JP2010048303A - エアスライド装置 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】本発明は、シリンダ11の内部に給排される駆動用エアにより往復動する内側移動体14と、内側移動体14との間で作用する磁石32,37a,37bの吸引力により内側移動体14と共に往復動する外側移動体16と、外側移動体16の両端部においてシリンダ11の外周面に覆設される蛇腹18と、シリンダ11の外周面と外側移動体16との間の隙間15に浮上用エアを供給する浮上用エア供給設備19と、浮上用エア供給設備19によって隙間15に供給された浮上用エアをシリンダ11の外周面と蛇腹18との間のエア流路17を介してタンク20に戻す浮上用エア回収設備21とを備えていることを特徴とする。
【選択図】図1
Description
11 シリンダ
14 内側移動体
16 外側移動体
17 エア流路
18 蛇腹
19 浮上用エア供給設備
21 浮上用エア回収設備
32 磁石
35a,35b 一方の組のブロック体
36a,36b 他方の組のブロック体
37a,37b 磁石
42a,42b 位置決め手段
43a,43b 連結部材
44a,44b 内外移動部材
Claims (4)
- シリンダの内部に給排される駆動用エアにより該シリンダの内部で往復動する内側移動体と、
前記シリンダの外周面に所定の隙間を介して対向するように設けられ、前記内側移動体との間で作用する磁石の吸引力により該内側移動体と共に往復動する外側移動体と、
該外側移動体の両端部において前記シリンダの外周面に覆設され、該シリンダの外周面との間にエア流路を形成する蛇腹と、
前記シリンダの外周面と前記外側移動体との間に浮上用エアを供給し、前記外側移動体を前記シリンダの外周面に対して所定の隙間を隔てて非接触状態に維持する浮上用エア供給設備と、
該浮上用エア供給設備によって前記シリンダの外周面と前記外側移動体との間の隙間に供給された浮上用エアを前記シリンダの外周面と前記蛇腹との間のエア流路を介してタンクに戻す浮上用エア回収設備と、
を備えていることを特徴とするエアスライド装置。 - 前記外側移動体は前記シリンダの周方向に亘って設けられていると共に該シリンダの周方向に沿って複数に分割されており、該分割された複数の外部移動体と前記シリンダの外周面との間の各隙間に供給する浮上用エアをそれぞれ別々に制御可能なように構成されている請求項1に記載のエアスライド装置。
- 前記シリンダは直方体形状を成し、前記外側移動体は該シリンダを挟んで平行を成す2組のブロック体を備えている請求項1又は2に記載のエアスライド装置。
- 前記一方の組のブロック体の両側縁部を連結する連結部材と、該連結部材に挿設されて内外方向に移動自在の内外移動部材とを備えた位置決め手段が設けられており、前記他方の組のブロック体は、該位置決め手段の内側において前記一方の組のブロック体の間に介装されており、前記内外移動部材の内側先端部が前記他方の組のブロック体に当接されることにより該他方の組のブロック体の取付位置を調整可能なように構成されている請求項3に記載のエアスライド装置。
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JP2008211764A JP5047098B2 (ja) | 2008-08-20 | 2008-08-20 | エアスライド装置 |
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Citations (3)
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---|---|---|---|---|
JPS62180115A (ja) * | 1986-01-31 | 1987-08-07 | Kyocera Corp | 静圧気体直線案内装置 |
JP2001143984A (ja) * | 1999-11-16 | 2001-05-25 | Canon Inc | 位置決め装置 |
JP2002106562A (ja) * | 2000-09-28 | 2002-04-10 | Kyocera Corp | 静圧気体直線案内装置 |
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Patent Citations (3)
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