JPH0437742Y2 - - Google Patents
Info
- Publication number
- JPH0437742Y2 JPH0437742Y2 JP1986160887U JP16088786U JPH0437742Y2 JP H0437742 Y2 JPH0437742 Y2 JP H0437742Y2 JP 1986160887 U JP1986160887 U JP 1986160887U JP 16088786 U JP16088786 U JP 16088786U JP H0437742 Y2 JPH0437742 Y2 JP H0437742Y2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- axis
- moves
- ball screw
- movable part
- cover
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired
Links
- 230000033001 locomotion Effects 0.000 claims description 6
- 239000000428 dust Substances 0.000 description 13
- 239000004519 grease Substances 0.000 description 5
- 238000005299 abrasion Methods 0.000 description 4
- 239000000843 powder Substances 0.000 description 4
- 230000008878 coupling Effects 0.000 description 3
- 238000010168 coupling process Methods 0.000 description 3
- 238000005859 coupling reaction Methods 0.000 description 3
- 239000002245 particle Substances 0.000 description 2
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 description 2
- 230000000740 bleeding effect Effects 0.000 description 1
- 230000003749 cleanliness Effects 0.000 description 1
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 1
- 238000013022 venting Methods 0.000 description 1
Description
【考案の詳細な説明】
［考案の目的］
（産業上の利用分野）
本考案は直角座標ロボツトの改良に係り、特に
発塵の少ない直角座標ロボツトに関する。
発塵の少ない直角座標ロボツトに関する。
（従来の技術）
一般に直角座標形ロボツトは前後、左右、上下
に移動する単純な動作のため、比較的構造が容易
であり、位置繰返し精度も良い。このため極小な
半導体や電気器具部品の組立やハンドリング作業
に使われる場合が多い。ところが、半導体や電気
器具部品は塵埃に対して、特性的に問題が多く、
一定の体積中にある大きさのゴミ量が何個以下と
かに限定して、この問題の対策としているのが一
般的である。従つてクリーンルームに設置する場
合にはロボツトがクリーンルーム内を汚さないよ
うに１クラス上のクリーン度を満足するロボツト
を使用することが要求される。ところが直角座標
ロボツトは、以下に述べるように摺動部分が多く
クリーン度の高いロボツトではない。すなわち直
角座標ロボツトはＸ軸（Ｘ座標）、Ｙ軸（Ｙ座
標）、Ｚ軸（Ｚ座標）の各軸方向への直線運動の
組み合わせより動作を行なうものである。そのＸ
軸、Ｙ軸にはそれぞれの軸の可動部が移動すると
きのガイドとなるレールがそれぞれ配置されてお
り、各可動部はこのレールを摺動しながらＸ軸、
Ｙ軸アームを移動させる。Ｘ軸、Ｙ軸の各可動部
にはナツトを有しこのナツトが軸受に支持されて
モータにより回転されるボールネジと螺合するこ
とにより、モータの回転に応じて往復動される。
Ｚ軸は工具軸やハンド軸等が取付けられるボール
スプラインを上下動させるもので、このボールス
プラインを備えたＺ軸可動部はＸ軸、Ｙ軸可動部
と同様の構造により、モータの回転に応じて上下
動される。
に移動する単純な動作のため、比較的構造が容易
であり、位置繰返し精度も良い。このため極小な
半導体や電気器具部品の組立やハンドリング作業
に使われる場合が多い。ところが、半導体や電気
器具部品は塵埃に対して、特性的に問題が多く、
一定の体積中にある大きさのゴミ量が何個以下と
かに限定して、この問題の対策としているのが一
般的である。従つてクリーンルームに設置する場
合にはロボツトがクリーンルーム内を汚さないよ
うに１クラス上のクリーン度を満足するロボツト
を使用することが要求される。ところが直角座標
ロボツトは、以下に述べるように摺動部分が多く
クリーン度の高いロボツトではない。すなわち直
角座標ロボツトはＸ軸（Ｘ座標）、Ｙ軸（Ｙ座
標）、Ｚ軸（Ｚ座標）の各軸方向への直線運動の
組み合わせより動作を行なうものである。そのＸ
軸、Ｙ軸にはそれぞれの軸の可動部が移動すると
きのガイドとなるレールがそれぞれ配置されてお
り、各可動部はこのレールを摺動しながらＸ軸、
Ｙ軸アームを移動させる。Ｘ軸、Ｙ軸の各可動部
にはナツトを有しこのナツトが軸受に支持されて
モータにより回転されるボールネジと螺合するこ
とにより、モータの回転に応じて往復動される。
Ｚ軸は工具軸やハンド軸等が取付けられるボール
スプラインを上下動させるもので、このボールス
プラインを備えたＺ軸可動部はＸ軸、Ｙ軸可動部
と同様の構造により、モータの回転に応じて上下
動される。
（考案が解決しようとする問題点）
上述した様に構成され、各軸のボールネジがモ
ータの回転数と同じ高速で回転するためボールネ
ジと可動部のナツトや軸受の摺動部、摩耗部やグ
リース粉が発塵する。また、ボールネジと一対の
ナツトを往復動或いは上下動させる時のガイドと
なるレールやボールスプライン部の摺動部、摩耗
部からも摩耗粉やグリース粉が発塵することとな
り、このままでは到底クリーンルーム内でのロボ
ツトとしては適用できない。
ータの回転数と同じ高速で回転するためボールネ
ジと可動部のナツトや軸受の摺動部、摩耗部やグ
リース粉が発塵する。また、ボールネジと一対の
ナツトを往復動或いは上下動させる時のガイドと
なるレールやボールスプライン部の摺動部、摩耗
部からも摩耗粉やグリース粉が発塵することとな
り、このままでは到底クリーンルーム内でのロボ
ツトとしては適用できない。
本考案はこのような点に鑑みてなされたもの
で、簡易な構成で外部に塵埃をまき散らさないク
リーンな直角座標ロボツトを提供することを目的
とする。
で、簡易な構成で外部に塵埃をまき散らさないク
リーンな直角座標ロボツトを提供することを目的
とする。
［考案の構成］
（問題点を解決するための手段）
すなわち本考案はボールネジにより各軸可動部
を移動させる様に構成した直角座標ロボツトにお
いて、前記ボールネジを覆うジヤバラと、Ｙ軸を
動作させるＸ軸可動部の移動にともなつてＸ軸カ
バーの開口部を閉鎖しながら移動するＸ軸のシー
トと、Ｚ軸を動作させるＹ軸可動部の移動にとも
なつてＹ軸カバーの開口部を閉鎖しながら移動す
るＹ軸のシートと、前記Ｘ，Ｙ軸カバーの開口部
のうち前記Ｘ，Ｙ軸のシートのそれぞれの移動方
向に伸びる二辺の内側に取付けられ前記Ｘ，Ｙ軸
のシートの両端部を収容するＸ，Ｙ軸の凹部と、
このＸ，Ｙ軸の凹部及びＸ，Ｙ，Ｚ軸のカバー内
の空気を吸引する吸引装置とを設けて構成したこ
とに特徴を有するものである。
を移動させる様に構成した直角座標ロボツトにお
いて、前記ボールネジを覆うジヤバラと、Ｙ軸を
動作させるＸ軸可動部の移動にともなつてＸ軸カ
バーの開口部を閉鎖しながら移動するＸ軸のシー
トと、Ｚ軸を動作させるＹ軸可動部の移動にとも
なつてＹ軸カバーの開口部を閉鎖しながら移動す
るＹ軸のシートと、前記Ｘ，Ｙ軸カバーの開口部
のうち前記Ｘ，Ｙ軸のシートのそれぞれの移動方
向に伸びる二辺の内側に取付けられ前記Ｘ，Ｙ軸
のシートの両端部を収容するＸ，Ｙ軸の凹部と、
このＸ，Ｙ軸の凹部及びＸ，Ｙ，Ｚ軸のカバー内
の空気を吸引する吸引装置とを設けて構成したこ
とに特徴を有するものである。
（作用）
上述した構成によれば、発塵の原因となる摺動
部のうちボールネジをジヤバラで覆うとともに、
Ｘ軸，Ｙ軸の各軸カバー開口部は各軸の可動部の
移動にともなつて移動するシートにより閉鎖し、
このシート端部を収容する凹部から空気を吸引し
て外部への漏塵を防止し、またレールや軸受、ボ
ールスプライン等からの発塵はＸ軸，Ｙ軸，Ｚ軸
の各カバー内の空気を吸引することにより回収
し、ロボツトから発生した塵はロボツトの外部に
漏出されることなく吸引装置に回収される。
部のうちボールネジをジヤバラで覆うとともに、
Ｘ軸，Ｙ軸の各軸カバー開口部は各軸の可動部の
移動にともなつて移動するシートにより閉鎖し、
このシート端部を収容する凹部から空気を吸引し
て外部への漏塵を防止し、またレールや軸受、ボ
ールスプライン等からの発塵はＸ軸，Ｙ軸，Ｚ軸
の各カバー内の空気を吸引することにより回収
し、ロボツトから発生した塵はロボツトの外部に
漏出されることなく吸引装置に回収される。
（実施例）
第２図は本考案の直角座標ロボツトの平面図、
第１図は第２図のＡ−Ａ断面図、第３図は第２図
のＢ−Ｂ断面図である。第４図はＸ軸の拡大断面
図であり第５図はＸ軸モータ２部分を説明するた
めの部分斜視図である。尚、Ｘ，Ｙ，Ｚの矢印は
座標を示す。
第１図は第２図のＡ−Ａ断面図、第３図は第２図
のＢ−Ｂ断面図である。第４図はＸ軸の拡大断面
図であり第５図はＸ軸モータ２部分を説明するた
めの部分斜視図である。尚、Ｘ，Ｙ，Ｚの矢印は
座標を示す。
まず、Ｘ軸走行は固定されたＸ軸ベース１にＸ
軸モータ２が固定され、このＸ軸モータ２の回転
をカツプリング３で軸心を矯正して、両端をＸ軸
ベース１に固定されたハウジング４内に軸受５で
支持されたボールネジ６に伝達される。この回転
は、ボールネジ６と一対になつたＸ軸可動部７に
取付けられたナツト８をＸ軸方向に移動させる。
軸モータ２が固定され、このＸ軸モータ２の回転
をカツプリング３で軸心を矯正して、両端をＸ軸
ベース１に固定されたハウジング４内に軸受５で
支持されたボールネジ６に伝達される。この回転
は、ボールネジ６と一対になつたＸ軸可動部７に
取付けられたナツト８をＸ軸方向に移動させる。
又Ｙ軸走行の場合は、Ｙ軸方向に移動するＹ軸
アーム９にＹ軸モータ１０が固定され、このＹ軸
モータ１０の回転をカツプリング１１で軸心を矯
正して、Ｙ軸アーム９に固定されたハウジング１
２内に両端を軸受１３で支持されたボールネジ１
４に伝達される。この回転はボールネジ１４と一
対になつたＹ軸固定ベース１５に取付けられたナ
ツト１６をＹ軸方向に移動させる方向に働くがＸ
軸可動部７とこのＹ軸固定ベース１５をブラケツ
ト１７で連結する構造としているため、Ｙ軸モー
タ１０を固定しているＹ軸アーム９全体がＹ軸方
向に移動する。
アーム９にＹ軸モータ１０が固定され、このＹ軸
モータ１０の回転をカツプリング１１で軸心を矯
正して、Ｙ軸アーム９に固定されたハウジング１
２内に両端を軸受１３で支持されたボールネジ１
４に伝達される。この回転はボールネジ１４と一
対になつたＹ軸固定ベース１５に取付けられたナ
ツト１６をＹ軸方向に移動させる方向に働くがＸ
軸可動部７とこのＹ軸固定ベース１５をブラケツ
ト１７で連結する構造としているため、Ｙ軸モー
タ１０を固定しているＹ軸アーム９全体がＹ軸方
向に移動する。
そして、これらＸ，Ｙ軸の直線運動のガイドと
して、レール１８，１９がＸ軸の場合は、Ｘ軸ベ
ース１上に、又Ｙ軸の場合は、Ｙ軸アーム９上に
取付けられている。
して、レール１８，１９がＸ軸の場合は、Ｘ軸ベ
ース１上に、又Ｙ軸の場合は、Ｙ軸アーム９上に
取付けられている。
更にＺ軸走行の場合は工具軸やハンド軸を上下
動させるものであるが、この場合の構造は、Ｙ軸
アーム９にボールスプライン２０用ナツト２１と
ボールネジ２２の一端を支持する軸受２３を固定
するハウジング２４を一体とするか継ぎ合せる。
一方、Ｚ軸モータ２５はボールネジ２２の一端を
支持する２個の軸受２６を持つたハウジング２７
上に固定される。このＺ軸モータ２５の回転はカ
ツプリング２８で軸心を矯正して、ボールネジ２
２を回転させる。そしてボールネジ２２に螺合し
ているナツト２９を上下動させることにより、こ
のナツト２９に連結ブラケツト３０で連結されて
いるボールスプライン２０を上下動させる。従つ
てＺ軸モータ２５を固定しているハウジング２７
とＹ軸アーム９に一体となつているハウジング２
４はボールネジ２２とボールスプライン２０の軸
心となるので、強度的に強い連結板３１で２〜３
箇所連結する。そして外観上スマートにすること
と、突起部分を外部に出さない様にする為Ｘ，
Ｙ，Ｚ軸のそれぞれにカバー３２，３３，３４を
覆せている。そして各軸の漏塵対策として次の様
に構成している。Ｘ軸走行に対しては第２図に示
す様にＸ軸可動部７とハウジング１２間にジヤバ
ラ３８，３９を取付け、また第４図及び第５図に
示す様にカバー３２には凹部を形成する受け皿４
３を開口部のうち可動部７移動方向に伸びる二辺
に取付ける。この受け皿４３はシートの厚さより
少し広く形成され、ここに第４図に示す様にシー
ト４３の両端が収容される。この受け皿４３のそ
れぞれにはエアー抜き用継手４２を取付けてここ
から図示しない吸引装置により吸引して塵を回収
する。シート４５は両側面にスプロケツト４４に
かみ合うフイルム形状の穴を持つており、Ｘ軸モ
ータ２を固定しているＸ軸ベース１に、腕４７を
出して回転するように取付けられるスプロケツト
４４を介し、ハウジング４、レール１８の溝部を
通つて、反対側のハウジング４にやはり回転する
ように取付けられたスプロケツト４４を介して、
両側をＸ軸可動部７に固定される。Ｙ軸走行に対
しては、Ｘ軸と同様の対策をする。
動させるものであるが、この場合の構造は、Ｙ軸
アーム９にボールスプライン２０用ナツト２１と
ボールネジ２２の一端を支持する軸受２３を固定
するハウジング２４を一体とするか継ぎ合せる。
一方、Ｚ軸モータ２５はボールネジ２２の一端を
支持する２個の軸受２６を持つたハウジング２７
上に固定される。このＺ軸モータ２５の回転はカ
ツプリング２８で軸心を矯正して、ボールネジ２
２を回転させる。そしてボールネジ２２に螺合し
ているナツト２９を上下動させることにより、こ
のナツト２９に連結ブラケツト３０で連結されて
いるボールスプライン２０を上下動させる。従つ
てＺ軸モータ２５を固定しているハウジング２７
とＹ軸アーム９に一体となつているハウジング２
４はボールネジ２２とボールスプライン２０の軸
心となるので、強度的に強い連結板３１で２〜３
箇所連結する。そして外観上スマートにすること
と、突起部分を外部に出さない様にする為Ｘ，
Ｙ，Ｚ軸のそれぞれにカバー３２，３３，３４を
覆せている。そして各軸の漏塵対策として次の様
に構成している。Ｘ軸走行に対しては第２図に示
す様にＸ軸可動部７とハウジング１２間にジヤバ
ラ３８，３９を取付け、また第４図及び第５図に
示す様にカバー３２には凹部を形成する受け皿４
３を開口部のうち可動部７移動方向に伸びる二辺
に取付ける。この受け皿４３はシートの厚さより
少し広く形成され、ここに第４図に示す様にシー
ト４３の両端が収容される。この受け皿４３のそ
れぞれにはエアー抜き用継手４２を取付けてここ
から図示しない吸引装置により吸引して塵を回収
する。シート４５は両側面にスプロケツト４４に
かみ合うフイルム形状の穴を持つており、Ｘ軸モ
ータ２を固定しているＸ軸ベース１に、腕４７を
出して回転するように取付けられるスプロケツト
４４を介し、ハウジング４、レール１８の溝部を
通つて、反対側のハウジング４にやはり回転する
ように取付けられたスプロケツト４４を介して、
両側をＸ軸可動部７に固定される。Ｙ軸走行に対
しては、Ｘ軸と同様の対策をする。
さらにＺ軸走行に対しては、カバーで密閉して
いるので、側面カバー３５にエアー抜き用継手４
６を取付ける。このように構成される直角座標口
ボツトは、ボールネジ６，１４，２２から発塵す
るグリース、摩耗粉はジヤバラ３６，３７，３
８，３９，４０，４１内にとじ込めることがで
き、レール１８，１９から発塵するグリース、摩
耗粉は受け皿４３で、エアー抜き用継手４２を介
してチユーブで外部に掃気され、ボールスプライ
ン２０から発塵するグリース、摩耗粉は側面カバ
ー３５に取付けられたエアー抜き用継手４６を介
してチユーブで外部に掃気される。従つて、クリ
ーンルーム内でも使用できる直角座標形クリーン
ロボツトを提供することができる。
いるので、側面カバー３５にエアー抜き用継手４
６を取付ける。このように構成される直角座標口
ボツトは、ボールネジ６，１４，２２から発塵す
るグリース、摩耗粉はジヤバラ３６，３７，３
８，３９，４０，４１内にとじ込めることがで
き、レール１８，１９から発塵するグリース、摩
耗粉は受け皿４３で、エアー抜き用継手４２を介
してチユーブで外部に掃気され、ボールスプライ
ン２０から発塵するグリース、摩耗粉は側面カバ
ー３５に取付けられたエアー抜き用継手４６を介
してチユーブで外部に掃気される。従つて、クリ
ーンルーム内でも使用できる直角座標形クリーン
ロボツトを提供することができる。
［考案の効果］
以上説明したように、本発明によれば、可動部
の動作に対応して発塵部を覆い、また、カバー内
の空気を吸引して塵を掃気する様にしたので外部
にゴミを漏出することはない。
の動作に対応して発塵部を覆い、また、カバー内
の空気を吸引して塵を掃気する様にしたので外部
にゴミを漏出することはない。
図面は本考案の一実施例を示し、第２図は、直
角座標ロボツトの平面図、第１図は第２図のＡ−
Ａ断面図、第３図は第２図のＢ−Ｂ断面図、第４
図はＸ軸アームの断面拡大図、第５図は、Ｘ軸ア
ームの一部破断斜視図である。 図中、１はＸ軸ベース、２はＸ軸モータ、５，
１３，２３，２６は軸受、６，１４，２２はボー
ルネジ、７はＸ軸可動部、８，１６，２１はナツ
ト、９はＹ軸モータ、１３は軸受、１５はＹ軸固
定ベース、１８，１９はレール、２０はボールス
プライン、３６，３７，３８，３９，４０，４１
はジヤバラ、４３は受け皿（凹部）、４４はスプ
ロケツト、４５はシートである。
角座標ロボツトの平面図、第１図は第２図のＡ−
Ａ断面図、第３図は第２図のＢ−Ｂ断面図、第４
図はＸ軸アームの断面拡大図、第５図は、Ｘ軸ア
ームの一部破断斜視図である。 図中、１はＸ軸ベース、２はＸ軸モータ、５，
１３，２３，２６は軸受、６，１４，２２はボー
ルネジ、７はＸ軸可動部、８，１６，２１はナツ
ト、９はＹ軸モータ、１３は軸受、１５はＹ軸固
定ベース、１８，１９はレール、２０はボールス
プライン、３６，３７，３８，３９，４０，４１
はジヤバラ、４３は受け皿（凹部）、４４はスプ
ロケツト、４５はシートである。
Claims (1)
- ボールネジにより各軸可動部を移動させる様に
構成した直角座標ロボツトにおいて、前記ボール
ネジを覆うジヤバラと、Ｙ軸を動作させるＸ軸可
動部の移動にともなつてＸ軸カバーの開口部を閉
鎖しながら移動するＸ軸のシートと、Ｚ軸を動作
させるＹ軸可動部の移動にともなつてＹ軸カバー
の開口部を閉鎖しながら移動するＹ軸のシート
と、前記Ｘ，Ｙ軸カバーの開口部のうち前記Ｘ，
Ｙ軸のシートのそれぞれの移動方向に伸びる二辺
の内側に取付けられ前記Ｘ，Ｙ軸のシートの両端
部を収容するＸ，Ｙ軸の凹部と、このＸ，Ｙ軸の
凹部及びＸ，Ｙ，Ｚ軸のカバー内の空気を吸引す
る吸引装置とを設けたことを特徴とする直角座標
ロボツト。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1986160887U JPH0437742Y2 (ja) | 1986-10-22 | 1986-10-22 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1986160887U JPH0437742Y2 (ja) | 1986-10-22 | 1986-10-22 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS6367088U JPS6367088U (ja) | 1988-05-06 |
| JPH0437742Y2 true JPH0437742Y2 (ja) | 1992-09-04 |
Family
ID=31086691
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP1986160887U Expired JPH0437742Y2 (ja) | 1986-10-22 | 1986-10-22 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0437742Y2 (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US9150591B2 (en) | 2010-08-10 | 2015-10-06 | Takeda Pharmaceutical Company Limited | Heterocyclic compound and use thereof |
| US9493484B2 (en) | 2012-02-08 | 2016-11-15 | Takeda Pharmaceutical Company Limited | Heterocyclic compound and use thereof |
Citations (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS6133891A (ja) * | 1984-07-26 | 1986-02-17 | 松下電器産業株式会社 | 工業用ロボツト |
| JPS6190886A (ja) * | 1984-10-05 | 1986-05-09 | 新東ブレ−タ−株式会社 | エアブラストロボツト |
| JPS6142278B2 (ja) * | 1979-11-02 | 1986-09-19 | Nippon Musical Instruments Mfg |
Family Cites Families (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS6142278U (ja) * | 1984-08-20 | 1986-03-18 | 富士通株式会社 | 移動テ−ブル |
-
1986
- 1986-10-22 JP JP1986160887U patent/JPH0437742Y2/ja not_active Expired
Patent Citations (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS6142278B2 (ja) * | 1979-11-02 | 1986-09-19 | Nippon Musical Instruments Mfg | |
| JPS6133891A (ja) * | 1984-07-26 | 1986-02-17 | 松下電器産業株式会社 | 工業用ロボツト |
| JPS6190886A (ja) * | 1984-10-05 | 1986-05-09 | 新東ブレ−タ−株式会社 | エアブラストロボツト |
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US9150591B2 (en) | 2010-08-10 | 2015-10-06 | Takeda Pharmaceutical Company Limited | Heterocyclic compound and use thereof |
| US9499568B2 (en) | 2010-08-10 | 2016-11-22 | Takeda Pharmaceutical Company Limited | Heterocyclic compound and use thereof |
| US9493484B2 (en) | 2012-02-08 | 2016-11-15 | Takeda Pharmaceutical Company Limited | Heterocyclic compound and use thereof |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPS6367088U (ja) | 1988-05-06 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| EP0169554A1 (en) | Industrial robot | |
| US8366375B2 (en) | Rotation introduction mechanism, substrate transfer apparatus, and vacuum processing apparatus | |
| US20060201275A1 (en) | Link drive mechanism and industrial robot using the same | |
| US20050252319A1 (en) | Dust proof sliding device | |
| JPH0437742Y2 (ja) | ||
| JP2700621B2 (ja) | ロボット | |
| CN213647592U (zh) | 吸取装置及机械手 | |
| KR900003642B1 (ko) | 방진 구조물을 구비한 산업용 로보트 | |
| JPS62157788A (ja) | 工業用ロボツト | |
| JP2576268B2 (ja) | ロボットの関節機構 | |
| JPH02253039A (ja) | ボールねじ移動機構のクリーン化機構 | |
| JPS61168478A (ja) | 多関節ロボツト | |
| JPS6133889A (ja) | 工業用ロボツト | |
| JPH0440873Y2 (ja) | ||
| JP2516170Y2 (ja) | スライド機構 | |
| JP4674308B2 (ja) | 運動装置及びこれを用いたチップマウンター | |
| Hollis et al. | Toward a second-generation minifactory for precision assembly | |
| JPH0118314Y2 (ja) | ||
| JPH035439Y2 (ja) | ||
| JPH02106282A (ja) | 産業用ロボット | |
| JPH05317203A (ja) | 壁面移動装置 | |
| JPH05138567A (ja) | ハンドリング装置 | |
| JPS62208619A (ja) | ウエハ移載装置 | |
| JP2000271893A (ja) | クリーンルーム用ロボット | |
| JPS6268294A (ja) | 産業用ロボツト装置 |