JPH05283509A - ダスト吸引装置 - Google Patents
ダスト吸引装置Info
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- JPH05283509A JPH05283509A JP7767492A JP7767492A JPH05283509A JP H05283509 A JPH05283509 A JP H05283509A JP 7767492 A JP7767492 A JP 7767492A JP 7767492 A JP7767492 A JP 7767492A JP H05283509 A JPH05283509 A JP H05283509A
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Classifications
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B08—CLEANING
- B08B—CLEANING IN GENERAL; PREVENTION OF FOULING IN GENERAL
- B08B15/00—Preventing escape of dirt or fumes from the area where they are produced; Collecting or removing dirt or fumes from that area
- B08B15/002—Preventing escape of dirt or fumes from the area where they are produced; Collecting or removing dirt or fumes from that area using a central suction system, e.g. for collecting exhaust gases in workshops
- B08B15/005—Preventing escape of dirt or fumes from the area where they are produced; Collecting or removing dirt or fumes from that area using a central suction system, e.g. for collecting exhaust gases in workshops comprising a stationary main duct with one or more branch units, the branch units being freely movable along a sealed longitudinal slit in the main duct
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B08—CLEANING
- B08B—CLEANING IN GENERAL; PREVENTION OF FOULING IN GENERAL
- B08B15/00—Preventing escape of dirt or fumes from the area where they are produced; Collecting or removing dirt or fumes from that area
Landscapes
- Container, Conveyance, Adherence, Positioning, Of Wafer (AREA)
- Manipulator (AREA)
- Exposure Of Semiconductors, Excluding Electron Or Ion Beam Exposure (AREA)
- Exposure And Positioning Against Photoresist Photosensitive Materials (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【目的】 チューブ状の配管系を用いることなくダスト
を排気できる手段を備えた、ダスト吸引装置を提供す
る。 【構成】 排気部に連通可能な溝体の長手側開口部に、
該開口部全域に気密封着可能な可撓板を設けるととも
に、該可撓板の気密封着部を一部離反させて湾曲開口を
形成する開口手段を内側に備え、かつ該湾曲開口をダス
ト発生部に連通可能なカップ状スライダを、前記溝体の
ストローク方向へ気密移動自在に設け、ダスト発生を伴
う可動部の移動時にも、排気配管系を引きずることな
く、ダスト発生部の空気を可撓板の湾曲開口部から溝体
内へと排気できるようにした。
を排気できる手段を備えた、ダスト吸引装置を提供す
る。 【構成】 排気部に連通可能な溝体の長手側開口部に、
該開口部全域に気密封着可能な可撓板を設けるととも
に、該可撓板の気密封着部を一部離反させて湾曲開口を
形成する開口手段を内側に備え、かつ該湾曲開口をダス
ト発生部に連通可能なカップ状スライダを、前記溝体の
ストローク方向へ気密移動自在に設け、ダスト発生を伴
う可動部の移動時にも、排気配管系を引きずることな
く、ダスト発生部の空気を可撓板の湾曲開口部から溝体
内へと排気できるようにした。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】この発明はダスト吸引装置、特
に、専らクリーンルーム内で稼働される半導体製造用の
精密位置決めテーブル装置に用いて好適なダスト吸引装
置に関するものである。
に、専らクリーンルーム内で稼働される半導体製造用の
精密位置決めテーブル装置に用いて好適なダスト吸引装
置に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】一般に、クリーンルーム内で使用される
位置決めテーブル装置用のダスト吸引装置は、ボール・
スクリュー、ナット、リニア・ガイド・ベアリング、サ
ポート・ベアリングなどの各種可動部から発生するダス
ト（磨耗粉や潤滑剤などの微粒子）を防塵するために、
真空ポンプにより可動部近傍を強制吸引した後、エアー
・フィルタでダストを濾過し、大気中に開放するなどし
て、無塵環境を維持するように構成されている。
位置決めテーブル装置用のダスト吸引装置は、ボール・
スクリュー、ナット、リニア・ガイド・ベアリング、サ
ポート・ベアリングなどの各種可動部から発生するダス
ト（磨耗粉や潤滑剤などの微粒子）を防塵するために、
真空ポンプにより可動部近傍を強制吸引した後、エアー
・フィルタでダストを濾過し、大気中に開放するなどし
て、無塵環境を維持するように構成されている。
【０００３】例えば、従来のダスト吸引装置位置を搭載
した決めテーブル装置用の原理を示す図４において、ス
クリュー軸２０は、クリーンルーム３０内の基台３１上
に固定された支持体３２、３３にその両端部を支持さ
れ、かつモータ２１により回転できるように接続されて
いる。ここで、該スクリュー軸２０に嵌装されたナット
２５は、支持部材２３とベアリング２４ａを介してリニ
アガイド２４のレール２４ｂに直進案内されている。
した決めテーブル装置用の原理を示す図４において、ス
クリュー軸２０は、クリーンルーム３０内の基台３１上
に固定された支持体３２、３３にその両端部を支持さ
れ、かつモータ２１により回転できるように接続されて
いる。ここで、該スクリュー軸２０に嵌装されたナット
２５は、支持部材２３とベアリング２４ａを介してリニ
アガイド２４のレール２４ｂに直進案内されている。
【０００４】そして、該ナット２５には、外面よりナッ
ト内面に通じる孔２２が設けられ、該孔２２に、ニップ
ルを介してスパイラル状の排気チューブが接続されてい
る。即ち、該ナット２５から発生するダストは排気チュ
ーブ２６を介して、エアーポンプ２７により吸引され、
エアーフィルター２８で集塵された後、クリーンルーム
３０内に再循環するようになっている。該排気チューブ
２６は、支持手段２６ａに沿って伸縮移動できるように
構成されている。２６ｂは、排気チューブ２６とエアー
ポンプ２７を繋ぐ吸引配管である。
ト内面に通じる孔２２が設けられ、該孔２２に、ニップ
ルを介してスパイラル状の排気チューブが接続されてい
る。即ち、該ナット２５から発生するダストは排気チュ
ーブ２６を介して、エアーポンプ２７により吸引され、
エアーフィルター２８で集塵された後、クリーンルーム
３０内に再循環するようになっている。該排気チューブ
２６は、支持手段２６ａに沿って伸縮移動できるように
構成されている。２６ｂは、排気チューブ２６とエアー
ポンプ２７を繋ぐ吸引配管である。
【０００５】このような装置構成において、モータ２１
を駆動すると、その回転方向に応じて、ナット２５はス
クリュー軸２０に沿って移動するが、この時、ナット２
５の近傍で発生したダストは孔２２を介して排気チュー
ブ２６側に吸引され、エアーフィルター２８で除去され
る。さらに、クリーンルーム３０内のダスト濃度を測定
器（ダストカウンタ）３４で常時監視し、所定のダスト
濃度以下になった時のみ、モータ２１を始動させるよう
に制御装置３５を構成した環境サーボシステムを稼働す
ることもできる。
を駆動すると、その回転方向に応じて、ナット２５はス
クリュー軸２０に沿って移動するが、この時、ナット２
５の近傍で発生したダストは孔２２を介して排気チュー
ブ２６側に吸引され、エアーフィルター２８で除去され
る。さらに、クリーンルーム３０内のダスト濃度を測定
器（ダストカウンタ）３４で常時監視し、所定のダスト
濃度以下になった時のみ、モータ２１を始動させるよう
に制御装置３５を構成した環境サーボシステムを稼働す
ることもできる。
【０００６】
【発明が解決しようとする課題】上記従来のダスト吸引
装置において、真空吸引によりダスト発生源をクリーン
化するバキューム方式は、効果的な集塵方法ではある
が、スパイラル排気チューブに代表される配管チューブ
系がさまざまな問題を引き起こすことが知られている。
即ち、 排気チューブ系などが、テーブル本体の内外でスペー
スを占有し、テーブルストロークに制約を与える テーブルの移動に伴い、排気配管系などが引きずら
れ、新たなダスト発生源になることがある といった欠点を有している。
装置において、真空吸引によりダスト発生源をクリーン
化するバキューム方式は、効果的な集塵方法ではある
が、スパイラル排気チューブに代表される配管チューブ
系がさまざまな問題を引き起こすことが知られている。
即ち、 排気チューブ系などが、テーブル本体の内外でスペー
スを占有し、テーブルストロークに制約を与える テーブルの移動に伴い、排気配管系などが引きずら
れ、新たなダスト発生源になることがある といった欠点を有している。
【０００７】この発明は上記の点に鑑み、チューブ状の
配管系を用いることなくダストを排気できる手段を備え
た、ダスト吸引装置を提供することを目的としている。
配管系を用いることなくダストを排気できる手段を備え
た、ダスト吸引装置を提供することを目的としている。
【０００８】
【課題を解決するための手段】上記の目的を達成するた
めこの発明は、排気部に連通可能な溝体の長手側開口部
に、該開口部全域に気密封着可能な可撓板を設けるとと
もに、該可撓板の気密封着部を一部離反させて湾曲開口
を形成する開口手段を内側に備え、かつ該湾曲開口をダ
スト発生部に連通可能なカップ状スライダを、前記溝体
のストローク方向へ気密移動自在に設け、ダスト発生を
伴う可動部の移動時にも、排気配管系を引きずることな
く、ダスト発生部の空気を可撓板の湾曲開口部から溝体
内へと排気できるようにしたものである。
めこの発明は、排気部に連通可能な溝体の長手側開口部
に、該開口部全域に気密封着可能な可撓板を設けるとと
もに、該可撓板の気密封着部を一部離反させて湾曲開口
を形成する開口手段を内側に備え、かつ該湾曲開口をダ
スト発生部に連通可能なカップ状スライダを、前記溝体
のストローク方向へ気密移動自在に設け、ダスト発生を
伴う可動部の移動時にも、排気配管系を引きずることな
く、ダスト発生部の空気を可撓板の湾曲開口部から溝体
内へと排気できるようにしたものである。
【０００９】
【作用】本願ダスト吸引装置は、機械的接触を伴う可動
部を有する任意の装置に適用することができる。例え
ば、位置決めテーブル装置のボール・スクリュー軸と平
行に、一端が封止、他端が排気部に連通された断面コ字
形の溝体を設け、該溝体の開口部に可撓性の金属シート
（可撓板）を磁気吸着して、気密封着する。これによ
り、溝体側に排気通路が形成される。
部を有する任意の装置に適用することができる。例え
ば、位置決めテーブル装置のボール・スクリュー軸と平
行に、一端が封止、他端が排気部に連通された断面コ字
形の溝体を設け、該溝体の開口部に可撓性の金属シート
（可撓板）を磁気吸着して、気密封着する。これによ
り、溝体側に排気通路が形成される。
【００１０】次に、溝体の開口部に、カップ状のスライ
ダを、溝体のストローク方向へ気密移動自在となるよう
に設ける。このスライダと溝体との接触域には摺動スカ
ートが介在しており、外部からの空気がスライダ内側の
空室内に流入することはない。また、該スライダの内室
には、金属シートの気密封止部の一部を持ち上げて湾曲
開口する支持部材（開口手段）が設けられているため、
該湾曲開口を介して溝体の排気通路への空気流入が可能
になっている。
ダを、溝体のストローク方向へ気密移動自在となるよう
に設ける。このスライダと溝体との接触域には摺動スカ
ートが介在しており、外部からの空気がスライダ内側の
空室内に流入することはない。また、該スライダの内室
には、金属シートの気密封止部の一部を持ち上げて湾曲
開口する支持部材（開口手段）が設けられているため、
該湾曲開口を介して溝体の排気通路への空気流入が可能
になっている。
【００１１】ここで、スライダには、該湾曲開口を介し
て、溝体とダスト発生部を連通する連通路が設けられて
おり、ダスト発生部からスライダ内に導入された空気
（ダストの混入した空気）は、スライダの適所に設けら
れた連通路から、この湾曲開口部を介して溝体内に流入
し、さらに排気部へ排出されることとなる。このような
装置構成において、ボール・スクリューを駆動すると、
そのナットはスクリュー軸に沿って移動するから、スラ
イダも溝体のストローク方向に移動する。また、支持部
材も、金属シートの一部を支持して溝体側に湾曲開口を
形成しながら、やはりストローク方向に移動する。そし
て、ダスト発生部の空気は、スライダの内側に流入した
後、湾曲開口を通って溝体内に流入し、さらに排気通路
から排気部へと流出される。
て、溝体とダスト発生部を連通する連通路が設けられて
おり、ダスト発生部からスライダ内に導入された空気
（ダストの混入した空気）は、スライダの適所に設けら
れた連通路から、この湾曲開口部を介して溝体内に流入
し、さらに排気部へ排出されることとなる。このような
装置構成において、ボール・スクリューを駆動すると、
そのナットはスクリュー軸に沿って移動するから、スラ
イダも溝体のストローク方向に移動する。また、支持部
材も、金属シートの一部を支持して溝体側に湾曲開口を
形成しながら、やはりストローク方向に移動する。そし
て、ダスト発生部の空気は、スライダの内側に流入した
後、湾曲開口を通って溝体内に流入し、さらに排気通路
から排気部へと流出される。
【００１２】スライダの移動に伴い、金属シートの磁気
封着部と、金属シートの湾曲支持部では機械的摺動が生
じるが、これらの部位はともにスライダの内側であるか
ら、ダストが発生してもスライダ外へ流出することはな
く、即座に、溝体の排気通路側へ流出する。
封着部と、金属シートの湾曲支持部では機械的摺動が生
じるが、これらの部位はともにスライダの内側であるか
ら、ダストが発生してもスライダ外へ流出することはな
く、即座に、溝体の排気通路側へ流出する。
【００１３】
【実施例】以下、この発明を添付図面に示す一実施例に
基づいて説明する。本願ダスト吸引装置の溝体とスライ
ダの関係を示す図１において、１は断面コ字形の溝体
で、該溝体１は、一方のストローク端（図の左方）が排
気ポート１ａを介して排気手段（図示せず）に連通さ
れ、他方のストローク端（図の右方）は側板１ｂにより
封止されている。
基づいて説明する。本願ダスト吸引装置の溝体とスライ
ダの関係を示す図１において、１は断面コ字形の溝体
で、該溝体１は、一方のストローク端（図の左方）が排
気ポート１ａを介して排気手段（図示せず）に連通さ
れ、他方のストローク端（図の右方）は側板１ｂにより
封止されている。
【００１４】また、該溝体１の開口部２の両側には帯状
磁石３が設けられ、該磁石３に可撓性の金属シート（可
撓板）４を磁気封着させて溝体１を気密封止できるよう
になっている。これにより、該金属シート４と溝体１は
筒体を構成し、排気手段に連通する排気通路Ｈが形成さ
れている。ここで、溝体１の開口部２を気密封止するに
は、磁気吸着によらず、金属シート（可撓板）４を溝体
１内の負圧により吸引して密着させるようにしてもよ
い。この場合、可撓板として、プラスチックシートを金
属シート４に代替することができる。
磁石３が設けられ、該磁石３に可撓性の金属シート（可
撓板）４を磁気封着させて溝体１を気密封止できるよう
になっている。これにより、該金属シート４と溝体１は
筒体を構成し、排気手段に連通する排気通路Ｈが形成さ
れている。ここで、溝体１の開口部２を気密封止するに
は、磁気吸着によらず、金属シート（可撓板）４を溝体
１内の負圧により吸引して密着させるようにしてもよ
い。この場合、可撓板として、プラスチックシートを金
属シート４に代替することができる。
【００１５】尚、該溝体１は、フランジ５により、ダス
ト吸引の対象となる装置の底面などに固定できるように
なっている。６は下面が開口されたカップ状スライダ
で、該スライダ６は側面に連通路６ａを備え、該連通路
６ａより、ダスト発生部（機械的接触を伴う可動部。例
えば、後述のボールスクリューやリニアガイドベアリン
グなど）の空気を、内側の空室内に導入できるように構
成されている。また、該スライダ６は、前記溝体１の開
口部２に対して、スカートＳにより気密的に摺接され、
かつ溝体１のストローク方向へ移動自在に載置されてい
る。
ト吸引の対象となる装置の底面などに固定できるように
なっている。６は下面が開口されたカップ状スライダ
で、該スライダ６は側面に連通路６ａを備え、該連通路
６ａより、ダスト発生部（機械的接触を伴う可動部。例
えば、後述のボールスクリューやリニアガイドベアリン
グなど）の空気を、内側の空室内に導入できるように構
成されている。また、該スライダ６は、前記溝体１の開
口部２に対して、スカートＳにより気密的に摺接され、
かつ溝体１のストローク方向へ移動自在に載置されてい
る。
【００１６】７は前記スライダ６内に設けられた支持部
材（開口手段）で、該支持部材７は前記金属シート４
（可撓板）の一部を持ち上げ支持してその磁気封着部を
離反させ、側方に湾曲開口を形成できるように構成され
ている。即ち、該支持部材７は断面Ｃ字形の板部材から
なり、金属シート４の一部下面を下側から山形に持ち上
げて、金属シート４の両側部に湾曲開口Ｗを形成できる
ように、スライダ６内に架設されている。ここで、該支
持部材７は、該湾曲開口Ｗが、前記連通路６ａの内側開
口に対向する位置に形成されるように設けられている。
材（開口手段）で、該支持部材７は前記金属シート４
（可撓板）の一部を持ち上げ支持してその磁気封着部を
離反させ、側方に湾曲開口を形成できるように構成され
ている。即ち、該支持部材７は断面Ｃ字形の板部材から
なり、金属シート４の一部下面を下側から山形に持ち上
げて、金属シート４の両側部に湾曲開口Ｗを形成できる
ように、スライダ６内に架設されている。ここで、該支
持部材７は、該湾曲開口Ｗが、前記連通路６ａの内側開
口に対向する位置に形成されるように設けられている。
【００１７】尚、前記支持部材７は、図２に示す第２実
施例のように、断面かまぼこ形の部材７０で構成し、か
つ該部材７０の側面と下面を連通する連通路７０ａを設
けてもよい。この場合、該支持部材７０を内装するスラ
イダ６に上面にダスト発生部との連通路６ａを設ける
と、該連通路６ａから流入した空気は、金属シート４の
両側縁とスライダ内壁の隙間を通って、支持部材７０の
側面から連通路７０ａに流入し、支持部材７０の下面か
ら溝体１の排気路Ｈへと流出することとなる。但し、こ
の構成の場合には、スライダ６の内壁が、金属シート４
より幅広であって、両者の間に空気流通可能な隙間が形
成されていることが必要である。
施例のように、断面かまぼこ形の部材７０で構成し、か
つ該部材７０の側面と下面を連通する連通路７０ａを設
けてもよい。この場合、該支持部材７０を内装するスラ
イダ６に上面にダスト発生部との連通路６ａを設ける
と、該連通路６ａから流入した空気は、金属シート４の
両側縁とスライダ内壁の隙間を通って、支持部材７０の
側面から連通路７０ａに流入し、支持部材７０の下面か
ら溝体１の排気路Ｈへと流出することとなる。但し、こ
の構成の場合には、スライダ６の内壁が、金属シート４
より幅広であって、両者の間に空気流通可能な隙間が形
成されていることが必要である。
【００１８】８は前記スライダ６を、集塵対象となる可
動部品に取りつけるためのフランジである。次に、この
ように構成されたダスト吸引装置１０を、位置決めテー
ブル装置に適用した例を説明する。図３において、１１
は長尺の基台で、該基台１１は、クリーンルーム内の床
面上などに固設され、位置決めテーブル装置１００のベ
ース部を構成している。該基台１１上には、その長手方
向に沿って、ボールスクリュー１２と、該ボールスクリ
ュー１２のスクリュー軸１２ｂの両側に２本のリニアガ
イドレール１３、１３が、それぞれ平行に配設されてい
る。
動部品に取りつけるためのフランジである。次に、この
ように構成されたダスト吸引装置１０を、位置決めテー
ブル装置に適用した例を説明する。図３において、１１
は長尺の基台で、該基台１１は、クリーンルーム内の床
面上などに固設され、位置決めテーブル装置１００のベ
ース部を構成している。該基台１１上には、その長手方
向に沿って、ボールスクリュー１２と、該ボールスクリ
ュー１２のスクリュー軸１２ｂの両側に２本のリニアガ
イドレール１３、１３が、それぞれ平行に配設されてい
る。
【００１９】１４はテーブルで、該テーブル１４は、前
記ボールスクリュー１２のナット１２ａに支持されると
ともに、スペーサ１５とベアリング１６を介して前記リ
ニアガイドレール１３、１３に支持され、直進案内でき
るように構成されている。該テーブル１４は、前記ナッ
ト１２ａを介してスクリュー軸１２ｂ及びその駆動モー
タ（図示せず）に連係され、１軸方向に移動自在になっ
ている。即ち、該スクリュー軸１２ｂはカップリングを
介して直結されたモータを回転することにより、該スク
リュー軸１２ｂに嵌装されたナット１２ａとテーブル１
４が一体的に前後進できるようになっている。
記ボールスクリュー１２のナット１２ａに支持されると
ともに、スペーサ１５とベアリング１６を介して前記リ
ニアガイドレール１３、１３に支持され、直進案内でき
るように構成されている。該テーブル１４は、前記ナッ
ト１２ａを介してスクリュー軸１２ｂ及びその駆動モー
タ（図示せず）に連係され、１軸方向に移動自在になっ
ている。即ち、該スクリュー軸１２ｂはカップリングを
介して直結されたモータを回転することにより、該スク
リュー軸１２ｂに嵌装されたナット１２ａとテーブル１
４が一体的に前後進できるようになっている。
【００２０】ここで、ダスト吸引装置１０の溝体１は、
前記スクリュー軸１２ｂおよびリニアガイドレール１３
と平行に配設され、かつ前記スライダ６は、フランジ８
を介して前記ナット１２ａの側面に固設されている。そ
して、該ナット１２ａにおけるダストはスライダ６の上
部から、リニアガイドベアリング１６のダストは側部か
ら、それぞれ連通路６ａによりスライダ内に導入できる
ようになっている。
前記スクリュー軸１２ｂおよびリニアガイドレール１３
と平行に配設され、かつ前記スライダ６は、フランジ８
を介して前記ナット１２ａの側面に固設されている。そ
して、該ナット１２ａにおけるダストはスライダ６の上
部から、リニアガイドベアリング１６のダストは側部か
ら、それぞれ連通路６ａによりスライダ内に導入できる
ようになっている。
【００２１】１７は位置決めテーブル装置の側面を囲繞
して、内部の騒音が外部に放射されるのを防ぐための防
音カバーである。１８は、同じくテーブル１４の上面に
設けられた防音カバーである。上記実施例において、位
置決めテーブル装置１００のモータを駆動すると、テー
ブル１４は、ボールスクリュー軸１２ｂに嵌装されたナ
ット１２ａと一体に、リニアガイドレール１３に沿って
移動する。また、ナット１２ａに固定されたスライダ６
もテーブル１４とともに移動する。この時、スライダ６
は、スカートＳを介して溝体１の開口部に対し気密的に
摺接しながら、ストローク方向へ移動する。
して、内部の騒音が外部に放射されるのを防ぐための防
音カバーである。１８は、同じくテーブル１４の上面に
設けられた防音カバーである。上記実施例において、位
置決めテーブル装置１００のモータを駆動すると、テー
ブル１４は、ボールスクリュー軸１２ｂに嵌装されたナ
ット１２ａと一体に、リニアガイドレール１３に沿って
移動する。また、ナット１２ａに固定されたスライダ６
もテーブル１４とともに移動する。この時、スライダ６
は、スカートＳを介して溝体１の開口部に対し気密的に
摺接しながら、ストローク方向へ移動する。
【００２２】ここで、支持部材７が図１のような構成の
場合、スライダ６内の支持部材７は、金属シート（可撓
板）４を山形に持ち上げて湾曲開口Ｗを形成しつつ溝体
１の開口部に沿って移動する。そして、ナット１２ａと
２本のリニアガイドベアリング１６から発生するダスト
は、スライダ６の側面の連通路６ａを介してスライダ６
内に流入した後、湾曲開口Ｗから溝体１の排気通路Ｈに
流入、排気ポート１ａより排気部へと排気される。
場合、スライダ６内の支持部材７は、金属シート（可撓
板）４を山形に持ち上げて湾曲開口Ｗを形成しつつ溝体
１の開口部に沿って移動する。そして、ナット１２ａと
２本のリニアガイドベアリング１６から発生するダスト
は、スライダ６の側面の連通路６ａを介してスライダ６
内に流入した後、湾曲開口Ｗから溝体１の排気通路Ｈに
流入、排気ポート１ａより排気部へと排気される。
【００２３】また、支持部材が図２のようなかまぼこ形
支持部材７０である場合、ナット１２ａから発生するダ
ストは、スライダ６の上面の連通路６ａを介してスライ
ダ６内に流入する（２本のリニアガイドベアリング１６
から発生するダストは、スライダ６の側面より流入）。
流入したダストは、スライダ６の内壁と金属板４の隙間
を通ってかまぼこ形支持部材７０の側面（湾曲開口Ｗ）
に達し、さらに、連通路７０ａから溝体１の排気通路Ｈ
に流入、排気ポート１ａより排気部へと排気される。
支持部材７０である場合、ナット１２ａから発生するダ
ストは、スライダ６の上面の連通路６ａを介してスライ
ダ６内に流入する（２本のリニアガイドベアリング１６
から発生するダストは、スライダ６の側面より流入）。
流入したダストは、スライダ６の内壁と金属板４の隙間
を通ってかまぼこ形支持部材７０の側面（湾曲開口Ｗ）
に達し、さらに、連通路７０ａから溝体１の排気通路Ｈ
に流入、排気ポート１ａより排気部へと排気される。
【００２４】このように、本実施例のダスト吸引装置の
排気系は、支持部材７、７０の構成に係わらず、排気チ
ューブに比べて簡潔かつコンパクトであり、しかも、移
動時に周囲部材と干渉したり、引きずられたりすること
がない。また、空気流により装置系の各所を適宜冷却す
る作用をなす。尚、本願ダスト吸引装置が、ダスト発生
を伴う可動部を備えた装置一般に適用できるものである
ことはもちろんである。
排気系は、支持部材７、７０の構成に係わらず、排気チ
ューブに比べて簡潔かつコンパクトであり、しかも、移
動時に周囲部材と干渉したり、引きずられたりすること
がない。また、空気流により装置系の各所を適宜冷却す
る作用をなす。尚、本願ダスト吸引装置が、ダスト発生
を伴う可動部を備えた装置一般に適用できるものである
ことはもちろんである。
【００２５】
【発明の効果】上記のようにこの発明のダスト吸引装置
は、排気部に連通可能な溝体の開口部を気密封止する可
撓板を、スライダ内に設けた開口手段により一部離反さ
せて湾曲開口を形成し、該湾曲開口を通じてダスト発生
部と排気部を連通しながら、カップ状スライダを移動で
きるように構成しているので、稼動時に排気系部材を引
きずることなく、また、防塵対象となる装置の設計スペ
ースを奪わずに、ダストを可撓板の湾曲開口部から溝体
内へと排気・除去できる。また、エアー吸引によって装
置各部に冷却効果を及ぼすことができるため、例えば、
位置決め装置系の精度向上に寄与することもできる。
は、排気部に連通可能な溝体の開口部を気密封止する可
撓板を、スライダ内に設けた開口手段により一部離反さ
せて湾曲開口を形成し、該湾曲開口を通じてダスト発生
部と排気部を連通しながら、カップ状スライダを移動で
きるように構成しているので、稼動時に排気系部材を引
きずることなく、また、防塵対象となる装置の設計スペ
ースを奪わずに、ダストを可撓板の湾曲開口部から溝体
内へと排気・除去できる。また、エアー吸引によって装
置各部に冷却効果を及ぼすことができるため、例えば、
位置決め装置系の精度向上に寄与することもできる。
【００２６】この結果、コンパクトで高精度、しかもク
リーンルーム内での長期安定性にも優れたダスト吸引装
置を提供できるという優れた効果を奏するものである。
リーンルーム内での長期安定性にも優れたダスト吸引装
置を提供できるという優れた効果を奏するものである。
【図１】 （ａ）は本願ダスト吸引装置のストローク方
向断面図、（ｂ）はその上面図、（ｃ）はダスト吸引装
置の溝体の横方向断面図である。
向断面図、（ｂ）はその上面図、（ｃ）はダスト吸引装
置の溝体の横方向断面図である。
【図２】 （ａ）はかまぼこ形支持部材の構成を示す断
面図、（ｂ）はこの支持部材とスライダの取り付け部断
面図、（ｃ）は支持部材内の連通路を示す断面図であ
る。
面図、（ｂ）はこの支持部材とスライダの取り付け部断
面図、（ｃ）は支持部材内の連通路を示す断面図であ
る。
【図３】 本願ダスト吸引装置を搭載した位置決めテー
ブル装置の断面図である。
ブル装置の断面図である。
【図４】 従来のダスト吸引装置を搭載した位置決めテ
ーブル装置の原理構成図である。
ーブル装置の原理構成図である。
１ 溝体 ２ 開口部 ３ 磁石 ４ 金属シート（可撓板） ６ スライダ ６ａ 連通路 ７、７０ 支持部材（開口手段） ７０ａ 連通路 １０ ダスト吸引装置（本願装置） １２ ボール・スクリュー装置 １２ａ ナット １２ｂ スクリュー軸 １３ リニア・ガイド・レール １４ テーブル １６ リニア・ガイド・ベアリング ７０ かまぼこ形支持部材（開口手段） Ｓ スカート Ｗ 湾曲開口 Ｈ 排気通路
Claims (1)
- 【請求項１】 排気部に連通可能な溝体の長手側開口部
に、該開口部全域に気密封着可能な可撓板を設けるとと
もに、該可撓板の気密封着部を一部離反させて湾曲開口
を形成する開口手段を内側に備え、かつ該湾曲開口をダ
スト発生部に連通可能なカップ状スライダを、前記溝体
のストローク方向へ気密移動自在に設けたことを特徴と
するダスト吸引装置。
Priority Applications (2)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP7767492A JPH05283509A (ja) | 1992-03-31 | 1992-03-31 | ダスト吸引装置 |
| US08/036,710 US5380246A (en) | 1992-03-31 | 1993-03-25 | Dust suction apparatus |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP7767492A JPH05283509A (ja) | 1992-03-31 | 1992-03-31 | ダスト吸引装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH05283509A true JPH05283509A (ja) | 1993-10-29 |
Family
ID=13640434
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP7767492A Pending JPH05283509A (ja) | 1992-03-31 | 1992-03-31 | ダスト吸引装置 |
Country Status (2)
| Country | Link |
|---|---|
| US (1) | US5380246A (ja) |
| JP (1) | JPH05283509A (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN104815829A (zh) * | 2015-04-09 | 2015-08-05 | 天能电池(芜湖)有限公司 | 自动称片机的环保除尘装置 |
Families Citing this family (8)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| TW591342B (en) * | 2000-11-30 | 2004-06-11 | Asml Netherlands Bv | Lithographic projection apparatus and integrated circuit manufacturing method using a lithographic projection apparatus |
| DE10104555B4 (de) * | 2001-02-01 | 2007-11-08 | Krauss Maffei Gmbh | Lagervorrichtung zum Einsatz in Reinumgebungen |
| JP3972202B2 (ja) * | 2002-06-13 | 2007-09-05 | エーエスエムエル ネザーランズ ビー．ブイ． | リソグラフィ投影装置およびデバイス製造方法 |
| US8272286B2 (en) * | 2007-09-13 | 2012-09-25 | Thk Co., Ltd. | Linear actuator with dustproof mechanism |
| JP5286270B2 (ja) * | 2007-09-14 | 2013-09-11 | Ｔｈｋ株式会社 | 密封型リニアアクチュエータユニット |
| CN108939786A (zh) * | 2018-08-22 | 2018-12-07 | 龚典乐 | 一种小型冷却除尘除气设备及操作方法 |
| CN111672860B (zh) * | 2020-06-19 | 2022-08-23 | 安徽天顺环保设备股份有限公司 | 一种适用于高温重金属加工的除尘装置及方法 |
| CN113182984B (zh) * | 2021-04-27 | 2023-03-31 | 青岛天邦新材料有限公司 | 一种碳纤维复合材料生产用智能设备 |
Family Cites Families (7)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| DE462135C (de) * | 1928-07-05 | Albert Krautzberger | Saug- und Blasrohranschluss eines Staubsammlers, insbesondere fuer Spritzmalvorrichtungen | |
| US3705545A (en) * | 1971-09-17 | 1972-12-12 | Hawley Manufacturing Corp | Releasable securement means for sealing web |
| SU421551A1 (ru) * | 1972-02-01 | 1974-03-30 | Б. Волох , М. Н. Алешин | Устройство для подачи воздуха в кабину мостового крана |
| SE408764C (sv) * | 1977-01-10 | 1980-05-14 | Svensson Eric | Anordning for overforing av med gaser, angor, mindre fasta partiklar etc bemengd luft eller friskluft i ena eller andra riktningen mellan ett stationert stelle och ett sig forflyttande insugnings- eller ... |
| SU929533A1 (ru) * | 1980-01-04 | 1982-05-23 | Всесоюзный Научно-Исследовательский Институт Охраны Труда Вцспс | Устройство дл подачи воздуха в движущуюс кабину крановщика |
| SU918121A1 (ru) * | 1980-03-04 | 1982-04-07 | Проектный Институт "Хабаровскпромпроект" | Устройство дл вентил ции транспортного средства |
| JP2638955B2 (ja) * | 1988-07-14 | 1997-08-06 | 日本精工株式会社 | 無塵室用作動装置 |
-
1992
- 1992-03-31 JP JP7767492A patent/JPH05283509A/ja active Pending
-
1993
- 1993-03-25 US US08/036,710 patent/US5380246A/en not_active Expired - Fee Related
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN104815829A (zh) * | 2015-04-09 | 2015-08-05 | 天能电池(芜湖)有限公司 | 自动称片机的环保除尘装置 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| US5380246A (en) | 1995-01-10 |
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