JPH02106282A - 産業用ロボット - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 ［産業上の利用分野］ 本発明は、クリーンルーム内で稼動する産業用ロボット
に関するものである。

［従来の技術］ 第３図および第４図は、一般的な産業用直交座標形ロボ
ットのベース部を示すもので、第３図は第４図のＢ−Ｂ
断面図、第４図は第３図のＡ−Ａ断面図である。図にお
いて、（１）はベース、　＜２２）はベース（１）に固
定されたＬ形のモータ取付板、（２３）はモータ取付板
（２２）に取付けられた駆動用モータ、（２４）はベー
ス（１）に固定された２条の直線運動軸受、（２５）は
直線運動軸受（２４）にまたがって設置されたスライダ
ーで・、このスライダー（２５）の上部には図示されな
い他軸又は作業機等が取付けられている。（２６）はボ
ールネジ、（２７）はボールネジ（２６）の回転軸受部
で、ベース（１）に固定されてボールネジ（２６）を回
転自由に支持している。（２８）は駆動用モータ（２３
）の出力軸に固定された駆動歯付プーリ、（２９）はボ
ールネジ（２６）に固定された従動歯付プーリ、（３０
）は駆動歯付プーリ（２８）の回転力を従動歯付プーリ
（２９）に伝える歯付ベルト、（３１）、（３２）、（
３３）はベース（１）に固定されて側面および上面を覆
うカバーである。

次にこの作用について説明する。駆動用モータ（２３）
によって発生した回転力は、駆動歯付プーリ（２８）か
ら歯付ベルト（３０）を介して、従動歯付プーリ（２９
）に伝達される。これによって従動歯付プーリ（２９）
に固定され回転軸受部（２７）に支持されたボールネジ
（２Ｇ）が回転し、この回転運動は、ボールネジ（２６
）の軸受に固定されたスライダー（２５）に直線運動を
与え、スライダー（２５）は直線運動軸受（２４）に摺
動しながら前後に移動する。

［発明が解決しようとする課題］ 上記のような従来の産業用直交座標形ロボットでは、ス
ライダー（２５）が移動するためロボットを覆っている
カバー（３１）、　（３２）　、　（３３）　、に逃が
し穴が必要となり、そのためロボットを密閉できず、ロ
ボット内部ロボット外との間に空気交換が生じ、ロボッ
トの塵によりクリーンルーム内の空気を汚染するとい問
題があった。又、クリーンルーム作業場は上方から下方
へ空気を層流にしているが、ロボット上部に空気流が当
って乱流を起し、ロボット上方より生じた塵がクリーン
ルーム内に拡散するという問題もあった。

本発明は、かかる課題を解決するためになされたもので
、スライダーが直線運動をしても、ロボット内の塵が外
へ放出されることのない作業用ロボットを得ることを目
的とする。

［課題を解決するための手段］ 本発明に係る産業用ロボットは内部の摺動部近傍に、全
面に多数の小孔を有する集塵ダクトを配置し、この集塵
ダクトに吸引ファンを接続し、更に吸引ファンからクリ
ーンルーム外へ排気ホースを連結したものである。

［作　用］ 本発明においては、ロボットの稼動中、吸引ファンを駆
動させることにより、集塵ダクト内及びロボット内部が
負圧となるので、摺動部から発生する塵は集塵ダクト内
へ吸引されるばかりでなく、ロボット内から外へ空気が
流出することがないので、ロボットがどのような動きを
しても、クリーンルームを汚染することはない。また空
気流がロボット上部に当っても乱流を生ずることなく集
塵ダクト内に流入するようになる。

［実施例コ 第１図、第２図は、本発明の一実施例を示すもので、第
１図は第２図のＢ−Ｂ断面図、第２図は第１図のＡ−Ａ
断面図である。図において（１）はベース、（２）はベ
ース（１）に固定された中間枠、（３）は中間枠（２）
に固定されたハウジング、（４）はハウジング（３）に
取付けられた駆動用モータ、（５）はボールネジで、カ
ップリング（６）によって駆動用モータ（４）と連結さ
れている。（７）は軸受けで、ハウジング（３）に内蔵
され、駆動モータ（４）に連結されたボールネジ（５）
をベース（１）の軸受（８）と共に回転可能に支持して
いる。（９）はベース（１）に固定された直線運動軸受
で、２列に設置されてスライダー（１０）を支持してい
る。

スライダー（ｌＯ）はボールネジ（５）に嵌合する軸受
機と固定されており、ボールネジ（５）の回転により前
後に移動する。スライダー（１０）の上部には図示され
ない他軸および作業機等が取付けられる。

（１１）は吸引ファンで、ベース（１）および中間枠（
２）に固定された集塵ダクト（１２）に接続されている
。又集塵ダクト（１２）は２重管となっていて、外管は
全面にφ５程度の孔が、小さいピッチ間で多数あけられ
ており、内管は、吸引ファン（１１）に近づく程ピッチ
間が大きくなるように孔があけられている。又、スライ
ダー（１０）には集塵ダクト（１２）の逃げ穴があけら
れている。（１３）は吸引ファン（１１）に接続された
排気ホース、（１４）、（１５）はベース＜１）に固定
されロボットの側面および上面をおおうカバーである。

次にこの作用を説明する。本実施例は上記のような構成
であるから、駆動用モータ（４）による回転力はカップ
リング（８）を介してボールネジ（５）に伝達され、ボ
ールネジ（５）の回転は直線運動に変換され、これによ
ってボールネジ（５）の軸受けに固定されたスライダー
（１０）が直線運動軸受（９）に支持されながら前後に
摺動する。

このようにロボットが稼動中、吸引ファンを駆動させる
と、集塵ダクト（Ｉ２）内は負圧となり、同時にロボッ
ト内部も負圧となる。これによって、摺動部分から発生
する塵は集塵ダクト（１２）内へ吸引され、ロボット外
へ放散することはない。また、クリーンルーム内の空気
流は、ロボット上部よりの塵を含め同様に集塵ダクト（
１２）に吸引されるので、ロボットの動きによって、乱
流を生ずることもない。

さらに、集塵ダクト（１２）は全面に小孔が設けられて
いるので、上下左右の塵を吸引することが出来、また集
塵ダクト（１２）の内管の孔間のピッチを吸引ファン（
１１）に近づくにつれて大きく粗くなるように調整する
ことにより、全面から一様に空気を吸引することが出来
る。

なお、上記実施例では集塵ダクト内の吸引に吸引ファン
を用いた場合を例示したが、本発明はそれに限定される
ものではなく、他の同様な機能を有するもの例えば真空
ポンプ等を用いてもよい。

［発明の効果コ 以上のように本発明によれば、ロボットの内部の摺動部
に多数の孔のあいた集塵ダクトを配置し、吸引ファンに
よって、ロボット内へ空気を吸引し、これをクリーンル
ームへ排気するようにしたことにより、クリーンルーム
内を汚染することなく、かつ、クリーンルーム内の空気
流を乱さない効果が得られる。

【図面の簡単な説明】

第１図は本発明の一実施例を示す縦断面図、第２図は第
１図の横断面図、第３図は従来例の縦断面図、第４図は
第３図の横断面図である。 図において、（１）はベース、（２）は中間枠、（３）
はハウジング、（４）は駆動用モータ、（５）はボール
ネジ、（９）は直線運動軸受、（１０）はスライダー　
（１１）は吸引ファン、（１２）は集塵ダクト、（１３
）は排気ホースである。 なお、図中同一符号は同一、又は相当部分を示す。 代理人　弁理士　佐々木　宗　治 第３図 第４図

Claims (1)

【特許請求の範囲】
1. スライダーと直線運動軸受との摺動部に近接して配置さ
   れかつ全面に多数の小孔を有する集塵ダクトと、該集塵
   ダクトに接続する吸引ファンと、該吸引ファンに接続し
   クリーンルーム外へ導びかれた排気ホースとを備えたこ
   とを特徴とする産業用ロボット。