JPS62180115A - 静圧気体直線案内装置 - Google Patents
静圧気体直線案内装置Info
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- JPS62180115A JPS62180115A JP2073086A JP2073086A JPS62180115A JP S62180115 A JPS62180115 A JP S62180115A JP 2073086 A JP2073086 A JP 2073086A JP 2073086 A JP2073086 A JP 2073086A JP S62180115 A JPS62180115 A JP S62180115A
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- Japan
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- gas
- movable body
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- 230000003068 static effect Effects 0.000 title claims description 4
- 239000007789 gas Substances 0.000 description 31
- PNEYBMLMFCGWSK-UHFFFAOYSA-N Alumina Chemical compound [O-2].[O-2].[O-2].[Al+3].[Al+3] PNEYBMLMFCGWSK-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 239000000853 adhesive Substances 0.000 description 1
- 230000001070 adhesive effect Effects 0.000 description 1
- 230000008602 contraction Effects 0.000 description 1
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 1
- 238000005516 engineering process Methods 0.000 description 1
- 230000002706 hydrostatic effect Effects 0.000 description 1
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- 239000000463 material Substances 0.000 description 1
- 229920001084 poly(chloroprene) Polymers 0.000 description 1
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- 238000009423 ventilation Methods 0.000 description 1
Landscapes
- Magnetic Bearings And Hydrostatic Bearings (AREA)
- Bearings For Parts Moving Linearly (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔産業上の利用分野〕
本発明は超高精度の測定器、加工機などを構成する可動
体を備えた直線案内装置に関するものである。
体を備えた直線案内装置に関するものである。
従来から用いられている基本的な静圧気体直線案内装置
（以下、案内装置と略称する）は第１図に示すように両
端の支持台１で支持された固定体２に可動体３を挿通し
、これら固定体２と可動体３との間に形成した微小な間
隙Ｓに加圧気体を噴出させ、これにより可動体３だけで
なく、この可動体３に負荷せしめた荷重を浮上させた状
態で保持し、かつ他の図示してない駆動装置からのわず
かな駆動力でもって直線運動を行うようになっている。
（以下、案内装置と略称する）は第１図に示すように両
端の支持台１で支持された固定体２に可動体３を挿通し
、これら固定体２と可動体３との間に形成した微小な間
隙Ｓに加圧気体を噴出させ、これにより可動体３だけで
なく、この可動体３に負荷せしめた荷重を浮上させた状
態で保持し、かつ他の図示してない駆動装置からのわず
かな駆動力でもって直線運動を行うようになっている。
なお、かかる案内装置では一般に可動体３に気体噴出孔
が設けられ、これら噴出孔の形状及び可動体３の形状、
間隙Ｓなどは噴出気体圧力、流量との関係から決定され
る。
が設けられ、これら噴出孔の形状及び可動体３の形状、
間隙Ｓなどは噴出気体圧力、流量との関係から決定され
る。
畝上のような案内装置は大気圧下で使用される機器、装
置に組込まれて使用される限りにおいては、固定体２と
可動体３との間の間隙Ｓから排出される気体は周囲にそ
のまま放出されているが、この種の案内装置ではボール
、コロなどを介在せしめた直線案内装置よりも位置決め
精度が高いことから、超高精度が要求される半導体製造
装置、磁気ディスク検査装置などに広く使用されている
。
置に組込まれて使用される限りにおいては、固定体２と
可動体３との間の間隙Ｓから排出される気体は周囲にそ
のまま放出されているが、この種の案内装置ではボール
、コロなどを介在せしめた直線案内装置よりも位置決め
精度が高いことから、超高精度が要求される半導体製造
装置、磁気ディスク検査装置などに広く使用されている
。
しかしながら、上記案内装置を大気圧下でなく真空雰囲
気中での使用においては、間隙を維持するには気体供給
量がその差圧分だけ多くなる。すなわち真空雰囲気中へ
多量の気体が噴出し、その結果一定の真空雰囲気をたも
つには大きな排出容量をもった真空ポンプを必要とし、
装置全体の大型化をもたらすばかりでなく、機器の運転
操作の面からも好ましいものではなかった。
気中での使用においては、間隙を維持するには気体供給
量がその差圧分だけ多くなる。すなわち真空雰囲気中へ
多量の気体が噴出し、その結果一定の真空雰囲気をたも
つには大きな排出容量をもった真空ポンプを必要とし、
装置全体の大型化をもたらすばかりでなく、機器の運転
操作の面からも好ましいものではなかった。
ｃ問題点を解決するための手段〕
上記に鑑みて、可動体と固定体との間隙に供給し、排出
した気体を可撓性をもった外囲体でもって放出を防止せ
しめ、該外囲体によって集めた気体を他の雰囲気に放出
したり、もしくは供給気体として回収して、再利用する
ようにしたことを特徴とする。
した気体を可撓性をもった外囲体でもって放出を防止せ
しめ、該外囲体によって集めた気体を他の雰囲気に放出
したり、もしくは供給気体として回収して、再利用する
ようにしたことを特徴とする。
以下、図によって実施例を説明する。
第２図には本発明実施例を示し、■は支持台で、固定体
２を両端から支持している。また、３は図示してない負
荷物体を取付ける可動体であって、上記固定体２を摺動
軸として図中矢印で示した方向に、図示してない駆動装
置によって直線運動するように構成されている。
２を両端から支持している。また、３は図示してない負
荷物体を取付ける可動体であって、上記固定体２を摺動
軸として図中矢印で示した方向に、図示してない駆動装
置によって直線運動するように構成されている。
このうち可動体３には気体導入口３ａと、この気体導入
口３ａと連通した通気孔３ｂ及び固定体２の表面に対面
した位置に気体案内溝３ｃが形成しである。
口３ａと連通した通気孔３ｂ及び固定体２の表面に対面
した位置に気体案内溝３ｃが形成しである。
また、これら固定体２と可動体３との間には固定体２の
外周を被う如く、可動体３が移動する両側には気密性と
伸縮自在の可撓性をもった外囲体４．５が被覆してあり
、この外囲体４，５の各内部空間は排気口６．７によっ
て外部と連通され、気体が排出されるようになっている
。
外周を被う如く、可動体３が移動する両側には気密性と
伸縮自在の可撓性をもった外囲体４．５が被覆してあり
、この外囲体４，５の各内部空間は排気口６．７によっ
て外部と連通され、気体が排出されるようになっている
。
次に、上記のように構成された本発明案内装置の作動を
説明すると、可動体３には不図示の加工装置、測定装置
など、いわゆる負荷装置が架装してあり、図示してない
駆動装置によって直線移動ができるようになっているが
、この場合、可動体３の気体導入口３ａに連通したパイ
プを通じて圧縮気体が送られ、通気孔３ｂ、気体案内溝
３ｃを経て、固定体２の表面と可動体３の内壁面との間
に形成された微小間隙Ｓに気体が存在するとともに噴出
することによって円滑なる可動体３の移動ができる。こ
のように気体の噴出によって可動体３を円滑に移動させ
ることができるが、間隙Ｓより噴出した気体は外囲体４
．５の内部空間より気体排出口６．７から回収され、大
気中に放出あるいは循環させることによって再利用され
る。なお、外囲体４，５は可動体３の移動に伴って伸縮
運動するが、この伸縮運動に要する力により可動体３の
運動精度が損なわれないように外囲体４，５の材質、形
状を選定し、かつ固定体２、可動体３の形状等に配慮を
する必要がある。
説明すると、可動体３には不図示の加工装置、測定装置
など、いわゆる負荷装置が架装してあり、図示してない
駆動装置によって直線移動ができるようになっているが
、この場合、可動体３の気体導入口３ａに連通したパイ
プを通じて圧縮気体が送られ、通気孔３ｂ、気体案内溝
３ｃを経て、固定体２の表面と可動体３の内壁面との間
に形成された微小間隙Ｓに気体が存在するとともに噴出
することによって円滑なる可動体３の移動ができる。こ
のように気体の噴出によって可動体３を円滑に移動させ
ることができるが、間隙Ｓより噴出した気体は外囲体４
．５の内部空間より気体排出口６．７から回収され、大
気中に放出あるいは循環させることによって再利用され
る。なお、外囲体４，５は可動体３の移動に伴って伸縮
運動するが、この伸縮運動に要する力により可動体３の
運動精度が損なわれないように外囲体４，５の材質、形
状を選定し、かつ固定体２、可動体３の形状等に配慮を
する必要がある。
（実施例）
固定体２、可動体３を９９％純度のアルミナセラミック
で次の諸元のものを製作した。
で次の諸元のものを製作した。
固定体断面： ８０ｍｍ Ｘ ８０ｍｍ固定体全長：３
５０ＩＩＩＩ１１ 可動体外形寸法： １４０ｍｍ Ｘ １４０ｍｍ Ｘ
２００ｍｍ有効ストローク： ５０ｍｍ 気体案内溝：幅ＩＩＩＩＩ１１ 深さ２５μｍ間隙Ｓ
ニアμｍ かかる諸元のもとに、外囲体２をネオブレンゴムで製作
し、接着剤でもって両端を固定体２、可動体３に対して
気密的に固定し構成した案内装置を１０− ’Ｔｏｒｒ
に保たれた真空容器中に設置して、気体導入口３ａを通
じて４Ｋｇ／ ｃｎ！の加圧気体を、１５Ｎ１／分の気
体流量を供給した。
５０ＩＩＩＩ１１ 可動体外形寸法： １４０ｍｍ Ｘ １４０ｍｍ Ｘ
２００ｍｍ有効ストローク： ５０ｍｍ 気体案内溝：幅ＩＩＩＩＩ１１ 深さ２５μｍ間隙Ｓ
ニアμｍ かかる諸元のもとに、外囲体２をネオブレンゴムで製作
し、接着剤でもって両端を固定体２、可動体３に対して
気密的に固定し構成した案内装置を１０− ’Ｔｏｒｒ
に保たれた真空容器中に設置して、気体導入口３ａを通
じて４Ｋｇ／ ｃｎ！の加圧気体を、１５Ｎ１／分の気
体流量を供給した。
一方排出口６，７からの排気量も１５Ｎｌ／分で実質的
に全量が回収された。
に全量が回収された。
畝上のように本発明によれば、固定体と可動体との間隙
から噴出せしめた気体を、包囲状態で設置した外囲体に
よって回収するようにしたことから、真空雰囲気中で使
用する場合、真空度を低下させたり、雰囲気内を汚染す
る恐れがない。
から噴出せしめた気体を、包囲状態で設置した外囲体に
よって回収するようにしたことから、真空雰囲気中で使
用する場合、真空度を低下させたり、雰囲気内を汚染す
る恐れがない。
また、回収した気体を再循環して使用すること 、から
特殊の気体を使用する場合でも、気体の消費を少なくし
、有効活用をすることができるなどすぐれた特長を有し
ている。
特殊の気体を使用する場合でも、気体の消費を少なくし
、有効活用をすることができるなどすぐれた特長を有し
ている。
第１図は在来の案内装置の要部縦断面図、第２図は本発
明実施例による静圧気体直線案内装置の縦断面図である
。 １：支持台 ２：固定体
明実施例による静圧気体直線案内装置の縦断面図である
。 １：支持台 ２：固定体
Claims (1)
- 固定体と可動体との間隙に気体を供給し、静圧気体を介
在せしめてなる直線案内装置において、上記固定体と可
動体との間に可撓性をもった外囲体を配設し、該外囲体
でもって間隙から噴出する気体を収集するようにしたこ
とを特徴とする静圧気体直線案内装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP61020730A JPH081215B2 (ja) | 1986-01-31 | 1986-01-31 | 静圧気体直線案内装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP61020730A JPH081215B2 (ja) | 1986-01-31 | 1986-01-31 | 静圧気体直線案内装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS62180115A true JPS62180115A (ja) | 1987-08-07 |
| JPH081215B2 JPH081215B2 (ja) | 1996-01-10 |
Family
ID=12035300
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP61020730A Expired - Fee Related JPH081215B2 (ja) | 1986-01-31 | 1986-01-31 | 静圧気体直線案内装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH081215B2 (ja) |
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2009103262A (ja) * | 2007-10-25 | 2009-05-14 | Nsk Ltd | 直線移動装置 |
| JP2010048303A (ja) * | 2008-08-20 | 2010-03-04 | Myotoku Ltd | エアスライド装置 |
| WO2015098122A1 (ja) * | 2013-12-26 | 2015-07-02 | 日本精工株式会社 | 直動案内軸受装置、搬送装置及び工作機械 |
Citations (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS538458U (ja) * | 1976-07-07 | 1978-01-24 | ||
| JPS59175621A (ja) * | 1983-03-25 | 1984-10-04 | Yoshio Aoyama | スクリユ−軸の軸受 |
| JPS60143902U (ja) * | 1984-03-06 | 1985-09-24 | 太陽鉄工株式会社 | 低摩擦型流体圧シリンダ− |
-
1986
- 1986-01-31 JP JP61020730A patent/JPH081215B2/ja not_active Expired - Fee Related
Patent Citations (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS538458U (ja) * | 1976-07-07 | 1978-01-24 | ||
| JPS59175621A (ja) * | 1983-03-25 | 1984-10-04 | Yoshio Aoyama | スクリユ−軸の軸受 |
| JPS60143902U (ja) * | 1984-03-06 | 1985-09-24 | 太陽鉄工株式会社 | 低摩擦型流体圧シリンダ− |
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2009103262A (ja) * | 2007-10-25 | 2009-05-14 | Nsk Ltd | 直線移動装置 |
| JP2010048303A (ja) * | 2008-08-20 | 2010-03-04 | Myotoku Ltd | エアスライド装置 |
| WO2015098122A1 (ja) * | 2013-12-26 | 2015-07-02 | 日本精工株式会社 | 直動案内軸受装置、搬送装置及び工作機械 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH081215B2 (ja) | 1996-01-10 |
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |