JPS6268294A - 産業用ロボツト装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 産業上の利用分野 この発明はクリーンルーム内で集積回路などを製造する
際に使用する産業用ロボット装置に関する。

従来の技術 従来集積回路などの電子部品は、性能及び信頼性を高め
るためクリーンルーム内で製造されているが、クリーン
ルーム内で集積回路などの製造に使用される産業用ロボ
ットの多くは、当直多関節構造となっている。これは関
節部の動きが全て回転動となるため、密閉構造にしやす
いと共に、意図的に細隙を設けてロボット内部を負圧と
することによシ、摺動部の摩擦などで発生した粉塵など
がロボット外部へ排出されないようにすることが比較的
容易であるなどの理由からである。

しかし上記多関節型のロボットは動作空間や作業速度に
制限があることから、最近ではクリーンルーム作業に適
した動作空間を有する直交型の産業用ロボットも多く使
用されるようＫなっているが、直交型の産業用ロボット
は内部を密閉することが難しい。

そこで従来ではロボット全体をカバーで覆い、かつカバ
ー内の多量の空気を排出手段で吹出すことによシ、粉塵
などがクリーンルーム内へ排出されないよう対策してい
る。

発明が解決しようとする問題点 しかし上記のような方法では、ロボットの高連化や整備
性を低下させると共に、今後要求されるさらに高いクリ
−７度に対応すにとが困雅であるなどの不具合があった
。

この発明は上記不具曾を改善する目的でなされたもので
ある。

問題点を解決するための手段及び作用 フレーム内に適宜移動手段によシ移動自在に負荷取付は
部材を設け、この負荷取付は部材の移動に伴い粉塵など
を発生する発生′＃、金上記フレーム内に設けると共に
、上記発生源の近傍及びフレーム内の空気を吸引して、
粉塵などがフレーム外へ漏出しないようにして、動作速
度やり１．佑性などを阻害することなく直交型ロボット
がクリーンルーム内で稼動できるようにした産業用ロボ
ット装置。

実　　施　　例 この発明の一実施例を図面を参照して詳述すると、図に
おいて１はクリーンルーム内において集積回路の搬送な
どに用いられる直交型のロボット本体で、水平方向に長
い角筒状のフレーム２を有している。上記フレーム２の
両端側には軸受け３が設けられていて、これら軸受け３
にフレーム２の中心に位置するよう設けられたボールね
じ軸４の両端側が回転自在に支承されていると共に、上
記ボールねじ軸４の一端側にはプーリ５が固着されてい
て、このプーリ５と、フレーム２上に設置された電動＠
６のプーリ７の間に無端状のタイミングベルトｇが捲装
され、この電動機６によシ上記ボールねじ軸４が正逆回
転されるようになっている。

一方上記フレーム２の後面板２α内面【け、２本のリニ
アガイドレール９が上下に離間し、かつ上記ボールねじ
＠４と平行するように布設されていて、これらリニアガ
イドレール９に負荷取付は部材１０が・フェアベアリン
グＩＩを介して摺動自在に支承されている。上記負荷取
付は部材１０は中心部に設けられた円筒状の中空室１０
α内を上記ボールねじ軸４が貫通していると共に、中空
室１ｏαの一端側開口部にはボールねじ軸４に螺合する
ボールナンド１２が取付けられていて、ボールねじ＠４
の回転に伴い上記負荷取付は体１０がリニアガイドレー
ル９に沿って移動されるよつになっている。

また上記負荷取付は体１０の前部には負荷取付は部ｊｏ
ｂが突設されている。上記負荷取付ｆｆ部＋ｏｂｌ”ｔ
：フレーム２の前面板２ｂにボールねじ軸４と平行する
より穿設されたスリット２Ｃよりフレーム２外へ突出さ
れ、先端面にグリッパをどの被ｆｆｉ”Ｊ体（図示せず
）が取付けられている。

一方上記フレーム２のＩｔ！　ｆ７ｔｊＪＦ＆　６側と
反対側の端面ば端板２ｄ、により閉塞されていると共に
、フレーム２内の空気はプロアなどの真空吸引源（図示
せず）に管路１４を介して接続されている。またボール
ねじ剣４を支承する軸受け３のうち、電動機６側の軸受
け３は周囲をカバー１５により覆れていて、カバー１５
内の空気は管路Ｉ６を介して真空吸引手段により吸引さ
れていると共に、他方の軸受け３の開口部及びボールナ
ツト１２の開口部もそれぞれカバー１７．＋ｇで覆れて
いて、これらカバー１７．１８及び中空室１０α内の空
気は管路（９を介して真空吸引手段によシ吸引されてｂ
る。

なお上記実施例では摺動摩擦により粉塵などを発生する
個所にカバー１５．１７．Ｉｇｋ設けて、これらカバー
１５．１７．＋ｇ内の空気を吸引することにより粉塵な
どがクリーンルーム内へ漏出するのを防止したが、第４
図以下に示すように、負荷取付は部Ｊｏｂの突出するス
リン）２Ｃにテープ状のシール部材２０を設けてフレー
ム２内を密閉構造として、フレーム２内の空気を管路２
１により吸引することによシ、フレーム２内よシ粉塵な
どが漏出しないようにしてもよい。

すなわちフレーム２前面に上下に離間して開口された２
条のスリット２Ｃの各スリット２Ｃよ〕やや幅広なステ
ンレス薄板などからなるテープ状のシール部材２０両端
が各スリット２Ｃ両端のフレーム２に固着されている。

また負荷取付は体１０の負荷取付は部１０ｂには各スリ
ソト２Ｃ毎に４個のガイドａ−ラ２３が回転自在罠支承
されている。そしてこれらガイドローラ２３にスリット
２Ｃを閉塞するように設けられたシール部材２０が負荷
取付は部ＩＱｂのスカート部１０（’で浮き上るように
迂回されていて、負荷取付は体ＩＯの移動を阻害するこ
となく、スリット２Ｃよりフレーム２内より粉体が【１
出するのをシールするようになっている。

なおフレーム２の酢動機６と反対側の端部には予め細隙
が設けられていて、フレーム２内の空気が吸引されると
ともに、この細隙よりフレーム２内へ空気が流入される
ようになっている。

またクール部材２０を織布などの通気性のあるもＯＫす
れば、上記細隙は特に設ける必要はない。

発明の効果 この発明は以上詳述したように、摺動摩擦によ多発生す
る粉塵などを発生源の近傍において吸引し、または発生
源を密閉構造のフレーム内に収容して、フレーム内の空
気を吸引することにより除去するようにしたことから、
ロボット全体をカバーなどで覆うことなく、粉塵ｉどの
漏出を防止することができるようになる。これによって
直交型ロボットの動作速度や整備性を阻害することなく
、クリーンルーム内での便用可能になるため、動作速度
の高速化や整備の容易化及びこれに伴う生産性の向上及
びランニングコストの低減などが図れるようになる。

【図面の簡単な説明】

図面はこの発明の一実施例を示し、第１図は一部切欠平
面図、第２図は同正面図、第３図は第２図ｍ−Ｉ［［線
に沿う断面図、第４図は他の実施例を示す一部切欠平面
図、第５図は同正面図、第６図は第５図ｗ−■線に沿う
断面図である。 ２はフレーム、１０は負荷取付は部材。

Claims (1)

【特許請求の範囲】
1. フレーム２内に適宜移動手段により移動自在に負荷取付
   け部材１０を設け、この負荷取付け部材１０の移動に伴
   い粉塵などを発生する発生源を上記フレーム２内に設け
   ると共に、上記発生源の近傍及びフレーム２内の空気を
   吸引して、粉塵などがフレーム２外へ漏出しないように
   してなる産業用ロボット装置。