JP3267641B2 - アクチュエータ - Google Patents

アクチュエータ

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JP3267641B2
JP3267641B2 JP19326991A JP19326991A JP3267641B2 JP 3267641 B2 JP3267641 B2 JP 3267641B2 JP 19326991 A JP19326991 A JP 19326991A JP 19326991 A JP19326991 A JP 19326991A JP 3267641 B2 JP3267641 B2 JP 3267641B2
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茂和 永井
昭男 斉藤
亨 杉山
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Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【産業上の利用分野】本発明は、モータ、流体圧シリン
ダ、リニアモータ、流体圧モータ等を用いて流体エネル
ギを機械的エネルギに変換するためのアクチュエータに
関する。
【0002】
【従来の技術】従来、例えば、ワークを吸着またはメカ
ニカルハンドやチャックを用いて把持、搬送するための
装置であるアクチュエータにおいては、鋳造押し出し、
引き抜き等により一体成形された本体に、テーブル等の
移動体をガイドを介して取り付け、ボールねじまたはタ
イミングベルト等の駆動機構を介し、サーボモータ、ス
テッピングモータ等の駆動源により前記移動体を移動さ
せている。この移動に伴って、前記移動体に連結された
吸着把持手段も移動し、吸着把持手段に吸着されたワー
クは、このような移動体の移動のもとに所望の位置に搬
送される。
【0003】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、上記の
従来の技術では、直接、本体にテーブル等の移動体が取
り付けられてワークが所望の位置に搬送される構成を採
用している。従って、一旦、上記のように、ワークを搬
送するために所望の位置決めをして設定した後に、移動
位置の調整または変更、保守・点検等の作業を行う場
合、前記設定された構成を分解して再構成しなければな
らず、非常に煩雑である。また、本体、移動体、駆動機
構、駆動源等が、アクチュエータとして一体的に形成さ
れているため、設置場所が限定され、現場での作業が行
いにくい等の不都合もある。
【0004】本発明に係るアクチュエータは、構造部材
と搬送部材とが個別、且つ着脱自在に構成され、所望の
スペース内で自在に組み立てて構成することが可能なア
クチュエータを提供することを目的とする。
【0005】
【課題を解決するための手段】前記の目的を達成するた
めに、本発明は、直線的に延在し柱状に形成され、一側
面に凹部が画成されて外枠を構成する構造部材と、前記
凹部に、駆動源および該駆動源の駆動作用下にその長さ
方向に直線的に変位する移動体が配置された移動部材と
から構成されるアクチュエータであって、前記構造部材
の凹部の内壁面に長手方向に沿って延在する溝部が形成
され、少なくとも駆動源、移動体、前記移動体を案内す
るガイド部を含む複数の部材が一体的に組み付けられた
フレーム部が設けられ、前記フレーム部を前記溝部の所
定位置にねじ締結することにより、該構造部材と移動部
材とがそれぞれ着脱自在に装着されることを特徴とす
る。さらに本発明は、直線的に延在し柱状に形成され、
一側面に凹部が画成されて外枠を構成する構造部材と、
前記凹部に、駆動源および該駆動源の駆動作用下にその
長さ方向に直線的に変位する移動体が配置された移動部
材とから構成されるアクチュエータであって、前記構造
部材の凹部の内壁面に長手方向に沿って延在するプレー
ト装着用凹部が形成され、少なくとも駆動源、移動体、
前記移動体を案内するガイド部を含む複数の部材が一体
的に組み付けられたフレーム部にねじ締結されるプレー
トが設けられ、前記プレートを前記プレート装着用凹部
に装着することにより、該構造部材と移動部材とがそれ
ぞれ着脱自在に装着されることを特徴とする。
【0006】
【作用】本発明によれば、少なくとも駆動源、移動体、
前記移動体を案内するガイド部を含む複数の部材が一体
的に組み付けられたフレーム部を、構造部材の凹部の内
壁面に形成された溝部の所定位置にねじ締結することに
より、該構造部材と移動部材とがそれぞれ着脱自在に装
着される。従って、溝部にねじ締結されたフレーム部の
ねじを緩めて該フレームを溝部に沿って変位させること
により、移動部材を所望の位置に調節することができ
る。また、保守・点検作業の際には、構造部材から移動
部材を容易に離脱させることができる。
【0007】さらに、本発明によれば、少なくとも駆動
源、移動体、前記移動体を案内するガイド部を含む複数
の部材が一体的に組み付けられたフレーム部にねじ締結
されるプレートを、構造部材の凹部の内壁面に形成され
たプレート装着用凹部に装着することにより、該構造部
材と移動部材とがそれぞれ着脱自在に装着される。
【0008】
【実施例】次に、本発明に係るアクチュエータについて
好適な実施例を挙げ、添付の図面を参照しながら以下詳
細に説明する。
【0009】本発明の第1実施例に係るアクチュエータ
10は、基本的に、図1に示すように、外枠を構成する
構造体(構造部材)12と、エンコーダを有する、また
はハーモニックドライブを用いたモータ14、ボールね
じ16および移動体18等からなる移動部材20から構
成される。図2は、図1の分解斜視図である。
【0010】構造体12は、内側の底部に2本のレール
状の溝部22が画成され、内側の両側面に凹部24およ
び外側側面に凹部26、28が長手方向に形成され、押
し出し、引き抜き、金属射出成形または樹脂成形等によ
って一体成形される。
【0011】移動部材20には、駆動源として機能する
円形状のモータ14(例えば、電動モータ)と、前記モ
ータ14による回転駆動力をボールねじ16に伝達する
ケーシング部30と、前記ボールねじ16の回転運動に
より直線方向に移動しナット32が連結された移動体1
8と、板状からなるボールねじ支持部34と、ケーシン
グ部30および移動体18を直線上に位置させるための
ガイド部46およびフレーム部36とが配置されてい
る。また、ボールねじ16をモータ回転軸と同一とし、
回転バランスを取って一体としカップリングを省略して
もよい。なお、ケーシング部30の上面にはメンテナン
ス用窓41が設けられている。前記フレーム部36に
は、ねじ38を介して構造体12に移動部材20を固定
させるためのねじ穴40が、所定間隔離間して設けられ
ている。
【0012】このボールねじ16は、一端側がモータ1
4に連結されるケーシング部30に接続され、他端側が
ボールねじ支持部34の軸受け穴42に挿入されてい
る。ケーシング部30と軸受け穴42の間において、移
動体18に連結されたナット32の孔部(図示せず)に
設けられた雌ねじがボールねじ16の外周に刻設された
雄ねじと螺合する。また、これと同様にボールねじ16
はストリングねじ、台形ねじと置き換えることも可能で
ある。移動体18は、上面の両端側に突部44を呈する
テーブルが設けられている。前記両端側の突部44の略
中央には、位置決め用溝45が設けられている。フレー
ム部36の上面には、移動体18の凹部と該接触し移動
体18を直線的に移動させる案内の働きをするガイド部
46(図2参照)が設けられている。なお、ケーシング
部30およびボールねじ16は、移動体18を直線的に
移動させるための駆動機構として機能する。
【0013】このような構成を採用した第1実施例に係
るアクチュエータ10の動作について説明する。
【0014】まず、図2に示すように、フレーム部36
にモータ14、ケーシング部30、ボールねじ16、移
動体18、ボールねじ支持部34等が連設された移動部
材20を構造体12に固定する。その際、フレーム部3
6に設けられたねじ穴40を通して、構造体12の底部
に刻設された2本のレール状の溝部22にTナットまた
はナット32を挿入し、ねじ38により締め付け、移動
部材20を固定する。このようにして構造体12に移動
部材20が固定された後、図示しない電源に接続された
モータ14を駆動させる。ケーシング部30の内部に
は、変速装置(図示せず)が設けられているため、モー
タ14の回転駆動に連動してボールねじ16が回転す
る。前記ボールねじ16の回転運動は、移動体18に連
結されたナット32に伝達され、ボールねじ16の外周
面の雄ねじとナット32の中心に有する穴部(図示せ
ず)の内周面とが嵌合する。ナット32に連結されて一
体化された移動体18は、前記嵌合状態のもとにボール
ねじ16が回転することにより、最大限、ケーシング部
30の端部からボールねじ支持部34の端部まで移動す
ることが可能となる。移動体18の上面に設けられたテ
ーブルの突部44には、本実施例と同様なアクチュエー
タ10を搭載して、その底部を突部44に固着してもよ
いし、あるいは、吸着用パッド等のワーク吸着把持手段
が連結された他の部材を前記突部44に固着することも
可能である。
【0015】以上のようにして、ワークを搬送するため
の位置決めをして設定した後、移動位置を再調節または
変更する場合には、構造体12に固定されているフレー
ム部36のねじ38を緩めて、移動部材20を構造体1
2からその長さ方向に変位させることができる。この場
合、構造体12を、例えば、作業盤等に固定した状態で
移動部材20を移動させることができる。また、アクチ
ュエータ10の保守・点検を行う場合には、構造体12
のレール状の溝部22に嵌合させたねじ38を緩めて、
構造体12から移動部材20を取り外して容易に保守・
点検等を行うことができる。
【0016】次に、第2実施例に係るアクチュエータを
図3に示す。
【0017】第2実施例に係るアクチュエータ50が第
1実施例と異なる点は、外枠を構成する構造体52の底
部に凹部54が設けられて、該凹部54にプレート60
が装着される点である。このプレート60は、ねじ38
を介して移動部材20のフレーム部36に固定され、凹
部54に装着されるプレート60を通じて移動部材20
を移動させることができる。
【0018】なお、第2実施例以降において、前記第1
実施例と同一の構成要素には、同一の参照符号を付し、
その詳細な説明を省略する。
【0019】第2実施例の動作については、まず、モー
タ14、移動体18等が連設された移動部材20のフレ
ーム部36を、ねじ38を介してプレート60に固定す
る。そこで、構造体52の底部に設けられた凹部54
に、移動部材20のフレーム部36に連結されたプレー
ト60を、構造体52の端部側から長さ方向にスライド
させて、凹部54に装着する。また、上面から任意の位
置に取り付けることもできる。このようにして、構造体
52に移動部材20を接続し、ワークの搬送位置を設定
後、再調節または位置変更を行う場合には、ねじ38を
緩めて、凹部54に装着されたプレート60を摺動させ
て容易に移動させることができる。
【0020】次に、このようなアクチュエータの移動部
材を複数個用いて使用する第3実施例について説明す
る。
【0021】図4に示すように、本実施例に係るアクチ
ュエータ62には、外枠を構成する長尺の構造体64
に、移動部材A66と、移動部材B68を近接して直列
に配置し、2個所に移動体18が設けられている。構造
体64の一端側には、係止部材70が取り付けられてい
る。移動部材A66には、前述したようなアクチュエー
タ10の構成の他に、モータ14およびケーシング部3
0を収容するとともに、複数のスリット72が刻設され
たカバー部材74が取り付けられている。また、移動体
18のテーブル上には、板状のカバー部材76が設けら
れ、テーブルの両端側の突部44が突出するように形成
されている。アクチュエータ62の移動部材A66、移
動部材B68の動作については、前記実施例と同様であ
るので、その詳細な説明を省略する。
【0022】次に、本発明の第3実施例に係るアクチュ
エータについて説明する。
【0023】図5に示すアクチュエータの特徴は、駆動
機構としてタイミングベルトを用いて移動体を移動させ
る点にある(図6参照)。
【0024】第3実施例に係るアクチュエータ78は、
基本的に、外枠を構成する構造体12と、モータ14、
タイミングベルト80および移動体82等からなる移動
部材84から構成される。
【0025】構造体12は、内側の底部中央にレール状
の溝部が画成され、内側の両側面に凹部24が長手方向
に形成され、鋳造等により一体成形される。なお、構造
体の端部には、係止部材70が取り付けられている。
【0026】移動部材84には、複数のスリット85が
刻設された箱状のカバー部材86に収容され駆動部とし
て機能する円筒状のモータ14と、前記モータ14の回
転運動を媒介し円盤状の回転体88を有し、テンション
調節機構を設けたモータプーリユニット90と、駆動機
構として機能するタイミングベルト80と、前記タイミ
ングベルト80が回転することにより左右の直線方向に
移動する移動体82と、タイミングベルト80の一端側
に位置し円盤状の回転体89を有するアイドルプーリユ
ニット92と、一端側にはモータプーリユニット90
が、また、他端側にはアイドルプーリユニット92が連
設され、その中間を移動体82が直線的に移動可能なガ
イド部46とが配置されている。前記ガイド部46に
は、ねじを介してフレーム部36に接続するためのねじ
穴94が、所定間隔離間して設けられている。
【0027】このタイミングベルト80は、所定間隔毎
に突部96が形成され、この突部96がモータプーリユ
ニット90およびアイドルプーリユニット92の回転体
88、89の環状体96に有する凹部(図示せず)に噛
み合うことにより、タイミングベルト80が周回する。
また、移動体82の底部には、凹部98が画成され、ガ
イド部46の上面と係合することにより、移動体82は
ガイド部46上を摺動することができる。さらに、移動
体82の上面には、略長方形状で板状のカバー部材76
が設けられ、テーブルの両端側の突部44が突出するよ
うに形成されている。
【0028】このような構成のもとにおいて、第3実施
例に係るアクチュエータの動作について説明する。
【0029】まず、図6に示すように、ガイド部46の
一端側にモータプーリユニット90、他端側にアイドル
プーリユニット92等が連設された移動部材84を、構
造体12に固定する。その際、ガイド部46に設けられ
たねじ穴94を通して、フレーム部36に連結し、構造
体12の底部に刻設されたレール状の溝部54にプレー
トを挿入後、ねじ38により締め付け、移動部材84を
固定する。このようにして構造体12に移動部材84が
固定された後、図示しないCIMコントローラ、シーケ
ンサを介しての電源に接続されたモータ14を駆動さ
せ、前記モータ14の回転運動に連動してモータプーリ
ユニット90に配置された回転体88が回転する。回転
体88に有する凹部にタイミングベルト80の凸部が噛
み合うことにより、タイミングベルト80が周回する。
前記タイミングベルト80の周回運動は移動体82の図
示しない内部に伝達され、移動体82は、タイミングベ
ルト80の周回運動方向に移動する。移動体82は、最
大限、モータプーリユニット90の端部からアイドルプ
ーリユニット92の端部まで移動することが可能とな
る。移動体82の上面両端側に設けられた突部44に
は、本実施例と同様なアクチュエータ78を搭載した
り、あるいは、ワーク吸着把持手段が連結された他の部
材を接続することも可能である。
【0030】以上のようにして、ワークを搬送するため
の位置決めをした後、移動位置を再調節する場合には、
まず、カバー部材76、86を外し、構造体12に移動
部材84のフレーム部102を固定しているねじ38を
緩め、移動部材84自体をスライドさせた後、再びねじ
38により構造体12に固定させる。
【0031】次に、移動部材の各構成部品の組立、分解
が容易なモジュールタイプのアクチュエータに係る実施
例を図7乃至図11に示す。なお、図7乃至図9におけ
る各実施例は、駆動源に電動モータを使用し、図10お
よび図11は、駆動源に圧縮空気、または真空圧力等の
流体圧力を用いている点で異なる。
【0032】図7は、本発明に係るアクチュエータの第
4実施例を示し、アクチュエータを構成する移動部材の
分解斜視図である。
【0033】移動部材100は、基盤となるフレーム部
102と、前記フレーム部102の一端側に設けられる
係止部104と、移動体106と、ガイド部108と、
駆動機構であるボール保持部110が連結されたボール
ねじ112と、駆動源である電動モータ114と、電動
モータ114とボールねじ112の回転運動を媒介し伝
達する接続部116、環状体118、保持金具120か
ら構成されている。
【0034】本実施例の組立方法を説明すると、まず、
長さ方向に数本の直線状の溝部122を有するフレーム
部102の一端側から、係止部104の突部124を前
記溝部122に沿って横軸方向にスライドさせる。次
に、同様にフレーム部102の他端側から前記溝部12
2に沿って、接続部116の突部126を横軸方向から
スライドさせて固定することができる。続いて、ガイド
部108を前記フレーム部102の凹部128に嵌め込
み、次に、ボールねじ112および電動モータ114を
環状体118および保持金具120を介して、夫々係止
部104の穴部130、接続部116の穴部132に嵌
挿する。前記取り付け後、ボールねじ112に連結され
たボール保持部110の円筒部134に移動体106の
下部を横軸方向からスライドさせて挿入する。そして、
移動体106の下面に有する凹部136にガイド部10
8に連設されたブロック138が嵌挿されるように移動
体106を取り付ける。
【0035】以上のようにして、移動部材100を現場
において簡便に組み立てることができるとともに、同様
にして分解して保守・点検を容易に行うことができる。
また、前記保守・点検後、部品交換が必要な場合にも、
簡単に交換することができる。さらに、フレーム部10
2は任意の長さに切断することで長さの調節をすること
ができる。
【0036】図8は、アクチュエータの第5実施例を示
す。
【0037】図8に示す第5実施例が図7に示す第4実
施例と異なる点は、フレーム部142側面の溝部144
が鋭角に形成されていることである。従って、係止部1
46および接続部148の取り付けに際しては、フレー
ム部142の端部から横軸方向にスライドさせて固定さ
せる必要がなく、所望の任意の位置から縦軸方向に、フ
レーム部142の溝部144に係止部146および接続
部148の爪部150を挿入して側面から挟むようにし
て固定させることができる。その他の構成および動作
は、前記第3実施例と同一であるので、その詳細な説明
を省略する。
【0038】図9は、アクチュエータの移動部材を構成
する第6実施例を示し、第4および第5実施例と異なり
駆動源としてタイミングベルト154が用いられてい
る。
【0039】第5実施例に示す移動部材152は、フレ
ーム部156、ガイド部158、テーブルトップ160
およびスライドテーブル162からなる移動体164、
モータプーリユニット166、アイドルプーリユニット
168、タイミングベルト154、モータ170から構
成される。
【0040】移動部材152の組み立て方法は、フレー
ム部156およびスライドテーブル162の突起部17
2を、夫々、モータプーリユニット166、アイドルプ
ーリユニット168およびテーブルトップ160の孔部
174に挿入する等して組み立てることができる。
【0041】図10および図11は、夫々第7実施例、
第8実施例を示し、駆動源として圧縮空気または真空圧
力等の流体圧力を用い、駆動機構としてロッドレスシリ
ンダやバンドタイプのシールスリットを用いたシリンダ
を用いている点に特徴があるアクチュエータの移動部材
の分解斜視図を示す。
【0042】図10において、ロッドレスシリンダ18
2は、直方体状のハウジング184と、円筒状のチュー
ブ186と、図示しない内部のピストン等から構成され
ている。フレーム部142の溝部144に爪部150を
挟み込んで取り付ける接続部188には、前記ロッドレ
スシリンダ182への圧縮空気の供給を切り換えるため
の電磁弁190が備えられている。このロッドレスシン
リダ182は、チューブ186の両端側の図示しないポ
ートから圧縮空気を導入し、この圧縮空気を前記電磁弁
190で切り換えることによりチューブ186の管内の
ピストン(図示せず)を左右の端部方向に移動させて往
復直線運動を継続することができる。前記ピストンに
は、図示しないリング状の磁石が連結され、一方、ハウ
ジング184内にも図示しない磁石が内蔵されて、前記
ピストンの移動に伴って、磁石保持力の作用によりハウ
ジング184も移動する。このように移動するハウジン
グ184の上面にテーブルトップ192を連結して用い
ることができる。また、このロッドレスシリンダ182
を同様に、ピストンの受圧面積を変えず高さ方向を低く
するための矩形状若しくは楕円状のピストンを用いたロ
ッドレスシリンダとを置き換えることもできる。
【0043】図11は、前記と同様にロッドレスシリン
ダ196を用いている点は、共通しているが、ハウジン
グ198の回転防止のためにピストロッド200を2本
設けている点で異なる。参照符号202は接続部を示
し、参照符号204は電磁弁を示し、参照符号206は
係止部材を示し、参照符号208は夫々圧縮空気の導
入、導出ポートであるショックアブソーバを示してい
る。その他ピストンに連結された磁石の保持力により、
ハウジング198を移動させる動作等については、前記
と同様であるのでその詳細な説明を省略する。
【0044】次に、本発明に係るアクチュエータを複数
個用いて組み立てて使用する場合について説明する。
【0045】図12に示すように、第6実施例に係るア
クチュエータ210は、骨組を形成する複数の柱状部材
212と、第1乃至第3アクチュエータ214、21
6、218と、作業テーブル220と、ワーク222
と、ワーク収納プレート224と、ワーク保持プレート
226と、ワーク把持手段としての吸着用パッド228
が連結されたシンリダ230と、シリンダロッド232
が突出した状態のシリンダ234とから構成される。
【0046】第1アクチュエータ214は、その移動体
236の上面に取り付けられた第2アクチュエータ21
6を直線方向に移動するためのものであり、前記第1ア
クチュエータ214に直交して接続される第2アクチュ
エータ216の移動体238には、吸着用パッド228
が連結されたシリンダ230が連設されている。また、
第3アクチュエータ218の移動体240には、シリン
ダ234が連結され、ワーク222の位置決めをするた
めに用いられる。
【0047】動作については、まず、第2アクチュエー
タ216に連結されたシリンダ230に接続された図示
しないチューブを介して圧縮空気を供給する。前記圧縮
空気の供給により、シリンダ230のシリンダロッド2
32が下方に変位してワーク収納プレート224に配置
されたワーク222が吸着用パッド228により吸着さ
れる。再び、圧縮空気の供給によりシリンダロッド23
2を上方に変位させ、その状態を保持しながら第1アク
チュエータ214の移動体236を縦軸方向に移動さ
せ、前記第1アクチュエータ214の移動体236に連
結された第2アクチュエータ216を移動させる。前記
第2アクチュエータ216は、吸着用パッド228に吸
着されたワーク222が所望の位置の上方に近接した時
に移動を休止し、第2アクチュエータ216の移動体2
38を横軸方向に移動させてワーク222をワーク保持
プレート226の所望の穴部242に挿入する。この
時、確実にワーク222がワーク保持プレート226の
穴部242に挿入されるように、第3アクチュエータ2
18のシリンダロッド232を変位させて位置決めをす
ることができる。
【0048】本実施例においては、椅子状にアクチュエ
ータ210を組み立てて、3個のアクチュエータ21
4、216、218を配置してワーク222を搬送する
場合について説明したが、複数の柱状部材212および
アクチュエータ210等を使用して様々な組み合わせに
より、上下四方自在にワークを搬送することが可能とな
る。
【0049】次に、図12と同様に、アクチュエータ2
10を複数個用いて組み立てて使用する場合を図13乃
至図15に示す。図13は、エアシリンダ250と電動
アクチュエータ252を構造体12内に取り付け、夫々
のコントロールボックス254、256を柱状部材25
8に取り付けた図である。ここで、参照符号260はモ
ータボックス、参照符号262はバルブユニットを示し
ている。なお、図示しないコンプレッサ、除湿器、アフ
タークーラー等を一体化して各アクチュエータブロック
に挿入することも可能である。この場合、柱状部材25
8内に一体化若しくは接続して配線される。また、周知
のコンプレッサ、スクロールコンプレッサ等の吸器を用
いて真空圧力を循環伝送して利用することも可能であ
る。
【0050】図14はフレーム部36にアクチュエータ
用コントローラ264、265を夫々取り付け、それを
構造体12に収めた例である。なお、図14において、
アクチュエータ用コントローラ264、265に入力さ
れる種々の信号、例えば、電気信号、流体圧信号、電力
信号等の伝達は、夫々構造体12および柱状部材258
の内部を介して行われる。
【0051】
【発明の効果】本発明に係るアクチュエータによれば、
以下の効果が得られる。
【0052】すなわち、アクチュエータを一旦、所望の
位置にワークを搬送するように位置決めして設定した後
であっても、構造部材の凹部に沿ってフレーム部を含む
移動部材を変位させて、移動部材に設置された移動体の
移動位置を再調節、または変更することができる。ま
た、構造部材から移動部材を容易に取り外して、保守・
点検作業を行うことができる。
【0053】さらに、複数の構造部材または構造体を連
結して、所望の構造に組み立てることにより、作業スペ
ースを省力化することができるとともに、方向自在にワ
ークを搬送することが可能となる。よって、工場内にお
いてCIMの如く複数個のワーキングユニットを容易に
使用することができる。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明のアクチュエータに係る第1実施例の斜
視図である。
【図2】図1の分解斜視図である。
【図3】本発明のアクチュエータに係る第2実施例の分
解斜視図である。
【図4】本発明のアクチュエータに係る第3実施例の斜
視図である。
【図5】本発明のアクチュエータに係る第4実施例の斜
視図である。
【図6】図5に示すアクチュエータの移動部材の斜視図
である。
【図7】本発明のアクチュエータに係る第5実施例の移
動部材を示す斜視図である。
【図8】本発明のアクチュエータに係る第6実施例の移
動部材を示す斜視図である。
【図9】本発明のアクチュエータに係る第7実施例の移
動部材を示す斜視図である。
【図10】本発明のアクチュエータに係る第8実施例の
移動部材を示す斜視図である。
【図11】本発明のアクチュエータに係る第9実施例の
移動部材を示す斜視図である。
【図12】本発明に係るアクチュエータを複数個使用し
てワークの搬送を行う場合の説明図である。
【図13】本発明に係るアクチュエータを複数個使用し
てワークの搬送を行う場合の説明図である。
【図14】本発明に係るアクチュエータを複数個使用し
てワークの搬送を行う場合の説明図である。
【図15】本発明に係るアクチュエータを複数個使用し
てワークの搬送を行う場合の説明図である。
【符号の説明】
10、50、62、78、210、214、216、2
18…アクチュエータ 12、52、64…構造体 14、170…モータ 16、112…ボールねじ 18、82、106…移動体 20、66、68、84、140、152…移動部材 36、142、156…フレーム部 46、108、158…ガイド部 80、154…タイミングベルト 90、166…モータプーリユニット 92、168…アイドルプーリユニット 116、148、188、202…接続部 160…テーブルトップ 162…スライドテーブル 182、196…ロッドレスシリンダ 212、258…柱状部材
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 杉山 亨 茨城県筑波郡谷和原村絹の台4−2−2 エスエムシー株式会社 筑波技術セン ター内 (56)参考文献 実開 平2−40104(JP,U) (58)調査した分野(Int.Cl.7,DB名) H02K 7/00 F15B 15/00

Claims (2)

    (57)【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】直線的に延在し柱状に形成され、一側面に
    凹部が画成されて外枠を構成する構造部材と、前記凹部
    に、駆動源および該駆動源の駆動作用下にその長さ方向
    に直線的に変位する移動体が配置された移動部材とから
    構成されるアクチュエータであって、 前記構造部材の凹部の内壁面に長手方向に沿って延在す
    る溝部が形成され、少なくとも駆動源、移動体、前記移
    動体を案内するガイド部を含む複数の部材が一体的に組
    み付けられたフレーム部が設けられ、前記フレーム部を
    前記溝部の所定位置にねじ締結することにより、該構造
    部材と移動部材とがそれぞれ着脱自在に装着されること
    を特徴とするアクチュエータ。
  2. 【請求項2】直線的に延在し柱状に形成され、一側面に
    凹部が画成されて外枠を構成する構造部材と、前記凹部
    に、駆動源および該駆動源の駆動作用下にその長さ方向
    に直線的に変位する移動体が配置された移動部材とから
    構成されるアクチュエータであって、 前記構造部材の凹部の内壁面に長手方向に沿って延在す
    るプレート装着用凹部が形成され、少なくとも駆動源、
    移動体、前記移動体を案内するガイド部を含む複数の部
    材が一体的に組み付けられたフレーム部にねじ締結され
    るプレートが設けられ、前記プレートを前記プレート装
    着用凹部に装着することにより、該構造部材と移動部材
    とがそれぞれ着脱自在に装着されることを特徴とするア
    クチュエータ。
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