JP2000136865A - アクチュエ―タ - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【課題】送りねじの回転運動を直線運動に変換し、伝達
される直線運動によってスライダが非接触状態で直線状
に変位する際、前記スライダの直線精度を保持すること
にある。 【解決手段】ボールねじ２０６の回転運動を直線運動に
変換する変位機構２１０と、前記変位機構２１０の直線
運動に連動して直線変位可能に設けられるスライダ８８
と、前記スライダ８８を囲繞するように設けられたブロ
ック体２３０と、前記ブロック体２３０とケーシング２
０２との間に形成されたボール溝２３２、２３４に沿っ
て転動する複数のボール部材２３６とを備える。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、送りねじの回転運
動を非接触状態でスライダに伝達し、前記スライダを直
線運動させるアクチュエータに関する。

【０００２】

【従来の技術】従来から、ワーク等を搬送する駆動源と
して、ボールねじを用いたアクチュエータが使用されて
いる。このアクチュエータ１０は、例えば、図１７に示
すように、モータ１２の回転軸にボールねじ１６が設け
られ、該ボールねじ１６にはスライダ１８が螺合する。
該スライダ１８にはフレーム２０のガイド部２２が係合
して当該スライダ１８の回転が阻止される。前記モータ
１２が付勢されると、前記ボールねじ１６の回転運動は
スライダ１８によって直線運動に変換され、スライダ１
８はガイド部２２に沿って変位する。

【０００３】

【発明が解決しようとする課題】しかしながら、上記の
従来技術に係るアクチュエータでは、スライダ１８をボ
ールねじ１６によって直接駆動しているため、ボールね
じ１６が外部に露出した状態となっている。この場合、
ボールねじ１６に付着している潤滑油等が飛散して作業
環境を汚染することが懸念される。そこで、このような
不具合を回避するため、ボールねじ１６をベローズ状の
カバーで被覆することが考えられる。しかしながら、こ
のようなカバーは耐久性の点で問題がある。

【０００４】一方、シリンダ等のアクチュエータでは、
磁石を用いてピストンの変位を非接触状態でスライダに
伝達するようにしたものがあるが、回転運動を直線運動
に変換することについては当然に考慮されていない。

【０００５】本発明は、送りねじの回転運動を直線運動
に変換し、伝達される直線運動によってスライダが非接
触状態で直線状に変位する際、前記スライダの直線精度
を保持することが可能なアクチュエータを提供すること
を目的とする。

【０００６】

【課題を解決するための手段】前記の目的を達成するた
めに、本発明は、ケーシングと、前記ケーシングの内部
または外部に配設される回転駆動源と、前記回転駆動源
の駆動作用下に所定方向に回転する送りねじと、前記送
りねじに係合し、該送りねじの回転運動を直線運動に変
換する変位部材と、前記変位部材の外周部に非接触状態
で近接配置され、前記変位部材の軸線回りの回転を阻止
するとともに、前記変位部材の直線運動に連動して直線
変位可能に設けられるスライダと、前記変位部材の外周
部および前記スライダの内周部にそれぞれ設けられ、同
一のパターンで前記送りねじの軸線方向および周方向に
極性の異なる磁極が交互に形成された磁性部と、前記ケ
ーシングとスライダとの間に設けられ、前記スライダの
直線運動を支持するガイド手段と、を備えることを特徴
とする。

【０００７】この場合、前記ガイド手段を、ケーシング
に固定されたレール部材と、前記スライダに固定され、
前記レール部材に沿って摺動自在に設けられたガイドブ
ロックとによって構成し、または、ケーシングの内部に
配設され、スライダを囲繞するように設けられたブロッ
ク体と、前記ブロック体とケーシングとの間に形成され
た軌道に沿って転動する複数のボール部材とによって構
成すると好適である。

【０００８】なお、前記ケーシングには、該ケーシング
の内部空間と外部とを連通させる通路が形成された継手
手段を設け、前記継手手段には、前記ケーシングの内部
空間を真空引きする負圧手段を接続するとよい。

【０００９】本発明によれば、送りねじの回転運動を変
位部材によって直線運動に変換し、この直線運動が変位
部材とスライダとの磁気的な結合によってスライダに伝
達される。前記スライダが直線運動を行う際、ガイド手
段によって直線精度が保持される。

【００１０】

【発明の実施の形態】本発明に係るアクチュエータにつ
いて、好適な実施の形態を挙げ、添付の図面を参照しな
がら以下詳細に説明する。

【００１１】図１および図２において、参照符号３０
は、本発明の第１の実施の形態に係るアクチュエータを
示す。このアクチュエータ３０は、長尺状に形成された
ケーシング３２と、該ケーシング３２の一端側に配設さ
れたＡＣサーボモータ３４と、該ＡＣサーボモータ３４
によって回転するボールねじ３８と、ボールねじ３８を
囲繞するチューブ４０と、前記ボールねじ３８によって
前記ケーシング３２の長手方向に変位する変位機構４２
とを備える。

【００１２】前記ケーシング３２は、図２に示すよう
に、アクチュエータ３０の下部に配設されたベース部材
４４と、アクチュエータ３０の側部に配設されたサイド
フレーム４６ａ、４６ｂとを有する。前記ベース部材４
４には継手４７が設けられ、該継手４７を介して前記ケ
ーシング３２の内部が外部に連通する。前記ベース部材
４４の一端側には、図１に示すように、板状部材４８を
介して前記ＡＣサーボモータ３４の筐体５０が固着さ
れ、該筐体５０の内部には回転軸５２がベアリング５４
ａ、５４ｂによって回転自在に支持される。前記回転軸
５２には複数の磁石５６が固着され、該磁石５６の外周
部には前記筐体５０の内部に設けられた複数の固定子巻
線５８が配置される。前記回転軸５２にはエンコーダ６
０が設けられる。このアクチュエータ３０には、図示し
ないが、変位機構４２の位置を検出する位置検出スイッ
チが設けられる。前記位置検出スイッチ、前記回転子巻
線５８および前記エンコーダ６０はベース部材４４の下
部のコネクタ６２ａ〜６２ｃに接続される。

【００１３】前記回転軸５２には前記ボールねじ３８の
一端部が一体的に同軸状に連結される。該ボールねじ３
８の他端部は前記ベース部材４４の端部に固着されたエ
ンドプレート６４にベアリング６６によって回転自在に
軸支される。また、前記エンドプレート６４および前記
筐体５０によって前記チューブ４０の両端が支持され
る。該チューブ４０の端部にはシール部材６７ａ、６７
ｂが設けられ、このため、チューブ４０の内部は気密に
保持される。前記ボールねじ３８にはボール溝６８が螺
旋状に画成され、該ボール溝６８には複数のボール部材
７０が転動自在に係合する。

【００１４】前記ボールねじ３８は前記変位機構４２を
構成する変位部材７２に挿通する。該変位部材７２は、
図３および図４に示すように、鉄の如き磁性材料によっ
て略筒状に形成され、その内部には前記ボール部材７０
が転動自在に係合するボール溝７６が画成される。前記
変位部材７２の外周には、該変位部材７２の一端側に軸
線方向に沿った複数の駆動側軸線方向磁気パターン７８
が周方向に所定間隔離間して突出形成され、該変位部材
７２の他端側に周方向に沿った複数の駆動側周方向磁気
パターン８０が所定間隔離間して突出形成される。前記
変位部材７２の外周には、磁力の漏れを防止するため
に、隣接する駆動側軸線方向磁気パターン７８の間隙に
アルミニウム、銅の如き非磁性体で形成された磁気シー
ルド８２が嵌合する（図５、図６参照）。また、隣接す
る駆動側周方向磁気パターン８０の間隙にも、同様に磁
気シールド８４が嵌合する（図４参照）。凸状の前記駆
動側軸線方向磁気パターン７８、前記駆動側周方向磁気
パターン８０は、クリアランスを介して前記チューブ４
０の内周面から僅かに離間するように設けられている。

【００１５】前記チューブ４０の外周部には前記変位機
構４２を構成するスライダ８８が前記チューブ４０の軸
線方向に変位自在に設けられる（図１参照）。該スライ
ダ８８の内周には、図４〜図６に示すように、ネオジウ
ム、鉄の如き磁性材料により形成された複数の磁石９０
が所定間隔離間して固着される。それぞれの磁石９０
は、前記変位部材７２の駆動側軸線方向磁気パターン７
８、駆動側周方向磁気パターン８０に対応して受動側軸
線方向磁気パターン９２、受動側周方向磁気パターン９
４として形成される。それぞれの受動側軸線方向磁気パ
ターン９２、受動側周方向磁気パターン９４を構成する
磁石９０はＮ極とＳ極とが交互に配設される。前記スラ
イダ８８の内周には、図５、図６に示すように、隣接す
る受動側軸線方向磁気パターン９２の間隙にアルミニウ
ム、銅の如き非磁性体で形成された磁気シールド９６が
嵌合する。また、隣接する受動側周方向磁気パターン９
４の間隙にも、同様に磁気シールド９８が嵌合する（図
４参照）。

【００１６】前記スライダ８８の下部には、図１に示す
ように、ガイドブロック１００が固着され、該ガイドブ
ロック１００は前記ベース部材４４に固着されたレール
部材１０２に摺動自在に係合する。このため、前記ガイ
ドブロック１００、レール部材１０２によりガイド機構
１０４が構成され、該ガイド機構１０４が前記スライダ
８８の回転を防止する。前記スライダ８８の上部には板
状のテーブル１０６が固着され、該テーブル１０６は前
記ケーシング３２の上部から外部に突出する。前記テー
ブル１０６にはこのアクチュエータ３０によって搬送さ
れるワーク１０８が載置される。

【００１７】アクチュエータ３０は、図７に示すよう
に、搬送機構１２０に取り付けられて使用される。この
搬送機構１２０は、複数のフレーム１２２ａ〜１２２ｅ
が組み合わされ、それぞれのフレーム１２２ａ〜１２２
ｅの取付面１２３には、アクチュエータ３０のコネクタ
６２ａ〜６２ｃが接続されるバス１２４ａ〜１２４ｃが
設けられる。前記フレーム１２２ａ〜１２２ｅの内部に
は図示しない真空吸引源に接続される排気通路１２６が
画成され、前記フレーム１２２ａ〜１２２ｅの取付面１
２３には前記排気通路１２６に連通する継手１２８が設
けられる。

【００１８】前記アクチュエータ３０は前記フレーム１
２２ａ〜１２２ｅの取付面１２３に取り付けられる。こ
のとき、前記コネクタ６２ａ〜６２ｃは前記バス１２４
ａ〜１２４ｃに接続され、継手４７は継手１２８に接続
される。このため、真空吸引源が付勢されるとアクチュ
エータ３０のケーシング３２内の空気は排気通路１２６
を介して吸引される。なお、参照符号１３０は、電磁弁
やセンサマトリクスが内蔵されたコントロールボックス
である。

【００１９】第１の実施の形態に係るアクチュエータ３
０は、基本的には以上のように構成されるものであり、
次にその動作について説明する。

【００２０】図示しない制御装置から搬送機構１２０の
バス１２４ｂを介してアクチュエータ３０のＡＣサーボ
モータ３４に駆動信号が送られると（図７参照）、ＡＣ
サーボモータ３４の回転軸５２が回転し、ボールねじ３
８が回転する（図１参照）。このため、ボールねじ３８
の回転に伴って変位部材７２も回転しようとする。この
とき、スライダ８８の受動側軸線方向磁気パターン９２
が変位部材７２の駆動側軸線方向磁気パターン７８に引
きつけられる。また、図６に示すように、Ｓ極の受動側
軸線方向磁気パターン９２ａに対向している駆動側軸線
方向磁気パターン７８ａの表面にはＮ極が発生し、隣接
するＮ極の受動側軸線方向磁気パターン９２ｂに対向し
ている駆動側軸線方向磁気パターン７８ｂの表面にはＳ
極が発生する。従って、駆動側軸線方向磁気パターン７
８ａは受動側軸線方向磁気パターン９２ｂに対して反発
し、駆動側軸線方向磁気パターン７８ｂは受動側軸線方
向磁気パターン９２ａに対して反発する。この結果、駆
動側軸線方向磁気パターン７８ａは受動側軸線方向磁気
パターン９２ｂに対向する位置に変位することが阻止さ
れる。また、スライダ８８もガイド機構１０４によって
その回転が阻止されるため、結局、変位部材７２の回転
が阻止される（図５、図６参照）。このため、変位部材
７２はボールねじ３８の回転運動を直線運動に変換して
アクチュエータ３０の長手方向に沿って変位する。

【００２１】変位部材７２が変位すると、変位部材７２
の駆動側周方向磁気パターン８０がスライダ８８の受動
側周方向磁気パターン９４を構成する磁石９０に引きつ
けられる。また、駆動側周方向磁気パターン８０は、前
述と同様に、隣接する受動側周方向磁気パターン９４と
反発する。従って、スライダ８８は変位部材７２の変位
に伴ってチューブ４０に沿って変位する。前記スライダ
８８が変位する際、ガイド機構１０４を構成するレール
部材１０２に沿ってガイドブロック１００が摺動変位
し、前記ガイドブロック１００とスライダ８８とが一体
的に変位することにより、該スライダ８８の直線精度が
保持される。以上のようにして、テーブル１０６に載置
されたワーク１０８はスライダ８８の変位作用下に搬送
される。

【００２２】第１の実施の形態では、スライダ８８の受
動側軸線方向磁気パターン９２、受動側周方向磁気パタ
ーン９４を磁石９０により形成し、変位部材７２の駆動
側軸線方向磁気パターン７８、駆動側周方向磁気パター
ン８０は前記磁石９０に引きつけられる磁性材料で形成
したが、変位部材７２の駆動側軸線方向磁気パターン７
８、駆動側周方向磁気パターン８０を磁石により形成
し、スライダ８８の受動側軸線方向磁気パターン９２、
受動側周方向磁気パターン９４を磁性材料で形成しても
よい。また、変位部材７２の駆動側軸線方向磁気パター
ン７８、駆動側周方向磁気パターン８０と、スライダ８
８の受動側軸線方向磁気パターン９２、受動側周方向磁
気パターン９４を全て磁石で形成してもよい。さらに、
この磁石は電磁石であってもよい。

【００２３】また、ボールねじ３８、ボール部材７０、
変位部材７２、ガイドブロック１００およびレール部材
１０２をアルミニウムまたはアルミニウム合金で形成
し、その摺動部にショットピーニング等により硬化層を
形成し、さらにアルマイト層を形成すると、摺動部の表
面が滑らかになるとともに、耐摩耗性が向上し、しか
も、このアクチュエータ３０を軽量に構成することがで
きる。さらに、弾性流体潤滑を図るために、摺動部の表
面に複数の窪み部を形成すると、摺動部が良好に潤滑さ
れ、その耐久性が一層向上する。

【００２４】さらにまた、ボールねじ３８、ボール部材
７０、変位部材７２、ガイドブロック１００およびレー
ル部材１０２を超高分子ポリエチレン、ポリイミドによ
って形成してもよい。

【００２５】次に、図８に基づき、第２の実施の形態に
係るアクチュエータ１５０について説明する。なお、第
１の実施の形態のアクチュエータ３０と同一の構成要素
には同一の参照符号を付してその詳細な説明を省略す
る。以下、他の実施の形態についても同様である。

【００２６】このアクチュエータ１５０の変位部材１５
２の外周全域には、複数の駆動側磁気パターン１５４が
突出形成され、それぞれの駆動側磁気パターン１５４は
前記変位部材１５２の軸線方向および周方向にそれぞれ
所定間隔離間して配置される。前記駆動側磁気パターン
１５４はそれぞれＮ極とＳ極とが隣接して配置される。
前記駆動側磁気パターン１５４の間には非磁性体で形成
された磁気シールド１５５が設けられる。一方、スライ
ダ１５６には前記駆動側磁気パターン１５４に対応して
複数の受動側磁気パターン１５８が軸線方向および周方
向にそれぞれ所定間隔離間して突出形成される。前記受
動側磁気パターン１５８はそれぞれＮ極とＳ極とが隣接
して配置される。前記受動側磁気パターン１５８の間に
は非磁性体で形成された磁気シールド１６０が設けられ
る。

【００２７】前記駆動側磁気パターン１５４、受動側磁
気パターン１５８を形成する方法としては、前記変位部
材１５２、スライダ１５６に磁石を固着して形成し、ま
たは、前記変位部材１５２、スライダ１５６を磁性材料
で形成してそれぞれの磁気パターン１５４、１５８を磁
化して形成する等の方法がある。

【００２８】ボールねじ３８の回転運動が変位部材１５
２に伝達されると、該変位部材１５２が回転しようとす
るが、駆動側磁気パターン１５４が受動側磁気パターン
１５８に引きつけられ、また、駆動側磁気パターン１５
４は、第１の実施の形態と同様に、対向している受動側
磁気パターン１５８の周方向に隣接する受動側磁気パタ
ーン１５８と反発するために変位することが阻止され
て、変位部材１５２は周方向への回転が阻止される。従
って、変位部材１５２は軸線方向にのみ変位する。

【００２９】このように変位部材１５２が変位すると、
変位方向に配列された駆動側磁気パターン１５４に受動
側磁気パターン１５８が引きつけられ、スライダ１５６
は変位部材１５２の変位作用下に軸線方向に変位する。
以上のようにしてスライダ１５６が変位する。

【００３０】次いで、図９に基づいて、第３の実施の形
態に係るアクチュエータ１７０について説明する。

【００３１】このアクチュエータ１７０の変位部材１７
２の外周には複数の駆動側磁気パターン１７４が突出形
成され、それぞれの駆動側磁気パターン１７４は軸線方
向に対して傾斜する方向に所定間隔離間して配置され
る。隣接する駆動側磁気パターン１７４はＮ極とＳ極と
が交互に配設され、それぞれの駆動側磁気パターン１７
４の間には非磁性体で形成された磁気シールド１７５が
設けられる。一方、スライダ１７６には前記駆動側磁気
パターン１７４に対応する複数の受動側磁気パターン１
７８が突出形成され、それぞれの受動側磁気パターン１
７８は軸線方向に対して傾斜する方向に所定間隔離間し
て配置される。隣接する受動側磁気パターン１７８はＮ
極とＳ極とが交互に配設され、それぞれの受動側磁気パ
ターン１７８の間には非磁性体で形成された磁気シール
ド１７９が設けられる。

【００３２】このように形成される第３の実施形態で
は、駆動側磁気パターン１７４は、第１の実施の形態と
同様に、対向する受動側磁気パターン１７８を引きつけ
る。一方、駆動側磁気パターン１７４は、対向する受動
側磁気パターン１７８に周方向および軸線方向に隣接す
る受動側磁気パターン１７８と反発するため、変位部材
１７２はボールねじ３８の回転に伴って回転することが
阻止され、変位部材１７２が軸線方向に変位するとスラ
イダ１７６は該変位部材１７２の変位に伴って軸線方向
にのみ変位する。

【００３３】次に、図１０に基づき、第４の実施の形態
に係るアクチュエータ１８０について説明する。

【００３４】このアクチュエータ１８０の変位部材１８
２には、図１０に示すように、螺旋状に延在して複数の
駆動側磁気パターン１８４が突出形成され、一方、スラ
イダ１８６には前記駆動側磁気パターン１８４に対応す
る複数の受動側磁気パターン１８８が螺旋状に延在して
突出形成される。隣接する駆動側磁気パターン１８４、
受動側磁気パターン１８８はそれぞれＮ極とＳ極とが交
互に配設される。また、それぞれの駆動側磁気パターン
１８４、受動側磁気パターン１８８の間隙には非磁性体
で形成された磁気シールド１９０、１９２が設けられ
る。

【００３５】このように形成される第４の実施形態にお
いても、隣接する駆動側磁気パターン１８４は周方向お
よび軸線方向に所定間隔離間することになり、一方、受
動側磁気パターン１８８も周方向および軸線方向に所定
間隔離間することになるため、第１の実施の形態と同様
に、駆動側磁気パターン１８４は対向する受動側磁気パ
ターン１８８を引きつける。一方、また、駆動側磁気パ
ターン１８４は対向する受動側磁気パターン１８８に隣
接する受動側磁気パターン１８８と反発し、変位部材１
８２はボールねじ３８の回転に伴って回転することが阻
止され、変位部材１８２が軸線方向に変位するとスライ
ダ１８６は該変位部材１７２の変位に伴って軸線方向に
のみ変位する。

【００３６】次に、第５の実施の形態に係るアクチュエ
ータ２００について、図１１を参照して説明する。

【００３７】このアクチュエータ２００は長尺なケーシ
ング２０２と、該ケーシング２０２の一端側に設けられ
たＡＣサーボモータ２０４と、該ＡＣサーボモータ２０
４によって回転するボールねじ２０６と、該ボールねじ
２０６を囲繞するチューブ２０８と、前記ボールねじ２
０６によって変位する変位機構２１０とを備える。

【００３８】前記ケーシング２０２の外壁には、図１２
に示すように、このアクチュエータ２００を他の装置等
に連結するための略Ｔ字状の溝部２１４が複数画成され
る。前記ケーシング２０２の底部には、図示しない真空
吸引源に接続される継手２１６が設けられ、該継手２１
６を介してケーシング２０２の内部と外部とが連通す
る。

【００３９】前記ＡＣサーボモータ２０４の回転軸２１
８の一端部には、図１３に示すように、前記チューブ２
０８の端部に接近する円盤部材２２０が形成され、該円
盤部材２２０には第１磁極部を構成する複数の磁石２２
２が固着される。該磁石２２２は、図１４に示すよう
に、周方向にＮ極とＳ極とが交互に配置される。

【００４０】前記チューブ２０８の内部には前記ボール
ねじ２０６がベアリング２２４ａ、２２４ｂによって軸
支され（図１１参照）、該ボールねじ２０６の端部には
前記ＡＣサーボモータ２０４の円盤部材２２０に対向し
て円盤部材２２６が形成される。該円盤部材２２６には
第２磁極部を構成する複数の磁石２２８が固着され、該
磁石２２８は周方向にＮ極とＳ極が交互に配置される
（図１４参照）。

【００４１】前記ボールねじ２０６には、第１の実施の
形態のアクチュエータ３０と同様に、複数のボール部材
７０を介して変位部材７２が係合する。また、前記チュ
ーブ２０８の外周には変位機構２１０を構成するスライ
ダ８８が摺動自在に設けられる。該スライダ８８にはブ
ロック体２３０が固着され、該ブロック体２３０、前記
ケーシング２０２には、図１２に示すように、互いに対
向する面に複数のボール溝２３２、２３４が形成され、
該ボール溝２３２、２３４には複数のボール部材２３６
が転動自在に係合する。

【００４２】この場合、前記ボール溝２３２、２３４に
沿って転動する複数のボール部材２３６によってブロッ
ク体２３０およびスライダ８８が一体的に変位するよう
に設けられているため、前記スライダ８８の直線精度が
保持される。

【００４３】前記スライダ８８の端部には前記チューブ
２０８の外周に当接し、多孔質体、繊維状体、不織布体
またはスポンジ体の如き材料で形成された給油部材２３
７ａ、２３７ｂが設けられ、該給油部材２３７ａ、２３
７ｂには潤滑油が含まれる。

【００４４】前記ブロック体２３０の上部には突部２３
８ａ、２３８ｂが形成され（図１２参照）、該突部２３
８ａ、２３８ｂは前記ケーシング２０２に画成されたス
リット２４０ａ、２４０ｂから外部に突出する。前記突
部２３８ａ、２３８ｂの変位方向両端部は、図１５に示
すように、くさび状に形成される。前記スリット２４０
ａ、２４０ｂを形成する壁部にはそれぞれ一対のシール
部材２４２ａ〜２４２ｄが設けられ、該シール部材２４
２ａ〜２４２ｄの縁部が前記突部２３８ａ、２３８ｂの
側壁部に当接することにより、前記スリット２４０ａ、
２４０ｂから塵埃等がアクチュエータ２００に進入する
ことや、塵埃等がアクチュエータ２００から外部に飛散
することが阻止される。前記突部２３８ａ、２３８ｂに
はテーブル２４４が固着され、該テーブル２４４には図
示しないワークが載置可能に形成される。

【００４５】第５の実施の形態に係るアクチュエータ２
００は、基本的には以上のように構成され、次に、その
動作について説明する。

【００４６】アクチュエータ２００の継手２１６には図
示しない真空吸引源が接続され、該真空吸引源が付勢さ
れると、アクチュエータ２００の内部の空気が真空吸引
源に吸引される。このため、アクチュエータ２００の内
部の塵埃等がスリット２４０ａ、２４０ｂを通して外部
に飛散することが防止される。

【００４７】ＡＣサーボモータ２０４が付勢されると、
回転軸２１８とともに円盤部材２２０が回転する（図１
１参照）。この回転運動は、円盤部材２２０の磁石２２
２とボールねじ２０６の円盤部材２２６に固着された磁
石２２８とが互いに引き合い、あるいは反発し合うこと
により、ボールねじ２０６に伝達される（図１３参
照）。

【００４８】ボールねじ２０６が回転すると、変位部材
７２がボールねじ２０６とともに回転しようとするが、
第１の実施の形態と同様に、変位部材７２の駆動側軸線
方向磁気パターン７８とスライダ８８の受動側軸線方向
磁気パターン９２とが互いに磁気的に引き合うことによ
り、変位部材７２の回転が阻止される。このため、変位
部材７２はボールねじ２０６の回転運動を直線運動に変
換して軸線方向にのみ変位する。そして、変位部材７２
の変位に伴ってスライダ８８が軸線方向に変位し、テー
ブル２４４に載置されたワーク（図示せず）が搬送され
る。

【００４９】このとき、給油部材２３７ａ、２３７ｂに
よって潤滑油がチューブ２０８の表面に塗布されるた
め、スライダ８８はチューブ２０８の外周を円滑に摺動
する。また、給油部材２３７ａ、２３７ｂはチューブ２
０８の外周に付着した塵埃等を吸着するため、この塵埃
等によってスライダ８８等の動作に支障を来す懸念が払
拭される。さらに、給油部材２３７ａ、２３７ｂはチュ
ーブ２０８の外周の余分な潤滑油を吸着する作用を営
む。

【００５０】第５の実施の形態では、ボールねじ２０６
がチューブ２０８によって完全に囲繞されているため、
該ボールねじ２０６から塵埃等がアクチュエータ２００
の外部に飛散することが防止され、また、ボールねじ２
０６に塵埃等が付着することも防止される。

【００５１】また、第５の実施の形態では、ＡＣサーボ
モータ２０４の円盤部材２２０には複数の磁石２２２が
固着され、一方、ボールねじ２０６の円盤部材２２６に
も複数の磁石２２８が固着されたが、図１６に示すよう
に、ＡＣサーボモータ２０４、ボールねじ２０６のそれ
ぞれの円盤部材２５０、２５２の表面に互いに対向する
複数の突部２５４、２５６を形成し、それぞれの突部２
５４、２５６をＮ極とＳ極とに交互に磁化し、且つ、そ
れらの間に磁気シールド２５８を設けるようにしてもよ
い。

【００５２】

【発明の効果】本発明によれば、以下のような効果なら
びに利点が得られる。

【００５３】すなわち、送りねじの回転運動を非接触状
態でスライダに伝達することにより前記スライダが直線
運動を行う際、ガイド手段によって支持されるため、該
スライダの直線精度を保持することができる。

【００５４】また、継手手段を介して接続される負圧手
段によってケーシングの内部空間を真空引きすることに
より、アクチュエータが使用される作業環境中に送りね
じの潤滑油、塵埃等が飛散することが防止され、清浄性
が要求される作業環境において好適に使用することがで
きる。しかも、作業環境中の塵埃等が送りねじに付着す
ることが防止されるため、前記送りねじを保護して耐久
性を向上させることができる。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明の第１の実施の形態に係るアクチュエー
タの概略縦断面図である。

【図２】図１に示すアクチュエータのＩＩ−ＩＩ線断面
図である。

【図３】図１に示すアクチュエータに使用される変位部
材の概略斜視図である。

【図４】図１に示すアクチュエータの変位部材およびス
ライダの概略縦断面図である。

【図５】図４に示す変位部材およびスライダのＶ−Ｖ線
断面図である。

【図６】図５に示す変位部材およびスライダの一部拡大
断面図である。

【図７】図１に示すアクチュエータが使用される搬送機
構の概略斜視図である。

【図８】本発明の第２の実施の形態に係るアクチュエー
タの変位部材およびスライダの概略縦斜視図である。

【図９】本発明の第３の実施の形態に係るアクチュエー
タの変位部材およびスライダの概略縦断面図である。

【図１０】本発明の第４の実施の形態に係るアクチュエ
ータの変位部材およびスライダの概略縦断面図である。

【図１１】本発明の第５の実施の形態に係るアクチュエ
ータの概略縦断面図である。

【図１２】図１１に示すアクチュエータのＸＩＩ−ＸＩ
Ｉ線断面図である。

【図１３】図１１に示すアクチュエータの円盤部材の一
部拡大概略縦断面図である。

【図１４】図１３に示す円盤部材の概略正面図である。

【図１５】図１１に示すアクチュエータの突部の一部拡
大概略斜視図である。

【図１６】本発明の他の実施の形態に係るアクチュエー
タの円盤部材の一部拡大概略縦断面図である。

【図１７】従来技術に係るアクチュエータの概略斜視図
である。

【符号の説明】

３０、１５０、１７０、１８０、２００…アクチュエー
タ ３８、２０６…ボールねじ ４０、２０８…チュ
ーブ ４２、２１０…変位機構 ４７、２１６…継手 ７２、１５２、１７２、１８２…変位部材 ７８、７８ａ、７８ｂ…駆動側軸線方向磁気パターン ８０…駆動側周方向磁気パターン ８２、８４、９６、９８、１５５、１６０、１７５、１
７９、１９０、１９２、２５８…磁気シールド ８８、１５６、１７６、１８６…スライダ ９２、９２ａ、９２ｂ…受動側軸線方向磁気パターン ９４…受動側周方向磁気パターン １００…ガイドブロ
ック １０２…レール部材 １０４…ガイド機構 １５４、１７４、１８４…駆動側磁気パターン １５８、１７８、１８８…受動側磁気パターン ２３０…ブロック体 ２３２、２３４…ボ
ール溝 ２３６…ボール部材

Claims (4)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】ケーシングと、 前記ケーシングの内部または外部に配設される回転駆動
   源と、 前記回転駆動源の駆動作用下に所定方向に回転する送り
   ねじと、 前記送りねじに係合し、該送りねじの回転運動を直線運
   動に変換する変位部材と、 前記変位部材の外周部に非接触状態で近接配置され、前
   記変位部材の軸線回りの回転を阻止するとともに、前記
   変位部材の直線運動に連動して直線変位可能に設けられ
   るスライダと、 前記変位部材の外周部および前記スライダの内周部にそ
   れぞれ設けられ、同一のパターンで前記送りねじの軸線
   方向および周方向に極性の異なる磁極が交互に形成され
   た磁性部と、 前記ケーシングとスライダとの間に設けられ、前記スラ
   イダの直線運動を支持するガイド手段と、 を備えることを特徴とするアクチュエータ。
2. 【請求項２】請求項１記載のアクチュエータにおいて、 前記ガイド手段は、ケーシングに固定されたレール部材
   と、前記スライダに固定され、前記レール部材に沿って
   摺動自在に設けられたガイドブロックとからなることを
   特徴とするアクチュエータ。
3. 【請求項３】請求項１記載のアクチュエータにおいて、 前記ガイド手段は、ケーシングの内部に配設され、スラ
   イダを囲繞するように設けられたブロック体と、前記ブ
   ロック体とケーシングとの間に形成された軌道に沿って
   転動する複数のボール部材とを有することを特徴とする
   アクチュエータ。
4. 【請求項４】請求項１記載のアクチュエータにおいて、 前記ケーシングには、該ケーシングの内部空間と外部と
   を連通させる通路が形成された継手手段が設けられ、前
   記継手手段には、前記ケーシングの内部空間を真空引き
   する負圧手段が接続されることを特徴とするアクチュエ
   ータ。