。另外，在以下的說明中，將從X軸的正方向觀察時規定為「正面」。

如圖1所示，機器人1具備迴旋機構10、升降臂部20、以及水平臂部30。

迴旋機構10具備基台11和迴旋台12。基台11例如被設置在地板等。迴旋台12以能夠將迴旋軸S作為中心進行迴旋的方式安裝在基台11的上部。迴旋台12以作為垂直軸的迴旋軸S為中心進行迴旋。經由該迴旋台12旋轉，升降臂部20和水平臂部30以迴旋軸S為中心迴旋。

升降臂部20是基端部被迴旋台12的前端部支撐、在前端部支撐水平臂部30的構件。機器人1以使該升降臂部20進行屈伸動作的方式，將工件W在上下方向上搬運(參閱圖中的箭頭101)。此外，機器人1可以構成為能夠將大型的工件W在上下方向上搬運數米規模的高行程型機器人。

具體而言，升降臂部20具備支柱部21、第1關節部23、第1升降用臂24、第2關節部25、第2升降用臂26、以及第3關節部27。第1關節部23是有關本實施方式的驅動機構D之其中一例，本發明的驅動設備使所連結的一對連桿中的一個連桿相對於另一個連桿相對旋轉，對其細節後述之。

支柱部21是從迴旋台12的前端部沿垂直方向豎立設置的連桿。此外，機器人1是具有1個這種支柱部21的單連桿式機器人。

第1升降用臂24的基端部介隔著支柱部21的前端部與第1關節部23連結。由此，第1升降用臂24以能夠將作為水平軸的第1關節部23的關節軸「軸U1」作為中心進行旋轉的方式被支撐在支柱部21的前端部。

第2升降用臂26的基端部介隔著第1升降用臂24的前端部與第2關節部25連結。由此，第2升降用臂26以能夠將作為水平軸的第2關節部25的關節軸「軸U2」作為中心進行旋轉的方式被支撐在第1升降用臂24的前端部。

水平臂部30介隔著第2升降用臂26的前端部與第3關節部27而連結。由此，水平臂部30以能夠將作為水平軸的第3關節部27的關節軸「軸U3」作為中心進行旋轉的方式被支撐在第2升降用臂26的前端部。如此，機器人1使用升降臂部20支承水平臂部30。

水平臂部30具備下側臂單元31a和上側臂單元31b。下側臂單元31a具備伸縮臂部32a、把持部33a、以及下側支撐構件34a。上側臂單元31b具備伸縮臂部32b、把持部33b、以及上側支撐構件34b。此外，由於上側臂單元31b是與下側臂單元31a為大致相同的構成，因此，在此使用下側臂單元31a的構成構件進行說明。

伸縮臂部32a的基端部被下側支撐構件34a支撐，在前端部支撐把持部33a。把持部33a用於載置工件W。下側支撐構件34a以能夠將軸U3作為中心進行旋轉的方式被支撐在第2升降用臂26的前端部。另外，上側支撐構件34b的基端部被固定在下側支撐構件34a。

然後，機器人1以使該水平臂部30進行伸縮動作的方式，將工件W搬運在水平方向上。例如，當機器人1位於圖1所示的旋轉位置時，機器人1使伸縮臂部32a、32b伸縮，而使工件W向X軸的正方向或負方向直線移動(參閱圖中的箭頭102)。

此外，如上述的迴旋機構10的迴旋動作、升降臂部20的屈伸動作以及水平臂部30的伸縮動作根據來自控制裝置5的指示來進行，前述控制裝置5透過通訊網路與機器人1連接。

控制裝置5是進行機器人1的驅動控制的控制裝置。例如，在機器人1的各關節部23、25、27上搭載有使所連結的一對臂的其中一個臂相對於另一個臂相對旋轉的驅動源，控制裝置5指示這些驅動源的驅動。

驅動源具備馬達部(以下，簡單記載為「馬達」)和減速機部(以下，簡單記載為「減速機」)。減速機是將從馬達輸入的旋轉減速後輸出的傳遞機構。上述的水平臂部30、第1升降用臂24、第2升降用臂26與該減速機的輸出軸連結。

然後，機器人1按照來自控制裝置5的指示使各馬達分別旋轉任意的角度，並經由減速機使該旋轉減速後輸出，由此使升降臂部20進行屈伸動作。

作為連接機器人1和控制裝置5的通訊網路，例如，可以使用有線LAN(Local Area Network：區域網路)、無線LAN這樣的一般的網路。此外，雖然在此省略圖示，但迴旋台12以及伸縮臂部32a、32b上也設置有同樣的驅動源，控制裝置5還進行這些驅動源的驅動指示。

另外，如圖1所示，第1關節部23還具備供氣扇23a和排氣扇23b。第1關節部23利用由該供氣扇23a及排氣扇23b產生的氣流，將容納驅動源的內部空間的內壓維持得比內部空間外的氣壓低。

接下來，對該第1關節部23的結構進行具體說明。圖2A是第1關節部周邊23的正視示意圖。圖2B是第1關節部周邊23的側視示意圖。圖2C是表示供氣扇23a和排氣扇23b的關係的其中一例之圖。

如圖2A所示，第1關節部23連結第1升降用臂24的基端部和支柱部21的前端部。另外，如已敘述般，第1關節部23具備供氣扇23a和排氣扇23b。

另外，如圖2B所示般，第1關節部23還具備馬達23c、減速機23d、及馬達罩23e。另外，第1關節部23具有由支柱部21、第1升降用臂24的各框架、以及馬達罩23e形成的內部空間SP。

供氣扇23a向該內部空間SP供氣，排氣扇23b從該內部空間SP排氣。

另外，馬達23c和減速機23d與軸U1大致同軸配置，並被容納在該內部空間SP中。此外，馬達23c和減速機23d藉由分別與該馬達23c以及減速機23d相接的隔壁21a而被分隔。

具體而言，在第1關節部23中，馬達23c被固定在支柱部21的隔壁21a上，減速機23d被固定在第1升降用臂24上。

減速機23d例如是RV(Rotary Vector：旋轉向量)式減速機，並具備主體部、輸入部、以及輸出部。主體部和輸入部被固定在第1升降用臂24上。

該減速機23d的輸入部與馬達23c的輸出軸連接，並接收馬達23c的旋轉力的輸入。並且，當馬達23c的旋轉力被輸入到該輸入部時，減速機23d使輸出部(23da，參閱圖3A)以比馬達23c的轉速更慢的轉速旋轉。

該減速機23d的輸出部(23da)被固定在支柱部21的隔壁21a上。因此，在第1關節部23中，當馬達23c的旋轉被輸入到減速機23d的輸入部時，減速機23d的主體部相對於被固定在隔壁21a上的輸出部(23da)做相對旋轉。其結果是，在第1關節部23中，固定減速機23d的主體部側的第1升降用臂24旋轉，第1升降用臂24相對於支柱部21的姿態發生變化。

另外，如圖2B所示，排氣扇23b具有空氣過濾器23ba。對於空氣過濾器23ba，為如HEPA過濾器(High Efficiency Particulate Air Filter：高效微粒空氣過濾器)、ULPA過濾器(Ultra Low Penetration Air Filter：超低滲透空氣過濾器)般的無塵室用的高性能過濾器者為佳。

另外，排氣扇23b更具有罩殼23bb。此外，雖然在圖2B中難以明瞭，但罩殼23bb形成為越過空氣過濾器23ba將排氣流向下方引導的形狀，例如，在下方具有開口部。另外，排氣扇23b被設置在馬達23c的負載相反側(相對於馬達23c而言，減速機23d的相反側)。

另外，如圖2A所示，供氣扇23a被設置在從正面觀察之第1關節部23時、即從軸向U1觀察時之、馬達部23c(參閱圖2A、圖2B)的周圍。另外，此時，供氣扇23a以使供氣流吹向上述的隔壁21a的方式被設置。即，馬達部及減速機部，係藉由分別與馬達部和減速機部相接的隔壁而被分隔，供氣扇被配置在相對於隔壁的馬達部側，並以使供氣流吹向隔壁的方式被設置。

在此，對供氣扇23a和排氣扇23b的關係的其中一例進行說明。在本實施方式中，供氣扇23a的流量被設置為小於排氣扇23b的流量。

例如，如圖2C所示般，當每1個的供氣扇23a的流量為「a」時，作為排氣扇23b，選擇大於該流量的2倍「2a」的流量的風扇。此外，在此，「流量」設為供氣扇23a和排氣扇23b各自的額定流量。

另外，該情況下，相對於設置有1個排氣扇23b的情況，供氣扇23a被設置排氣扇的2倍，亦即2個。因此，在此，供氣扇23a的總流量<排氣扇23b的總流量。

在本實施方式中，利用如此組合供氣扇23a和排氣扇23b，以這些風扇所產生的氣流，將內部空間SP的內壓維持得比內部空間SP外的氣壓低。由此，首先，由於內部空間SP不會是正壓，因此能夠抑制機器人1內部的微粒飛散。此外，圖2C所示的組合僅是其中一例這點是毋庸置疑的。

回到圖2A的說明。按上述圖2C的組合選擇出的供氣扇23a和排氣扇23b，例如，如圖2A所示般，被設置成使中心部的高度位置對齊且將排氣扇23b配置在中央的橫向排列。

此外，基於供氣扇23a和排氣扇23b的冷卻性能例如受內部空間SP的形狀、空間容積等諸多條件影響。因此，對於供氣扇23a和排氣扇23b的配置方式，根據實驗資料等選擇最佳的配置方式者為佳。此外，在本實施方式中，設為圖2A所示的配置方式來進行說明。

另外，如圖2A所示般，排氣扇23b為其中心部從軸U1僅偏離距離o者為佳。這是為了防止：由於排氣扇23b具有空氣過濾器23ba，並進一步用罩殼23bb覆蓋該空氣過濾器23ba，因此藉由這些厚度使機器人1的最小回轉直徑擴大。距離o是與罩殼23bb的外形等相應的距離即可。此外，如果對最小迴旋徑沒有影響，則也可以不進行這樣的偏離。

接下來，使用圖3A和圖3B，對由供氣扇23a和排氣扇23b產生的空氣的流動進行具體說明。圖3A是表示空氣的流動的第1關節部23周邊之俯視透視圖。圖3B是表示空氣的流動的第1關節部23周邊之側視透視圖。

如圖3A所示，首先，內部空間SP外的空氣藉由供氣扇23a被供給至內部空間SP(參閱圖中的箭頭301)。

並且，如圖3A或圖3B所示般，被供給至內部空間SP的空氣藉由供氣扇23a被吹向隔壁21a，而形成沿隔壁21a流動的氣流。另外，與此同時，利用排氣扇23b的旋轉，形成從馬達23c的負載側(減速機側)沿負載相反側引導的氣流(參閱兩圖中的箭頭302)。

並且，如圖3A或圖3B所示般，被排氣扇23b引導的空氣經由空氣過濾器23ba被除塵之後，經由罩殼23bb 向下方被引導而被排出(參閱兩圖中的箭頭303)。

在此，對經由這樣的空氣流動所獲得的效果進行說明。首先，減速機23d主要藉由被吹向隔壁21a的空氣冷卻。這是因為：隔壁21a發揮所謂散熱板的作用，擴散在輸出部23da中與隔壁21a相接的減速機23d的熱。

因此，至少隔壁21a是導熱性良好的鋁等金屬材料者為佳。另外，也可以在隔壁21a上設置散熱片的方式，來實現冷卻效率的進一步提高。

另外，馬達21c與減速機23d一起受到由隔壁21a所致的熱的散熱效果，並且藉由沿馬達21c流動的空氣也被散熱。這對於冷卻比減速機23d更容易處於高溫的馬達21c而言是有效的。

另外，如上述般，由於利用由供氣扇23a及排氣扇23b產生的氣流，將內部空間SP的內壓維持得比內部空間SP外的氣壓低，因此內部空間SP內的微粒的飛散得到抑制。

而且，由於進一步對內部空間SP內的空氣透過作為高性能過濾器的空氣過濾器23ba進行除塵，因此能夠從內部空間SP的內部向外部排出清潔的空氣。亦即，能夠保持潔淨環境的清潔度的同時冷卻驅動源。

另外，在有關本實施方式的機器人1的情況，當將工件W在上下方向上搬運時，具有能夠更有效地防止工件W的污染這樣的優點。關於該點，使用圖3C進行具體說明。

圖3C是表示工件W位於比第1關節部23更靠下方位置的狀態的示意圖。此外，在圖3C中，使用表示關節的附圖標記，極其示意性地表示機器人1。

如圖3C所示，有時機器人1採取如下姿態：將工件W在上下方向上搬運時，使第1關節部23、第2關節部25以及第3關節部27旋轉，而使水平臂部30所保持的工件W位於比第1關節部23更靠下方的位置。

即使是採取這樣的姿態的情況下，根據本實施方式，也能夠冷卻驅動源而不污染工件W。亦即，能夠利用由供氣扇23a和排氣扇23b產生的氣流，如上前述地有效地冷卻馬達23c和減速機23d。

另外，利用由供氣扇23a及排氣扇23b產生的氣流，將內部空間SP的內壓維持得比內部空間SP外的氣壓低，內部空間SP內的微粒的飛散得到抑制的同時，內部空間SP內的微粒進一步透過空氣過濾器23ba被除塵。

而且，該被除塵的空氣進一步朝向第1關節部23的略正下方被排出。因此，即使機器人1採取如圖3C的姿態時，也能夠防止工件W因排氣而被污染。亦即，能夠保持潔淨環境的清潔度的同時冷卻驅動源。

另外，除了上述的效果以外，在本實施方式中，不將由供氣扇23a供給的空氣直接吹向馬達23c、減速機23d，而吹向隔壁21a，因此能夠防止在馬達23c、減速機23d中發生結露。

此外，至此，以將按上述圖2C的組合選擇出的供氣扇23a和排氣扇23b配置成使中心部的高度位置對齊的橫向排列的配置方式為例進行了列舉，但配置方式不限於此。

圖4A是有關第1變形例之第1關節部23A周邊的正視示意圖。而且，圖4B是有關第2變形例之第1關節部23B周邊的正視示意圖。

例如，作為第1變形例，如圖4A所示，也可以不將供氣扇23a及排氣扇23b在水平方向上橫向排列，而配置成供氣扇23a相對於水平方向呈傾斜的配置方式。

另外，例如，作為第2變形例，如圖4B所示，也可以將在水平方向上橫向排列地配置的供氣扇23a×2個及排氣扇23b×1個的組合配置成上下2組。

這些第1變形例和第2變形例的配置方式如上前述，例如為根據內部空間SP的形狀、空間容積等諸多條件，使冷卻效率達到最佳那樣的方式即可。

另外，至此，供氣扇23a的流量設為小於排氣扇23b的流量，該流量設為供氣扇23a和排氣扇23b的額定流量，但是，例如，也可以為相同的額定流量。

此時，將流量設為實際流動的空氣的量的基礎上，以使供氣扇23a的流量小於排氣扇23b的流量的方式，適當控制供氣扇23a和排氣扇23b各自的轉速即可。

這可以藉由設為能夠由控制裝置5控制供氣扇23a和排氣扇23b的旋轉的連接結構，並將內部空間SP的內壓由壓力感測器等適當檢測出並輸出到控制裝置5來實現。

另外，也可以在排氣扇23b的附近設置溫度感測器的基礎上，利用控制裝置5依次監視來自排氣扇23b的排氣的溫度，並根據該溫度，控制裝置5控制供氣扇23a和排氣扇23b各自的轉速。

如上前述般，有關第1實施方式的驅動機構(第1關節部)具備：驅動源、內部空間、供氣扇、及排氣扇。上述內部空間容納上述驅動源。上述供氣扇向上述內部空間供氣。上述排氣扇從上述內部空間排氣。

而且，上述驅動機構利用由上述供氣扇及上述排氣扇產生的氣流，將上述內部空間的內壓維持得比上述內部空間外的氣壓低。

因此，根據有關第1實施方式的驅動機構，能夠保持潔淨環境的清潔度的同時冷卻驅動源。

然而，至此，以機器人為單連桿式機器人的情況為例進行了說明，但機器人也可以是雙連桿型。將這種情況作為第2實施方式，使用圖5進行說明。

(第2實施型態)

圖5是有關第2實施方式之機器人1a的立體示意圖。此外，在第2實施方式中，主要只僅對與第1實施方式不同的構成要件進行說明。

如圖5所示般，機器人1a具備：基台11、迴旋台12、第1升降臂部20-1、及第2升降臂部20-2。第1升降臂部20-1具備：支柱部21-1和第1關節部23-1。而且，第2升降臂部20-2具備：支柱部21-2和第1關節部23-2。

支柱部21-1、21-2分別豎立設置在圍繞迴旋軸S迴旋的迴旋台12左右的兩端部。第1關節部23-1、23-2將支柱部21-1、21-2的前端部、和與它們相鄰的連桿(參閱圖1的第1升降用臂24)的基端部以能夠分別圍繞軸U1-1、U1-2旋轉的方式連結。

亦即，如圖5所示般，機器人1a是具有從兩根支柱部(21-1，21-2)延伸的兩個升降臂部(20-1，20-2)的雙連桿式機器人。

藉由構成為這種雙連桿型，機器人1a能夠獲得由兩個升降臂部(20-1，20-2)實現的高剛性，因此能夠實現撓曲小的高精度的上下方向的搬運。這一點對工件W是大型工件的情況等是有用的。

並且，本實施方式有關的驅動機構D適合用作該機器人1a的第1關節部23-1、23-2。由此，機器人1a當將工件W在上下方向搬運時，即使採取使水平臂部30所保持的工件W位於比第1關節部23更靠下方的位置的姿態的情況下，也能夠冷卻驅動源而工件W不會被排氣污染。

根據上述的實施方式的具有驅動設備的機器人更具備：豎立設置的至少1個支柱部；經由驅動機構能夠相對於支柱部相對旋轉的方式被連結於該支柱部的臂部；以及與臂部連結並支撐基板的支撐部；即使因臂部旋轉而使基板位於比驅動機構更靠下方的位置，基板也不會被來自排氣扇的排氣流污染。

此外，在上述的各實施方式中，機器人可以構成為高行程型機器人，但也可以為低行程型機器人。

另外，在上述的各實施方式中，主要以升降臂部的第1關節部為例進行了說明，但只要是使相對於沿垂直方向豎立設置的支柱部連結的連桿相對旋轉的關節，則不限定部位。

更進一步，在上述的各實施方式中，以驅動機構用作機器人的關節機構的情況為例進行了說明，但不限於此。因此，例如，驅動機構也可以設置在機器人以外的裝置中，並僅將驅動源的驅動力向外部輸出。

另外，在上述的各實施方式中，以供氣扇被設置排氣扇的2倍個數的情況為例進行了說明，但並不限定供氣扇和排氣扇兩者的個數之比。因此，根據內部空間的形狀等，設為獲得最佳的冷卻效率的個數比即可。

另外，在上述的各實施方式中，以機器人是對玻璃基板進行搬運的搬運機器人的情況為例進行了說明，但不限制被搬運物的類別。另外，機器人也可以是進行搬運作業以外的作業的機器人。

另外，機器人的臂的數量、手的數量、軸數等不限於上述的各實施方式。

本發明所屬技術領域中具有通常知識者能夠容易地導出本發明的進一步的效果和變形例。因此，本發明的更廣泛的方式不限於如上表示並記述的特定的詳細和典型的實施方式。因此，在不脫離由所附申請專利範圍及藉由其均等物所定義的總括發明概念的精神或範圍的情況下，能夠進行各種變更。