KR102623147B1 - 밀폐형 리니어모터 구동 스테이지 - Google Patents

밀폐형 리니어모터 구동 스테이지 Download PDF

Info

Publication number
KR102623147B1
KR102623147B1 KR1020230015025A KR20230015025A KR102623147B1 KR 102623147 B1 KR102623147 B1 KR 102623147B1 KR 1020230015025 A KR1020230015025 A KR 1020230015025A KR 20230015025 A KR20230015025 A KR 20230015025A KR 102623147 B1 KR102623147 B1 KR 102623147B1
Authority
KR
South Korea
Prior art keywords
roller
contact
belt
rollers
mover
Prior art date
Application number
KR1020230015025A
Other languages
English (en)
Inventor
김준현
Original Assignee
주식회사 하이럭스
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by 주식회사 하이럭스 filed Critical 주식회사 하이럭스
Priority to KR1020230015025A priority Critical patent/KR102623147B1/ko
Application granted granted Critical
Publication of KR102623147B1 publication Critical patent/KR102623147B1/ko

Links

Images

Classifications

    • H—ELECTRICITY
    • H02—GENERATION; CONVERSION OR DISTRIBUTION OF ELECTRIC POWER
    • H02K—DYNAMO-ELECTRIC MACHINES
    • H02K41/00—Propulsion systems in which a rigid body is moved along a path due to dynamo-electric interaction between the body and a magnetic field travelling along the path
    • H02K41/02—Linear motors; Sectional motors
    • H02K41/03—Synchronous motors; Motors moving step by step; Reluctance motors
    • H02K41/031—Synchronous motors; Motors moving step by step; Reluctance motors of the permanent magnet type
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B60—VEHICLES IN GENERAL
    • B60L—PROPULSION OF ELECTRICALLY-PROPELLED VEHICLES; SUPPLYING ELECTRIC POWER FOR AUXILIARY EQUIPMENT OF ELECTRICALLY-PROPELLED VEHICLES; ELECTRODYNAMIC BRAKE SYSTEMS FOR VEHICLES IN GENERAL; MAGNETIC SUSPENSION OR LEVITATION FOR VEHICLES; MONITORING OPERATING VARIABLES OF ELECTRICALLY-PROPELLED VEHICLES; ELECTRIC SAFETY DEVICES FOR ELECTRICALLY-PROPELLED VEHICLES
    • B60L13/00—Electric propulsion for monorail vehicles, suspension vehicles or rack railways; Magnetic suspension or levitation for vehicles
    • B60L13/03—Electric propulsion by linear motors
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B65—CONVEYING; PACKING; STORING; HANDLING THIN OR FILAMENTARY MATERIAL
    • B65G—TRANSPORT OR STORAGE DEVICES, e.g. CONVEYORS FOR LOADING OR TIPPING, SHOP CONVEYOR SYSTEMS OR PNEUMATIC TUBE CONVEYORS
    • B65G23/00—Driving gear for endless conveyors; Belt- or chain-tensioning arrangements
    • B65G23/22—Arrangements or mountings of driving motors
    • B65G23/23—Arrangements or mountings of driving motors of electric linear motors
    • H—ELECTRICITY
    • H02—GENERATION; CONVERSION OR DISTRIBUTION OF ELECTRIC POWER
    • H02K—DYNAMO-ELECTRIC MACHINES
    • H02K5/00—Casings; Enclosures; Supports
    • H02K5/04—Casings or enclosures characterised by the shape, form or construction thereof
    • H02K5/10—Casings or enclosures characterised by the shape, form or construction thereof with arrangements for protection from ingress, e.g. water or fingers

Landscapes

  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Power Engineering (AREA)
  • Physics & Mathematics (AREA)
  • Electromagnetism (AREA)
  • Mechanical Engineering (AREA)
  • Chemical & Material Sciences (AREA)
  • Combustion & Propulsion (AREA)
  • Transportation (AREA)
  • Linear Motors (AREA)

Abstract

본 발명은 밀폐형 리니어모터 구동 스테이지에 관한 것으로서, 특히 베이스와; 상기 베이스의 내부 상면에 설치되는 고정자와; 상기 베이스의 양측 상단에서 상기 고정자의 길이방향을 따라 일정높이로 설치되는 제1,2사이드벨트와; 상기 제1,2사이드벨트를 따라 이동함으로써 상기 고정자의 길이방향을 따라 이동하는 가동자와; 상기 베이스의 양 끝단에 각각 설치되는 제1,2엔드캡과; 상기 제1,2사이드벨트의 상단과 제1,2엔드캡의 상단에 설치되는 상부커버;를 포함하여 구성되어, 사이드벨트와 엔드캡 및 상부커버 등에 의해 사방이 밀폐됨으로써 외부에서 먼지나 이물질이 유입되는 것을 방지할 수 있는 효과가 있다.

Description

밀폐형 리니어모터 구동 스테이지{Enclosed Linear Motor Driven Stage System}
본 발명은 리니어모터 구동 스테이지에 관한 것으로서, 특히 내부에 먼지나 이물질이 유입되는 것을 방지할 수 있는 밀폐형 리니어모터 구동 스테이지에 관한 것이다.
리니어모터(Linear Motor)는 통상의 회전형 모터와 달리 직선형의 구동력을 직접 발생시켜 물체의 이송 및 위치를 제어하는 구동장치로, 볼스크류나 체인, 벨트 등을 이용한 기존의 선형운동장치에 비하여 구조가 간단하고 설치면적이 적으며, 이동속도와 추력 등이 우수하여 공장자동화 장치, 자기부상열차, 반도체 장비 등의 다양한 산업분야에서 응용되고 있다.
이러한 리니어모터는 자성체를 포함하는 고정자와 코일을 포함하는 가동자 사이에 작용하는 전자력에 의해 발생한 추력으로 가동자가 고정자의 길이방향을 따라 수평으로 직선운동을 한다.
이와 같은 종래의 리니어모터는 상면이나 측면 등이 개방형으로 되어 있어 먼지나 이물질이 내부로 침투하기 쉬운 구조를 갖고 있다. 리니어모터 내부로 침입한 먼지(또는 파티클)나 이물질은 내부의 엔코더 등에 쌓여 구동시 오류를 발생시키거나 정밀도를 떨어뜨리고 수명을 저하시키는 문제점을 갖고 있다.
등록특허 10-1645197
본 발명은 상기한 종래기술의 문제점을 해결하기 위하여 안출된 것으로서, 외부환경과 격리되는 밀폐형 구조로 제작하여 내부에 먼지나 이물질이 유입되는 것을 방지할 수 있는 밀폐형 리니어모터 구동 스테이지를 제공하는데 그 목적이 있다.
상기한 과제를 해결하기 위한 본 발명에 의한 밀폐형 리니어모터 구동 스테이지는 베이스와; 상기 베이스의 내부 상면에 설치되는 고정자와; 상기 베이스의 양측 상단에서 상기 고정자의 길이방향을 따라 일정높이로 설치되는 제1,2사이드벨트와; 상기 제1,2사이드벨트를 따라 이동함으로써 상기 고정자의 길이방향을 따라 이동하는 가동자와; 상기 베이스의 양 끝단에 각각 설치되는 제1,2엔드캡과; 상기 제1,2사이드벨트의 상단과 제1,2엔드캡의 상단에 설치되는 상부커버;를 포함하여 구성된다.
여기에서, 상기 가동자의 양측면에는 상기 제1,2사이드벨트가 각각 통과하는 제1,2통과홀이 이격되게 형성된다.
그리고, 상기 제1,2사이드벨트는 일측 끝단이 텐션 스프링에 의해 서로 연결된다.
한편, 상기 제1,2사이드벨트 주위에는 제1,2사이드벨트의 내측면과 외측면에 접하여 제1,2사이드벨트를 가이드하는 다수의 롤러가 설치된다.
여기에서, 상기 제1엔드캡과 제2엔드캡 내부에는 회전가능한 제1롤러와 제2롤러로 구성된 제1좌측 벨트롤러와 제1우측 벨트롤러가 각각 구비되되, 상기 제1사이드벨트의 일측 끝부분은 내측면이 제1좌측 벨트롤러의 제1롤러 외주면에 접촉된 후 외측면이 제2롤러 외주면에 접촉되고, 타측 끝부분은 내측면이 제1우측 벨트롤러의 제2롤러 외주면에 접촉된 후 외측면이 제1롤러 외주면에 접촉되어 내측면과 외측면이 서로 밀착된다.
그리고, 상기 제1엔드캡과 제2엔드캡 내부에는 회전가능한 제1롤러와 제2롤러로 구성된 제2좌측 벨트롤러와 제2우측 벨트롤러가 각각 더 구비되되, 상기 제2사이드벨트의 일측 끝부분은 내측면이 제2좌측 벨트롤러의 제1롤러 외주면에 접촉된 후 외측면이 제2롤러 외주면에 접촉되고, 타측 끝부분은 내측면이 제2우측 벨트롤러의 제2롤러 외주면에 접촉된 후 외측면이 제1롤러 외주면에 접촉되어 내측면과 외측면이 서로 밀착된다.
또한, 상기 가동자의 가장자리에는 제1사이드벨트의 외측면과 내측면에 각각 접촉되어 회전하는 제1롤러와 제2롤러로 구성된 제1좌측 지지롤러와 제1우측 지지롤러가 이격되게 구비된다.
또한, 상기 가동자의 가장자리에는 제2사이드벨트의 외측면과 내측면에 각각 접촉되어 회전하는 제1롤러와 제2롤러로 구성된 제2좌측 지지롤러와 제2우측 지지롤러가 이격되게 각각 더 구비된다.
상기와 같이 구성되는 본 발명의 밀폐형 리니어모터 구동 스테이지는 사이드벨트와 엔드캡 및 상부커버 등에 의해 사방이 밀폐됨으로써 외부에서 먼지나 이물질이 유입되는 것을 방지할 수 있는 이점이 있다. 따라서 레이저 가공과 같은 분진이 발생하는 작업 환경에서 사용하기에 적절한 이점이 있다.
또한, 제1,2사이드벨트의 일측 끝단이 텐션 스프링에 의해 연결되므로, 제1,2사이드벨트의 장력을 자동으로 유지할 수 있는 이점이 있다.
또한, 회전가능하게 구성되는 다수의 롤러로 사이드벨트를 지지하면서 동시에 사이드벨트와 가동자의 이동이 원활할 수 있도록 지원할 수 있는 이점이 있다.
도 1 및 도 2는 본 발명에 의한 밀폐형 리니어모터 구동 스테이지를 보인 사시도.
도 3은 본 발명에 의한 밀폐형 리니어모터 구동 스테이지의 가동자와 제1,2사이드벨트를 보인 도.
도 4는 본 발명에 의한 밀폐형 리니어모터 구동 스테이지에 구비된 롤러를 보인 도.
이하, 본 발명에 의한 밀폐형 리니어모터 구동 스테이지의 실시 예를 첨부된 도면을 참조하여 상세히 설명한다.
도 1 및 도 2는 본 발명에 의한 밀폐형 리니어모터 구동 스테이지를 보인 사시도이다.
그리고, 도 3은 본 발명에 의한 밀폐형 리니어모터 구동 스테이지의 가동자와 제1,2사이드벨트를 보인 도이며, 도 4는 본 발명에 의한 밀폐형 리니어모터 구동 스테이지에 구비된 롤러를 보인 도이다.
본 발명에 의한 밀폐형 리니어모터 구동 스테이지는 베이스(10)와, 상기 베이스(10)의 내부 상면에 설치되는 고정자(stator,20)와, 상기 고정자(20)의 길이방향을 따라 일정높이로 설치되는 제1,2사이드벨트(30,40)와, 상기 고정자(20)의 상측에서 직선 이동하는 가동자(mover,50)와, 상기 베이스(10)의 길이방향 양 끝단에 설치되는 제1,2엔드캡(60,70)과, 상기 제1,2사이드벨트(30,40)의 상단과 제1,2엔드캡(60,70)의 상단에 설치되는 상부커버(80)를 포함하여 구성된다.
상기 베이스(10)는 고정자(20), 제1,2사이드벨트(30,40), 가동자(50), 제1,2엔드캡(60,70) 및 상부커버(80)를 하측에서 지지한다. 이러한 베이스(10)의 상면 양측에는 LM 가이드(11)가 베이스(10)의 길이방향을 따라 일직선으로 길게 설치된다.
상기 고정자(20)는 베이스(10)의 상면에 배치된 기다란 판상의 코어 상에 자석이 일정 간격으로 배치되어 자석 트랙이 구성된다.
상기 제1,2사이드벨트(30,40)는 베이스(10)의 양측 상단에서 고정자(20)의 길이방향을 따라 일정높이로 설치된다. 이러한 제1,2사이드벨트(30,40)는 일정한 탄성을 갖는 재질로 만들어져 일정범위 내에서 휨이나 절곡이 자유롭다.
이처럼 제1,2사이드벨트(30,40)가 일정하게 탄성을 갖기 때문에 일정시간이 지나면 탄성을 잃어 늘어날 수 있고, 이에 따라 장력을 조절하는 것이 필요하다. 이에 본 발명에서는 제1사이드벨트(30)와 제2사이드벨트(40)의 일측 끝단을 텐션 스프링(90)으로 서로 연결함으로써 텐션 스프링(90)이 제공하는 탄성력에 의해 제1,2사이드벨트(30,40)가 장력을 조정받을 수 있게 하였다.
즉, 제1사이드벨트(30)의 일측 끝단에 경성재질로 만들어진 제1커넥터(31)를 고정하고, 제2사이드벨트(40)의 일측 끝단에 제1커넥터(31)와 동일한 재질의 제2커넥터(41)를 고정한 다음 제1커넥터(31)와 제2커넥터(41) 사이를 텐션 스프링(90)으로 연결하는 것이다.
상기 가동자(50)는 제1,2사이드벨트(30,40)를 따라 이동함으로써 고정자(20)의 길이방향을 따라 이동한다.
부연하면, 가동자(50)의 양측면에는 제1사이드벨트(30)가 통과하는 제1통과홀(51)과 제2사이드벨트(40)가 통과하는 제2통과홀(52)이 각각 이격되게 형성된다. 따라서 가동자(50)가 직선이동을 할 때 제1사이드벨트(30)는 가동자(50)의 제1통과홀(51) 내에 삽입된 상태를 유지하고 제2사이드벨트(40)는 가동자(50)의 제2통과홀(52)) 내에 삽입된 상태를 유지한다.
그리고, 가동자(50)의 저면에는 LM 가이드(11)를 따라 직선이동하는 LM 블록(53)이 구비된다. 따라서 가동자(50)는 고정자(20)의 상측에서 고정자(20)의 길이방향을 따라 안정적으로 직선이동을 하게 된다.
한편, 가동자(50)의 양측단 중 어느 한 곳에는 케이블 배출구(54)가 형성된다. 이 케이블 배출구(54)는 센서나 엔코더 등 본 발명의 각종 구성요소들을 위한 케이블과 LM 가이드(11)의 구리스 튜브 배관 등이 통과되는 구멍으로서, 가동자(50)의 저면으로 연장되어 일정 수용공간을 갖도록 형성된다. 따라서 가동자(50)가 직선이동을 할 때 케이블이나 구리스 튜브 배관 등은 케이블 배출구(54) 내에서 배출되거나 케이블 배출구(54) 안쪽으로 삽입되면서 움직인다. 이로써 본 발명은 그 밀폐도를 더욱 높일 수 있는 효과가 있다.
상기 제1,2엔드캡(60,70)은 베이스(10)와 고정자(20)의 길이방향 양 끝단에 각각 설치되어, 베이스(10)와 고정자(20)의 길이방향 양 끝단을 밀폐한다.
상기 상부커버(80)는 알루미늄을 이용한 판상 형태로서, 제1,2사이드벨트(30,40)의 상단과 제1,2엔드캡(60,70)의 상단에 설치된다. 즉 상부커버(80)는 제1엔드캡(60)과 제2엔드캡(70) 사이의 거리만큼에 해당되는 길이로 제작되어 양 끝단에 제1엔드캡(60)과 제2엔드캡(70)의 상단에 고정된다.
더불어, 상부커버(80)는 제1사이드벨트(30)와 제2사이드벨트(40) 사이의 거리만큼에 해당되는 폭으로 제작으로 상부커버(80)의 양쪽 끝 가장자리 저면에 제1사이드벨트(30)의 상단과 제2사이드벨트(40)의 상단이 인접된다.
이로써, 제1사이드벨트(30)와 제2사이드벨트(40)는 하단이 베이스(10)의 상단 라인에 인접하고 상단은 상부커버(80)의 저면 라인에 인접하기 때문에, 베이스(10)와 상부커버(80) 사이의 공간이 제1사이드벨트(30)와 제2사이드벨트(40)에 의해 밀폐되어 외부의 먼지나 이물질이 내부로 유입되는 것을 차단할 수 있다.
결국, 제1,2사이드벨트(30,40)와 제1,2엔드캡(60,70)에 의해 가장자리에 형성되는 공간들이 밀폐되므로 고정자(20)의 내부공간은 외부환경과 격리된다.
한편, 제1,2사이드벨트(30,40) 주위에는 제1,2사이드벨트(30,40)의 내측면과 외측면에 접하여 제1,2사이드벨트(30,40)를 가이드하는 다수의 롤러가 설치된다.
좀 더 자세히 설명하면, 제1엔드캡(60) 내부에는 제1좌측 벨트롤러(100)와 제2좌측 벨트롤러(120)가 구비되고, 제2엔드캡(70) 내부에는 제1우측 벨트롤러(110)와 제2우측 벨트롤러(130)가 구비된다.
그리고, 가동자(50)의 전방측 가장자리에는 제1사이드벨트(30)와 접촉되는 제1좌측 지지롤러(140)와 제1우측 지지롤러(150)가 구비되고, 가동자(50)의 후방측 가장자리에는 제2사이드벨트(40)와 접촉되는 제2좌측 지지롤러(160)와 제2우측 지지롤러(170)가 구비된다.
상기 제1좌측 벨트롤러(100)는 상단이 상부커버(80)에 회전가능하게 연결되고 하단이 제1엔드캡(60)의 내부 수평면에 회전가능하게 연결된 2개의 제1롤러(101)와 제2롤러(102)로 구성된다. 이때 제1좌측 벨트롤러(100)의 제1롤러(101)는 제2롤러(102)보다 위치상으로 좀 더 바깥쪽에 구비되어 있다.
따라서, 제1사이드벨트(30)의 일측 끝부분은 내측면이 제1좌측 벨트롤러(100)의 제1롤러(101) 외주면에 접촉된 후 안쪽으로 경사지게 휘어져 외측면이 제2롤러(102)의 외주면에 접촉된다.
상기 제1우측 벨트롤러(110)는 상단이 상부커버(80)에 회전가능하게 연결되고 하단이 제2엔드캡(70)의 내부 수평면에 회전가능하게 연결된 2개의 제1롤러(111)와 제2롤러(112)로 구성된다. 이때 제1우측 벨트롤러(110)의 제1롤러(111)는 제2롤러(112)보다 위치상으로 좀 더 바깥쪽에 구비되어 있다.
따라서, 제1사이드벨트(30)의 타측 끝부분은 내측면이 제1우측 벨트롤러(110)의 제2롤러(112) 외주면에 접촉된 후 안쪽과 바깥쪽으로 연이어 경사지게 휘어져 외측면이 제1롤러(111) 외주면에 접촉되어 내측면과 외측면이 서로 밀착된다. 이렇게 제1사이드벨트(30)의 타측 끝부분은 제1우측 벨트롤러(110)에 의해 내측면과 외측면이 서로 밀착되어 면접(面接)되기 때문에 제1우측 벨트롤러(110)에서 쉽게 풀려나오지 않을 수 있다.
상기 제2좌측 벨트롤러(120)는 제1좌측 벨트롤러(100)의 옆쪽에 설치되는 것으로서, 상단이 상부커버(80)에 회전가능하게 연결되고 하단이 제1엔드캡(60)의 내부 수평면에 회전가능하게 연결된 2개의 제1롤러(121)와 제2롤러(122)로 구성된다. 이때 제2좌측 벨트롤러(120)의 제1롤러(121)는 제2롤러(122)보다 위치상으로 좀 더 바깥쪽으로 구비되어 있다.
따라서, 제2사이드벨트(40)의 일측 끝부분은 내측면이 제2좌측 벨트롤러(120)의 제1롤러(121) 외주면에 접촉된 후 안쪽으로 경사지게 휘어져 외측면이 제2롤러(122)의 외주면에 접촉된다. 이 상태에서 제2사이드벨트(40)의 일측 끝단이 텐션 스프링(90)을 통해 제1사이드벨트(30)의 일측 끝단과 연결된다.
상기 제2우측 벨트롤러(130)는 상단이 상부커버(80)에 회전가능하게 연결되고 하단이 제2엔드캡(70)의 내부 수평면에 회전가능하게 연결된 2개의 제1롤러(131)와 제2롤러(132)로 구성된다. 이때 제2우측 벨트롤러(130)의 제1롤러(131)는 제2롤러(132)보다 위치상으로 좀 더 바깥쪽에 구비되어 있다.
따라서, 제2사이드벨트(40)의 타측 끝부분은 내측면이 제2우측 벨트롤러(130)의 제2롤러(132) 외주면에 접촉된 후 안쪽과 바깥쪽으로 연이어 경사지게 휘어져 외측면이 제1롤러(131) 외주면에 접촉되어 내측면과 외측면이 서로 밀착된다. 이렇게 제2사이드벨트(40)의 타측 끝부분은 제2우측 벨트롤러(130)에 의해 내측면과 외측면이 서로 밀착되어 면접(面接)되기 때문에 제2우측 벨트롤러(130)에서 쉽게 풀려나오지 않을 수 있다.
상기 제1좌측 지지롤러(140)는 가동자(50)의 제1통과홀(51) 주변에 설치되는 것으로서, 제1통과홀(51) 내에 삽입된 제1사이드벨트(30)의 외측면과 접촉되는 제1롤러(141)와 제1사이드벨트(30)의 내측면과 접촉되는 제2롤러(142)로 구성된다. 여기서, 제1좌측 지지롤러(140)의 제2롤러(142)는 제1롤러(141)보다 바깥쪽에 위치된다.
상기 제1우측 지지롤러(150)는 제1좌측 지지롤러(140)와 이격되게 구비되되 제1좌측 벨트롤러(100)를 기준으로 봤을 때 제1좌측 지지롤러(140)보다 좀 더 먼 곳에 위치된다. 이러한 제1우측 지지롤러(150)는 가동자(50)의 제1통과홀(51) 주변에 설치되어 제1통과홀(51) 내에 삽입된 제1사이드벨트(30)의 외측면과 접촉되는 제1롤러(151)와 제1사이드벨트(30)의 내측면과 접촉되는 제2롤러(152)로 구성된다. 여기서, 제1우측 지지롤러(150)의 제2롤러(152)는 제1롤러(151)보다 바깥쪽에 위치된다.
상기 제2좌측 지지롤러(160)는 가동자(50)의 제2통과홀(52) 주변에 설치되는 것으로서, 제2통과홀(52) 내에 삽입된 제2사이드벨트(40)의 외측면과 접촉되는 제1롤러(161)와 제2사이드벨트(40)의 내측면과 접촉되는 제2롤러(162)로 구성된다. 여기서, 제2좌측 지지롤러(160)의 제2롤러(162)는 제1롤러(161)보다 바깥쪽에 위치된다.
상기 제2우측 지지롤러(170)는 제2좌측 지지롤러(160)와 이격되게 구비되되 제2좌측 벨트롤러(120)를 기준으로 봤을 때 제2좌측 지지롤러(160)보다 좀 더 먼 곳에 위치된다. 이러한 제2우측 지지롤러(170)는 가동자(50)의 제2통과홀(52) 주변에 설치되어 제2통과홀(52) 내에 삽입된 제2사이드벨트(40)의 외측면과 접촉되는 제1롤러(171)와 제2사이드벨트(40)의 내측면과 접촉되는 제2롤러(172)로 구성된다. 여기서, 제2우측 지지롤러(170)의 제2롤러(172)는 제1롤러(171)보다 바깥쪽에 위치된다.
위와 같이 본 발명이 많은 수의 롤러를 포함하고 그 롤러로 제1사이드벨트(30)와 제2사이드벨트(40)를 지지하므로 제1사이드벨트(30)와 제2사이드벨트(40)가 움직일 때 마찰을 최소화할 수 있으며, 제1통과홀(51)과 제2통과홀(52)에 각각 제1사이드벨트(30)와 제2사이드벨트(40)가 삽입된 상태에서 가동자(50)가 고정자(20)의 길이방향을 따라 원활하게 직선운동을 할 수 있다.
10: 베이스 11: LM 가이드
20: 고정자 30: 제1사이드벨트
31: 제1커넥터 40: 제2사이드벨트
41: 제2커넥터 50: 가동자
51: 제1통과홀 52: 제2통과홀
53: LM 블록 54: 케이블 배출구
60: 제1엔드캡 70: 제2엔드캡
80: 상부커버 90: 텐션 스프링
100: 제1좌측 벨트롤러 101: 제1롤러
102: 제2롤러 110: 제1우측 벨트롤러
111: 제1롤러 112: 제2롤러
120: 제2좌측 벨트롤러 121: 제1롤러
122: 제2롤러 130: 제2우측 벨트롤러
131: 제1롤러 132: 제2롤러
140: 제1좌측 지지롤러 141: 제1롤러
142: 제2롤러 150: 제1우측 지지롤러
151: 제1롤러 152: 제2롤러
160: 제2좌측 지지롤러 161: 제1롤러
162: 제2롤러 170: 제2우측 지지롤러
171: 제1롤러 172: 제2롤러

Claims (8)

  1. 베이스(10)와; 상기 베이스(10)의 내부 상면에 설치되는 고정자(20)와; 상기 베이스(10)의 양측 상단에서 상기 고정자(20)의 길이방향을 따라 일정높이로 설치되는 제1,2사이드벨트(30,40)와; 상기 제1,2사이드벨트(30,40)를 따라 이동함으로써 상기 고정자(20)의 길이방향을 따라 이동하는 가동자(50)와; 상기 베이스(10)의 양 끝단에 각각 설치되는 제1,2엔드캡(60,70)과; 상기 제1,2사이드벨트(30,40)의 상단과 제1,2엔드캡(60,70)의 상단에 설치되는 상부커버(80);를 포함하며,
    상기 제1,2사이드벨트(30,40)의 주위에는 제1,2사이드벨트(30,40)의 내측면과 외측면에 접하여 제1,2사이드벨트(30,40)를 가이드하는 다수의 롤러가 설치되며,
    상기 제1엔드캡(60)과 제2엔드캡(70) 내부에는 회전가능한 제1롤러(101,111)와 제2롤러(102,112)로 구성된 제1좌측 벨트롤러(100)와 제1우측 벨트롤러(110)가 각각 구비되되,
    상기 제1사이드벨트(30)의 일측 끝부분은 내측면이 제1좌측 벨트롤러(100)의 제1롤러(101) 외주면에 접촉된 후 외측면이 제2롤러(102) 외주면에 접촉되고, 타측 끝부분은 내측면이 제1우측 벨트롤러(110)의 제2롤러(112) 외주면에 접촉된 후 외측면이 제1롤러(111) 외주면에 접촉되어 내측면과 외측면이 서로 밀착되는 것을 특징으로 하는 밀폐형 리니어모터 구동 스테이지.
  2. 청구항 1에 있어서,
    상기 가동자(50)의 양측면에는 상기 제1,2사이드벨트(30,40)가 각각 통과하는 제1,2통과홀(51,52)이 이격되게 형성된 것을 특징으로 하는 밀폐형 리니어모터 구동 스테이지.
  3. 청구항 1에 있어서,
    상기 제1,2사이드벨트(30,40)는 일측 끝단이 텐션 스프링(90)에 의해 서로 연결되는 것을 특징으로 하는 밀폐형 리니어모터 구동 스테이지.
  4. 삭제
  5. 삭제
  6. 청구항 1에 있어서,
    상기 제1엔드캡(60)과 제2엔드캡(70) 내부에는 회전가능한 제1롤러(121,131)와 제2롤러(122,132)로 구성된 제2좌측 벨트롤러(120)와 제2우측 벨트롤러(130)가 각각 더 구비되되,
    상기 제2사이드벨트(40)의 일측 끝부분은 내측면이 제2좌측 벨트롤러(120)의 제1롤러(121) 외주면에 접촉된 후 외측면이 제2롤러(122) 외주면에 접촉되고,
    타측 끝부분은 내측면이 제2우측 벨트롤러(130)의 제2롤러(132) 외주면에 접촉된 후 외측면이 제1롤러(131) 외주면에 접촉되어 내측면과 외측면이 서로 밀착되는 것을 특징으로 하는 밀폐형 리니어모터 구동 스테이지.
  7. 청구항 1에 있어서,
    상기 가동자(50)의 가장자리에는 제1사이드벨트(30)의 외측면과 내측면에 각각 접촉되어 회전하는 제1롤러(141,151)와 제2롤러(142,152)로 구성된 제1좌측 지지롤러(140)와 제1우측 지지롤러(150)가 이격되게 구비되는 것을 특징으로 하는 밀폐형 리니어모터 구동 스테이지.
  8. 청구항 1에 있어서,
    상기 가동자(50)의 가장자리에는 제2사이드벨트(40)의 외측면과 내측면에 각각 접촉되어 회전하는 제1롤러(161,171)와 제2롤러(162,172)로 구성된 제2좌측 지지롤러(160)와 제2우측 지지롤러(170)가 이격되게 각각 더 구비되는 특징으로 하는 밀폐형 리니어모터 구동 스테이지.
KR1020230015025A 2023-02-03 2023-02-03 밀폐형 리니어모터 구동 스테이지 KR102623147B1 (ko)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
KR1020230015025A KR102623147B1 (ko) 2023-02-03 2023-02-03 밀폐형 리니어모터 구동 스테이지

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
KR1020230015025A KR102623147B1 (ko) 2023-02-03 2023-02-03 밀폐형 리니어모터 구동 스테이지

Publications (1)

Publication Number Publication Date
KR102623147B1 true KR102623147B1 (ko) 2024-01-10

Family

ID=89511717

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
KR1020230015025A KR102623147B1 (ko) 2023-02-03 2023-02-03 밀폐형 리니어모터 구동 스테이지

Country Status (1)

Country Link
KR (1) KR102623147B1 (ko)

Citations (7)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2003259621A (ja) * 2002-02-28 2003-09-12 Yamaha Motor Co Ltd 移動体システム
KR20070006108A (ko) * 2005-07-07 2007-01-11 에버테크노 주식회사 리니어 모터
KR100812988B1 (ko) * 2007-06-29 2008-03-13 (주)다사로봇 리니어 스테이지 로봇
KR20110122517A (ko) * 2010-05-04 2011-11-10 주식회사 져스텍 방수 기능이 있는 리니어 모터 스테이지.
KR101645197B1 (ko) 2014-10-08 2016-08-03 (주)에이티엘 밀폐형 리니어 모터 스테이지 장치
KR20190036236A (ko) * 2017-09-27 2019-04-04 주식회사 탑 엔지니어링 스크라이빙 장치 및 스크라이빙 방법
KR20220166503A (ko) * 2021-06-10 2022-12-19 (주)브이에이디인스트루먼트 스테이지

Patent Citations (7)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2003259621A (ja) * 2002-02-28 2003-09-12 Yamaha Motor Co Ltd 移動体システム
KR20070006108A (ko) * 2005-07-07 2007-01-11 에버테크노 주식회사 리니어 모터
KR100812988B1 (ko) * 2007-06-29 2008-03-13 (주)다사로봇 리니어 스테이지 로봇
KR20110122517A (ko) * 2010-05-04 2011-11-10 주식회사 져스텍 방수 기능이 있는 리니어 모터 스테이지.
KR101645197B1 (ko) 2014-10-08 2016-08-03 (주)에이티엘 밀폐형 리니어 모터 스테이지 장치
KR20190036236A (ko) * 2017-09-27 2019-04-04 주식회사 탑 엔지니어링 스크라이빙 장치 및 스크라이빙 방법
KR20220166503A (ko) * 2021-06-10 2022-12-19 (주)브이에이디인스트루먼트 스테이지

Similar Documents

Publication Publication Date Title
CN106104030A (zh) 运动引导装置
JP6626982B2 (ja) リニアコンベア装置
US20100024587A1 (en) Xy table actuator
US9548638B2 (en) Alignment stage
JP2001025229A (ja) 可動コイル型リニアモータを内蔵したスライド装置
CN105264269A (zh) 致动器
JP2005331402A (ja) ステージ装置
KR102623147B1 (ko) 밀폐형 리니어모터 구동 스테이지
CN101802453A (zh) 密封型线性动作执行器单元
KR101992638B1 (ko) 개선된 방진 구조를 갖는 리니어 액추에이터
KR101110332B1 (ko) 방수 기능이 있는 리니어 모터 스테이지.
US20040198541A1 (en) Actuator
EP0663716B1 (en) Support for a self-propelled linear motion drive apparatus
KR102127472B1 (ko) 마그네트 자동 도어장치
KR101398229B1 (ko) 클린타입 직선로봇
KR20220045002A (ko) 자기 안내 장치
JPH03231079A (ja) 壁面吸着走行機
KR20100000456A (ko) 직선이동장치
TW202007623A (zh) 物品搬送裝置
KR20140014705A (ko) 리니어 슬라이딩 장치
KR101680246B1 (ko) 클린 직교로봇
KR101717120B1 (ko) 리니어 스테이지
JP2006283792A (ja) 移動装置
JP2012041972A (ja) 直動案内軸受装置
KR20220109245A (ko) 터널 내 이동 장치

Legal Events

Date Code Title Description
E701 Decision to grant or registration of patent right
GRNT Written decision to grant