JP2003259621A - 移動体システム - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【課題】 内部への異物の浸入を防止できる移動体シス
テムを提供する。 【解決手段】 固定磁石と、固定磁石の一面と対応する
開口部を備え、かつ固定磁石を内部に保持する固定ケー
スと、開口部から隙間に挿入された移動磁石を有し、固
定磁石に対して移動可能な移動部と、開口部を移動部の
移動に対応して塞ぐ移動カバーとから移動体システムを
構成する。移動部によって塞がれていない開口部を、移
動部の移動に対応して塞ぐ移動カバーを有することで、
固定部内部への異物の侵入を防止できる。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、部品、機器を搬送
する移動体システムに関する。

【０００２】

【従来の技術】半導体工場などにおいて、固定体に対し
て移動体が移動することで半導体部品の搬送や作業ロボ
ットの移動等を行う移動体システムが用いられている。
移動体システムにはリニアモータ方式やボールスクリュ
ー方式等があるが、静粛性や固定体の同一軌道上に複数
の移動体の配置が可能等の理由から、リニアモータ方式
を用いる場合が次第に増えている。リニアモータ方式の
移動体システムでは、固定体側、移動体側それぞれに磁
石を配置し、これらの磁石の反発力および吸引力を用い
て移動体の移動を行っている。

【０００３】

【発明が解決しようとする課題】リニアモータ方式の移
動体システムでは、磁石の磁力に引かれて鉄粉等の磁性
材料の異物が移動体システム内に浸入し、固定体と移動
体の間に挟まり、リニアモータを破壊する可能性があ
る。本発明はこのような課題を解決するためになされた
もので、内部への異物の浸入を防止できる移動体システ
ムを提供することを目的とする。

【０００４】

【課題を解決するための手段】上記目的を達成するため
に本発明に係る移動体システムは、固定磁石と、該固定
磁石の一面と対向する第１の開口部を備え、かつ該固定
磁石を内部に保持する固定ケースとを有する固定部と、
前記第１の開口部から前記隙間に挿入された移動磁石を
有し、該第１の開口部の一部を塞ぐと共に、前記固定磁
石に対して移動可能な移動部と、前記移動部によって塞
がれていない前記第１の開口部を、該移動部の移動に対
応して塞ぐ第１の移動カバーとを具備することを特徴と
する。移動部によって塞がれていない１の開口部を、移
動部の移動に対応して塞ぐ移動カバーを有することで、
固定部内部への異物の侵入を防止している。

【０００５】（１）ここで、移動体システムは、前記固
定磁石に対する前記移動部の位置を検知する位置検知手
段をさらに具備してもよい。位置検知手段を有すること
で、移動部をより確実な位置に移動できる。 （２）前記移動部が、物体を支持可能な支持部を備えて
もよい。移動部が支持部を有することで、物体をより確
実に支持し移動できる。 （３）前記移動カバーが、磁性体で形成されたシート部
材を有してもよい。シート部材が固定磁石に吸引される
ことで、より確実に開口部を塞ぐことができる。

【０００６】（４）前記移動体システムが、前記固定部
を覆い、かつ前記第１の開口部と対応する第２の開口部
を有する外部カバーと、前記移動部に接続され、かつ前
記第２の開口部の一部を塞ぐ移動部材と、前記移動部材
によって塞がれていない前記第２の開口部を、該移動部
材の移動に対応して塞ぐ第２の移動カバーとをさらに具
備してもよい。外部カバーの開口部を移動部材の移動に
対応して塞ぐ第２の移動カバーを有することで、固定部
内部への異物の侵入をより確実に防止できる。

【０００７】

【発明の実施の形態】以下、本発明の実施の形態を図面
を参照して詳細に説明する。 （第１実施形態）図１は、本発明の第１の実施形態に係
る移動体システム１０を表す斜視図である。また、図２
は移動体システム１０を上方（図１のＺ軸方向）から見
た状態を表す上面図であり、図３，４はそれぞれ移動体
システム１０を図１のＸ軸方向、Ｙ軸方向から見た状態
を表す一部断面図である。図１〜４に示すように、移動
体システム１０は固定部（固定体）２０，固定部２０上
をＸ軸方向に移動する移動部（移動体）３０，固定部２
０と移動部３０の間にあって固定部２０内への異物の侵
入を防止する移動カバー（シャッター）４０から構成さ
れる。後述するように移動部３０の移動はリニアモータ
本体５０によって行われる。

【０００８】固定部２０は、固定ケース２１、および固
定ケース２１内に設置された固定磁石２３（第１の固定
磁石２３ａおよび一対の第２の固定磁石２３ｂ）から構
成される。固定ケース２１は、固定ケース底板２１ａ、
固定ケース側板２１ｂ，固定ケース端板２１ｃ、および
固定ケース上板２１ｄからなり、固定ケース上板２１ｄ
に開口部２５を有している。第１の固定磁石２３ａは、
その一面が固定ケース上板２１ｄの開口部２５と対向す
るように固定ケース底板２１ａ上に設置されている。一
方、一対の第２の固定磁石２３ｂは、両者間の間隙が開
口部２５と対応するように固定ケース側板２１ｂと固定
ケース上板２１ｄとの角部に対向して設置されている。
固定磁石２３ａは、一体１つの、あるいは複数の固定磁
石要素２４ａをＸ軸方向に配列して構成されている。一
方、固定磁石２３ｂは、互いに異なる磁気特性を有する
２つの固定磁石要素２４ｂを交互に配列して構成されて
いる。固定磁石要素２４（２４ａ，２４ｂ）は、固定磁
石２３ａと固定磁石２３ｂそれぞれにおいて互いに対応
するように配列され、移動部３０を移動させるリニアモ
ータ本体５０の一部を構成する。

【０００９】移動部３０は、所定の作業を実行するため
の機器等を適宜に保持する機器保持部として機能する。
例えば、半導体部品実装作業を実行する場合には、半導
体部品実装ヘッドや半導体部品搬送用ロボットなどが搭
載され、単に半導体部品を搬送する作業を実行する場合
には、半導体部品等を収容するラックなどが搭載され
る。なお、移動部３０が搭載する作業用機器としては、
半導体製造に関わるものに限定されるものではなく、他
の用途に用いられるロボット等であってもよい。

【００１０】移動部３０は、移動部基体３１，移動磁石
３２，移動ケース３３、およびローラ３４ａ〜３４ｄか
ら構成される。移動部基体３１は略平板状であり固定ケ
ース上板２１ｄの上面上方に設置され固定部２０上をＸ
軸方向に移動する。移動磁石３２は、略直方体状であ
り、一端が移動部基体３１に接続され、他端が開口部２
５を通して固定部２０の内部に挿入されている。移動磁
石３２は、その一面が第１の固定磁石２３ａと対向し、
かつ一対の第２の固定磁石２３ｂ間に挟まれた状態とな
っており、固定磁石２３（第１の固定磁石２３ａおよび
第２の固定磁石２３ｂ）と組み合わされてリニアモータ
本体５０を構成する。

【００１１】リニアモータ本体５０は、固定磁石２３
（第１の固定磁石２３ａおよび第２の固定磁石２３ｂ）
と移動磁石３２によって発生される磁界の反発力および
吸引力によって動作し、固定部２０に対して移動部３０
を移動できる。この移動は、固定磁石２３（第１の固定
磁石２３ａおよび第２の固定磁石２３ｂ）または移動磁
石３２のいずれかの磁界の方向（Ｎ／Ｓ）を変化するこ
とで行われる。このため、固定磁石２３と移動磁石３２
のいずれかが電磁石から構成される。即ち、固定磁石２
３と移動磁石３２は、固定磁石２３が電磁石で移動磁
石３２が永久磁石、固定磁石２３が永久磁石で移動磁
石３２が電磁石、固定磁石２３、移動磁石３２いずれ
も電磁石の３通りの組み合わせがあり得る。

【００１２】固定磁石２３ａと移動磁石３２に対して、
Ｎ，Ｓの磁極の内同じ磁極が互いに対向するようにさ
れ、反発する磁力により、固定磁石２３ａは移動部２０
を浮上させるように作用する。即ち、移動磁石３２が一
体の永久磁石あるいは電磁石とされる場合には、固定磁
石２３ａも一体の永久磁石あるいは電磁石とされ、移動
磁石３２が複数の極性が交互に異なる電磁石あるいは永
久磁石から構成され、且つ反発力が移動中常に作用する
よう、移動磁石３２と固定磁石３２ａの内少なくとも一
方は電磁石とされる。

【００１３】移動ケース３３は、移動ケース上板３３
ａ，移動ケース側板３３ｂ，移動ケース端板３３ｃから
なり、移動部基体３１を覆うと共に、移動部基体３１の
側面と移動ケース側板３３ｂにおいて接続されている。

【００１４】ローラ３４ａ〜３４ｄはそれぞれ、移動ケ
ース３３内にあって、シャフトによって移動ケース側板
３３ｂに回転可能に固定されている。この内ローラ３４
ａ，３４ｄは、移動部３０の下方（Ｚ軸負方向）、前後
の進行方向（Ｘ軸正負方向）にそれぞれ設置されてい
る。即ち、移動部３０は、ローラ３４ａ，３４ｄが回転
することで、固定部２０上を円滑に移動することができ
る。さらに、ローラ３４ａ，３４ｄは、移動カバー４０
を上方から押圧して、移動部３０が移動しても移動カバ
ー４０が常に開口部２５を塞ぐようにしている。ローラ
３４ｂ、３４ｃは、固定部２０のやや中央上方寄りに設
置されている。ローラ３４ｂ、３４ｃは、移動カバー４
０を上方に持ち上げ、移動ケース３３内に移動部基体３
１を設置する空間を確保している。

【００１５】移動カバー４０は、シート状であり、その
両端が固定部２０（固定ケース端板２１ｃ）に固定され
ている。移動カバー４０は、開口部２５を覆うことで、
固定部２０内部への異物（特に金属粉等の磁性体）の侵
入を防止している。ここで、移動カバー４０を磁性体
（例えば、金属シート、磁性体粉末を分散含有させた樹
脂シート）から構成することで、開口部２５から固定部
２０内部への異物の侵入をより強力に防止できる。磁性
体が固定ケース上板２１ｄを通して第２の固定磁石２３
ｂに吸引されることで、移動カバー４０を固定ケース上
板２１ｄに密着する。このためには、固定ケース上板２
１ｄの板厚を薄くしたり（例えば、０．２ｍｍ以下程
度）、固定ケース上板２１ｄを磁性体から構成したりし
て、第２の固定磁石２３ｂに起因する磁界が固定ケース
上板２１ｄの上面上で大きくなるようにするのが好まし
い。なお、第１の固定磁石２３ａも第２の固定磁石２３
ｂと同様に、磁性体から構成された移動カバー４０を吸
引し得る。移動カバー４０は、移動ケース３３の内部に
おいて、ローラ３４ａ，３４ｄと固定ケース上板２１ｄ
の上面との間に挟まれ、さらにローラ３４ｂ、３４ｃに
よって上方に持ち上げられている。

【００１６】次に移動体システム１０の動作について説
明する。既に述べたように、リニアモータ本体５０が動
作することで、移動部３０が固定部２０上をＸ軸に沿っ
て移動する。移動カバー４０は、移動部３０が移動する
際にもローラ３４ａ、３４ｄによって固定ケース上板２
１ｄの上面上に押圧され、開口部２５を覆うことで固定
部２０内部への異物の侵入を防止する。移動部３０にお
いても、移動部基体３１が、さらには持ち上げられる移
動カバー４０と両側の移動ケース３３ｂとが、固定部２
０の上側の開口すなわち対向配置される固定磁石２３の
間の間隙２５の上端を覆い、間隙２５への異物の侵入を
防止する。このため、移動カバー４０と両側の移動ケー
ス側板３３ｂとの隙間、移動ケース側板３３ｂの下端と
固定部２０の上面との隙間は小さくされる。

【００１７】移動部３０が移動すると、移動カバー４０
が持ち上げられた箇所（ローラ３４ａ〜３４ｄで形成さ
れた空間）も移動する。この結果、移動部３０が移動し
ても移動部基体３１が設置される空間が常に確保され
る。さらに、ローラ３４ａ〜３４ｄが回転することで、
大きな抵抗を受けることなく、移動部３０を移動するこ
とができる。

【００１８】以上のように、移動カバー４０によって開
口部２５を密閉することで、固定部２０内部への異物の
侵入が防止される。移動カバー４０を磁性体で形成する
と、固定磁石２３に吸引されることで、固定部２０内部
への異物の侵入をより確実に防止できる。

【００１９】また、ローラ３４は、移動部３０の移動の
際の抵抗の軽減に寄与する。ここで、ローラ３４ａ，３
４ｄの前に移動カバー４０の表面に付着する異物を除去
するための異物除去部材（例えば、ブラシ）を配置する
ことができる。移動ケース３３内における固定部２０内
部への異物の侵入をより確実に防止できる。

【００２０】（第２実施形態）図５は、本発明の第２の
実施形態に係る移動体システム１１０を表す斜視図であ
る。また、図６は移動体システム１１０を図５のＹ軸方
向から見た状態を表す一部断面図である。図５，６に示
すように、移動体システム１１０は固定部２０，固定部
２０上をＸ軸方向に移動する移動部（移動体）１３０，
固定部（固定体）２０と移動部１３０の間にあって固定
部２０内への異物の侵入を防止する移動カバー（シャッ
ター）１４０から構成される。

【００２１】移動部１３０は、移動部基体３１，移動磁
石３２、および潤滑用カバー３５から構成される。

【００２２】潤滑用カバー３５は、移動部基体３１を覆
い移動部１３０の移動の際における移動カバー１４０の
抵抗を軽減する。潤滑用カバー３５上を移動カバー１４
０が滑ることから、摩耗が少なくかつ滑りやすい材料、
例えば樹脂材料から構成される。移動カバー１４０は、
シート状であり、その両端が固定部２０に固定されてい
る。移動カバー１４０は、開口部２５を覆うことで、固
定部２０内部への異物（特に金属粉等の磁性体）の侵入
を防止している。ここで、移動カバー１４０を磁性体
（例えば、金属シート、磁性体粉末を分散含有させた樹
脂シート）から構成することで、移動カバー１４０を固
定カバー上板２１ｄに密着させ、固定部２０内部への異
物の侵入をより強力に防止できる。移動カバー１４０
は、移動部基体３１上において、潤滑用カバー３５と接
触する。

【００２３】以上のように、移動カバー１４０によって
開口部２５が覆われることで、固定部２０内部への異物
の侵入が防止される。移動カバー１４０を磁性体で形成
すると、固定磁石２３に吸引されることで、固定部２０
内部への異物の侵入をより確実に防止できる。また、潤
滑用カバー３５は、移動部１３０の移動の際の抵抗の軽
減に寄与する。これ以外の点では、第１の実施形態と大
きく変わるところがないので、説明を省略する。

【００２４】（第３実施形態）図７は、本発明の第３の
実施形態に係る移動体システム２１０を表す斜視図であ
る。また、図８は移動体システム２１０を図７のＹ軸方
向から見た状態を表す側面図である。図７，８に示すよ
うに、移動体システム２１０は固定部２０，固定部２０
上をＸ軸方向に移動する移動部（移動体）２３０，固定
部（固定体）２０と移動部２３０の間にあって固定部２
０内への異物の侵入を防止する移動カバー（シャッタ
ー）２４０、およびローラ２５１〜２５４から構成され
る。

【００２５】移動部２３０は、移動部基体３１，移動磁
石３２から構成される。移動カバー２４０は、シート状
であり、その両端が移動部基体３１の前後端に固定さ
れ、ローラ２５１〜２５４によって固定部２０の周囲を
一周している。移動カバー２４０は、開口部２５を覆う
ことで、固定部２０内部への異物（特に金属粉等の磁性
体）の侵入を防止している。移動カバー２４０は移動部
２３０の移動に伴い、固定部２０の周囲を回転する。

【００２６】ローラ２５１〜２５４は、それぞれシャフ
トによって家屋等に回転可能に接続される。移動部２３
０の移動の際にローラ２５１〜２５４が回転すること
で、移動カバー２４０が大きな抵抗を受けることなく固
定部２０の周囲を回転できる。

【００２７】ここで、移動カバー２４０を磁性体（例え
ば、金属シート、磁性体粉末を分散含有させた樹脂シー
ト）から構成することで、移動カバー２４０を固定カバ
ー上板２１ｄに密着させ、固定部２０内部への異物の侵
入をより強力に防止できる。

【００２８】以上のように、移動カバー２４０によって
開口部２５を覆うことで、固定部２０内部への異物の侵
入が防止される。移動カバー２４０を磁性体で形成する
と、固定磁石２３に吸引されることで、固定部２０内部
への異物の侵入をより確実に防止できる。また、ローラ
２５１〜２５４は、移動部２３０の移動の際の抵抗の軽
減に寄与する。これ以外の点では、第１の実施形態と大
きく変わるところがないので、説明を省略する。

【００２９】（第４実施形態）図９は、本発明の第４の
実施形態に係る移動体システム３１０を表す斜視図であ
る。また、図１０，１１はそれぞれ移動体システム３１
０を図９のＸ軸方向、Ｙ軸方向から見た状態を表す一部
断面図である。図９〜１１に示すように、移動体システ
ム３１０は固定部２０，固定部２０上をＸ軸方向に移動
する移動部（移動体）３３０，固定部（固定体）２０と
移動部３３０の間にあって固定部２０内への異物の侵入
を防止する移動カバー（シャッター）３４０から構成さ
れる。

【００３０】移動部３３０は、移動部基体３１，移動磁
石３２から構成される。移動カバー３４０は、シート状
の移動カバー要素３４１，３４２から構成される。移動
カバー要素３４１，３４２はそれぞれ、樹脂材料等の弾
性材料から構成され、両端および側辺の一方が固定部２
０の両側辺それぞれに固定され、かつ他の側辺が互いに
重なり合っている。移動カバー３４０は移動部基体３１
と共に、開口部２５を覆い、固定部２０内部への異物の
侵入を防止している。移動部基体３１が移動するときに
は、移動カバー３４０がその弾力性により伸縮すること
と、移動カバー要素３４１，３４２の重なり合う箇所が
ずれることで、移動部３３０の移動に対応し固定部２０
の上面が覆われた状態を保持する。移動部基体３１の大
きさによっては、図９に示したように移動部基体３１上
に移動カバー３４０で覆われない箇所が生じることもあ
るが、固定部２０上の移動部基体３１が存在しない箇所
が移動カバー３４０で覆われていれば大きな問題とはな
らない。

【００３１】以上のように、移動カバー３４０によって
開口部２５を覆うことで、固定部２０内部への異物の侵
入が防止される。このとき、移動カバー３４０の弾力
性、および移動カバー要素３４１、３４２同士のズレ
が、固定部２０内部への異物の侵入防止に寄与する。こ
れ以外の点では、第１の実施形態と大きく変わるところ
がないので、説明を省略する。

【００３２】（第５実施形態）図１２は、本発明の第５
の実施形態に係る移動体システム４１０を表す斜視図で
ある。また、図１３は移動体システム４１０を図１２の
Ｙ軸方向から見た状態を表す一部断面図である。図１
２，１３に示すように、移動体システム４１０は固定部
２０，固定部２０上をＸ軸方向に移動する移動部（移動
体）４３０，固定部（固定体）２０と移動部４３０の間
にあって固定部２０内への異物の侵入を防止する移動カ
バー（シャッター）４４０から構成される。

【００３３】移動部４３０は、移動部基体３１，移動磁
石３２から構成される。移動カバー４４０は、Ｘ軸方向
に伸縮可能な蛇腹状の移動カバー要素４４１，４４２か
ら構成される。移動カバー要素４４１，４４２はそれぞ
れ、両端が固定ケース上板２１ｄの端部および移動部基
体３１に固定されている。移動カバー４４０は、開口部
２５を覆い、固定部２０内部への異物の侵入を防止して
いる。そして、移動カバー要素４４１，４４２がＸ軸方
向に伸縮することで、移動部４３０の移動に対応するこ
れ以外の点では、第１の実施形態と大きく変わるところ
がないので、説明を省略する。

【００３４】（第６実施形態）図１４は、本発明の第６
の実施形態に係る移動体システム５１０を表す一部断面
図であり、図３と対応している。図１４に示すように、
移動体システム５１０の固定５２０は第２の固定磁石２
３ｂを有せず、磁石としては第１の固定磁石２３ａと対
応する固定磁石５２３のみを有している。この結果、リ
ニアモータ本体５５０は移動磁石３２と固定磁石５２３
のみから構成される。

【００３５】固定磁石５２３は電磁石からなる固定磁石
要素２４ａ（図示せず）をＸ軸方向に多数並べて形成さ
れる。固定磁石要素２４ａは、移動磁石３２と対向する
部分において移動磁石３２の磁極と同じ磁極が互いに対
向するように励磁されると共に、移動磁石３２と対向す
る部分から移動先方向に外れる位置においては、移動磁
石３２の磁極と異なる磁極となるように励磁される。一
方、移動磁石３２と対向する部分から反移動先方向に外
れる位置においては、移動磁石３２と対向する部分と同
様に固定磁石要素２４ａは、移動磁石３２の磁極と同じ
磁極となるように励磁される。図１４では、第１の実施
形態で示した移動カバー４０を用いて開口部２５を覆
い、固定部２０内部への異物の侵入を防止しているが、
これは第１〜第５の実施形態のいずれに示した手段を用
いても達成することができる。これ以外の点では、第１
の実施形態と大きく変わるところがないので、説明を省
略する。

【００３６】（第７実施形態）図１５は、本発明の第７
の実施形態に係る移動体システム６１０を表す一部断面
図であり、図３と対応している。図１４に示すように、
移動体システム６１０は移動体システム１０をさらに外
部ケース６６０で覆い、その開口部６６１から移動体シ
ステム１０に接続された保持部６７０を突き出した構成
をしている。

【００３７】外部ケース６６０は、開口部６６１を有す
る外部ケース上板６６２，外部ケース側板６６３，外部
ケース端板６６４（図示せず），外部ケース底板６６５
から構成された略直方体の外形をしている。

【００３８】保持部６７０は保持部上板６７１および保
持部底板６７２から構成され、保持部底板６７２が移動
体システム１０の移動部３０に接続されている。この結
果、リニアモータ本体５０を動作することで、保持部６
７０がＸ軸に沿って移動することになる。

【００３９】移動体システム６１０では、外部から固定
部２０内へ侵入する異物は外部ケース６６０の開口部６
６１を通過する。従って、開口部６６１に異物の侵入を
防止する手段を設置することで固定部２０内部への異物
の侵入をより確実に防止できる。この手段として、第１
〜第６の実施形態に示した異物侵入防止手段を適用する
ことができる。

【００４０】移動体システム６１０においては、この一
例として、第４の実施形態に示した移動カバー３４０に
対応する移動カバー６４０を用いている。第４の実施形
態と同様に移動カバー６４０は移動カバー要素６４１，
６４２から構成され、その弾力性等によって保持部６７
０の移動に対応して開口部６６１を遮蔽した状態を保持
している。

【００４１】開口部６６１の遮蔽による異物の侵入防止
は、第１〜第６の実施形態のいずれに示した手段を用い
ても達成することができる。また、固定ケース２１側で
の異物の侵入防止は、図１５に示した第１の実施形態に
対応する手段の他、第２〜第６の実施形態で示した手段
のいずれを用いることができる。このように、外部ケー
ス６６０側、固定ケース２１側それぞれで適宜に異物侵
入防止手段を併用できる。また、異物の侵入防止手段を
外部ケース６６０側、固定ケース２１側のいずれか一方
のみとすることも可能である。さらに、第７の実施形態
においては、両端が外部ケース端板６７４に固定される
リニアガイド３５（図示のように１本、あるいはＺ軸方
向に離間して複数本）が移動磁石３２を貫通しＸ軸方向
に配設される。リニアガイド３５は、移動部３０および
保持部６７０を、Ｚ軸方向およびＹ軸方向の移動を規制
する。複数本の場合には、移動磁石３２のＸ軸回りの回
転方向にも規制する。第１〜５実施形態において、同様
のリニアガイド３５を採用することで、固定磁石２３ａ
を廃止でき、第６実施形態においても、同様のリニアガ
イド３５を採用することにより、移動部３０を所定のＹ
軸位置、Ｚ軸位置に確実に保持しつつ、Ｘ軸方向に移動
可能とする。

【００４２】さらにまた、第１〜第７の実施形態におい
て、移動部３０（あるいは１３０，２３０，３３０，４
３０のそれぞれ）の固定部２０に対する位置を電気的あ
るいは機械的に検知する位置検出手段を設けることで、
検知位置を目標位置に一致させるようフィードバック制
御を掛けながら移動部（あるいは１３０，２３０，３３
０，４３０のそれぞれ）を移動させることが可能とな
り、所望の位置に正確に移動させることが可能となる。

【００４３】

【発明の効果】以上説明したように、本発明によれば内
部への異物の浸入を防止できる移動体システムを提供す
ることができる。

【図面の簡単な説明】

【図１】 本発明の第１実施形態に係る移動体システム
を表す斜視図である。

【図２】 図１に示した移動体システムを上方から見た
状態を表す上面図である。

【図３】 図１に示した移動体システムの一部を取り除
いた状態を表す一部断面図である。

【図４】 図１に示した移動体システムの一部を取り除
いた状態を表す一部断面図である。

【図５】 本発明の第２実施形態に係る移動体システム
を表す斜視図である。

【図６】 図５に示した移動体システムの一部を取り除
いた状態を表す一部断面図である。

【図７】 本発明の第３実施形態に係る移動体システム
を表す斜視図である。

【図８】 図７に示した移動体システムを側面から見た
状態を表す側面図である。

【図９】 本発明の第４実施形態に係る移動体システム
を表す斜視図である。

【図１０】 図９に示した移動体システムの一部を取り
除いた状態を表す一部断面図である。

【図１１】 図９に示した移動体システムの一部を取り
除いた状態を表す一部断面図である。

【図１２】 本発明の第５実施形態に係る移動体システ
ムを表す斜視図である。

【図１３】 図１２に示した移動体システムの一部を取
り除いた状態を表す一部断面図である。

【図１４】 本発明の第６実施形態に係る移動体システ
ムを表す一部断面図である。

【図１５】 本発明の第７実施形態に係る移動体システ
ムを表す一部断面図である。

【符号の説明】

１０…移動体システム、２０…固定部、２１…固定ケー
ス、２３（２３ａ，２３ｂ）…固定磁石、２５…開口
部、３０…移動部、３１…移動部基体、３２…移動磁
石、３３…移動ケース、３４（３４ａ〜３４ｄ）…ロー
ラ、３５…潤滑用カバー、４０…移動カバー、５０…リ
ニアモータ本体

Claims (5)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 固定磁石と、該固定磁石の一面と対向す
   る第１の開口部を備え、かつ該固定磁石を内部に保持す
   る固定ケースとを有する固定部と、 前記固定磁石の前記一面と対向する面を備えた移動磁石
   を有し、該第１の開口部の一部を塞ぐと共に、前記固定
   磁石に対して移動可能な移動部と、 前記移動部によって塞がれていない前記第１の開口部
   を、該移動部の移動に対応して塞ぐ第１の移動カバーと
   を具備することを特徴とする移動体システム。
2. 【請求項２】 前記固定磁石に対する前記移動部の位置
   を検知する位置検知手段をさらに具備することを特徴と
   する請求項１記載の移動体システム。
3. 【請求項３】 前記移動部が、物体を支持可能な支持部
   を備えたことを特徴とする請求項１記載の移動体システ
   ム。
4. 【請求項４】 前記移動カバーが、磁性体で形成された
   シート部材を有することを特徴とする請求項１記載の移
   動体システム。
5. 【請求項５】 前記固定部を覆い、かつ前記第１の開口
   部と対応する第２の開口部を有する外部カバーと、 前記移動部に接続され、かつ前記第２の開口部の一部を
   塞ぐ移動部材と、前記移動部材によって塞がれていない
   前記第２の開口部を、該移動部材の移動に対応して塞ぐ
   第２の移動カバーとをさらに具備することを特徴とする
   請求項１記載の移動体システム。