JP2009103262A - 直線移動装置 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】柱状のねじ軸3と、ねじ軸3にボール6を介して螺合して直線往復移動可能に支持されたボールねじナット5と、ねじ軸3の両端部を回転自在に支持するサポートユニット14とを備えた直線移動装置24に、サポートユニット14のボールねじナット5側の端面と、ボールねじナット5のサポートユニット14側の端面との間に、それぞれねじ軸3の外周面を覆うジャバラ10を設けると共に、サポートユニット14のボールねじナット5の反対側の端面に吸排口20を有する密封キャップ18を設け、サポートユニット14の支持板15に設けた、ねじ軸3の軸方向に貫通する通気穴22により、ジャバラ10の内部空間と、密封キャップの内部空間とを連通し、吸排口20に接続するホース19をクリーンルームの外部に通じさせる。
【選択図】 図1
Description
本発明は、上記の問題点を解決するためになされたもので、ボールねじ装置等を用いた直線移動装置からの発塵の漏れを、確実に防止する手段を提供することを目的とする。
図1において、1はボールねじ装置であり、円柱状部材の外周面に円弧状断面形状の軸軌道溝2が所定のリードで螺旋状に形成されたガイド体としてのねじ軸3と、円筒状部材の内周面に軸軌道溝2と対向する円弧状断面形状のナット軌道溝4が軸軌道溝2と同じリードで形成された移動体としてのボールねじナット5とを、軸軌道溝2とこれに対向するナット軌道溝4とにより形成される負荷路を転動する鋼球等のボール6により螺合させて形成される。
これにより、ボールねじナット5と、両側のサポートユニット14との間のねじ軸3の外周面が、ジャバラ10により樹脂材料の弾性を利用した密封性が確保された状態で、伸縮自在に覆われ、ボールねじナット5の直線移動を可能にすると共に、ボールねじ装置1の発塵の外部への漏れを防止する。
22は通気穴であり、支持板15の取付部17の半径方向の内側で、支持板15をねじ軸3の軸方向に貫通する貫通穴(図2参照)であって、複数設けられており、ジャバラ10の内部空間(ジャバラ10の内周面とねじ軸3の外周面、およびボールねじナット5の端面とサポートユニット14の端面とで囲まれた空間をいう。)と、密封キャップ18の内部空間とを連通する機能を有している。
本実施例の直線移動装置24は、クリーンルームの内部に設置されており、密封キャップ18の吸排口20に接続するホース19は、クリーンルームの外部に通じている。
このとき、本実施例のサポートユニット14の支持板15には、通気穴22が設けられ、ジャバラ10の内部空間と密封キャップ18の内部空間とを連通しているので、圧縮側のジャバラ10の内部空間の空気は、圧縮により生じた正圧により、通気穴22、密封キャップ18、吸排口20、ホース19を経由してクリーンルームの外部に導かれて排出され、伸張側のジャバラ10の内部空間へは、伸張により生じた負圧により、ホース19、吸排口20、密封キャップ18、通気穴22を経由してクリーンルームの外部から導かれた空気が吸引され、ボールねじナット5の移動が円滑に行われると共に、ジャバラ10の内部空間とクリーンルームの内部とが隔離され、ボールねじ装置1の発塵がクリーンルームの内部に漏れ出すことを防止する。
また、ジャバラ10は、ボールねじナット5とサポートユニット14のそれぞれの取付部11、17にホースバンド12a、12bにより固定されているので、圧縮側のジャバラ10の内部の圧力が僅かに上昇したとしても、取付部11、17における密封性を保つことができ、クリーンルームの内部にボールねじ装置1の発塵が漏れ出すことはない。
以上説明したように、本実施例では、柱状のねじ軸と、そのねじ軸にボールを介して螺合して直線往復移動可能に支持されたボールねじナットと、ねじ軸の両端部を回転自在に支持するサポートユニットとを備えた直線移動装置に、サポートユニットのボールねじナット側の端面と、ボールねじナットのサポートユニット側の端面との間に、それぞれねじ軸の外周面を覆うジャバラを設けると共に、サポートユニットのボールねじナットの反対側の端面に吸排口を有する密封キャップを設け、サポートユニットの支持板に設けたねじ軸の軸方向に貫通する通気穴により、ジャバラの内部空間と、密封キャップの内部空間とを連通するようにしたことによって、ホースを密封キャップの吸排口を介して通気穴に連通させ、ジャバラの内部空間とクリーンルームの外部とを連通させて、ジャバラの内部空間とクリーンルームの内部とを隔離することができ、ボールねじ装置からの発塵の、クリーンルームの内部への漏れを確実に防止することができる。
なお、上記実施例1と同様の部分は、同一の符号を付してその説明を省略する。
本実施例の直線移動装置30においては、図3に示すように、上記実施例1と同様に構成されたボールねじ装置1のボールねじナット5と、両側のサポートユニット14とのそれぞれの端面間に、実施例1と同様の材料で同様に形成されたジャバラ32がそれぞれ配置されており、そのジャバラ32のサポートユニット14側の端部には、ジャバラ32の半径方向の外側に貫通する通気穴33が設けられ、それぞれの通気穴33にホース19が直接接続されている。
本実施例の直線移動装置30は、実施例1と同様に、クリーンルームの内部に設置され、ジャバラ32の通気穴33に直接接続されたホース19は、クリーンルームの外部に通じている。
なお、上記実施例1および実施例2と同様の部分は、同一の符号を付してその説明を省略する。
図5において、41はボールスプライン装置であり、円柱状部材の外周面に円弧状断面形状のボールスプライン溝42が軸方向に沿って所定の角度ピッチで直線状に形成されたガイド体としてのボールスプライン軸43と、円筒状部材の内周面にボールスプライン溝42と対向する円弧状断面形状の図示しないボールスプライン溝がボールスプライン溝42と同じ角度ピッチで形成された移動体としてのボールスプラインナット45とを、ボールスプライン軸43のボールスプライン溝42とこれに対向するボールスプラインナット45の図示しないボールスプライン溝とにより形成される負荷路を転動する鋼球等の図示しないボールにより嵌合させて形成される。
また、ボールスプラインナット45の両側の端面には、ジャバラ32の一方の端部の円筒部を嵌合させる実施例1の取付部11と同様の図示しない取付部が設けられている。
また、サポート板46のボールスプラインナット45側の端面には、図6に示すように、ジャバラ32の他方の端部の円筒部を嵌合させる実施例1と同様の取付部17が設けられている。
上記したボールスプライン装置41の負荷路の両端部は、ボールスプラインナット45に形成された図示しない連通路により連通されて循環路が形成され、この循環路には、複数のボールと所定の量の潤滑剤、例えばグリースが装填され、実施例1のボールねじ装置1等により直線的に駆動される移動台の移動に伴って、ボールスプラインナット45がサポート板46に両端部を固定されたボールスプライン軸43を直線的に移動するときに、ボールが循環路を循環し、負荷路を転動するボールがボールスプラインナット45に加えられた荷重を支持して、ボールスプラインナット45が、ボールスプライン軸43の軸方向に沿った直線往復移動可能に支持される。
本実施例の直線移動装置48は、クリーンルームの内部に設置されており、ジャバラ32の通気穴33に直接に接続するホース19は、クリーンルームの外部に通じている。
なお、上記実施例1、実施例2および実施例3と同様の部分は、同一の符号を付してその説明を省略する。
図6において、51はスプラインナット装置であり、円柱状部材の外周面に台形断面形状の外歯のスプライン52が軸方向に沿って所定の角度ピッチで直線状に形成されたガイド体としてのスプライン軸53と、円筒状部材の内周面にスプライン52に遊嵌する図示しない内歯のスプラインが形成された移動体としてのスプラインナット55とで滑り軸受を形成して構成される。
また、スプラインナット55の両側の端面には、ジャバラ32の一方の端部の円筒部を嵌合させる実施例1の取付部11と同様の図示しない取付部が設けられており、サポート板46の取付部17に他方の端部の円筒部を嵌合させたジャバラ32により、スプラインナット55と両側のサポート板46の間のスプライン軸53の外周面が、樹脂材料の弾性を利用した密封性が確保された状態で伸縮自在に覆われ、スプラインナット55の直線移動を可能にすると共に、スプラインナット装置51の発塵の外部への漏れを防止する。
本実施例の直線移動装置58は、クリーンルームの内部に設置されており、ジャバラ32の通気穴33に直接に接続するホース19は、クリーンルームの外部に通じている。
更に、上記各実施例においては、ジャバラに複数のひだを設けるとして説明したが、これらのひだを螺旋状に連結して螺旋構造に形成するようにしてもよい。この場合に螺旋構造の螺旋の捩れ方向を、ボールねじ装置のねじ軸の軸軌道溝の螺旋の捩れ方向と逆方向に設定すれば、ジャバラが撓んでねじ軸と接触したとしても、軸軌道溝とジャバラの捩れ方向が逆方向であるので、螺旋構造のジャバラの谷部の稜線が軸軌道溝に噛み込むことを防止することができる。
更に、上記各実施例においては、通気穴に連通するホースの反対側の端部は、クリーンルームの外部に通じているとして説明したが、ホースの反対側の端部を吸排装置に接続して、ジャバラの伸縮に応じて自動切換えにより空気を高速で吸排するようにしてもよい。このようにすれば、高速で往復移動する移動体をより円滑に往復移動させることが可能になる。
2 軸軌道溝
3 ねじ軸
4 ナット軌道溝
5 ボールねじナット
6 ボール
7、63 フランジ部
8 嵌合部
10、32 ジャバラ
11、17 取付部
12a、12b ホースバンド
14 サポートユニット
15 支持板
15a、46a 嵌合穴
15b、46b 座部
18 密封キャップ
19 ホース
20 吸排口
22、33 通気穴
24、30、48、58 直線移動装置
41 ボールスプライン装置
42 ボールスプライン溝
43 ボールスプライン軸
45 ボールスプラインナット
46 サポート板
51 スプラインナット装置
52 スプライン
53 スプライン軸
55 スプラインナット
61 ホースクリップ
64 固定板
65 段付ボルト穴
66 ボルト
Claims (7)
- 柱状のガイド体と、前記ガイド体に直線往復移動可能に支持された移動体と、前記ガイド体の両端部を支持する支持体とを備えた直線移動装置において、
前記支持体の前記移動体側の端面と、前記移動体の前記支持体側の端面との間に、それぞれ前記ガイド体の外周面を覆うジャバラを設け、
前記支持体に、前記ガイド体の軸方向に貫通する通気穴を設けたことを特徴とする直線移動装置。 - 柱状のガイド体と、前記ガイド体に直線往復移動可能に支持された移動体と、前記ガイド体の両端部を支持する支持体とを備えた直線移動装置において、
前記支持体の前記移動体側の端面と、前記移動体の前記支持体側の端面とのそれぞれ間に、前記ガイド体の外周面を覆うジャバラを設け、
前記それぞれのジャバラに通気穴を設けたことを特徴とする直線移動装置。 - 請求項1または請求項2において、
前記それぞれの通気穴を、連通させたことを特徴とする直線移動装置。 - 請求項1または請求項2において、
前記通気穴を、それぞれ吸排装置に接続したことを特徴とする直線移動装置。 - 請求項1ないし請求項4のいずれか一項において、
前記ジャバラは、樹脂材料で形成されていることを特徴とする直線移動装置。 - 請求項1ないし請求項4のいずれか一項において、
前記ジャバラは、金属材料で形成されていることを特徴とする直線移動装置。 - 請求項1ないし請求項6のいずれか一項において、
前記ガイド体が、ボールねじ装置のねじ軸である場合に、
前記ジャバラを螺旋構造とし、前記ジャバラの螺旋の捩れ方向と、前記ねじ軸に形成された軸軌道溝の螺旋の捩れ方法とを、逆方向に設定したことを特徴とする直線移動装置。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2007277229A JP2009103262A (ja) | 2007-10-25 | 2007-10-25 | 直線移動装置 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
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JP2007277229A JP2009103262A (ja) | 2007-10-25 | 2007-10-25 | 直線移動装置 |
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Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2012027433A Division JP5234198B2 (ja) | 2012-02-10 | 2012-02-10 | 直線移動装置 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2009103262A true JP2009103262A (ja) | 2009-05-14 |
Family
ID=40705130
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
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JP2007277229A Pending JP2009103262A (ja) | 2007-10-25 | 2007-10-25 | 直線移動装置 |
Country Status (1)
Country | Link |
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JP (1) | JP2009103262A (ja) |
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2007
- 2007-10-25 JP JP2007277229A patent/JP2009103262A/ja active Pending
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|
A131 | Notification of reasons for refusal |
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|
A977 | Report on retrieval |
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|
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