JP2652884B2 - ボールねじ移動機構のクリーン化機構 - Google Patents
ボールねじ移動機構のクリーン化機構Info
- Publication number
- JP2652884B2 JP2652884B2 JP7439889A JP7439889A JP2652884B2 JP 2652884 B2 JP2652884 B2 JP 2652884B2 JP 7439889 A JP7439889 A JP 7439889A JP 7439889 A JP7439889 A JP 7439889A JP 2652884 B2 JP2652884 B2 JP 2652884B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- ball screw
- air
- housing
- exhaust
- moving mechanism
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired - Lifetime
Links
Landscapes
- Transmission Devices (AREA)
Description
【発明の詳細な説明】 ［産業上の利用分野］ この発明はボールねじ移動機構の発塵に対するクリー
ン化機構に関するものである。
ン化機構に関するものである。
［従来の技術］ 電子部分やコンピュータに使用される磁気ディスクな
どの製造または検査においてワークの高精度の直線移動
のためにボールねじによる移動機構が使用されている。
製造または検査においては、塵埃による汚染を排除する
ために作業はクリーンルーム内で行われる。
どの製造または検査においてワークの高精度の直線移動
のためにボールねじによる移動機構が使用されている。
製造または検査においては、塵埃による汚染を排除する
ために作業はクリーンルーム内で行われる。
第２図（ａ），（ｂ），（ｃ）および（ｄ）はボール
ねじによる移動機構の構造図で、図（ａ），（ｂ）はそ
れぞれ側面および平面を、図（ｃ）はＡ−Ａ断面を、ま
た図（ｄ）は斜視外観を示す。移動機構１は雄ねじを有
する回転軸11と、これに回転ボール（図示省略）を介在
して係合した雌ねじを有する移動子12、回転軸11を両側
で軸支する支持板13、回転軸11に対する駆動モータ14よ
りなる。これらはハウジング15によりカバーされ、回転
軸11の回転により移動子12に載置された被移動体２を移
動するものである。
ねじによる移動機構の構造図で、図（ａ），（ｂ）はそ
れぞれ側面および平面を、図（ｃ）はＡ−Ａ断面を、ま
た図（ｄ）は斜視外観を示す。移動機構１は雄ねじを有
する回転軸11と、これに回転ボール（図示省略）を介在
して係合した雌ねじを有する移動子12、回転軸11を両側
で軸支する支持板13、回転軸11に対する駆動モータ14よ
りなる。これらはハウジング15によりカバーされ、回転
軸11の回転により移動子12に載置された被移動体２を移
動するものである。
［解決しようとする課題］ 上記のボールねじの移動機構１は、回転軸11の回転に
より移動子12の雄ねじ、または介在している回転ボール
との間の摩擦により塵埃が発生する。図（ｄ）において
移動子12が矢印Ｂの方向に移動するときは、ハウジング
15の上面に設けられた開口溝151,152の一方より矢印C2
のように吸入され、他方より矢印C1のように排出される
エアにより塵埃がクリーンルーム内に放出されて汚染さ
れる。移動方向が反対のときも同様である。ここで、開
口溝151,152は被移動体２を載置するために、図（ｃ）
のように移動子12に設けられた突起部121,122の移動に
必要なもので、これがあるためにハウジング15は完全に
密閉することができない。これに対して、塵埃の放出を
防止することが要請されている。
より移動子12の雄ねじ、または介在している回転ボール
との間の摩擦により塵埃が発生する。図（ｄ）において
移動子12が矢印Ｂの方向に移動するときは、ハウジング
15の上面に設けられた開口溝151,152の一方より矢印C2
のように吸入され、他方より矢印C1のように排出される
エアにより塵埃がクリーンルーム内に放出されて汚染さ
れる。移動方向が反対のときも同様である。ここで、開
口溝151,152は被移動体２を載置するために、図（ｃ）
のように移動子12に設けられた突起部121,122の移動に
必要なもので、これがあるためにハウジング15は完全に
密閉することができない。これに対して、塵埃の放出を
防止することが要請されている。
この発明は以上に鑑みてなされたもので、ボールねじ
移動機構に発生する塵埃を、クリーンルームを汚染する
ことなく外部に排出するクリーン化機構を提供すること
を目的とするものである。
移動機構に発生する塵埃を、クリーンルームを汚染する
ことなく外部に排出するクリーン化機構を提供すること
を目的とするものである。
［課題を解決するための手段］ この発明はボールねじと、上面にボールねじの移動子
に対する開口溝を有するハウジングとよりなる移動機構
におけるクリーン化機構であって、ボールねじの回転軸
の支持板に設けられた風孔と、支持板の外方に設けられ
た排気ボックス、およびハウジングの内部のボールねじ
の下部に設けられ、空気孔を適当に分散して穿孔した隔
離板とによりエアダクトを構成する。移動子の移動によ
り生ずる負の風圧に対してハウジングの開口溝よりエア
を吸入し、正の風圧に対してエアダクトを経由してハウ
ジングの底面に設けられた排気孔と、排気孔に接続され
た排気ポンプにより、ボールねじに発生した塵埃を含む
エアを外部に排出するものである。
に対する開口溝を有するハウジングとよりなる移動機構
におけるクリーン化機構であって、ボールねじの回転軸
の支持板に設けられた風孔と、支持板の外方に設けられ
た排気ボックス、およびハウジングの内部のボールねじ
の下部に設けられ、空気孔を適当に分散して穿孔した隔
離板とによりエアダクトを構成する。移動子の移動によ
り生ずる負の風圧に対してハウジングの開口溝よりエア
を吸入し、正の風圧に対してエアダクトを経由してハウ
ジングの底面に設けられた排気孔と、排気孔に接続され
た排気ポンプにより、ボールねじに発生した塵埃を含む
エアを外部に排出するものである。
［作用］ 以上の構成によるクリーン化機構においては、移動子
の移動により、移動と反対側に生ずる負の風圧に対して
は、開口溝のその側の部分よりエアが吸入されることは
従来と同様であるが、移動方向に生ずる正の風圧に対し
ては、排気ポンプの吸引作用により、塵埃を含んだエア
はエアダクトを経由して外部に排出される。ここで、隔
離板はエアの流入量を調整するためのもので、もしこれ
がないときは排気孔と開口溝が短絡してエアが多量に流
れ、従って排気ポンプの負荷が過大となって大型のポン
プが必要となる。なお、隔離板の空気孔は、若干のエア
流通を許してエアダクトを効果を向上するものである。
の移動により、移動と反対側に生ずる負の風圧に対して
は、開口溝のその側の部分よりエアが吸入されることは
従来と同様であるが、移動方向に生ずる正の風圧に対し
ては、排気ポンプの吸引作用により、塵埃を含んだエア
はエアダクトを経由して外部に排出される。ここで、隔
離板はエアの流入量を調整するためのもので、もしこれ
がないときは排気孔と開口溝が短絡してエアが多量に流
れ、従って排気ポンプの負荷が過大となって大型のポン
プが必要となる。なお、隔離板の空気孔は、若干のエア
流通を許してエアダクトを効果を向上するものである。
［実施例］ 第１図（ａ），（ｂ）および（ｃ）は、この発明によ
るボールねじ移動機構のクリーン化機構の実施例の構造
図で、図（ａ）は全体の側面を、図（ｂ）は支持板を、
図（ｃ）は隔離板をそれぞれ示す。図（ａ）において、
ボールねじの回転軸11の両端を図（ｂ）に示す風孔Hs1,
Hs2,Hs3を有する支持板161,162で軸支する。支持板の中
央の円形孔Hcは回転軸11の軸受け用のものである。各支
持板に対して外方に排気ボックス31,32を設けて外部に
対して気密とする。また移動子12の下部に図（ｃ）に示
す空気孔4aを有する隔離板４を取り付けてハウジング15
の底面との間に適当な寸法のエア通路を設ける。さら
に、ハウジング15の底面の中央に排気孔153を設け、こ
れにより排気パイプ５により排気ポンプ６に接続する。
排気ポンプ６の容量は、ハウジング15の体積と移動子12
の移動速度などから計算により求められる。
るボールねじ移動機構のクリーン化機構の実施例の構造
図で、図（ａ）は全体の側面を、図（ｂ）は支持板を、
図（ｃ）は隔離板をそれぞれ示す。図（ａ）において、
ボールねじの回転軸11の両端を図（ｂ）に示す風孔Hs1,
Hs2,Hs3を有する支持板161,162で軸支する。支持板の中
央の円形孔Hcは回転軸11の軸受け用のものである。各支
持板に対して外方に排気ボックス31,32を設けて外部に
対して気密とする。また移動子12の下部に図（ｃ）に示
す空気孔4aを有する隔離板４を取り付けてハウジング15
の底面との間に適当な寸法のエア通路を設ける。さら
に、ハウジング15の底面の中央に排気孔153を設け、こ
れにより排気パイプ５により排気ポンプ６に接続する。
排気ポンプ６の容量は、ハウジング15の体積と移動子12
の移動速度などから計算により求められる。
以上の機構の動作を説明すると、矢印Ｂの方向に移動
子12が移動するとき、一方の側の負圧により、ハウジン
グ15の開口溝より矢印C2のエアが吸入される。これに対
して他方の側の正圧は、排気ポンプ６により矢印C1′の
経路で吸引されて外部に排出される。移動方向が反対の
ときも同様で、エアが開口溝から室内に漏れることがな
く塵埃によるクリーンルームの汚染が防止される。
子12が移動するとき、一方の側の負圧により、ハウジン
グ15の開口溝より矢印C2のエアが吸入される。これに対
して他方の側の正圧は、排気ポンプ６により矢印C1′の
経路で吸引されて外部に排出される。移動方向が反対の
ときも同様で、エアが開口溝から室内に漏れることがな
く塵埃によるクリーンルームの汚染が防止される。
［発明の効果］ 以上の説明により明らかなように、この発明によるボ
ールねじ移動機構のクリーン化機構においては、ボール
ねじの回転軸を軸支する支持板の風孔と、支持板の外方
の排気ボックスと、またハウジング内の隔離板により構
成されたエアダクトを経由して、ボールねじに発生した
塵埃を含んだエアが、排気パイプと排気ポンプにより強
制的に外部に排出されて汚染が防止されるもので、電子
部品や磁気ディスクなどの精密部品の製造、検査を行う
クリーンルーム内に使用するときは、その清浄度の維
持、向上に寄与する効果には大きいものがある。
ールねじ移動機構のクリーン化機構においては、ボール
ねじの回転軸を軸支する支持板の風孔と、支持板の外方
の排気ボックスと、またハウジング内の隔離板により構
成されたエアダクトを経由して、ボールねじに発生した
塵埃を含んだエアが、排気パイプと排気ポンプにより強
制的に外部に排出されて汚染が防止されるもので、電子
部品や磁気ディスクなどの精密部品の製造、検査を行う
クリーンルーム内に使用するときは、その清浄度の維
持、向上に寄与する効果には大きいものがある。
第１図（ａ），（ｂ）および（ｃ）は、この発明による
ボールねじ移動機構のクリーン化機構の実施例の構造
図、第２図（ａ），（ｂ），（ｃ）および（ｄ）は、従
来のボールねじの移動機構の構造図である。 １……ボールねじ移動機構、11……回転軸、 12……移動子、121,122……突起部、 131,132……支持板、14……駆動モータ、 15……ハウジング、151,152……開口溝、 153……排気孔、161,162……支持板、 ２……被移動体、31,32……排気ボックス、 ４……隔離板、4a……空気孔、 ５……排気パイプ、６……排気ポンプ。
ボールねじ移動機構のクリーン化機構の実施例の構造
図、第２図（ａ），（ｂ），（ｃ）および（ｄ）は、従
来のボールねじの移動機構の構造図である。 １……ボールねじ移動機構、11……回転軸、 12……移動子、121,122……突起部、 131,132……支持板、14……駆動モータ、 15……ハウジング、151,152……開口溝、 153……排気孔、161,162……支持板、 ２……被移動体、31,32……排気ボックス、 ４……隔離板、4a……空気孔、 ５……排気パイプ、６……排気ポンプ。
Claims (1)
- 【請求項１】ボールねじと、上面に該ボールねじの移動
子に対する開口溝を有するハウジングとよりなる移動機
構において、該ボールねじの回転軸の支持板に設けた風
孔と、該支持板の外方に設けた排気ボックス、および上
記ハウジングの内部の上記ボールねじの下部に設けら
れ、空気孔を適当に分散して穿孔した隔離板とによりエ
アダクトを構成し、上記移動子の移動により生ずる負の
風圧に対して上記ハウジングの開口溝よりエア吸入し、
正の風圧に対して上記エアダクトを経由して上記ハウジ
ングの底面に設けられた排気孔と、該排気孔に接続され
た排気ポンプにより、上記ボールねじに発生した塵埃を
含むエアを外部に排出することを特徴とする、ボールね
じ移動機構のクリーン化機構。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP7439889A JP2652884B2 (ja) | 1989-03-27 | 1989-03-27 | ボールねじ移動機構のクリーン化機構 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP7439889A JP2652884B2 (ja) | 1989-03-27 | 1989-03-27 | ボールねじ移動機構のクリーン化機構 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH02253039A JPH02253039A (ja) | 1990-10-11 |
| JP2652884B2 true JP2652884B2 (ja) | 1997-09-10 |
Family
ID=13546043
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP7439889A Expired - Lifetime JP2652884B2 (ja) | 1989-03-27 | 1989-03-27 | ボールねじ移動機構のクリーン化機構 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2652884B2 (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2009103262A (ja) * | 2007-10-25 | 2009-05-14 | Nsk Ltd | 直線移動装置 |
| JP2012087941A (ja) * | 2012-02-10 | 2012-05-10 | Nsk Ltd | 直線移動装置 |
Families Citing this family (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US5228353A (en) * | 1990-12-25 | 1993-07-20 | Nsk, Ltd. | Ball screw device |
| JP3414042B2 (ja) | 1995-04-18 | 2003-06-09 | 日本精工株式会社 | 低発塵直動アクチュエータ |
| JP2003090411A (ja) * | 2001-09-19 | 2003-03-28 | Hitachi Electronics Eng Co Ltd | ボールねじ移動機構 |
| JP4155781B2 (ja) * | 2001-11-26 | 2008-09-24 | 日本トムソン株式会社 | スライド装置のシール構造 |
-
1989
- 1989-03-27 JP JP7439889A patent/JP2652884B2/ja not_active Expired - Lifetime
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2009103262A (ja) * | 2007-10-25 | 2009-05-14 | Nsk Ltd | 直線移動装置 |
| JP2012087941A (ja) * | 2012-02-10 | 2012-05-10 | Nsk Ltd | 直線移動装置 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH02253039A (ja) | 1990-10-11 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| EP0038030A1 (en) | Air-flow system for a disk file | |
| JP2652884B2 (ja) | ボールねじ移動機構のクリーン化機構 | |
| JPH08290384A (ja) | 低発塵直動アクチュエータ | |
| JPH02287998A (ja) | 磁気デイスク駆動装置及びその空気濾過装置 | |
| JPH0798129A (ja) | 分離型空気調和機 | |
| US5380246A (en) | Dust suction apparatus | |
| JPH11347937A (ja) | 研磨加工室の換気構造 | |
| JP4214596B2 (ja) | 無塵ゴム練り機 | |
| JPS6288195A (ja) | 磁気記録装置 | |
| JP2004185662A (ja) | 検査装置用送風装置及びそれを備えた検査装置筐体 | |
| JPH0516092A (ja) | 直交型ロボツトの集塵構造 | |
| JPS62241693A (ja) | 産業用ロボツト | |
| JPS6222290A (ja) | 磁気デイスク装置 | |
| JPH06221634A (ja) | クリーンルーム用の局所クリーンユニット | |
| JP2003090411A (ja) | ボールねじ移動機構 | |
| JPH02106282A (ja) | 産業用ロボット | |
| JPH0429153B2 (ja) | ||
| JPH05174523A (ja) | 回転円板形記憶装置 | |
| JP2001110869A (ja) | 集塵機構を備えた軌道走行台車 | |
| JPH0520762Y2 (ja) | ||
| JPS6059664B2 (ja) | 磁気デイスク装置 | |
| JPS6034279Y2 (ja) | 無塵室装置 | |
| JPH03263680A (ja) | 磁気ディスク装置 | |
| JPS63224783A (ja) | 除塵装置 | |
| JPS6314755Y2 (ja) |
Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| S533 | Written request for registration of change of name |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R313533 |
|
| R350 | Written notification of registration of transfer |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R350 |
|
| S111 | Request for change of ownership or part of ownership |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R313111 |
|
| R350 | Written notification of registration of transfer |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R350 |
|
| R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (prs date is renewal date of database) |
Year of fee payment: 11 Free format text: PAYMENT UNTIL: 20080523 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (prs date is renewal date of database) |
Year of fee payment: 12 Free format text: PAYMENT UNTIL: 20090523 |
|
| EXPY | Cancellation because of completion of term |