CN103946568A - 空气滑动装置 - Google Patents

Abstract

提供一种用于小尺寸、轻重量空气滑动装置的结构，在该空气滑动装置中，滑动器的行进稳定性很高。该空气滑动装置(1)包括：轨道(2)，具有由磁性物质形成的滑动器引导表面(211、212)；以及滑动器(3)，它在轨道(2)的长度方向(X)上在轨道(2)的滑动器引导表面(211、212)上以非接触方式运动。滑动器(3)包括：滑板(31)，按字母L的形状组合；以及第一和第二气体轴承(4A、4B)，附接至相应滑板(31)，从而定位在相应滑板(31)与轨道(2)之间。第一和第二气体轴承(4A、4B)的每一个包括：磁性力产生部分(41)，它产生磁性力；以及压缩空气供给部分(42)，它绕磁性力产生部分(41)布置，并且排出压缩空气。压缩空气供给部分(42)的端面(421)和磁性力产生部分(41)的端面(411)一起构成支撑表面(40)，该支撑表面以非接触方式与轨道(2)的每个滑动器引导表面(211、212)相对。

Description

空气滑动装置

技术领域

本发明涉及一种空气滑动装置，这种空气滑动装置具有滑块，该滑块在轨道上以非接触方式运动，并且本发明特别是涉及一种空气滑动装置的结构，这种空气滑动装置在轨道上具有高的运动稳定性，并且适于实现尺寸和重量的减小。

背景技术

专利文献1公开了一种流体静力气体轴承，这种流体静力气体轴承可稳定且没有接触地支撑待被支撑的甚至轻重量物体。这种流体静力气体轴承在其与待被支撑的物体没有接触地相对的支撑表面上包括第一和第二多孔表面，并且包括隔离壁的端面，该隔离壁将第二多孔表面与第一多孔表面隔开。在第一和第二多孔表面的每一个中，形成大量的细孔。第一多孔表面的细孔连接至压缩空气供给泵，该压缩空气供给泵用来穿过开口排出压缩空气。并且第二多孔表面的细孔连接至空气抽吸泵，该空气抽吸泵用来将空气抽吸到开口中。第二多孔表面与第一多孔表面大体平齐。

根据以上结构，在专利文献1中描述的流体静力气体轴承，由于在由压缩空气供给泵实现的从第一多孔表面的空气排出、由空气抽吸泵实现的到第二多孔表面的空气抽吸、以及轴承或物体的重量之间的平衡，可稳定且没有接触地支撑待被支撑的甚至轻重量物体。

引用清单

专利文献

专利文献1：日本未审查专利申请公开No.2005-214290

发明内容

技术问题

有一种空气滑动装置，已知的是，将流体静力气体轴承安装在滑动器的滑板上，并且流体静力气体轴承的支撑表面与轨道表面相对，从而使滑动器在轨道上以非接触方式运动。在其中在专利文献1中描述的流体静力气体轴承用于这样一种空气滑动装置的情况下，产生如下问题。

就是说，由于在专利文献1中描述的流体静力气体轴承通过将空气抽吸到第二多孔表面中而吸引待被支撑的物体，所以可以由比大气压力大的力吸引物体。因此，在专利文献1中描述的流体静力气体轴承使其刚度低。例如，当将外力施加到滑板而引起负载变化时，滑动器在轨道上的运动可能变得不稳定。

进一步，专利文献1中描述的流体静力气体轴承除压缩空气供给泵之外还需要空气抽吸泵，压缩空气供给泵用来从第一多孔表面排出压缩空气，该空气抽吸泵用来将空气抽吸到第二多孔表面中。因此，使用这种流体静力气体轴承的空气滑动装置变得更大和更重。

考虑到以上情形已经形成本发明。本发明的目的是，提供一种空气滑动装置的结构，这种空气滑动装置具有滑动器的高运动稳定性，并且适于尺寸和重量的减小。

问题的解决方案

为了解决以上问题，本发明使用配对部件，并且提供滑动器，该配对部件具有磁化的滑动引导表面，该滑动器借助于至少一个流体静力气体轴承沿滑动引导表面运动，该至少一个流体静力气体轴承具有与滑动引导表面相对的支撑表面。流体静力气体轴承设有磁性力产生装置和压缩空气供给装置。磁性力产生装置产生相对地将滑动引导表面向支撑表面吸引的磁性力，并且压缩空气供给装置将压缩空气排出到滑动引导表面与支撑表面之间的间隙中。

例如，本发明提供一种空气滑动装置，这种空气滑动装置包括滑动器，该滑动器相对于配对部件以非接触方式运动，其中：

配对部件具有磁化的滑动引导表面；

滑动器包括：至少一个流体静力气体轴承，该至少一个流体静力气体轴承具有与滑动引导表面相对且没有接触的支撑表面；以及

流体静力气体轴承包括：

磁性力产生装置，所述磁性力产生装置产生相对地向支撑表面吸引滑动引导表面的磁性力；以及

压缩空气供给装置，所述压缩空气供给装置将压缩空气供给到滑动引导表面与支撑表面之间的间隙中。

本发明的有益效果

根据本发明，具有磁化的滑动引导表面的配对部件用作用于流体静力气体轴承的配对构件，并且由磁性力产生装置产生的磁性力相对地向流体静力气体轴承的支撑表面吸引磁化的滑动引导表面。因而，与其中将吸引配对构件的力约束成小于大气压力的空气抽吸的情况相比，可以实现这样一种流体静力气体轴承，这种流体静力气体轴承具有高刚度，以减小突然负载变化的影响。相应地，即使在滑动器或流体静力气体轴承上产生突然负载变化，也可保持滑动器在滑动引导表面上的稳定运动。进一步，由于不需要空气抽吸泵，所以可减小空气滑动装置作为整体的尺寸和重量。

附图说明

图1是外部视图，示出了根据本发明一个实施例的空气滑动装置1；

图2(A)、2(B)及2(C)是滑动器3的前视图、仰视图及右侧视图；

图3(A)和3(B)是第一气体轴承4A的外部视图；

图4(A)和4(B)是第一气体轴承4A的前视图和后视图；

图5(A)是在4(A)中示出的第一气体轴承的右侧视图，并且图5(B)是在4(A)中示出的第一气体轴承4A的A-A横截面图；以及

图6是用来解释本发明一个实施例的空气滑动装置1的操作原理的视图。

具体实施方式

下面，将参照附图描述本发明的实施例。

图1是外部视图，示出了根据本发明一个实施例的空气滑动装置1。图2(A)、2(B)及2(C)是滑动器3的前视图、仰视图及右侧视图；

如在图中示出的那样，本实施例的空气滑动装置1包括：轨道2，轨道2的上表面(一个滑动引导表面)211和邻接于上表面211的一个侧表面(另一个滑动引导表面)212被磁化；以及滑动器3，滑动器3以非接触方式在轨道2的滑动引导表面211和212上沿轨道2的纵向方向(在图1中的X方向)运动。

轨道2例如包括：由铝等形成的框架21；两块轨道板22(如磁性钢板)，所述两块轨道板22由内六角头螺栓51和梯形螺母55固定至框架21的两个相邻表面(轨道2的滑动引导表面211和212)。轨道2的滑动引导表面211和212由两块轨道板22的表面211和212形成。

滑动器3包括：滑板31，滑板31具有L形横截面；以及第一和第二气体轴承4A和4B，第一和第二气体轴承4A和4B安装在滑板31上，以位于滑板31与轨道2的滑动引导表面211和212之间。图2示出了一个例子，其中，使用三个第一气体轴承4A和两个第二气体轴承4B。然而，第一和第二气体轴承4A和4B的数量可根据空气滑动装置1的用途等而适当地确定。

滑板31包括：第一表面311，第一表面311与轨道2的一个滑动引导表面211相对；以及第二表面312，第二表面312与轨道2的另一个滑动引导表面212相对。这样的滑板31可例如通过将两块板32A和32B组合成L形并通过由内六角头螺栓52固定板32A和32B而制成。

在滑板31中，按与第一气体轴承4A的数量相对应的数量形成用来旋拧第一气体轴承4A的螺纹孔314，从而刺穿第一表面311和相反表面313。进一步，按与第二气体轴承4B的数量相对应的数量形成用来旋拧第二气体轴承4B的埋头孔316，从而刺穿第二表面312和相反表面315(见图6)。

进一步，在滑板31中，形成多条空气通路317A和317B，从而刺穿第二表面312和相反表面315。尽管未示出，但在与第二表面312相反表面315的侧上，至少一条空气通路317A装配有联接器，该联接器用来将压缩空气供给泵的软管与连接于相应的第一气体轴承4A的各根软管相连接。另一方面，在第二表面312的侧上，其它空气通路317B分别与第二气体轴承4B的下面描述的压缩空气供给通路426相连接。并且，在与第二表面312相反的表面315的侧上，配合有联接器，该联接器用来连接压缩空气供给泵的软管(见图6)。

第一气体轴承4A被旋拧在滑板31的第一表面311的侧上，与轨道2的一个滑动引导表面211没有接触地支撑来自滑板31的负载，并沿轨道2可滑动地保持滑板31。

图3(A)和3(B)是第一气体轴承4A的外部视图。并且图4(A)和4(B)和图5(A)是第一气体轴承的前视图、后视图及右侧视图，图5(B)是4(A)的A-A横截面图。

如图所示，第一气体轴承4A包括：支撑本体18，支撑本体18具有与滑动引导表面211相对而没有接触的支撑表面40；基板43，支撑本体18附接至该基板43；以及球接头44，球接头44可摇摆地保持第一气体轴承1。支撑本体18包括：磁性力产生部分41，磁性力产生部分41作为用来产生磁性力的装置；以及压缩空气供给部分42，压缩空气供给部分42绕磁性力产生部分41布置，作为用来排出压缩空气的装置。

磁性力产生部分41例如是形成圆柱形形状的永久磁铁，如钕磁铁。尽管在本实施例中，将一个圆柱形永久磁铁用作磁性力产生部分41，但永久磁铁的形状和数量可适当地变化。例如，可以使用具有矩形柱形状的永久磁铁。或者多个通孔423可以形成在下面描述的压缩空气供给部分42的中心部分中，并且永久磁铁可以配合到这些通孔423的每一个中。

压缩空气供给部分42是盘形构件，在该盘形构件的中心部分中形成通孔423，该通孔423从一个端面421延伸到另一个端面422。磁性力产生部分41配合在这个通孔423中。

压缩空气供给部分42的一个端面421与配合在通孔423中的磁性力产生部分41的一个端面411一起构成与轨道2的一个滑动引导表面211相对而没有接触的支撑表面40。在所述一个端面421中，形成围绕通孔423(或磁性力产生部分41)的环形凹槽424。在环形凹槽424的底部中，在凹槽424的圆周方向上以均匀间隔形成固有节流型的多个压缩空气排出孔425。

在压缩空气供给部分42的另一个端面422中，环形凹槽426形成为压缩空气供给通路426，以与压缩空气排出孔425相连接，这些压缩空气排出孔425众多地形成在所述一个端面421中。在压缩空气供给通路426的外边缘上，形成O形圈凹槽428。O形圈凹槽428容纳O形圈47，用来防止来自压缩空气供给通路426的空气泄漏。进一步，在压缩空气供给部分42的另一个端面422中，形成用于紧固内六角头螺栓53的螺纹孔427，这些紧固内六角头螺栓53用来将压缩空气供给部分42固定至基板43。

基板43是盘形构件，该盘形构件具有与压缩空气供给部分42的外径几乎相同的外径。在基板43中，在与压缩空气供给部分42的螺纹孔427相对应的位置处形成埋头孔433，这些埋头孔433从一个端面431延伸到另一个端面432。在其中基板43的另一个端面432与压缩空气供给部分42的另一个端面422相接触的状态下，通过将内六角头螺栓53插入到埋头孔433中并且将内六角头螺栓53旋拧到压缩空气供给部分42的螺纹孔427中，而将压缩空气供给部分42固定至基板43。在这种情况下，在压缩空气供给部分42的通孔423中配合的磁性力产生部分41的另一个端面412可以通过使用粘合剂粘结到基板43的另一个端面432上。

在基板43的一个端面431中，形成用于紧固内六角头螺栓54的螺纹孔434，这些内六角头螺栓54用来将球接头44固定至基板43。

基板43的另一个端面432与O形圈凹槽428中的O形圈47相接触，该O形圈凹槽428形成在压缩空气供给部分42的压缩空气供给通路426的外边缘上。通过这种布置，防止了在压缩空气供给部分42的压缩空气供给通路426中填充的压缩空气从除压缩空气供给部分42的压缩空气排出孔425之外的区域，即从压缩空气供给部分42的另一个端面422与基板43的另一个端面432之间的接触部分，泄漏到外面。

进一步，在基板43中，空气通路437形成为与压缩空气供给部分42的压缩空气供给通路436相连接。空气通路437的开口438形成在基板43的侧表面436中。并且未示出的联接器配合到开口438上。联接器将空气通路437与软管相连接，该软管通过滑板31的空气通路317A与压缩空气供给泵的软管相连接。借此，来自压缩空气供给泵的压缩空气经由滑板31的空气通路317A和基板43的空气通路437供给到压缩空气供给部分42的压缩空气供给通路426，并且从压缩空气供给部分42的压缩空气排出孔425朝轨道2的滑动引导表面211排出。

球接头44包括：球螺柱441，球螺柱441具有球头442；球窝443，球窝443用来可转动地容纳球头442；固定板444，固定板444与球窝443整体地形成；以及固定螺母445，固定螺母445用来将第一气体轴承4A固定至滑板31(见图6)。

球螺柱441包括：螺柱部分449，阳螺纹部分448形成在该螺柱部分449中；以及所述球头442，球头442与螺柱部分449的一个端面4492整体地形成。

在螺柱部分449的另一个端面4491中，形成用于六角板手的六角窝4493。进一步，在球头442侧上的螺柱部分449的外部圆周上(即，在阳螺纹部分448与球头442之间)，形成从外部圆周表面突出的凸缘4494。在将第一气体轴承4A安装在滑板31上之前，将固定螺母445旋拧到螺柱部分449的阳螺纹部分448上，从而固定螺母445与凸缘4494相接触。在将第一气体轴承4A安装在滑板31上时，将螺柱部分449的阳螺纹部分448旋拧到形成在滑板31中的螺纹孔314中，并且此后在通过将六角板手插入到六角窝4493中来防止螺柱部分449转动时，将固定螺母445转动，直到螺母445与滑板31的第一表面311相接触。借此，将第一气体轴承4A安装在滑板31的第一表面311上(见图6)。

球窝443例如按如下方式形成。将球螺柱441的球头442插入到圆柱形构件的内部(该圆柱形构件与固定板444整体地形成)，从而圆柱形构件的一个端面由固定板444封闭。在这种状态下，凿紧圆柱形构件的开口侧。将分段4431放置在球窝443中，并且容纳在球窝443中的球头442由分段4431支撑。

在固定板444中，形成用来将螺栓插入在与基板43的螺纹孔434相对应的位置处的通孔4441。通过将内六角头螺栓54插入到通孔4441中并将内六角头螺栓54旋拧到基板43的螺纹孔434中，将球接头44固定至基板43。

第二气体轴承4B被旋拧在滑板31的第二表面312侧上，并且沿轨道2可滑动地支撑滑板31，而没有与轨道2的另一个滑动引导表面212接触。

第二气体轴承4B在如下方面与在图3-图5中示出的第一气体轴承4A不同。支撑表面40没有接触地与轨道2的另一个滑动引导表面212相对。第二气体轴承4B直接固定至滑动器3，而没有基板43和球接头44。并且滑板31的空气通路317B直接连接至压缩空气供给通路426(见图6)。滑板31中的埋头孔316形成在与第二气体轴承4B的压缩空气供给部分42中的螺纹孔427相对应的位置处。进一步，滑板31中的多条空气通路317A、317B当中，除用来将压缩空气供给到第一气体轴承4A的空气通路317A之外的空气通路317B每条均形成在其中相关的空气通路317B与第二气体轴承4B之一的压缩空气供给部分42相连接的位置处。通过将内六角头螺栓55插入到与滑板31的第二表面312相反的表面315的相关的埋头孔316中，并且通过将内六角头螺栓55旋拧到压缩空气供给部分42中的相应的螺纹孔427中，来将第二气体轴承4B每个均固定至滑板31的第二表面312。在这种状态下，滑板31的空气通路317B每条均与相关的第二气体轴承4B的压缩空气供给部分42相连接。因而，当开始从连接至滑板31的每条空气通路317B的压缩空气供给泵供给压缩空气时，压缩空气经由滑板31的空气通路317B供给到相关的压缩空气供给部分42的压缩空气供给通路426，并且从压缩空气供给部分42的压缩空气排出孔425朝轨道2的另一个滑动引导表面212排出。这时，O形圈凹槽428中的O形圈47与滑板31的第二表面312相接触，该O形圈凹槽428形成在压缩空气供给部分42的压缩空气供给通路426的外边缘上。因此，防止了在压缩空气供给部分42的压缩空气供给通路426中填充的压缩空气从除压缩空气供给部分42的压缩空气排出孔425之外的区域，即从压缩空气供给部分42的另一个端面422与滑板31的第二表面312之间的接触部分，泄漏到外面。

接下来，将描述具有上述结构的空气滑动装置1的操作原理。图6是用来解释本发明一个实施例的空气滑动装置1的操作原理的视图。尽管在图6中未示出，但压缩空气供给泵事先连接至与第二表面312相反的表面315侧上的滑板31的空气通路317A、317B。

当滑板31更靠近轨道2运动，从而安装在滑板31的第一和第二表面311和312上的第一和第二气体轴承4A和4B的支撑表面40分别与轨道2的一个滑动引导表面211和另一个滑动引导表面212相对时，通过第一和第二气体轴承4A和4B的磁性力产生部分41的磁性力m将第一和第二气体轴承4A和4B的支撑表面40分别吸引并附着到轨道2的滑动引导表面211和212。因此，滑板31被稳定地保持在轨道2上。

在这种状态下，当未示出的压缩空气供给泵供给压缩空气时，将压缩空气通过滑板31的空气通路317A和基板43的空气通路437供给到第一气体轴承4A的压缩空气供给部分42的压缩空气供给通路426，并且通过滑板31的空气通路317B供给到第二气体轴承4B的压缩空气供给部分42的压缩空气供给通路426。因此，第一和第二气体轴承4A和4B的压缩空气供给部分42的压缩空气供给通路426填充有压缩空气，并且压缩空气a从压缩空气排出孔425朝轨道2的滑动引导表面211和212排出。并且，第一和第二气体轴承4A和4B与轨道2的滑动引导表面211和212分离。并且第一和第二气体轴承4A和4B安放在其中压缩空气a的压力、第一和第二气体轴承4A和4B的磁性力产生部分41的磁性力m、以及滑动器3等的重量被平衡的各位置中(即，第一气体轴承4A安放在其中在支撑表面40与轨道2的一个滑动引导表面211之间的间隙为t1的位置中，并且第二气体轴承4B安放在其中在支撑表面40与轨道2的另一个滑动引导表面212之间的间隙为t2的位置中)。因此，第一和第二气体轴承4A和4B支撑来自滑动器3的负载而不接触轨道2，并且在轨道2的纵向方向(在图1和6中的X方向)上可滑动地保持滑动器3。

在这时，第二气体轴承4B直接固定至滑板31的第二表面312。因此，由于第二气体轴承4B的支撑表面40与轨道2的一个滑动引导表面212之间的间隙保持成t2，所以在滑板31的第二表面312与轨道2的一个滑动引导表面212之间的间隙保持成t3时，滑板31在轨道2上以非接触方式运动。

另一方面，第一气体轴承4A每个均通过球接头44安装在滑板31的第一表面311上。并因而，甚至在例如其中轨道2的尺寸精度较低并且轨道2的一个滑动引导表面211从正确位置向另一个滑动引导表面212稍微倾斜的情况下，球接头44也使基板43、压缩空气供给部分42及磁性力产生部分41整体地在绕球头142的方向d上摇摆，以调整支撑表面40相对于球螺柱441的倾斜度d。因此获得了对准，从而第一气体轴承4A的支撑表面40与轨道2的一个滑动引导表面211之间的间隙在t1处保持均匀。

上文，已经描述了本发明的实施例。

根据上述实施例，磁性力产生部分41的磁性力m将磁性物质的轨道2相对地向第一和第二气体轴承4A和4B的支撑表面40吸引。相应地，与其中滑板通过空气抽吸向轨道吸引的类型(即，其中将轨道朝气体轴承的支撑表面吸引的力约束成小于大气压力的类型)的空气滑动装置相比，可以由更大力将轨道2朝第一和第二气体轴承4A和4B的支撑表面40吸引。因此，可以增大克服负载变化的刚度，并且即使当在滑动器3中产生有突然负载变化时，也可实现滑板31在轨道2上的稳定运动。进一步，使用空气抽吸泵变得不必要，并且可以实现空气滑动装置1作为整体的尺寸和重量的减小。进一步，如图6所示，滑动器3可更正确地安置在轨道2上的希望位置处，并因而可以改进装置1的定位功能。

进一步，在本实施例中，在轨道2的侧表面中，相互垂直相交的侧表面组成磁化的滑动引导表面211和212，并且具有更高刚度的第一和第二气体轴承4A和4B定位成面对滑动引导表面211和212。相应地，甚至当外力施加在水平和竖直方向的任一方向上时，也可实现滑板31在轨道2上的稳定运动。

进一步，在本实施例中，磁性力产生部分41定位在中心处，该磁性力产生部分41产生将第一气体轴承4A向轨道2的一个滑动引导表面211吸引的力。并且压缩空气供给部分42定位成围绕磁性力产生部分41的外部周缘侧，该压缩空气供给部分42产生将第一气体轴承4A与轨道2的一个滑动引导表面211分离的力。类似地，磁性力产生部分41定位在中心处，该磁性力产生部分41产生将第二气体轴承4B向轨道2的另一个滑动引导表面212吸引的力。并且压缩空气供给部分42定位成围绕磁性力产生部分41，该压缩空气供给部分42产生将第二气体轴承4B与轨道2的另一个滑动引导表面212分离的力。相应地，甚至当将例如在使支撑表面40向轨道2的滑动引导表面211和212倾斜的方向上的外力施加到第一和第二气体轴承4A和4B时，将第一和第二气体轴承4A和4B的支撑表面40和轨道2的滑动引导表面211和212分离的力也在支撑表面40的外周缘区域中起作用，从而消除倾斜。因此，滑动器3可在轨道2的滑动引导表面211和212上更稳定地运动，同时保持第一和第二气体轴承4A和4B的支撑表面40与轨道2的滑动引导表面211和212之间的间隙t。

进一步，本实施例将永久磁铁用作磁性力产生部分41。在其中空气抽吸将滑板向轨道吸引的类型的空气滑动装置的情况下，当泵由于故障等停止时，不仅将滑板与轨道分离的力而且将滑板向轨道吸引的力变得不起作用。因此，可能的是，滑动器从轨道中脱落。因而需要设计例如其中通过将三块滑板组合成U形从而轨道的两个侧表面都定位在滑动器内而制成滑动器的这样的结构，以防止滑动器的脱落。这引起滑动器的尺寸和重量的增大。与此相反，根据本实施例，永久磁铁始终施加将滑板31向轨道2吸引的磁性力m。并因而，即使压缩空气供给泵停止，第一和第二气体轴承4A和4B也粘附到轨道2上。相应地，在不用采取克服脱落的特殊措施的情况下，可以将滑动器3保持在轨道2。因而不需要例如通过采用用来将轨道2的两个侧表面都定位在滑动器3内的U型结构而设计用来防止滑动器3从轨道2中脱落的结构，并因而，滑动器3可按L形制成，具有减小的尺寸和重量。进一步，为组成滑动器3所需的滑板31的数量可减小，并因而可抑制成本。

进一步，在本实施例中，球接头44调整第一气体轴承4A的支撑表面40相对于球螺柱441的倾斜度d，从而保持支撑表面40与轨道2的滑动引导表面211之间的间隙t1均匀，并因而可以相对于轨道2的滑动引导表面211的倾斜度自动地对准第一气体轴承4A。

本发明不限于上述实施例，并且在本发明的范围内可不同地变化。

例如，以上实施例将其中形成固有节流型的多个压缩空气排出孔425的压缩空气供给部分42用作第一和第二气体轴承4A和4B的压缩空气供给部分42，但本发明不限于此。代替这样的压缩空气供给部分42，可以采用其中在表面421中形成孔口节流型、表面节流型等的多个压缩空气排出孔的压缩空气供给部分，该表面421构成支撑表面40。或者可以使用压缩空气供给部分，在该压缩空气供给部分中，与压缩空气供给通路426相连接的多孔烧结层形成在构成支撑表面40的表面中。

进一步，尽管上述实施例将永久磁铁用作第一和第二气体轴承4A和4B的磁性力产生部分41，但电磁铁可以用作第一和第二气体轴承4A和4B的磁性力产生部分41。

进一步，上述实施例将球接头44用作用于第一气体轴承4A的对准机构，本发明不限于此。如果该机构可自动地调整第一气体轴承4A的支撑表面40的倾斜度以保持支撑表面40与轨道2的滑动引导表面211之间的间隙t1均匀，可以使用另一种机构。例如，第一气体轴承4A可以经由弹性体安装在滑板31的第一表面311上，从而保持第一气体轴承4A支撑表面40与轨道2的滑动引导表面211之间的间隙t1均匀。

在上述实施例中，具有球接头44的第一气体轴承4A的支撑表面40与轨道2的上表面侧上的滑动引导表面211相对，并且没有球接头44的第二气体轴承4B的支撑表面40与轨道2的侧表面侧上的滑动引导表面212相对。然而，根据空气滑动装置1的用途等，可能的是，具有球接头44的第一气体轴承4A的支撑表面40与轨道2的侧表面侧上的滑动引导表面212相对，并且没有球接头44的第二气体轴承4B的支撑表面40与轨道2的上表面侧上的滑动引导表面211相对。进一步，在滑动器3上安装的全部气体轴承可以是具有相应的球接头44的第一气体轴承4A。

工业适用性

在以上实施例中已经描述了空气滑动装置1，在该空气滑动装置1中，滑动器3以非接触方式在轨道2上运动。然而，本发明不限于具有轨道的空气滑动装置，并且可应用于这样一种空气滑动装置，这种空气滑动装置包括具有用来引导滑动器3的滑动引导表面的部分(例如，台架)。

进一步，在以上实施例中，已经描述了其中滑动器3使用气体轴承4A和4B的例子，该气体轴承4A和4B的每一个在该气体轴承与轨道2之间的间隙中形成一层气体，以使滑动器3经由气体层以非接触方式运动。然而，可应用本发明至以下范围：流体静力气体轴承用于滑动器3，并且流体静力气体轴承在流体静力气体轴承与轨道2之间的间隙中形成一层气体，从而滑动器3经由气体层以非接触方式运动。

附图标记清单

1：空气滑动装置；2：轨道；3：滑动器；4A：第一气体轴承；4B：第二气体轴承；18：支撑本体；21：框架；22：轨道板；31：滑板；32A、32B：板；40：支撑表面；41：磁性力产生部分；42：压缩空气供给部分；43：基板；44：球接头；47：O形圈；51、52、53、54：内六角头螺栓；55：梯形螺母；211：滑动引导表面(轨道2的上表面)；212：滑动引导表面(轨道2的侧表面)；311：滑板31的第一表面；312：滑板31的第二表面312；313：与第一表面相反的表面；314：在滑板31中的螺纹孔；315：与第二表面相反的表面；316：在滑板31中的埋头孔；317A、317B：在滑板31中的空气通路；411、412：磁性力产生部分41的端面；421、422：压缩空气供给部分42的端面；423：在压缩空气供给部分42中的通孔；424：在压缩空气供给部分42中的凹槽；425：压缩空气排出孔；426：在压缩空气供给部分42中的压缩空气供给通路；427：在压缩空气供给部分42中的螺纹孔；428：在压缩空气供给部分42中的O形圈凹槽428；431、432：基板43的端面；433：在基板43中的埋头孔；434：在基板43中的螺纹孔；436：基板43的侧表面；437：基板43的空气通路；438：空气通路437的开口；441：球螺柱；442：球头；443：球窝；444：固定板；445：固定螺母；448：螺柱部分449的阳螺纹部分；449：球螺柱141的螺柱部分；4431：分段；4441：在固定板444中的螺纹孔；4491、4492：螺柱部分449的端面；4493：螺柱部分449的六角窝；以及4494：螺柱部分449的凸缘。

Claims (8)

1.一种空气滑动装置，包括滑动器，该滑动器相对于配对部件以非接触方式运动，其中：

所述配对部件具有磁化的滑动引导表面；

所述滑动器包括：至少一个流体静力气体轴承，该至少一个流体静力气体轴承具有与所述滑动引导表面相对且不接触的支撑表面；以及

所述流体静力气体轴承包括：

磁性力产生装置，所述磁性力产生装置产生相对地向所述支撑表面吸引所述滑动引导表面的磁性力；以及

压缩空气供给装置，所述压缩空气供给装置将压缩空气供给到所述滑动引导表面与所述支撑表面之间的间隙中。

2.根据权利要求1所述的空气滑动装置，其中：

所述磁性力产生装置定位在所述支撑表面的中心中；以及

所述压缩空气供给装置定位成围绕所述磁性力产生装置的外周缘侧。

3.根据权利要求1和2之一所述的空气滑动装置，其中：

所述磁性力产生装置是磁铁；

所述压缩空气供给装置是板状构件，在该板状构件中，至少一个压缩空气排出孔形成在一个端面中，并且用于所述磁性力产生装置的插入孔形成在所述一个端面的中心部分中；以及

所述支撑表面包括磁铁的端面和板状构件的所述一个端面。

4.根据权利要求3所述的空气滑动装置，其中：

所述磁铁包括至少一个永久磁铁。

5.根据权利要求1-4之一所述的空气滑动装置，其中：

所述配对部件包括两个滑动引导表面，这两个滑动引导表面的方向彼此不同；

所述空气滑动装置包括多个流体静力气体轴承；

所述滑动器包括L形滑板，该L形滑板具有第一表面和第二表面，所述第一表面与所述两个滑动引导表面的一个滑动引导表面相对，所述第二表面与另一个滑动引导表面相对；

所述多个流体静力气体轴承包括：

至少一个第一流体静力气体轴承，所述第一流体静力气体轴承安装在所述第一表面上，从而所述支撑表面与所述一个滑动引导表面相对；以及

至少一个第二流体静力气体轴承，所述第二流体静力气体轴承安装在所述第二表面上，从而所述支撑表面与所述另一个滑动引导表面相对。

6.根据权利要求5所述的空气滑动装置，其中：

第一流体静力气体轴承包括对准装置，该对准装置用来保持所述第一流体静力气体轴承的支撑表面与所述一个滑动引导表面之间的间隙均匀。

7.根据权利要求6所述的空气滑动装置，其中：

所述对准装置是用来将所述第一流体静力气体轴承以自由角度安装在所述第一表面上的球接头。

8.根据权利要求5-7之一所述的空气滑动装置，其中：

第二流体静力气体轴承固定至所述第二表面。