JPH0413595A - クリーンロボット - Google Patents

クリーンロボット

Info

Publication number
JPH0413595A
JPH0413595A JP11544090A JP11544090A JPH0413595A JP H0413595 A JPH0413595 A JP H0413595A JP 11544090 A JP11544090 A JP 11544090A JP 11544090 A JP11544090 A JP 11544090A JP H0413595 A JPH0413595 A JP H0413595A
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
exhaust fan
shaft
linear motion
air
clean robot
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Pending
Application number
JP11544090A
Other languages
English (en)
Inventor
Muneaki Shimada
宗明 島田
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Mitsubishi Electric Corp
Original Assignee
Mitsubishi Electric Corp
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Mitsubishi Electric Corp filed Critical Mitsubishi Electric Corp
Priority to JP11544090A priority Critical patent/JPH0413595A/ja
Publication of JPH0413595A publication Critical patent/JPH0413595A/ja
Pending legal-status Critical Current

Links

Landscapes

  • Manipulator (AREA)

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 (産業上の利用分野) 本発明は、クリーンルームて使用されるクリーンロボッ
トの構造の改良に関するものである。
(従来の技術) 第6図〜第8図は従来のクリーンロボットを示すもので
、図中、(1)はクリーンロボットの下部固定ベースで
、この有底筒状の下1固定ヘース(1)の上部開口部に
は第6図に示す如く、回動可能の施四台(2)をヘアリ
ング(3)を介して嵌入し、この平面略環状の施回台(
2)には、第1の直動軸(4)を立設しており、この第
1の直動軸(4)には昇降可能の第2の直動軸(5)を
水平に支持させるとともに、この第2の直動@(5)に
は、水平方向に移動可能のハント(6)を支持させてい
る。
上記下部固定ベース(1)は第7図に示す如く、底部に
穿設されダストを含んだ空気の外部への流出を許容する
排気口(11)と、該底部に敷設されダストを含んだ空
気を吸引して直下の排気口(]l)に圧送する単一の排
気ファン(12)と、内周壁の取付部に装着されたモー
タ(13)と、このモータ(13)の上方に指向した出
力軸に嵌着されたギア(14)とを備えて構成されてい
る。
また、旋回台(2)の下部には第7図に示す如く、上記
ギア(14)と噛合するギア(内転ギア)(21)か周
設されている。
一方、第1の直動軸(4)は第6図及び第8図に示す如
く、本体である縦長のケーシング(40)と、このケー
シング(40)に垂直に穿設され流入したダストを含ん
だ空気を下方の旋回台(2)の貫通孔に導く流通路(4
1)と、この流通路(41)を画成する壁(42)に穿
設されダストを含んた空気の流通路(41)への流入を
許容する流入口(43)と、該壁(42)に垂直に取着
された一対のガイド(44)と、該流入口(43)に連
通ずる通風路(45a)を備え一対のガイド(44)に
案内されつつ昇降移動する昇降体(45)と、ケーシン
グ(40)の内部に垂直に支持されモータ(図示せず)
の駆動に基づき回転して螺嵌した昇降体(45)を昇降
移動させるポール螺子(46)と、昇降体(45)の両
側に位置するケーシング(40)の側壁の端部に取着さ
れ開口部(47)の面積を縮小するカバー(48)とを
備えて構成されている。
他方、第2の直動軸(5)は第6及び第8図に示す如く
、側面に溝状の開口部(50)を備えた横長のケーシン
グ(51)と、このケーシング(51)と昇降体(45
)との接続部に穿設され開口部(50)からケーシング
(51)の内部に流入した空気を該通風路(45a)に
導く流入口(52)と、ケーシング(51)の内壁に水
平に取着されたガイド(53)と、このガイド(53)
に摺動自在に嵌合されハンド(6)との接続部か開口部
(50)を貫通して外部に突出した移動体(54)と、
ケーシング(51)の内壁にL字形の取付部材(55)
を介して装着されたモータ(56)と、該ケーシング(
51)の内部に水平に支持され接続したモータ(56)
の駆動に基づき回転して螺嵌した移動体(54)を移動
させるホール螺子(57)とを備えて構成されている。
尚、矢印(A)は気流を示す。
然して、上記モータ(13)・(56)の駆動やホール
螺子(46)・(57)の回転作用により、クリーンロ
ボットは所定の作業を行う。そして、上記作業時に排気
ファン(12)か駆動して第1・第2の直動軸(4)・
(5)の内部を負圧にし、第6図〜第8図に矢印で示す
気流(八)を発生させて作業に伴いクリーンロボットの
内部に発生したダストを排気口(11)から外部に排出
するとともに、外部の汚染されていない空気を開口部(
50)から第2直動軸(5)の内部に導入する。
〔発明が解決しようとする課題] 従来のクリーンロボットは以上のように構成され、長く
形成された第1・第2の直動@(4)(5)の内部のダ
ストを単一の排気ファン(12)を使用して外部に排出
していたのて、第2の直動軸(5)の内部の気流(A)
が極めて弱く、最悪の場合には、第2の直動軸(5)の
内部に気流[A)が発生せす、ダストか残存してしまう
という問題点かあった。
本発明は上記に鑑みなされたもので、ダストを完全に除
去することのできるクリーンロボットを提供することを
目的としている。
(課題を解決するための手段〕 本発明においては上述の目的を達成するため、下部固定
ヘースに回動可能に重合された旋回台と、この旋回台に
縦長に立設された開口部を備えた第1の直動軸と、この
第1の直動軸の内部に昇降可能に配設された昇降体と、
この昇降体の該開口部を貫通して外部に突圧した接続部
に接続された第2の直動軸とを備え、しかも、下部固定
へ一スの内部に、第1の直動軸の内部に流入した空気を
吸引して排気口から外部に排出する第1の排気ファンを
設け、昇降体の接続部には、第2の直動軸の開口部から
内部に流入した空気を吸引して第1の直動軸の内部に圧
送する第2の排気ファンを設けたことを特徴としている
(作用) 本発明によれは、下部固定ベースの内部に、第1の直動
軸の内部に流入した空気を吸引して排気口から外部に排
出する第1の排気ファンを設け、昇降体の接続部には、
第2の直動軸の開口部から内部に流入した空気を吸引し
て第1の直動軸の内部に圧送する第2の排気ファンを設
けているので、下部固定ベース、及び第1・第2の直動
軸の内部のダストを気流を発生させて確実に除去するこ
とかできる。
(実施例〕 以下、第1図〜第3図に示す一実施例に基づき本発明を
詳述すると、図中、(4)は施回台(2)上に立設した
第1の直動軸て、この第1の直動軸(4)は第1図及び
第2図に示す如く、本体である縦長のケーシング(40
)と、このケーシング(40)に垂直に穿設され流入し
たダストを含んだ空気を下方の施回台(2)の貫通孔に
導く流通路(41)と、この流通路(41)を画成する
壁(42)に穿設されダストを含んだ空気の流通路(4
1)への流入を許容する流入口(43)と、該壁(42
)に垂直に取着された一対のガイド(44)と、この一
対のガイド(44)に案内されつつ昇降移動する昇降体
(45)と、この昇降体(45)の内部の反ケーシング
側に形成され流入したダストを含んだ空気を左右に分流
して昇降体(45)の両側部から流入口(43)に導く
通風路(45a) と、ケーシング(40)の内部に垂
直に支持されモータの駆動に基づき回転して螺嵌した昇
降体(45)を昇降移動させるホール螺子(46)と、
ケーシング(40)の両側部に取着され昇降体(45)
に貫通される開口部(47)を形成する略り字形のカバ
ー(48)と、開口部(47)の面積を縮小するカバー
(48A)  と、ケーシング(40)の内部に垂設さ
れ昇降体(45)に貫通される支柱(49)とから構成
されている。
また、(5)は昇降体(45)の接続部に水平に接続し
た第2の直動軸て、この第2の直動軸(5)は第1図及
び第2図に示す如く、側面に溝状の開口部(50)を備
えた横長のケーシング(51)と、このケーシング(5
1)と昇降体(45)との接続部に穿設されケーシング
(51)の内部に流入した空気を該通風路(45a)に
導く流入口(52)と、ケーシング(51)の内部を長
手方向に部分する仕切り板(58)と、この仕切り板(
58)に穿設され空気の流通を許容する複数の孔(58
a)  と、仕切り板(58)に水平に取着されたカイ
ト(53)と、このカイト(53)に摺動自在に嵌合さ
れハント(6)との接続部が開口部(50)を貫通して
外部に突出した移動体(54)と、仕切り板(58)に
L字形の取付部材(55)を介して装着されたモータ(
56)と、該ケーシング(51)の内部に水平に支持さ
れ接続したモータ(56)の駆動に基づき回転して螺嵌
した移動体(54)を移動させるボール螺子(57)と
を備えて構成されている。
(7)は昇降体(45)の通風路(45a)に配設して
流入口(52)に重合した第2の排気ファンで、この第
2の排気ファン(ア)は第2図に示す如く、第2の直動
軸(5)の内部のダストを含んだ空気を吸引して第1の
直動軸(4)の内部に、換言すれは、流通路(41)に
圧送するとともに、外部の汚染されていない空気を第2
の直動軸(5)の開口部(50)からその内部に導入す
る機能を有している。
(8)は下部固定へ−ス(1)の底部に敷設して排気口
(11)に重合した第1の排気ファンて、この第1の排
気ファン(8)は、その流量が第2の排気ファン(7)
の流量と開口部(47)から第1の直動軸(4)及び下
部固定ベース(1)の内部に流入する流量との総和より
も大きくなる様に設定され、気流(A)を確実に発生さ
せる作用を営む。そして、下部固定ベース(1)の内部
に流入したダストを含んだ空気を吸引して直下の排気口
(11)から外部に排出するとともに、外部の汚染され
ていない空気を第1の直動軸(4)の開口部(47)か
ら内部に導入する機能を有している。
その他の部分については従来例と同様である。
従って、クリーンロボットの作業時に第2の排気ファン
(7)が駆動すると、第2の直動軸(5)の内部か負圧
となって気流(A)を発生させ、内部の空気は流入口(
52)、第2の排気ファン(7)、及び通風路(45a
)を紅白して第1の直動軸(4)の内部に流入し、その
後、流入口(43)から通風路(41)に流入する。ま
た、該負圧作用により、外部の汚染されていない空気が
第2の直動軸(5)の開口部(50)からその内部に流
入する。
方、第2の排気ファン(7)と同期して第1の排気ファ
ン(8)か駆動すると、下部固定ベース(1)と第1の
直動軸(4)の内部か負圧となって気流(A)を発生さ
せ、流通路(41)の空気は下部固定へ一ス(1)の内
部に流入して第1の排気ファン(8)に嘔引され、その
後、排気口(11)から外部に排出される。また、該負
圧作用により、外部の汚染されていない空気が第1の直
動軸(4)の開口部(47)からその内部に流入する。
以上のように本発明によれば、下部固定ベース(1)の
内部と昇降体(45)の通風路(45a)に、第1・第
2の排気ファン(8)・(ア)をそれぞれ配設している
ので、絶えることのない強力な気流(A)を確実に発生
させることが可能となり、下部固定ベース(1)、第1
の直動軸(4)、及び第2の直動軸(5)のダストを確
実に除去することが可能となる。さらに、本発明によれ
ば、第1の排気ファン(8)の流量を第2の排気ファン
(ア)の流量と開口部(47)から第1の直動軸(4)
及び下部固定ベース(1)の内部に流入する流量との総
和よりも犬ならしめているので、開口部(47)からの
空気の漏泄を確実に防止することができる。
尚、上記実施例では、昇降体(45)に第2の直動軸(
5)を単に固定したクリーンロボットを示したが、第4
図、及び第5図に示す様なりリーンロボットに適用して
も上記実施例と同様の作用効果を奏する。
(発明の効果〕 以上のように本発明によれは、下部固定へ−スの内部に
、第1の直動軸の内部に流入した空気を吸引して排気口
から外部に排出する第1の排気ファンを設け、昇降体の
接続部には、第2の直動軸の開口部から内部に流入した
空気を吸引して第1の直動軸の内部に圧送する第2の排
気ファンを設けているので、下部固定ベース、及び第1
・第2の直動軸の内部のダストを気流を発生させて確実
に除去することのできるクリーンロボットを提供するこ
とができる。
【図面の簡単な説明】
第1図は本発明に係るクリーンロボットの一実施例を示
す全体斜視図、第2図は第1図の直動軸と第2の直動軸
との関係を示す断面平面図、第3図は第1図に示すクリ
ーンロボットをモデル化して示す図、第4図、及び第5
図は本発明に係るクリーンロボットの他の実施例を示す
全体斜視図、第6図は従来のクリーンロボットを示す全
体斜視図、第7図は従来のクリーンロボットの下部固定
ベース及び施回台を示す説明図、第8図は従来のクリー
ンロボットの第1の直動軸と第2の直動軸との関係を示
す第2図相当図である。 図中、(1)は下部固定ベース、(2)は施回台、(4
)は第1の直動軸、(5)は第2の直動軸、(6)はハ
ンド、(7)は第2の排気ファン、(8)は第1の排気
ファン、(11)は排気口、(12)は排気ファン、(
45)は昇降体、(47)・(50)は開口部である。 尚、図中同一符号は同−又は相当部分を示す。

Claims (1)

    【特許請求の範囲】
  1. 下部固定ベースに回動可能に重合された施回台と、この
    施回台に縦長に立設された開口部を備えた第1の直動軸
    と、この第1の直動軸の内部に昇降可能に配設された昇
    降体と、この昇降体の該開口部を貫通して外部に突出し
    た接続部に接続された第2の直動軸とを備えたクリーン
    ロボットにおいて、上記下部固定ベースの内部に、第1
    の直動軸の内部に流入した空気を吸引して排気口から外
    部に排出する第1の排気ファンを設け、昇降体の接続部
    には、第2の直動軸の開口部から内部に流入した空気を
    吸引して第1の直動軸の内部に圧送する第2の排気ファ
    ンを設けたことを特徴とするクリーンロボット。
JP11544090A 1990-05-01 1990-05-01 クリーンロボット Pending JPH0413595A (ja)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP11544090A JPH0413595A (ja) 1990-05-01 1990-05-01 クリーンロボット

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP11544090A JPH0413595A (ja) 1990-05-01 1990-05-01 クリーンロボット

Publications (1)

Publication Number Publication Date
JPH0413595A true JPH0413595A (ja) 1992-01-17

Family

ID=14662615

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP11544090A Pending JPH0413595A (ja) 1990-05-01 1990-05-01 クリーンロボット

Country Status (1)

Country Link
JP (1) JPH0413595A (ja)

Cited By (8)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US6116841A (en) * 1997-07-30 2000-09-12 Tokyo Electron Limited Substrate transferring apparatus and substrate processing apparatus using the same
WO2007087295A2 (en) * 2006-01-25 2007-08-02 Protedyne Corporation Scara-type robotic system
JP2008018497A (ja) * 2006-07-13 2008-01-31 Yaskawa Electric Corp 走行装置およびロボット
JP2009525097A (ja) * 2006-02-03 2009-07-09 ザ ヨーロピアン アトミック エナジー コミュニティ(ユーラトム)、リプリゼンテッド バイ ザ ヨーロピアン コミッション 医療ロボットシステム
WO2009096373A1 (ja) * 2008-01-31 2009-08-06 Canon Anelva Corporation 真空搬送装置
JP2012020382A (ja) * 2010-07-16 2012-02-02 Nidec Sankyo Corp 産業用ロボット
JP2013157561A (ja) * 2012-01-31 2013-08-15 Yaskawa Electric Corp 搬送ロボット
CN104249377A (zh) * 2013-06-25 2014-12-31 株式会社安川电机 驱动机构及机器人

Cited By (12)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US6116841A (en) * 1997-07-30 2000-09-12 Tokyo Electron Limited Substrate transferring apparatus and substrate processing apparatus using the same
WO2007087295A2 (en) * 2006-01-25 2007-08-02 Protedyne Corporation Scara-type robotic system
WO2007087295A3 (en) * 2006-01-25 2007-09-27 Protedyne Corp Scara-type robotic system
US7374525B2 (en) 2006-01-25 2008-05-20 Protedyne Corporation SCARA-type robotic system
JP2009525097A (ja) * 2006-02-03 2009-07-09 ザ ヨーロピアン アトミック エナジー コミュニティ(ユーラトム)、リプリゼンテッド バイ ザ ヨーロピアン コミッション 医療ロボットシステム
US9358682B2 (en) 2006-02-03 2016-06-07 The European Atomic Energy Community (Euratom), Represented By The European Commission Medical robotic system
JP2008018497A (ja) * 2006-07-13 2008-01-31 Yaskawa Electric Corp 走行装置およびロボット
WO2009096373A1 (ja) * 2008-01-31 2009-08-06 Canon Anelva Corporation 真空搬送装置
JP4838357B2 (ja) * 2008-01-31 2011-12-14 キヤノンアネルバ株式会社 真空搬送装置
JP2012020382A (ja) * 2010-07-16 2012-02-02 Nidec Sankyo Corp 産業用ロボット
JP2013157561A (ja) * 2012-01-31 2013-08-15 Yaskawa Electric Corp 搬送ロボット
CN104249377A (zh) * 2013-06-25 2014-12-31 株式会社安川电机 驱动机构及机器人

Similar Documents

Publication Publication Date Title
JPH0413595A (ja) クリーンロボット
JP2700621B2 (ja) ロボット
JP2507583B2 (ja) クリ―ンロボット
JP3129985B2 (ja) クリーンロボット
JP2019123024A (ja) 産業用ロボット
JPH06272921A (ja) クリーンブースユニット及びそれを備えたクリーンルーム
CN214221610U (zh) 机头组件、风扇
JP4219569B2 (ja) 細穴放電加工機
JPS6317334A (ja) レンジフ−ド
JP2005076592A (ja) 防音型エンジン駆動作業機
CN209539660U (zh) 一种低噪音管道风机机壳
JP2000313571A (ja) エレベータの制御装置
JP2004009152A (ja) 産業用ロボット
CN205478224U (zh) 风扇
CN214585248U (zh) 一种建筑室内环境检测装置
CN216115338U (zh) 一种固化设备的改进
CN221659741U (zh) 一种数控玻璃加工机的真空吸附平台
WO2020151563A1 (zh) 表面处理设备
CN209718020U (zh) 一种板材cnc加工中心
CN221017900U (zh) 一种落地式实验室通风柜
EP4435335A1 (en) Fan assembly and ducted air conditioner
CN209218529U (zh) 一种具有抑尘效果的led贴片机
JPH02106282A (ja) 産業用ロボット
JP2001033059A (ja) 空気調和機
EP3390838B1 (en) Environmental sensor