JPH08216071A - ロボット - Google Patents
ロボットInfo
- Publication number
- JPH08216071A JPH08216071A JP7055158A JP5515895A JPH08216071A JP H08216071 A JPH08216071 A JP H08216071A JP 7055158 A JP7055158 A JP 7055158A JP 5515895 A JP5515895 A JP 5515895A JP H08216071 A JPH08216071 A JP H08216071A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- slider
- sensor
- frame
- groove
- robot
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
- 238000001514 detection method Methods 0.000 claims description 6
- 239000000428 dust Substances 0.000 abstract description 19
- 238000000034 method Methods 0.000 description 4
- 230000003749 cleanliness Effects 0.000 description 3
- 238000007796 conventional method Methods 0.000 description 1
- 230000002542 deteriorative effect Effects 0.000 description 1
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 1
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 1
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 description 1
- 230000003287 optical effect Effects 0.000 description 1
- 230000002265 prevention Effects 0.000 description 1
- 239000013585 weight reducing agent Substances 0.000 description 1
Classifications
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B25—HAND TOOLS; PORTABLE POWER-DRIVEN TOOLS; MANIPULATORS
- B25J—MANIPULATORS; CHAMBERS PROVIDED WITH MANIPULATION DEVICES
- B25J9/00—Programme-controlled manipulators
- B25J9/02—Programme-controlled manipulators characterised by movement of the arms, e.g. cartesian coordinate type
- B25J9/023—Cartesian coordinate type
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B25—HAND TOOLS; PORTABLE POWER-DRIVEN TOOLS; MANIPULATORS
- B25J—MANIPULATORS; CHAMBERS PROVIDED WITH MANIPULATION DEVICES
- B25J13/00—Controls for manipulators
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B08—CLEANING
- B08B—CLEANING IN GENERAL; PREVENTION OF FOULING IN GENERAL
- B08B15/00—Preventing escape of dirt or fumes from the area where they are produced; Collecting or removing dirt or fumes from that area
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B25—HAND TOOLS; PORTABLE POWER-DRIVEN TOOLS; MANIPULATORS
- B25J—MANIPULATORS; CHAMBERS PROVIDED WITH MANIPULATION DEVICES
- B25J18/00—Arms
- B25J18/02—Arms extensible
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B25—HAND TOOLS; PORTABLE POWER-DRIVEN TOOLS; MANIPULATORS
- B25J—MANIPULATORS; CHAMBERS PROVIDED WITH MANIPULATION DEVICES
- B25J19/00—Accessories fitted to manipulators, e.g. for monitoring, for viewing; Safety devices combined with or specially adapted for use in connection with manipulators
- B25J19/0058—Means for cleaning manipulators, e.g. dust removing means
-
- Y—GENERAL TAGGING OF NEW TECHNOLOGICAL DEVELOPMENTS; GENERAL TAGGING OF CROSS-SECTIONAL TECHNOLOGIES SPANNING OVER SEVERAL SECTIONS OF THE IPC; TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
- Y10—TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC
- Y10T—TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER US CLASSIFICATION
- Y10T74/00—Machine element or mechanism
- Y10T74/18—Mechanical movements
- Y10T74/18568—Reciprocating or oscillating to or from alternating rotary
- Y10T74/18576—Reciprocating or oscillating to or from alternating rotary including screw and nut
- Y10T74/18656—Carriage surrounded, guided, and primarily supported by member other than screw [e.g., linear guide, etc.]
-
- Y—GENERAL TAGGING OF NEW TECHNOLOGICAL DEVELOPMENTS; GENERAL TAGGING OF CROSS-SECTIONAL TECHNOLOGIES SPANNING OVER SEVERAL SECTIONS OF THE IPC; TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
- Y10—TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC
- Y10T—TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER US CLASSIFICATION
- Y10T74/00—Machine element or mechanism
- Y10T74/20—Control lever and linkage systems
- Y10T74/20207—Multiple controlling elements for single controlled element
- Y10T74/20341—Power elements as controlling elements
- Y10T74/20354—Planar surface with orthogonal movement only
Landscapes
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Robotics (AREA)
- Mechanical Engineering (AREA)
- Manipulator (AREA)
- Machine Tool Sensing Apparatuses (AREA)
- Feeding Of Workpieces (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【目的】 大型化や高価となることなく効果的に発塵を
防止することができるロボットを提供すること。 【構成】 支持フレーム２４には、中空部５２ｂ、５２
ｄが形成され、ガイドレール２８の両側に位置する支持
フレーム２４の内側底面２４ａには、第１スライダ支持
部１２の内部空間と中空部５２ｂ、５２ｄとを連通させ
る複数のエア吸引孔５４が形成されている。このエア吸
引孔５４は、中空部５２ｂ、５２ｄが図示しないポンプ
によってエア吸引されることで、ガイド部４４とガイド
レール２８との接触部分で発生する塵等を吸引する。
防止することができるロボットを提供すること。 【構成】 支持フレーム２４には、中空部５２ｂ、５２
ｄが形成され、ガイドレール２８の両側に位置する支持
フレーム２４の内側底面２４ａには、第１スライダ支持
部１２の内部空間と中空部５２ｂ、５２ｄとを連通させ
る複数のエア吸引孔５４が形成されている。このエア吸
引孔５４は、中空部５２ｂ、５２ｄが図示しないポンプ
によってエア吸引されることで、ガイド部４４とガイド
レール２８との接触部分で発生する塵等を吸引する。
Description
【産業上の利用分野】本発明は、ロボットに係り、詳細
には、部品の組み立て等を行う直交座標型の産業用ロボ
ットに関する。
には、部品の組み立て等を行う直交座標型の産業用ロボ
ットに関する。
【０００２】
【従来の技術】近年、クリーンルーム内で使用されるロ
ボットの開発が盛んに行われている。クリーンルーム内
で使用されるロボットでは、駆動部分からの発塵でクリ
ーン度を悪くする虞れがあるため、発塵対策が重要な技
術的課題となっている。特に、互いに直交する２方向に
直線運動する駆動部分によって各種の作業を行う直交座
標型のロボットでは、直線運動のストローク長に合わせ
て大きな開口部分を有するので、内部の塵等が外部に出
やすく、従来から各種の発塵対策が講じられている。例
えば、駆動部分をカバーで被覆すると共に、ロボット内
部を真空ポンプやブロア等により吸引して負圧の状態に
していた。内部吸引では、ロボットの内部から外部への
気体の流通がなくなるため、発生した塵等が外部に出
ず、発塵によるクリーン度の悪化を防止することができ
る。吸引の方法としては、塵の発生部分まで吸引用の配
管を伸ばすことで、局所的に吸引する方法や、強力なブ
ロア等によりロボットの内部を一括して吸引する方法等
がある。
ボットの開発が盛んに行われている。クリーンルーム内
で使用されるロボットでは、駆動部分からの発塵でクリ
ーン度を悪くする虞れがあるため、発塵対策が重要な技
術的課題となっている。特に、互いに直交する２方向に
直線運動する駆動部分によって各種の作業を行う直交座
標型のロボットでは、直線運動のストローク長に合わせ
て大きな開口部分を有するので、内部の塵等が外部に出
やすく、従来から各種の発塵対策が講じられている。例
えば、駆動部分をカバーで被覆すると共に、ロボット内
部を真空ポンプやブロア等により吸引して負圧の状態に
していた。内部吸引では、ロボットの内部から外部への
気体の流通がなくなるため、発生した塵等が外部に出
ず、発塵によるクリーン度の悪化を防止することができ
る。吸引の方法としては、塵の発生部分まで吸引用の配
管を伸ばすことで、局所的に吸引する方法や、強力なブ
ロア等によりロボットの内部を一括して吸引する方法等
がある。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】しかし、局所吸引の場
合には、配管の分、ロボットが大型化してしまうという
問題がある。また、ロボット内を一括して吸引する方法
では、吸引力に優れた強力なブロア等が必要となるた
め、同様にロボットが大型化し、かつ高価となる。
合には、配管の分、ロボットが大型化してしまうという
問題がある。また、ロボット内を一括して吸引する方法
では、吸引力に優れた強力なブロア等が必要となるた
め、同様にロボットが大型化し、かつ高価となる。
【０００４】そこで、本発明は、大型化や高価となるこ
となく効果的に発塵を防止することができるロボットを
提供することを目的とする。
となく効果的に発塵を防止することができるロボットを
提供することを目的とする。
【０００５】
【課題を解決するための手段】請求項１記載の発明で
は、互いに直交する２方向にそれぞれ移動する複数のス
ライダを備えた直交座標型のロボットに、前記スライダ
の一部を収容したフレームと、このフレームの内部に設
けられた中空部と、この中空部と前記フレームの内側空
間を連通させた連通孔と、前記中空部を吸引する吸引手
段とを具備させて前記目的を達成する。請求項２記載の
発明では、請求項１記載のロボットにおいて、前記フレ
ームには、前記スライダを案内するガイドレールが設け
られ、前記連通孔は、前記内側空間側の開口部が前記ガ
イドレールの近傍に位置していることで前記目的を達成
する。
は、互いに直交する２方向にそれぞれ移動する複数のス
ライダを備えた直交座標型のロボットに、前記スライダ
の一部を収容したフレームと、このフレームの内部に設
けられた中空部と、この中空部と前記フレームの内側空
間を連通させた連通孔と、前記中空部を吸引する吸引手
段とを具備させて前記目的を達成する。請求項２記載の
発明では、請求項１記載のロボットにおいて、前記フレ
ームには、前記スライダを案内するガイドレールが設け
られ、前記連通孔は、前記内側空間側の開口部が前記ガ
イドレールの近傍に位置していることで前記目的を達成
する。
【０００６】請求項３記載の発明では、請求項１記載の
ロボットに、前記フレームの内壁部に前記スライダの移
動方向に沿って形成されたセンサ用溝と、前記フレーム
の内壁部に前記センサ用溝と平行に形成されたセンサド
ッグ用溝と、このセンサドッグ用溝における任意の位置
に取り付けられるセンサドッグ固定部材と、このセンサ
ドッグ固定部材によって、前記センサ用溝の一部を被覆
する位置に固定されるセンサドッグと、前記センサ用溝
と対向する位置で前記スライダに取り付けられ、前記セ
ンサドッグの有無を検出する位置検出用センサとを具備
させて前記目的を達成する。請求項４記載の発明では、
請求項１記載のロボットに、前記フレームの内壁部に前
記スライダの移動方向に沿って形成されたストッパ用溝
と、このストッパ用溝における任意の位置に取付けられ
るストッパ固定部材と、このストッパ固定部材によっ
て、前記スライダの移動範囲内に固定されるストッパ部
材とを具備させて前記目的を達成する。
ロボットに、前記フレームの内壁部に前記スライダの移
動方向に沿って形成されたセンサ用溝と、前記フレーム
の内壁部に前記センサ用溝と平行に形成されたセンサド
ッグ用溝と、このセンサドッグ用溝における任意の位置
に取り付けられるセンサドッグ固定部材と、このセンサ
ドッグ固定部材によって、前記センサ用溝の一部を被覆
する位置に固定されるセンサドッグと、前記センサ用溝
と対向する位置で前記スライダに取り付けられ、前記セ
ンサドッグの有無を検出する位置検出用センサとを具備
させて前記目的を達成する。請求項４記載の発明では、
請求項１記載のロボットに、前記フレームの内壁部に前
記スライダの移動方向に沿って形成されたストッパ用溝
と、このストッパ用溝における任意の位置に取付けられ
るストッパ固定部材と、このストッパ固定部材によっ
て、前記スライダの移動範囲内に固定されるストッパ部
材とを具備させて前記目的を達成する。
【０００７】
【作用】請求項１記載のロボットでは、吸引手段がフレ
ームの中空部を吸引する。これにより、フレームの内側
空間内の気体が発生した塵等と共に連通孔から吸引され
る。請求項２記載のロボットでは、スライダがガイドレ
ールによって案内されながら移動する。このスライダと
ガイドレールとの接触部分で発生した塵等は、ガイドレ
ールの近傍に開口部を有する連通孔に吸引される。請求
項３記載の発明では、位置検出用センサは、スライダと
共に移動し、この移動途中において、センサドッグの有
無を検出する。請求項４記載の発明では、スライダは、
ストッパ部材に当接することで、その移動範囲を制限さ
れる。
ームの中空部を吸引する。これにより、フレームの内側
空間内の気体が発生した塵等と共に連通孔から吸引され
る。請求項２記載のロボットでは、スライダがガイドレ
ールによって案内されながら移動する。このスライダと
ガイドレールとの接触部分で発生した塵等は、ガイドレ
ールの近傍に開口部を有する連通孔に吸引される。請求
項３記載の発明では、位置検出用センサは、スライダと
共に移動し、この移動途中において、センサドッグの有
無を検出する。請求項４記載の発明では、スライダは、
ストッパ部材に当接することで、その移動範囲を制限さ
れる。
【０００８】
【実施例】以下、本発明のロボットにおける一実施例を
図１ないし図４を参照して詳細に説明する。図１は、本
実施例によるロボットの外観を表したものである。な
お、図においては、互いに直交するＸ軸とＹ軸を水平方
向に取り、Ｚ軸を鉛直方向に取っている。本実施例のロ
ボット１０は、略直方体形状を有する第１スライダ支持
部１２と、この第１スライダ支持部１２に対してＸ軸方
向に移動する第１スライダ１４と、この第１スライダ１
４に固定された略直方体形状の第２スライダ支持部１６
と、この第２スライダ支持部１６に対してＹ軸方向に移
動する第２スライダ１８と、この第２スライダ１８に取
り付けられた作業ユニット２０とを備えている。本実施
例では、作業ユニット２０が、第１スライダ１４や第２
スライダ１８等の移動によって、ＸＹ平面内で移動可能
となっている。また、作業ユニット２０は、図示しない
モータによって上下動や回動を行う作業ピン２０ａを有
しており、この作業ピン２０ａに所定の工具等が取り付
けられ、各スライダ１４、１８等が駆動されることで、
部品組み立て等の各種作業を行うようになっている。
図１ないし図４を参照して詳細に説明する。図１は、本
実施例によるロボットの外観を表したものである。な
お、図においては、互いに直交するＸ軸とＹ軸を水平方
向に取り、Ｚ軸を鉛直方向に取っている。本実施例のロ
ボット１０は、略直方体形状を有する第１スライダ支持
部１２と、この第１スライダ支持部１２に対してＸ軸方
向に移動する第１スライダ１４と、この第１スライダ１
４に固定された略直方体形状の第２スライダ支持部１６
と、この第２スライダ支持部１６に対してＹ軸方向に移
動する第２スライダ１８と、この第２スライダ１８に取
り付けられた作業ユニット２０とを備えている。本実施
例では、作業ユニット２０が、第１スライダ１４や第２
スライダ１８等の移動によって、ＸＹ平面内で移動可能
となっている。また、作業ユニット２０は、図示しない
モータによって上下動や回動を行う作業ピン２０ａを有
しており、この作業ピン２０ａに所定の工具等が取り付
けられ、各スライダ１４、１８等が駆動されることで、
部品組み立て等の各種作業を行うようになっている。
【０００９】図２及び図３は、第１スライダ支持部１２
の内部構造を表したものであり、図２は側断面を、図３
は平断面をそれぞれ示している。図２及び図３に示すよ
うに、第１スライダ支持部１２は、その底部と側部を構
成する支持フレーム２４を備えている。この支持フレー
ム２４の、図２及び図３において右端には、端部カバー
２５が取り付けられ、支持フレーム２４の上部には、第
１スライダ支持部１２の上面を構成する上面カバー２６
が配設されている。この上面カバー２６と支持フレーム
２４との間には、一定の隙間が設けられている。また、
支持フレーム２４の内側底面には、ガイドレール２８が
Ｘ軸方向に沿って取り付けられている。
の内部構造を表したものであり、図２は側断面を、図３
は平断面をそれぞれ示している。図２及び図３に示すよ
うに、第１スライダ支持部１２は、その底部と側部を構
成する支持フレーム２４を備えている。この支持フレー
ム２４の、図２及び図３において右端には、端部カバー
２５が取り付けられ、支持フレーム２４の上部には、第
１スライダ支持部１２の上面を構成する上面カバー２６
が配設されている。この上面カバー２６と支持フレーム
２４との間には、一定の隙間が設けられている。また、
支持フレーム２４の内側底面には、ガイドレール２８が
Ｘ軸方向に沿って取り付けられている。
【００１０】本実施例では、第１スライダ支持部１２の
内部に、ボールねじのねじ軸３０がＸ軸方向に配設され
ており、このねじ軸３０は、図２及び図３において左端
が、支持フレーム２４の底面に取り付けられた固定部材
３２に固定され、右端は端部カバー２５に固定されてい
る。第１スライダ１４は、支持フレーム２４と上面カバ
ー２６との隙間によって構成された窓Ｗを介して、図３
に示すように第１スライダ支持部１２の内部をＹ軸方向
に貫通しており、第１スライダ支持部１２の外部に配設
されたモータ部３４と、第１スライダ支持部１２の内部
に配設された推進機構部３６とで主に構成されている。
内部に、ボールねじのねじ軸３０がＸ軸方向に配設され
ており、このねじ軸３０は、図２及び図３において左端
が、支持フレーム２４の底面に取り付けられた固定部材
３２に固定され、右端は端部カバー２５に固定されてい
る。第１スライダ１４は、支持フレーム２４と上面カバ
ー２６との隙間によって構成された窓Ｗを介して、図３
に示すように第１スライダ支持部１２の内部をＹ軸方向
に貫通しており、第１スライダ支持部１２の外部に配設
されたモータ部３４と、第１スライダ支持部１２の内部
に配設された推進機構部３６とで主に構成されている。
【００１１】推進機構部３６は、ベアリング３８によっ
て回転自在に支持されたボールねじの回転ナット４０を
有している。回転ナット４０は、回転することで、ねじ
軸３０に対して軸方向（Ｘ軸方向）に移動するものであ
り、この回転ナット４０には、従動プーリ４２が取り付
けられている。また、推進機構部３６の下端部分には、
図２に示すように、ガイドレール２８による案内を受け
るガイド部４４が設けられている。
て回転自在に支持されたボールねじの回転ナット４０を
有している。回転ナット４０は、回転することで、ねじ
軸３０に対して軸方向（Ｘ軸方向）に移動するものであ
り、この回転ナット４０には、従動プーリ４２が取り付
けられている。また、推進機構部３６の下端部分には、
図２に示すように、ガイドレール２８による案内を受け
るガイド部４４が設けられている。
【００１２】一方、モータ部３４は、モータ本体４６
と、このモータ本体４６の出力軸に取り付けられた駆動
プーリ４８とを有しており、この駆動プーリ４８と推進
機構部３６の従動プーリ４２との間には、タイミングベ
ルト５０が巻きかけられている。従って、モータ本体４
６の駆動力が駆動プーリ４８やタイミングベルト５０を
介して従動プーリ４２に伝達されることで、回転ナット
４０が回転され、第１スライダ１４をＸ軸方向に移動さ
せるようになっている。なお、このモータ本体４６の駆
動は、図示しない制御装置によって制御され、この駆動
制御によって第１スライダ１４の位置制御が行われるよ
うになっている。なお、図２では、点線で輪郭のみが示
されているが、第１スライダ１４上には、第２スライダ
１８や作業ピン２０ａが設けられた第２スライダ支持部
１６が固定され、第１スライダ１４と一体的にＸ軸方向
に移動するようになっている。
と、このモータ本体４６の出力軸に取り付けられた駆動
プーリ４８とを有しており、この駆動プーリ４８と推進
機構部３６の従動プーリ４２との間には、タイミングベ
ルト５０が巻きかけられている。従って、モータ本体４
６の駆動力が駆動プーリ４８やタイミングベルト５０を
介して従動プーリ４２に伝達されることで、回転ナット
４０が回転され、第１スライダ１４をＸ軸方向に移動さ
せるようになっている。なお、このモータ本体４６の駆
動は、図示しない制御装置によって制御され、この駆動
制御によって第１スライダ１４の位置制御が行われるよ
うになっている。なお、図２では、点線で輪郭のみが示
されているが、第１スライダ１４上には、第２スライダ
１８や作業ピン２０ａが設けられた第２スライダ支持部
１６が固定され、第１スライダ１４と一体的にＸ軸方向
に移動するようになっている。
【００１３】図４は、図３におけるＡ−Ａ線方向の断面
を表したものである。この図に示すように、本実施例で
は、軽量化等のために支持フレーム２４の全長に渡っ
て、中空部５２ａ、５２ｂ、５２ｃ、５２ｄ、５２ｅが
形成されている。また、支持フレーム２４には、その内
側底面２４ａに一端が開口し、他端は、中空部５２ｂ、
５２ｄに開口したエア吸引孔５４が複数形成され、これ
らによって支持フレーム２４の内側空間と中空部５２
ｂ、５２ｄとが連通している。各エア吸引孔５４は、図
３に示すように、ガイドレール２８の長手方向に沿っ
て、その両側にそれぞれ形成されている。中空部５２
ｂ、５２ｄは、図示しない真空ポンプによって吸引され
るようになっている。
を表したものである。この図に示すように、本実施例で
は、軽量化等のために支持フレーム２４の全長に渡っ
て、中空部５２ａ、５２ｂ、５２ｃ、５２ｄ、５２ｅが
形成されている。また、支持フレーム２４には、その内
側底面２４ａに一端が開口し、他端は、中空部５２ｂ、
５２ｄに開口したエア吸引孔５４が複数形成され、これ
らによって支持フレーム２４の内側空間と中空部５２
ｂ、５２ｄとが連通している。各エア吸引孔５４は、図
３に示すように、ガイドレール２８の長手方向に沿っ
て、その両側にそれぞれ形成されている。中空部５２
ｂ、５２ｄは、図示しない真空ポンプによって吸引され
るようになっている。
【００１４】また、本実施例では、支持フレーム２４の
両側の内壁部に、図４に示すような矩形状の断面を有す
るセンサ用溝５６ａ、５６ｂと十字形状の断面を有する
ボルト用溝５８ａ、５８ｂが、それぞれ形成されてい
る。これらは、図２に示すように、Ｘ軸方向に互いに平
行となっており、支持フレーム２４の全長に渡って形成
されている。ボルト用溝５８ａ、５８ｂは、ボルトのナ
ット部分を収容するための溝であり、本実施例では、図
４に示すように、ボルト用溝５８ａにナット６０を収容
させたボルト６２によって、長板形状のセンサドッグ６
４が、センサ用溝５６ａの一部を塞ぐように支持フレー
ム２４の左側側壁部に取り付けられている。このセンサ
ドッグ６４は、ナット６０を緩めることで、ボルト用溝
５８ａに沿ってＸ軸方向に移動可能となっている。
両側の内壁部に、図４に示すような矩形状の断面を有す
るセンサ用溝５６ａ、５６ｂと十字形状の断面を有する
ボルト用溝５８ａ、５８ｂが、それぞれ形成されてい
る。これらは、図２に示すように、Ｘ軸方向に互いに平
行となっており、支持フレーム２４の全長に渡って形成
されている。ボルト用溝５８ａ、５８ｂは、ボルトのナ
ット部分を収容するための溝であり、本実施例では、図
４に示すように、ボルト用溝５８ａにナット６０を収容
させたボルト６２によって、長板形状のセンサドッグ６
４が、センサ用溝５６ａの一部を塞ぐように支持フレー
ム２４の左側側壁部に取り付けられている。このセンサ
ドッグ６４は、ナット６０を緩めることで、ボルト用溝
５８ａに沿ってＸ軸方向に移動可能となっている。
【００１５】一方、第１スライダ１４の推進機構部３６
においては、支持フレーム２４側のセンサ用溝５６ａと
対向する高さに光学式の位置検出用センサ６６が取り付
けられている。この位置検出用センサ６６は、対向した
面までの距離を検出するようになっており、本実施例で
は、この位置検出用センサ６６の出力信号から原点位置
に対する第１スライダ１４の位置を認識するようになっ
ている。すなわち、位置検出用センサ６６の出力信号
は、センサドッグ６４が取り付けられた位置と取り付け
られていない位置とで変化するので、センサドッグ６４
を、その端部が第１スライダ１４の原点位置となる位置
に取り付けることで、位置検出用センサ６６の出力信号
を基に、第１スライダ１４が原点位置にあるか否かを認
識するようになっている。なお、第１スライダ１４の位
置の認識は、位置検出用センサ６６の検出信号が供給さ
れる図示しない制御装置によって行われる。
においては、支持フレーム２４側のセンサ用溝５６ａと
対向する高さに光学式の位置検出用センサ６６が取り付
けられている。この位置検出用センサ６６は、対向した
面までの距離を検出するようになっており、本実施例で
は、この位置検出用センサ６６の出力信号から原点位置
に対する第１スライダ１４の位置を認識するようになっ
ている。すなわち、位置検出用センサ６６の出力信号
は、センサドッグ６４が取り付けられた位置と取り付け
られていない位置とで変化するので、センサドッグ６４
を、その端部が第１スライダ１４の原点位置となる位置
に取り付けることで、位置検出用センサ６６の出力信号
を基に、第１スライダ１４が原点位置にあるか否かを認
識するようになっている。なお、第１スライダ１４の位
置の認識は、位置検出用センサ６６の検出信号が供給さ
れる図示しない制御装置によって行われる。
【００１６】また、本実施例では、支持フレーム２４の
内側に位置するテーパ部２４ｂにも、ボルト用溝５８
ａ、５８ｂと同様に十字断面を有するストッパ用溝６５
が支持フレーム２４の全長に渡って形成されている。こ
のストッパ用溝６５には、図３に示すように、突起物と
してのメカストッパ６８がナット６９によって取り付け
られている。このメカストッパ６８は、ガイド部４４に
当接することで、第１スライダ１４のＸ軸方向への移動
を規制するもので、図２に示すように、第１スライダ１
４の可動範囲の両端に取り付けられている。このメカス
トッパ６８も、センサドッグ６４と同様に、ナット６９
を緩めることで、ストッパ用溝６５に沿ってＸ軸方向に
移動可能となっており、取り付け位置を変えることで、
第１スライダ１４の可動範囲を変更することができるよ
うになっている。
内側に位置するテーパ部２４ｂにも、ボルト用溝５８
ａ、５８ｂと同様に十字断面を有するストッパ用溝６５
が支持フレーム２４の全長に渡って形成されている。こ
のストッパ用溝６５には、図３に示すように、突起物と
してのメカストッパ６８がナット６９によって取り付け
られている。このメカストッパ６８は、ガイド部４４に
当接することで、第１スライダ１４のＸ軸方向への移動
を規制するもので、図２に示すように、第１スライダ１
４の可動範囲の両端に取り付けられている。このメカス
トッパ６８も、センサドッグ６４と同様に、ナット６９
を緩めることで、ストッパ用溝６５に沿ってＸ軸方向に
移動可能となっており、取り付け位置を変えることで、
第１スライダ１４の可動範囲を変更することができるよ
うになっている。
【００１７】なお、本実施例の第１スライダ支持部１２
は、図４において左右に対称な形状を有している。ま
た、詳細な説明は省略するが、第２スライダ支持部１６
も第１スライダ支持部１２と同様な構造を有している。
例えば、ねじ軸３０や回転ナット４０と同様なボールね
じ機構や、支持フレーム２４と同様なフレーム構造等を
有している。すなわち、第２スライダ１８は、固定され
たねじ軸に対してナットが回転するボールねじ機構によ
って、第２スライダ支持部１６に対しＹ軸方向に移動す
るようになっている。また、第２スライダ支持部１６の
支持フレームには、支持フレーム２４と同様に中空部分
やエア吸引孔、及びセンサ用溝、ボルト用溝等が形成さ
れている。
は、図４において左右に対称な形状を有している。ま
た、詳細な説明は省略するが、第２スライダ支持部１６
も第１スライダ支持部１２と同様な構造を有している。
例えば、ねじ軸３０や回転ナット４０と同様なボールね
じ機構や、支持フレーム２４と同様なフレーム構造等を
有している。すなわち、第２スライダ１８は、固定され
たねじ軸に対してナットが回転するボールねじ機構によ
って、第２スライダ支持部１６に対しＹ軸方向に移動す
るようになっている。また、第２スライダ支持部１６の
支持フレームには、支持フレーム２４と同様に中空部分
やエア吸引孔、及びセンサ用溝、ボルト用溝等が形成さ
れている。
【００１８】次に、このように構成された実施例の動作
について説明する。第１スライダ支持部１２において
は、駆動時、すなわち、モータ本体４６によって第１ス
ライダ１４が往復動を行っている時に、図示しないポン
プによって支持フレーム２４の中空部５２ｂ、５２ｄが
エア吸引される。このエア吸引により、第１スライダ１
４のガイド部４４とガイドレール２８との接触部分で
は、発生した塵等がエア吸引孔５４から中空部５２ｂ、
５２ｄへと吸引される。同様に第２スライダ支持部１６
においても、支持フレームに形成されたエア吸引孔によ
り、第２スライダ１８のガイドレール部分で発生した塵
等の局部吸引が行われる。従って、発生した塵等が窓Ｗ
等を介して外部へと出てしまうことがなく、クリーン度
を悪くすることが防止される。
について説明する。第１スライダ支持部１２において
は、駆動時、すなわち、モータ本体４６によって第１ス
ライダ１４が往復動を行っている時に、図示しないポン
プによって支持フレーム２４の中空部５２ｂ、５２ｄが
エア吸引される。このエア吸引により、第１スライダ１
４のガイド部４４とガイドレール２８との接触部分で
は、発生した塵等がエア吸引孔５４から中空部５２ｂ、
５２ｄへと吸引される。同様に第２スライダ支持部１６
においても、支持フレームに形成されたエア吸引孔によ
り、第２スライダ１８のガイドレール部分で発生した塵
等の局部吸引が行われる。従って、発生した塵等が窓Ｗ
等を介して外部へと出てしまうことがなく、クリーン度
を悪くすることが防止される。
【００１９】以上説明したように、本実施例では、支持
フレーム２４等に形成された中空部を利用して、第１ス
ライダ支持部１２や第２スライダ支持部１６内の局所吸
引が行われるので、従来のように配管を配置していた場
合に比べ、第１スライダ支持部１２や第２スライダ支持
部１６を小さくすることができる。すなわち、装置を小
型化することができる。また、装置内を一括吸引してい
た従来技術に比べ、小さなポンプで済むため、装置が大
きくならず、製造コストも低く抑えることができる。更
に、発塵箇所であるガイドレール２８に非常に近接した
位置で吸引が行われるので、塵等が効果的に吸引され、
高い防塵効果を発揮することができる。また、配管等が
ないため、構造が簡単であり、メンテナンス性も良い。
フレーム２４等に形成された中空部を利用して、第１ス
ライダ支持部１２や第２スライダ支持部１６内の局所吸
引が行われるので、従来のように配管を配置していた場
合に比べ、第１スライダ支持部１２や第２スライダ支持
部１６を小さくすることができる。すなわち、装置を小
型化することができる。また、装置内を一括吸引してい
た従来技術に比べ、小さなポンプで済むため、装置が大
きくならず、製造コストも低く抑えることができる。更
に、発塵箇所であるガイドレール２８に非常に近接した
位置で吸引が行われるので、塵等が効果的に吸引され、
高い防塵効果を発揮することができる。また、配管等が
ないため、構造が簡単であり、メンテナンス性も良い。
【００２０】本実施例では、センサドッグ６４やメカス
トッパ６８等の位置を第１スライダ１４や第２スライダ
１８の移動方向に変えられるので、第１スライダ１４や
第２スライダ１８の原点位置や可動範囲をロボット１０
の使用条件によって変えることができる。また、本実施
例では、第１スライダ支持部１２や第２スライダ支持部
１６が左右対称の構造を有しているので、第１スライダ
１４や第２スライダ１８が左右逆の構造を有するもので
も取り付け可能である。なお、以上の実施例では、第１
スライダ１４や第２スライダ１８を移動させるためにナ
ット回転型のボールねじが使用されていたが、ねじ軸が
回転してナット側は固定された通常のボールねじを使用
してもよい。この場合、ねじ軸を支持する軸受部分での
発塵が問題となるので、支持フレームの中空部と連通す
るエア吸引孔を軸受に近接した部分にも設けて、軸受部
分でもエア吸引を行うようにしてもよい。
トッパ６８等の位置を第１スライダ１４や第２スライダ
１８の移動方向に変えられるので、第１スライダ１４や
第２スライダ１８の原点位置や可動範囲をロボット１０
の使用条件によって変えることができる。また、本実施
例では、第１スライダ支持部１２や第２スライダ支持部
１６が左右対称の構造を有しているので、第１スライダ
１４や第２スライダ１８が左右逆の構造を有するもので
も取り付け可能である。なお、以上の実施例では、第１
スライダ１４や第２スライダ１８を移動させるためにナ
ット回転型のボールねじが使用されていたが、ねじ軸が
回転してナット側は固定された通常のボールねじを使用
してもよい。この場合、ねじ軸を支持する軸受部分での
発塵が問題となるので、支持フレームの中空部と連通す
るエア吸引孔を軸受に近接した部分にも設けて、軸受部
分でもエア吸引を行うようにしてもよい。
【００２１】
【発明の効果】本発明のロボットによれば、大型化や高
価となることなく効果的に発塵を防止することができ
る。
価となることなく効果的に発塵を防止することができ
る。
【図１】本発明の一実施例によるロボットの外観を示し
た斜視図である。
た斜視図である。
【図２】同ロボットの側断面図である。
【図３】同ロボットの平断面図である。
【図４】図３におけるＡ−Ａ線方向断面を示した図であ
る。
る。
１０ ロボット １２ 第１スライダ支持部 １４ 第１スライダ １６ 第２スライダ支持部 １８ 第２スライダ ２０ 作業ユニット ２０ａ 作業ピン ２４ 支持フレーム ２５ 端部カバー ２６ 上面カバー ２８ ガイドレール ３０ ねじ軸 ３４ モータ部 ３６ 推進機構部 ３８ ベアリング ４０ 回転ナット ４２ 従動プーリ ４４ ガイド部 ４６ モータ本体 ４８ 駆動プーリ ５０ タイミングベルト ５２ａ、５２ｂ、５２ｃ、５２ｄ、５２ｅ 中空部 ５４ エア吸引孔 ５６ａ、５６ｂ センサ用溝 ５８ａ、５８ｂ ボルト用溝 ６４ センサドッグ ６６ 位置検出用センサ ６８ メカストッパ
Claims (4)
- 【請求項１】 互いに直交する２方向にそれぞれ移動す
る複数のスライダを備えた直交座標型のロボットにおい
て、 前記スライダの一部を収容したフレームと、 このフレームの内部に設けられた中空部と、 この中空部と前記フレームの内側空間を連通させた連通
孔と、 前記中空部を吸引する吸引手段とを具備することを特徴
とするロボット。 - 【請求項２】 前記フレームには、前記スライダを案内
するガイドレールが設けられ、 前記連通孔は、前記内側空間側の開口部が前記ガイドレ
ールの近傍に位置していることを特徴とする請求項１記
載のロボット。 - 【請求項３】 前記フレームの内壁部に前記スライダの
移動方向に沿って形成されたセンサ用溝と、 前記フレームの内壁部に前記センサ用溝と平行に形成さ
れたセンサドッグ用溝と、 このセンサドッグ用溝における任意の位置に取り付けら
れるセンサドッグ固定部材と、 このセンサドッグ固定部材によって、前記センサ用溝の
一部を被覆する位置に固定されるセンサドッグと、 前記センサ用溝と対向する位置で前記スライダに取り付
けられ、前記センサドッグの有無を検出する位置検出用
センサとを備えたことを特徴とする請求項１記載のロボ
ット。 - 【請求項４】 前記フレームの内壁部に前記スライダの
移動方向に沿って形成されたストッパ用溝と、 このストッパ用溝における任意の位置に取付けられるス
トッパ固定部材と、 このストッパ固定部材によって、前記スライダの移動範
囲内に固定されるストッパ部材とを備えたことを特徴と
する請求項１記載のロボット。 【０００１】
Priority Applications (3)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP7055158A JP2700621B2 (ja) | 1995-02-20 | 1995-02-20 | ロボット |
| KR1019960003766A KR960031074A (ko) | 1995-02-20 | 1996-02-15 | 로보트 |
| US08/602,972 US5713244A (en) | 1995-02-20 | 1996-02-16 | Robot |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP7055158A JP2700621B2 (ja) | 1995-02-20 | 1995-02-20 | ロボット |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH08216071A true JPH08216071A (ja) | 1996-08-27 |
| JP2700621B2 JP2700621B2 (ja) | 1998-01-21 |
Family
ID=12990947
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP7055158A Expired - Fee Related JP2700621B2 (ja) | 1995-02-20 | 1995-02-20 | ロボット |
Country Status (3)
| Country | Link |
|---|---|
| US (1) | US5713244A (ja) |
| JP (1) | JP2700621B2 (ja) |
| KR (1) | KR960031074A (ja) |
Cited By (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| KR101321505B1 (ko) * | 2012-12-13 | 2013-10-28 | (주)현준에프에이 | 방진밴드를 구비한 직선 로봇 |
| JP2015000440A (ja) * | 2013-06-14 | 2015-01-05 | 株式会社スター精機 | パレタイジング装置及びパレタイジング方法 |
| JP2018015894A (ja) * | 2017-10-18 | 2018-02-01 | 株式会社スター精機 | パレタイジング装置及びパレタイジング方法 |
| CN112045716A (zh) * | 2020-08-25 | 2020-12-08 | 高上杰 | 一种智能装卸工业机器人 |
| WO2022177072A1 (ko) * | 2021-02-18 | 2022-08-25 | (주)에스.피.시스템스 | 개방형 구조의 집진 시스템이 적용된 크린룸용 단축 로봇 |
Families Citing this family (8)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH11325070A (ja) * | 1998-05-11 | 1999-11-26 | Nippon Thompson Co Ltd | スライド装置のシール構造 |
| JP4412798B2 (ja) | 2000-03-01 | 2010-02-10 | Ｏｂａｒａ株式会社 | 溶接装置における加圧軸駆動装置 |
| DE10104555B4 (de) * | 2001-02-01 | 2007-11-08 | Krauss Maffei Gmbh | Lagervorrichtung zum Einsatz in Reinumgebungen |
| DE102008035949A1 (de) * | 2008-07-31 | 2010-02-04 | Etel S.A. | Reinraumtaugliche Linearführung |
| JP2013143824A (ja) * | 2012-01-11 | 2013-07-22 | Smc Corp | 電動アクチュエータ |
| CN105549334B (zh) * | 2016-01-28 | 2017-12-29 | 武汉华星光电技术有限公司 | 曝光机 |
| JP2018075689A (ja) * | 2016-11-11 | 2018-05-17 | Ntn株式会社 | 作動装置および双腕型作動装置 |
| CN112476440A (zh) * | 2020-11-12 | 2021-03-12 | 湖州慧能机电科技有限公司 | 一种工业机器人机械手的打孔装置 |
Citations (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS626508U (ja) * | 1985-06-26 | 1987-01-16 | ||
| JPH01321180A (ja) * | 1988-06-21 | 1989-12-27 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | 産業用ロボット |
| JPH0516092A (ja) * | 1991-07-08 | 1993-01-26 | Sony Corp | 直交型ロボツトの集塵構造 |
Family Cites Families (6)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5898251A (ja) * | 1981-12-07 | 1983-06-11 | 住友ベークライト株式会社 | 高バリヤ性複合フイルム |
| JP2638955B2 (ja) * | 1988-07-14 | 1997-08-06 | 日本精工株式会社 | 無塵室用作動装置 |
| JPH02106282A (ja) * | 1988-10-11 | 1990-04-18 | Mitsubishi Electric Corp | 産業用ロボット |
| US5228353A (en) * | 1990-12-25 | 1993-07-20 | Nsk, Ltd. | Ball screw device |
| US5499547A (en) * | 1991-09-04 | 1996-03-19 | Smc Kabushiki Kaisha | Actuator |
| JPH05277870A (ja) * | 1992-03-27 | 1993-10-26 | Nippon Thompson Co Ltd | 駆動装置及びこれを具備したｘｙ駆動装置 |
-
1995
- 1995-02-20 JP JP7055158A patent/JP2700621B2/ja not_active Expired - Fee Related
-
1996
- 1996-02-15 KR KR1019960003766A patent/KR960031074A/ko not_active Application Discontinuation
- 1996-02-16 US US08/602,972 patent/US5713244A/en not_active Expired - Fee Related
Patent Citations (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS626508U (ja) * | 1985-06-26 | 1987-01-16 | ||
| JPH01321180A (ja) * | 1988-06-21 | 1989-12-27 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | 産業用ロボット |
| JPH0516092A (ja) * | 1991-07-08 | 1993-01-26 | Sony Corp | 直交型ロボツトの集塵構造 |
Cited By (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| KR101321505B1 (ko) * | 2012-12-13 | 2013-10-28 | (주)현준에프에이 | 방진밴드를 구비한 직선 로봇 |
| JP2015000440A (ja) * | 2013-06-14 | 2015-01-05 | 株式会社スター精機 | パレタイジング装置及びパレタイジング方法 |
| JP2018015894A (ja) * | 2017-10-18 | 2018-02-01 | 株式会社スター精機 | パレタイジング装置及びパレタイジング方法 |
| CN112045716A (zh) * | 2020-08-25 | 2020-12-08 | 高上杰 | 一种智能装卸工业机器人 |
| WO2022177072A1 (ko) * | 2021-02-18 | 2022-08-25 | (주)에스.피.시스템스 | 개방형 구조의 집진 시스템이 적용된 크린룸용 단축 로봇 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JP2700621B2 (ja) | 1998-01-21 |
| US5713244A (en) | 1998-02-03 |
| KR960031074A (ko) | 1996-09-17 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| JPH08216071A (ja) | ロボット | |
| US7562595B2 (en) | Dust proof sliding device | |
| US8272286B2 (en) | Linear actuator with dustproof mechanism | |
| JP4155781B2 (ja) | スライド装置のシール構造 | |
| JPH08290384A (ja) | 低発塵直動アクチュエータ | |
| US7124657B2 (en) | Electric actuator and method of assembling the same | |
| KR100537785B1 (ko) | 전동액츄에이터 | |
| JP2006067657A (ja) | リニアモータ | |
| JP2000202729A (ja) | 真空用直線駆動装置 | |
| JPS60127932A (ja) | Ｘｙステ−ジ | |
| JPH0885026A (ja) | 門型駆動装置 | |
| JP4096837B2 (ja) | 電子部品実装用装置の直動機構 | |
| JP2646380B2 (ja) | 直線移動型クリーンロボット | |
| KR200493415Y1 (ko) | 지지구조를 갖는 선형 모듈 | |
| JP2000120685A (ja) | 静圧空気軸受直線案内装置 | |
| JPH058194A (ja) | 直交型ロボツトの集塵構造 | |
| KR20030090943A (ko) | 반도체공정 로봇 직선 주행부의 실링구조 | |
| KR200145210Y1 (ko) | 방진용 로봇 핸드 | |
| JP5231818B2 (ja) | シリンダ型アクチュエータ | |
| JP2003229472A (ja) | 駆動装置 | |
| JP4354619B2 (ja) | 単軸ロボット | |
| JP2004340320A (ja) | スライド装置 | |
| JPS62287995A (ja) | 産業用ロボツト | |
| JPS6268294A (ja) | 産業用ロボツト装置 | |
| KR0136490Y1 (ko) | 로보트 |
Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| S533 | Written request for registration of change of name |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R313533 |
|
| R350 | Written notification of registration of transfer |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R350 |
|
| LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |