DE10104555B4 - Lagervorrichtung zum Einsatz in Reinumgebungen - Google Patents
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Abstract
Lagervorrichtung
zum Lagern eines beweglichen Bauteils (30) mit mindestens einem
Lagerelement (40) und mindestens einem gelagerten Element (39), die
relativ zueinander bewegbar sind und mit einander in Kontakt stehen,
wobei mindestens im Kontaktbereich zwischen dem Lagerelement (40)
und dem gelagerten Element (39) Gasabzugsmittel (44, 52) vorgesehen
sind, dadurch gekennzeichnet, daß die Gasabzugsmittel Öffnungen
(44) in dem Lagerelement (40) sind, die mit einer Unterdruckleitung
(42) verbunden sind.
Description
- Die Erfindung bezieht sich auf eine Lagervorrichtung gemäß dem Oberbegriff des Patentanspruchs 1, die insbesondere für den Einsatz in Umgebungen mit gereinigter Atmosphäre geeignet ist.
- Bei vielen Produktionsanlagen, beispielsweise in der Halbleiterindustrie oder auch in der kunststoffverarbeitenden Industrie bei der Herstellung von Kunststoffteilen mit qualitativ hochwertigen Oberflächen, ist es erforderlich, in einer gereinigten Atmosphäre zu arbeiten, um die Anlagerung von Partikeln an dem zu fertigenden Produkt zu verhindern. Zu diesem Zweck wird einem Raum oder einem Bereich einer Produktionsanlage gereinigte Luft unter etwas höherem Druck als Atmosphärendruck zugeführt. Dadurch kann zwar verhindert werden, daß Staubpartikel von außen in den Bereich eindringen, dabei besteht jedoch noch das Problem, daß Verunreinigungspartikel auch innerhalb des Bereichs emittiert werden können.
- Eine mögliche Quelle für Verunreinigungspartikel wird dadurch beseitigt, daß Lagervorrichtungen innerhalb des Bereichs mit gereinigter Atmosphäre gemäß den Merkmalen des Oberbegriffs von Patentanspruch 1 ausgebildet werden. Derartige Lagervorrichtungen sind bekannt aus
DE 34 18 243 A1 ,US 5,976,199 undJP 03172221 A - Ausgehend hiervon liegt der Erfindung die Aufgabe zugrunde, eine Lagervorrichtung anzugeben, bei der weniger Verunreinigungspartikel in die Umgebung abgegeben werden.
- Die Lösung dieser Aufgabe erfolgt durch eine Lagervorrichtung mit den Merkmalen von Anspruch 1; die abhängigen An spruche betreffen vorteilhafte Ausgestaltungen der Erfindung.
- Der Erfindung liegt die Erkenntnis zugrunde, daß Lagervorrichtungen, in denen zwei Elemente reibend miteinander in Kontakt stehen, aufgrund der Reibung Abrieb erzeugen, der die gereinigte Atmosphäre verunreinigen kann. Es wird deshalb vorgeschlagen, mindestens im Kontaktbereich der sich berührenden Elemente Gasabzugsmittel vorzusehen, so daß Abriebpartikel direkt aus dem Kontaktbereich zusammen mit dem Gas abgezogen werden, wobei dies erfindungsgemäß durch Öffnungen in dem Lagerelement geschieht, die an eine Unterdruckleitung angeschlossen sind.
- Die gesamte Lagervorrichtung kann mit Gasabzugsmitteln versehen sein, wobei die Anlage so betrieben wird, daß nur in dem Bereich Gas abgezogen wird, in dem momentan die Lagerelemente miteinander in Kontakt stehen. Alternativ kann eine dem aktuellen Kontaktbereich zugeordnete Saugvorrichtung vorgesehen sein, die mit dem beweglichen Element mitbewegt wird.
- In einer konstruktiv einfachen Variante ist das Lagerelement als U-Profilschiene ausgebildet, wobei mindestens eine Wandung des Profils mit Öffnungen versehen sind, an die sich eine parallel zur Profilschiene erstreckende Unterdruckleitung anschließt. Vorzugsweise tragen die Beine des U-Profils auf einander zugerichtete Stege, so daß eine hinterschnittene Nut gebildet ist, die das Innere der Lagervorrichtung die umgebende gereinigte Atmosphäre abkapselt.
- Eine Ausführungsform der Erfindung wird anhand der beigefügten Zeichnungen erläutert.
-
1 zeigt schematisch in Perspektivdarstellung einen Teil einer Produktionsanlage mit zwei Bearbeitungsstationen, und -
2 zeigt in schematischer Perspektivdarstellung ein Lagerelement der Lagervorrichtung. - In
1 bezeichnen I und II Bearbeitungsstationen einer Produktionsanlage, beispielsweise zur Herstellung von Autoscheiben aus Kunststoff. In diesem Fall sind die Bearbeitungsstationen I, II Spritzgießwerkzeuge, von denen in1 lediglich zwei feststehende Formaufspannplatten13 ,23 dargestellt sind. In der Bearbeitungsstation1 wird eine Kunststoffscheibe spritzgegossen, anschließend mittels eines beweglichen Rahmens30 über Pneumatiksauger31 aus einer beweglichen Formhälfte (nicht dargestellt) entnommen und in die Bearbeitungstation II transportiert, in der sie in eine zweite Form (nicht dargestellt) eingesetzt wird. In der Bearbeitungsstation II wird dann ein Rahmen an die Scheibe angespritzt, und die fertiggestellte Scheibe wird dann aus der Produktionsanlage entnommen. - Staubpartikel, die in der Produktionsanlage enthalten sind, können sich an der Scheibenoberfläche ablagern und führen bei nachfolgenden Bearbeitungsvorgängen zu Ausschuß.
- Um dies zu verhindern, wird durch nicht näher dargestellte Mittel der Bereich, durch den die Scheibe bewegt wird, unter gereinigter Atmosphäre gehalten, indem beispielsweise dieser Bereich gegen die Außenatmosphäre abgeschirmt wird und gereinigte Luft eingeleitet wird.
- Der Rahmen
30 zum Bewegen der Scheibe ist über Beine48 und Lagerklötze oder -rollen in Lagerschienen40 mit U-Profil so gelagert, daß er etwa von der Mitte der ersten Formaufspannplatte13 bis zur Mitte der zweiten Formaufspannplatte23 über einen Seilzugmechanismus52 verschoben werden kann. Dementsprechend erstrecken sich die Lagerschienen etwa über die gesamte Länge der Produktionsanlage von einem Ende der ersten Formaufspannplatte13 bis zum entgegengesetzten Ende der Formaufspannplatte23 . - Gemäß
2 ist eine Wandung des U-Profils mit Bohrungen44 perforiert, die mit dem Inneren einer Unterdruckleitung42 kommunizieren. Die Unterdruckleitung ist aus der perforierten Wandung des U-Profils40 und einem aufgesetzten halbkreisförmigen Profil46 gebildet. Das Innere der Unterdruckleitung steht ferner vorzugsweise in Verbindung mit einer Absaugvorrichtung (nicht dargestellt). "Unterdruck" bezieht sich in diesem Zusammenhang auf die Druckdifferenz zum Inneren des Bereichs mit gereinigter Atmosphäre, der höher ist als der Druck der Umgehungsatmosphäre. Falls dieser Druck ausreichend groß ist, um den in der Lagervorrichtung erzeugten Abrieb durch die Bohrungen44 nach Außen zu transportieren, kann ggf. auf eine separate Absaugvorrichtung an der Unterdruckleitung verzichtet werden. - Desweiteren ist aus der
2 ersichtlich, daß die Beine des U-Profils an ihren Enden Stege52 tragen, die das Innere der Profilschiene40 zum reinen Bereich hin abschirmen und in der Profilschiene40 entstehenden Abrieb weiter zurückhalten. - Während des Betriebs wird Unterdruck an die Unterdruckleitung
52 angelegt, so daß Abrieb, der in der Profilschiene40 entsteht, von Luft, die vom reinen Bereich durch die Bohrungen44 in den Vakuum-Kanal eintritt, mitgezogen und transportiert wird. - In der einfachsten Ausführungsform wird der Abrieb permanent durch alle Bohrungen
44 für die gesamte Länge der Profilschienen40 abgesaugt. Es ist jedoch auch möglich, insbesondere bei langen Profischienen, diese Profilschienen in Segmente aufzuteilen, so daß, abhängig von der Stellung des Rahmens30 nur solche Segmente betrieben werden, in denen sich momentan die Lagerklötze39 befinden und in denen somit Abrieb entstehen kann. Dies kann beispielsweise dadurch realisiert werden, daß die nicht benötigten Bohrungen abhängig von der Stellung des Rahmens30 abgedeckt werden oder die einzelnen Segmente mit unterschiedlichen Unterdruckleitungen verbunden sind, die abhängig von der Stellung des Rahmens betrieben werden. - In einer alternativen Ausführungsform (nicht dargestellt) kann auch direkt eine Saugvorrichtung am Lagerklotz
39 oder am Bein, d.h. im Kontaktbereich zwischen der Profilschiene und dem zu lagernden Element, vorgesehen sein, die sich mit dem Rahmen30 mitbewegt. - Die Ausführungsbeispiele, in denen die Öffnungen abhängig von der Bewegung des Rahmens betrieben werden oder sich mit dem Rahmen bewegen, haben den Vorteil, daß während des Betriebs weniger Reinluft aus dem reinen Bereich abgezogen wird.
Claims (5)
- Lagervorrichtung zum Lagern eines beweglichen Bauteils (
30 ) mit mindestens einem Lagerelement (40 ) und mindestens einem gelagerten Element (39 ), die relativ zueinander bewegbar sind und mit einander in Kontakt stehen, wobei mindestens im Kontaktbereich zwischen dem Lagerelement (40 ) und dem gelagerten Element (39 ) Gasabzugsmittel (44 ,52 ) vorgesehen sind, dadurch gekennzeichnet, daß die Gasabzugsmittel Öffnungen (44 ) in dem Lagerelement (40 ) sind, die mit einer Unterdruckleitung (42 ) verbunden sind. - Lagervorrichtung nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß der Kontaktbereich zwischen dem Lagerelement und dem gelagerten Element nach außen abgeschirmt ist.
- Lagervorrichtung nach Anspruch 1 oder 2, dadurch gekennzeichnet, daß das Lagerelement eine U-Profilschiene (
40 ) ist, daß die Öffnungen (44 ) in einer Wand des Profils ausgebildet sind, und daß diese perforierte Wand gleichzeitig einen Teil der Wandung der Unterdruckleitung (42 ) bildet. - Lagervorrichtung nach Anspruch 3, dadurch gekennzeichnet, daß sich parallel zur perforierten Wand ein Hohlprofil (
46 ) erstreckt. - Lagervorrichtung nach Anspruch 3 oder 4, dadurch gekennzeichnet, daß die Beine der U-Profilschiene Stege tragen, so daß eine hinterschnittene Nut gebildet ist.
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Families Citing this family (2)
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---|---|---|---|---|
DE10303195A1 (de) * | 2003-01-24 | 2004-08-05 | HAP Handhabungs-, Automatisierungs- und Präzisionstechnik GmbH | Fördervorrichtung für einen Transport von Wafer aufnehmenden Behältnissen in Reinräumen |
CN107275266A (zh) * | 2017-07-11 | 2017-10-20 | 苏州通博半导体科技有限公司 | 一种用于hitachi db800的吹气除尘系统 |
Citations (7)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
DE3418243A1 (de) * | 1983-05-20 | 1984-11-22 | Varian Associates, Inc., Palo Alto, Calif. | Automatisierte kassettenfoerderanlage |
JPH03172221A (ja) * | 1989-11-29 | 1991-07-25 | Fuji Electric Co Ltd | クリーン搬送装置 |
DE4116554A1 (de) * | 1990-10-22 | 1992-04-23 | Tdk Corp | Transportverfahren und -system fuer reinraumbedingungen |
DE4326309C1 (de) * | 1993-08-05 | 1994-09-15 | Jenoptik Jena Gmbh | Vorrichtung zum Transport von Wafermagazinen |
DE4310149A1 (de) * | 1993-03-29 | 1994-10-06 | Jenoptik Jena Gmbh | Einrichtung zum Handeln von scheibenförmigen Objekten in einer Handlingebene eines lokalen Reinraumes |
DE4326308C1 (de) * | 1993-08-05 | 1994-10-20 | Jenoptik Jena Gmbh | Transportvorrichtung für Magazine zur Aufnahme scheibenförmiger Objekte |
US5976199A (en) * | 1990-12-17 | 1999-11-02 | United Microelectronics Corp. | Single semiconductor wafer transfer method and manufacturing system |
Family Cites Families (6)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
DE2831961A1 (de) * | 1978-07-20 | 1980-02-07 | Terma Gmbh Grenz Oberflaechen | Teilewaschgeraet |
JP2638955B2 (ja) * | 1988-07-14 | 1997-08-06 | 日本精工株式会社 | 無塵室用作動装置 |
JPH0516092A (ja) * | 1991-07-08 | 1993-01-26 | Sony Corp | 直交型ロボツトの集塵構造 |
JPH05283509A (ja) * | 1992-03-31 | 1993-10-29 | Nippon Seiko Kk | ダスト吸引装置 |
JP2700621B2 (ja) * | 1995-02-20 | 1998-01-21 | セイコー精機株式会社 | ロボット |
US6330732B1 (en) * | 2000-07-19 | 2001-12-18 | Te-Hsi Liu | Dust collect device for an eraser |
-
2001
- 2001-02-01 DE DE2001104555 patent/DE10104555B4/de not_active Expired - Fee Related
-
2002
- 2002-02-01 WO PCT/EP2002/001062 patent/WO2002060607A1/de not_active Application Discontinuation
Patent Citations (7)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
DE3418243A1 (de) * | 1983-05-20 | 1984-11-22 | Varian Associates, Inc., Palo Alto, Calif. | Automatisierte kassettenfoerderanlage |
JPH03172221A (ja) * | 1989-11-29 | 1991-07-25 | Fuji Electric Co Ltd | クリーン搬送装置 |
DE4116554A1 (de) * | 1990-10-22 | 1992-04-23 | Tdk Corp | Transportverfahren und -system fuer reinraumbedingungen |
US5976199A (en) * | 1990-12-17 | 1999-11-02 | United Microelectronics Corp. | Single semiconductor wafer transfer method and manufacturing system |
DE4310149A1 (de) * | 1993-03-29 | 1994-10-06 | Jenoptik Jena Gmbh | Einrichtung zum Handeln von scheibenförmigen Objekten in einer Handlingebene eines lokalen Reinraumes |
DE4326309C1 (de) * | 1993-08-05 | 1994-09-15 | Jenoptik Jena Gmbh | Vorrichtung zum Transport von Wafermagazinen |
DE4326308C1 (de) * | 1993-08-05 | 1994-10-20 | Jenoptik Jena Gmbh | Transportvorrichtung für Magazine zur Aufnahme scheibenförmiger Objekte |
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