KR100552948B1

KR100552948B1 - 선형 액츄에이터

Info

Publication number: KR100552948B1
Application number: KR1020010075411A
Authority: KR
Inventors: 소메야미츠히로
Original assignee: 에스엠씨 가부시키 가이샤
Priority date: 2000-12-04
Filing date: 2001-11-30
Publication date: 2006-02-16
Also published as: JP2002174318A; DE10158213B4; CN1195947C; JP4491702B2; US20020066326A1; US6662672B2; CN1357697A; KR20020044058A; TW500884B; DE10158213A1

Abstract

선형액츄에이터는 회전구동원(18), 베이스부재(14)의 측부(32a)를 따라 실질적으로 수평방향으로 연재하는 지지용 리브(52)에 의해 지지되는 튜브부재(20), 자기결합작용하에 상기 튜브부재(20)를 따라 일체로 변위하는 내부이동체(22) 및 외부이동체(24), 상기 회전구동원(18)의 구동축(18a)에 연결되고 회전구동력을 상기 내부이동체(22)에 전달하는 미끄럼 나사축(46), 및 상기 미끄럼 나사축(46)에 나합하여 회전운동을 직선운동으로 전환하는 미끄럼 나사너트(48)를 포함한다.

선형액츄에이터

Description

선형 액츄에이터{Linear Actuator}

도 1은 본 발명에 의한 로드레스실린더의 톱커버를 분리한 상태에서의 평면도,

도 2는 도 1의 Ⅱ-Ⅱ선에 따른 일부생략 종단면도,

도 3은 톱커버를 포함하는 도 1의 Ⅲ-Ⅲ선에 따른 종단면도,

도 4는 도 3의 Ⅳ-Ⅳ선에 따른 횡단면도,

도 5는 도 1의 일부생략 횡단면도,

도 6은 도 5의 Ⅵ-Ⅵ선에 따른 종단면도,

도 7은 도 5의 Ⅶ-Ⅶ선에 따른 종단면도,

도 8은 본 발명의 다른 실시예에 의한 로드레스실린더의 축방향에 따른 종단면도,

도 9는 도 8의 Ⅸ-Ⅸ선에 따른 종단면도.

본 발명은 회전구동원의 구동작용하에 튜브부재의 홀부를 따라 내부이동체를 왕복운동시킴에 따라, 상기 튜브부재의 외부에 설치된 슬라이더를 포함하는 외부이 동체를 상기 내부이동체와 일체로 변위시킬 수 있는 선형액츄에이터에 관한 것이다.

종래부터, 예를 들어 피가공물 등의 반송 또는 위치결정 등의 수단으로서 자석식 로드레스실린더를 사용하고 있다. 상기 자석식 로드레스실린더는 실린더튜브내에 공급되는 압력유체의 작용하에 상기 실린더튜브의 홀부를 따라 왕복운동하는 피스톤 및 상기 실린더튜브의 외주면을 감싸는 슬라이더를 가지며, 상기 피스톤과 슬라이더에 각각 결합된 자석의 자력에 의해 피스톤의 왕복운동이 슬라이더에 전달되어 상기 피스톤 및 슬라이더가 일체로 변위한다.

본 출원인은 실린더튜브에 지지용리브를 설치하여 슬라이더의 변위범위를 확대하더라도 실린더튜브와 슬라이더를 비접촉상태로 유지할 수 있는 로드레스실린더를 제안하였다. 상기 로드레스실린더는 먼지발생을 감소시킴에 따라, 예를 들어 의료, 식품, 반도체 제조공정의 크린룸 등의 청정성이 요구되는 환경에서 적합하게 사용할 수 있다(미국 특허 제 6,148,714호 참조).

본 발명은 청정성이 요구되는 환경에서 내부이동체와 일체로 변위하는 외부이동체를 임의의 중간위치에 정확하게 정지시킬 수 있는 선형액츄에이터를 제공하는 것을 목적으로 한다.

또 본 발명은 상기 외부이동체의 시동시 또는 정지시에 원활한 변위동작을 수행시킬 수 있는 선형액츄에이터를 제공하는 것을 목적으로 한다.

상기의 목적을 달성하기 위해, 본 발명은 베이스수단;

상기 베이스수단에 연결되는 회전구동원;

상기 베이스수단의 긴 방향으로 연재되고, 상기 베이스수단에 의해 지지되는 튜브부재;

상기 튜브부재의 내부를 따라 변위자재하게 설치되는 내부이동체;

상기 튜브부재의 외부에 설치되고, 내부이동체와의 자기결합작용하에 상기 내부이동체와 일체로 튜브부재의 축방향을 따라 변위하는 외부이동체;

상기 회전구동원의 회전구동력을 상기 내부이동체에 전달하는 회전구동력 전달수단을 포함하는 것을 특징으로 한다.

이 경우, 상기 회전구동력 전달수단은 회전구동원의 구동축에 연결되는 수송나사축과, 상기 수송나사축과의 나합작용하에 회전운동을 직선운동으로 전환하는 수송나사너트를 포함하도록 구성하거나, 또는 제1 풀리와 제2 풀리와의 사이에 현가되고, 회전구동원의 구동작용하에 내부이동체를 변위시키는 벨트를 포함하도록 구성할 수 있다.

또 상기 베이스수단의 긴 방향을 따라 연설되고, 튜브부재를 지지하는 지지용 리브를 설치할 수 있다.

또 상기 베이스수단에 내부이동체에 의해 튜브부재의 내부 제1 챔버와 제2 챔버를 연통시키는 연통로를 형성하고, 상기 연통로를 외부와 차단된 폐쇄통로로 할 수 있다.

또한 상기 튜브부재의 외주면에 대해 외부이동체를 비접촉상태로 유지하는 가이드수단을 설치할 수 있다.

본 발명에 따르면 회전구동원의 회전구동력이 회전구동력 전달수단에 의해 내부이동체에 전달되고 튜브부재의 내부를 따라 내부이동체가 변위한다. 이 때, 상기 내부이동체와 자기결합된 외부이동체가 튜브부재를 따라 일체로 변위한다. 따라서 회전구동원의 제어작용하에 외부이동체를 변위종단위치뿐 아니라, 그 중간위치를 포함하는 임의의 위치로 정지시킬 수 있다.

이하, 본 발명에 의한 선형액츄에이터에 대한 적합한 실시예를 첨부 도면을 참조하면서 상세히 설명한다.

도 1 및 도 2에서 참조숫자 10은 본 발명의 실시예에 의한 로드레스실린더를 나타낸다.

로드레스실린더(10)는 기본적으로 축 양단부에 한 쌍의 앤드블록(12a, 12b)이 연결된 긴 베이스부재(14); 하우징(16) 내에 수납되고 제2 앤드블록(12b)에 연결되는 회전구동원(18); 및 상기 베이스부재(14) 중심측에 실질적으로 직교하는 일측으로 기울어진 변위기구(26)를 포함한다. 상기 변위기구(26)는 상기 회전구동원(18)의 구동작용하에 튜브부재(20)를 따라 변위하는 내부이동체(22) 및 외부이동체(24)를 갖는다. 또한 상기 베이스부재(14) 및 한 쌍의 앤드블록(12a, 12b)은 베이스수단으로서 기능한다.

또 상기 로드레스실린더(10)는 상기 회전구동원(18)의 회전구동력을 상기 내부이동체(22)에 전달하고, 회전운동을 내부이동체(22)의 직선운동으로 전환하는 회전구동력 전달기구(28)와, 상기 베이스부재(14)의 중심축에 실질적으로 직교하는 타측으로 기울어져 있고 상기 외부이동체(24)를 직선상으로 안내하는 가이드기구(30)를 포함한다.

또한 회전구동원(18)이 수납되는 하우징(16)은 방음기능을 가지며, 먼지 등이 외부로 도출되는 것을 방지한다.

도 3에 도시한 바와 같이, 상기 베이스부재(14)는 긴 방향을 따라 서로 실질적으로 평행하도록 형성된 한 쌍의 측부(32a, 32b)를 갖는다. 소정간격 이간되어 서로 대향하는 일측부(32a) 및 타측부(32b) 사이에는 튜브부재(20)의 외주면에 대응하여 만곡하는 만곡부(34)와 평면부(36)가 형성되어 있다. 상기 평면부(36)에는 가이드기구(30)를 구성하고, 베이스부재(14)의 축방향을 따라 연재하는 직선상의 가이드레일(38)과, 후술하는 슬라이더(40)에 연결되고 상기 가이드레일(38)을 따라 섭동하는 가이드블록(42)이 설치된다.

도 2에 도시한 바와 같이, 상기 회전구동력 전달기구(28)에는 커플링부재(44)를 통해 회전구동원(18)의 구동축(18a)과 실질적으로 동축상에 연결되어 튜브부재(20)의 내부를 관통하는 미끄럼 나사축(수송나사축; 46)과, 상기 미끄럼 나사축(46)에 나합하는 나사홀이 형성된 미끄럼 나사너트(수송나사너트; 48)를 포함한다. 상기 미끄럼 나사축(46)의 일단부는 제1 앤드블록(12a)쪽에 배설된 제1 베어링부재(50a)에 의해 회동자재하게 지지되고, 타단부는 제2 앤드블록(12b)쪽에 배설된 제2 베어링부재(50b)에 의해 회동자재하게 지지된다.

한 쌍의 앤드블록(12a, 12b)의 사이에는 베이스부재(14)의 축방향을 따라 연재하는 실질적으로 원통상인 튜브부재(20)의 양단부가 각각 연결되고, 상기 튜브부 재(20)는 실질적으로 수평방향으로 연재하여 상기 튜브부재(20)와 일체로 형성된 지지용 리브(52)에 의해 지지된다(도 3 참조). 상기 튜브부재(20)의 일단부는 제1 앤드블록(12a)의 요부(54a)내에 고착된 제1 폐쇄부재(56a)에 의해 폐쇄되고, 상기 튜브부재(20)의 타단부는 제2 앤드블록(12b)의 요부(54b)에 고착된 제2 폐쇄부재(56b)에 의해 폐쇄된다(도 2참조).

또한 상기 제1 및 제2 폐쇄부재(56a, 56b)는 각각 제1 및 제2 베어링부재(50a, 50b)을 지지하는 베어링 수용부재로서 기능을 한다. 또 제1 및 제2 폐쇄부재(56a, 56b)가 튜브부재(20)에 삽입되는 부위에는 다수의 시일부재(60a∼60d)가 환상홈에 장착되어 챔버(58) 내의 기밀성을 유지한다.

상기 제1 및 제2 폐쇄부재(56a, 56b)에 의해 폐쇄된 튜브부재(20)의 챔버(58) 내에는 내부이동체(22)가 상기 튜브부재(20)의 홀부를 따라 섭동자재하게 설치되고, 상기 챔버(58)는 내부이동체(22)에 의해 제1 챔버(58a)와 제2 챔버(58b)로 분할된다.

도 3에 도시한 바와 같이, 베이스부재(14)의 일측부(32a)의 내벽면에는 긴 방향을 따라 연재하는 긴 홈(62)이 형성되고, 상기 긴 홈(62)에는 지지용 리브(52)에 형성된 체결부(52a)가 삽입된다. 상기 체결부(52a)는 단면이 실질적으로 직사각형이며, 베이스부재(14)의 측부(32a)에 나사로 고정되는 한 쌍의 고정플레이트(64a, 64b)의 단부 사이에 강고하게 삽입된다. 그 결과, 지지용 리브(52)는 한 쌍의 고정플레이트(64a, 64b)에 의해 베이스부재(14)의 측부(32a)에 강고하게 고정된다.

도 2에 도시한 바와 같이, 상기 내부이동체(22)는 미끄럼 나사축(46)의 나합작용하에 상기 미끄럼 나사축(46)의 회전운동을 직선운동으로 전환하는 미끄럼 나사너트(48)와, 상기 미끄럼 나사너트(48)의 외주면에 축방향을 따라 교대로 장착되는 다수의 링부재(68) 및 구동용 자석(70)을 포함한다. 이 경우, 상기 미끄럼 나사너트(48)는, 예를 들어 합성수지 등의 비자성 재료로 형성되고, 상기 링부재(68)는, 예를 들어 철 등의 자성 재료로 형성되는 것이 바람직하다.

또 구동용자석(70)은 각각 한쪽면이 N극, 다른쪽이 S극으로 자화되고, 링부재(68)를 사이로 두고 인접하는 구동용 자석(70)은 그 극성이 서로 반대방향이 되도록 배설된다. 따라서, 인접하는 링부재(68)의 외주에는 N극 및 S극의 자기장이 교대로 발생한다.

상기 다수의 링부재(68) 및 구동용 자석(70)은 미끄럼 나사너트(48)의 일단부에 돌출형성된 플랜지부(48a)와 스페이서(72)와의 사이에 끼워되고, 미끄럼 나사너트(48)의 타단부에 고정되는 록너트(74)에 의해 일체로 연결된다.

도 3에 도시한 바와 같이, 내부이동체(22; 미끄럼 나사너트(48), 링부재(68), 구동용 자석(70) 및 스페이서(72))의 외주면에는 단면이 실질적으로 직사각형이고, 미끄럼나사축(46)의 축과 실질적으로 평행하게 연재하는 긴 홈(76)이 형성된다. 도 4에 도시한 바와 같이, 튜브부재(20)의 내벽면에는 회전방지용 플레이트(78)가 일체로 돌출형성된다. 상기 회전방지용 플레이트(78)는 지지용 리브(52)와 동일하게 실질적으로 수평방향을 따라 연재되고, 폭이 협소한 박막으로 형성된다. 상기 회전방지용 플레이트(78)가 상기 긴 홈(76)에 체결됨으로써 상기 내부이동체(22)의 회전방지기능이 달성된다. 또한 상기 회전방지용 플레이트(78)를, 예를 들어 합성수지 등의 재료로 별개로 형성하여 튜브부재(20)의 내벽면에 고착할 수도 있다.

도 3에 도시한 바와 같이, 외부이동체(24)는 가이드레일(38)을 따라 섭동변위하는 가이드블록(42)의 하부측에 연결되고, 튜브부재(20)의 외주면과 비접촉상태로 상기 튜브부재(20)를 따라 변위하는 슬라이더(40)를 포함한다. 상기 슬라이더(40)의 하부측에는 튜브부재(20)의 외주면을 덮기 위한 만곡부(40a)가 형성되어 있고, 도 2에 도시한 바와 같이, 상기 만곡부(40a)에는 단면이 실질적으로 C자상으로 형성되고 자성체로 이루어진 요크(80)와 피구동용 자석(82)이 교대로 배설된다. 다수의 상기 요크(80) 및 피구동용 자석(82)은 스페이서(84)에 의해 지지된다. 상기 슬라이더(40)의 단부에는 요크(80), 피구동용 자석(82) 및 스페이서(84)의 탈락을 방지하기 위한 한 쌍의 앤드플레이트(86a, 86b)가 고착된다.

상기 슬라이더(40)의 상부에는 위쪽으로 돌출하는 한 쌍의 부착부(88a, 88b)가 형성되고, 상기 부착부(88a, 88b)에는 다수의 피가공물 취부용 나사홀(90)이 형성된다.

한 쌍의 앤드블록(12a, 12b)의 사이에는 톱커버(96; 도 3참조)가 착탈자재하게 연결되고, 슬라이더(40)의 한 쌍의 부착부(88a, 88b)는 톱커버(96)의 측부로부터 위쪽으로 돌출된다. 따라서, 튜브부재(20) 및 가이드기구(30) 등은 베이스부재(14)의 측부(32a, 32b)나 톱커버(96)에 의해 형성된 내부공간 내에 수납 되도록 설치되기 때문에, 외부로 먼지 등이 흩어지는 것을 방지할 수 있다.

도 5∼도 7에 도시한 바와 같이, 한 쌍의 앤드블록(12a, 12b)에는 제1 챔버(58a)에 연통하는 제1 통로(98)와, 제2 챔버(58b)에 연통하는 제2 통로(100)가 형성되어 있다. 튜브부재(20) 내의 홀부는 상기 내부이동체(22)에 의해 분할되어 제1 챔버(58a) 및 제2 챔버(58b)를 형성한다. 상기 제1 통로(98)에 연통하는 제1 포트(102) 및 상기 제2 통로(100)에 연통하는 제2 포트(104)는 한 쌍의 플러그부재(106a, 106b)에 의해 각각 폐쇄된다. 또 베이스부재(14)에는 제1 앤드블록(12a)에 형성된 제1 통로(98)와 제2 앤드블록(12b)에 형성된 제2 통로(100)를 각각 연통시키는 제1 연통로(108a) 및 제2 연통로(108b)가 실질적으로 평행하게 설치된다.

내부이동체(22)에 의해 이분할되는 튜브부재(20)의 제1 챔버(58a) 및 제2 챔버(58b)는 상기 제1 연통로(108a) 및 제2 연통로(108b)를 통해 연통된다. 또한 플러그부재(106a, 106b)에 의해 제1 및 제2 포트(102, 104)가 폐쇄됨에 따라 튜브부재(20) 내에 존재하는 공기가 외부로 배기되는 것을 방지한다.

본 발명의 실시예에 의한 로드레스실린더(10)는 기본적으로 이상과 같이 구성되며, 이어서 그 동작 및 작용효과에 대해서 설명한다.

전원(미도시)을 인가하여 회전구동원(18)의 구동작용하에 구동축(18a)을 소정방향으로 회동시킨다. 상기 회전구동원(18)의 회전구동력은 상기 구동축(18a)에 연결된 미끄럼 나사축(46)에 전달되고, 상기 미끄럼나사축(46)에 나합하는 미끄럼 나사너트(48)에 의해 회전운동이 직선운동으로 전환된다.

미끄럼 나사너트(48)에 연결된 내부이동체(22)는 상기 미끄럼 나사너트(48)와 일체로 튜브부재(20)의 홀부를 따라 변위한다. 이 때, 내부이동체(22)의 구동용 자석(70)의 변위에 따라 상기 구동용 자석(70)과 자기적으로 결합하는 요크(80)가 끌어당겨지고, 내부이동체(22) 및 슬라이더(40)를 포함하는 외부이동체(24)가 튜브부재(20)를 따라 일체로 변위한다.

튜브부재(20)의 홀부를 따라 내부이동체(22)가 변위할 때, 변위방향쪽의 제2 챔버(58b)에 존재하는 공기는 제2 통로(100; 또는 제1 통로(98))에 연통하는 제1 연통로(108a) 및 제2 연통로(108b)를 통해 제1 챔버(58a)로 공급되기 때문에 변위방향쪽의 제2 챔버(58b)에 존재하는 공기에 의한 잔류압이 완충되어 내부이동체(22)를 원활하게 변위시킬 수 있다.

또한 상기 회전구동원(18)에 통전되는 전류의 극성을 바꾸면, 내부이동체(22) 및 슬라이더(40)를 포함하는 외부이동체(24)는 상기와 반대방향으로 변위시킬 수 있다. 또 미끄럼 나사축(46)을 통해 내부이동체(22)에 과대한 부하가 가해지는 경우에는 내부이동체(22)와 외부이동체(24) 사이의 자기결합이 자동적으로 해제되기 때문에 브레이크기구 등의 특별한 장치를 설치할 필요가 없게 된다.

본 실시예에서는 구동원으로서 모터 등의 회전구동원(18)을 사용하여 상기 회전구동원(18)의 회전구동력이 미끄럼 나사축(46) 및 미끄럼 나사너트(48)를 포함하는 회전구동력 전달기구(28)를 통해 내부이동체(22)에 전달됨에 따라 변위종단위치뿐 아니라 그 중간위치를 포함하는 임의의 위치에 슬라이더(40)를 정지시킬 수 있다.

따라서, 콘트롤러(미도시)로부터 출력되는 제어신호(예를 들어, 펄스신호)에 의해 회전구동원(18)을 제어(예를 들어, PWM 제어)함에 따라, 슬라이더(40)의 정지위치를 매우 정밀하게 콘트롤할 수 있다. 또 슬라이더(40)의 시동시 또는 정지시에 변위속도를 저속으로 제어하여 원활하게 변위시킬 수 있다.

또 본 실시예에서는 제1 및 제2 연통로(108a, 108b)를 통해 제1 챔버(58a)와 제2 챔버(58b)를 연통시키고, 플러그부재(106a, 106b)에 의해 제1 및 제2 통로(98, 100)를 각각 폐쇄함으로써 배기압력을 완화하여 내부이동체(22)를 원활하게 변위시킬 수 있으며, 외부로의 공기배출이 방지되기 때문에 청정성이 요구되는 설치환경에서 사용하기 적합하다.

또한 본 실시예에서는 튜브부재(20)가 지지용 리브(52)에 의해 지지되어 있기 때문에 튜브부재(20)를 길게 하여 슬라이더(40)의 변위량을 증대시킨 경우에도 상기 튜브부재(20)가 굴곡지지 않기 때문에 슬라이더(40)의 변위량을 쉽게 증대시킬 수 있다. 이 때, 튜브부재(20)와 외부이동체(24)를 구성하는 피구동용 자석(82), 요크(80) 등이 비접속상태로 설치되기 때문에 먼지 등의 발생을 방지할 수 있어 청정성이 요구되는 설치환경에서 사용하기 적합하다.

또한 본 실시예에서는 지지용 리브(52)가 베이스부재(14)의 측부(32a)의 내벽을 따라 실질적으로 수평방향으로 연재되어 있기 때문에 장치 전체의 높이가 증가되지 않음에 따라 중심이 낮게 안정적으로 변위동작할 수 있다.

또한 베이스부재(14)에 형성된 제1 및 제2 연통로(108a, 108b)를 차단하고, 플러그부재(106a, 106b)를 제거하여 제1 포트(102) 또는 제2 포트(104)로부터 공기 를 공급할 수 있다. 이 경우, 공기를 회전구동원(18)의 보조적인 구동원으로서 기능시킬 수 있다.

공기를 보조동력원으로 이용함으로써 소형경량화 또는 저전력화된 회전구동원(18)을 사용할 수 있게 되고, 로드레스실린더(10)를 연직방향을 따라 입설하여 사용하는 경우에는 슬라이더(40)를 상승시키는 토크(torque) 보조수단으로서 기능시킬 수 있다.

이어서, 본 발명의 다른 실시예에 의한 로드레스실린더(110)를 도 8 및 도 9에 도시한다. 또한 상기 실시예와 동일한 구성요소에는 동일한 참조숫자를 붙이고, 그 상세한 설명은 생략한다.

다른 실시예에서는 회전구동력 전달기구(112)로서 타이밍벨트(114)를 사용하여 내부이동체(116)를 변위시키는 점에서 상기 실시예와는 다르다.

특히 일측 앤드블록(118) 측에 회전구동원(18)의 구동축(18a)에 제1 풀리(120)를 연결하고, 타측 앤드블록(122) 측에 베어링(124)에 의해 제2 풀리(126)를 회전자재하게 지지한다. 타이밍벨트(114)는 상기 제1 풀리(120)와 제2 풀리(126)를 현가한다. 또한 도 9와 같이 타이밍벨트(114)는 내부이동체(116)에 내삽(內揷)된다.

또한 상기 타이밍벨트(114)는 직경이 큰 제1 튜브부재(20) 및 직경이 작은 제2 튜브부재(128)에 의해 강고하게 밀봉되기 때문에 외부로의 먼지 발생이 방지되고, 청정성이 요구되는 설치환경에서 적합하게 사용할 수 있다(도 9 참조).

미끄럼나사방식에 비해, 타이밍벨트를 구동하는 방식은 슬라이더(40)의 변위량을 증대시켜 긴 스트로크를 제공할 수 있으며, 내부이동체(116)에 나사부를 관통 시킬 필요가 없기 때문에 내부이동체(116)를 소형의 유니트로 구성할 수 있다.

그 외 작용효과는 상기 실시예와 동일하기 때문에 그 상세한 설명은 생략한다.

본 발명에 의하면, 회전구동원의 제어작용하에 외부이동체를 임의의 중간위치에서 정지시킬 수 있고, 상기 외부이동체의 시동시 또는 정지시에서의 원활한 변위동작을 수행할 수 있다.

또 튜브부재의 외부이동체가 비접촉상태로 설치되어 있어 튜브부재내의 공기가 외부로 배기되는 것이 방지되기 때문에 먼지 등의 발생을 방지하여 청정성이 요구되는 설치환경에 사용하기 적합하다.

Claims

베이스수단;

상기 베이스수단에 연결되는 회전구동원;

상기 베이스수단의 축방향으로 연재되고, 상기 베이스수단에 의해 지지되는 튜브부재;

상기 튜브부재의 내부를 따라 축방향으로 변위자재하게 설치되는 내부이동체;

상기 튜브부재의 외부에 설치되고, 내부이동체와의 자기결합작용하에 상기 내부이동체와 일체로 상기 튜브부재의 축방향을 따라 변위하는 외부이동체;

상기 회전구동원의 회전구동력을 상기 내부이동체에 전달하는 회전구동력 전달기구;

상기 튜브부재의 내벽면에 일체로 형성되어 상기 내부이동체의 회전을 방지하는 회전방지용 플레이트; 및

상기 튜브부재를 지지하며, 상기 베이스수단의 긴방향을 따라 연설되는 지지용 리브를 포함하는 것을 특징으로 하는 선형액츄에이터.
제1항에 있어서, 상기 회전구동력 전달기구는 상기 회전구동원의 구동축에 연결되는 수송나사축과, 상기 수송나사축과의 나합작용하에 회전운동을 직선운동으로 전환하는 수송나사너트를 포함하는 것을 특징으로 하는 선형액츄에이터.
제1항에 있어서, 상기 회전구동력 전달기구는 제1 풀리와 제2 풀리와의 사이에 현가되고 상기 내부이동체에 내삽되어, 상기 회전구동원의 구동작용하에 상기 내부이동체를 변위시키는 벨트를 포함하는 것을 특징으로 하는 선형액츄에이터.
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제1항에 있어서, 상기 베이스수단은 상기 튜브부재에 설치되는 제1 챔버 및 제2 챔버를 연통시키는 연통로를 가지며, 상기 제1 챔버 및 제2 챔버는 내부이동부재에 의해 분할되는 것을 특징으로 하는 선형액츄에이터.
제5항에 있어서, 상기 연통로는 외부와 차단된 폐쇄통로인 것을 특징으로 하는 선형액츄에이터.
제1항에 있어서, 상기 외부이동체를 지지하며, 상기 튜브부재의 외주면에 대해 외부이동체를 비접촉상태로 유지하는 가이드수단을 또한 포함하는 것을 특징으로 하는 선형액츄에이터.
제1항에 있어서, 상기 베이스수단은 베이스부재, 및 상기 베이스부재의 축방향의 양단부에 연결되는 한 쌍의 앤드블록을 포함하는 것을 특징으로 하는 선형액츄에이터.
제1항에 있어서, 상기 지지용 리브는 상기 베이스수단의 측부의 내벽을 따라서 수평방향으로 연재하도록 설치되는 것을 특징으로 하는 선형액츄에이터.
제3항에 있어서, 상기 벨트는 직경이 큰 제1 튜브부재 및 직경이 작은 제2 튜브부재에 의해 강고하게 밀봉되며, 상기 제1 및 제2 튜브부재는 상기 베이스수단에 평행하게 연재하는 것을 특징으로 하는 선형액츄에이터.