TW201339447A - 氣動滑槽裝置 - Google Patents

Abstract

[發明課題]本發明提供一種其滑件之滑行穩定性高強且小型暨輕型的氣動滑槽裝置的構造。[解決方法]氣動滑槽裝置(1)，具備：滑件引導面(211、212)以磁性體形成的軌條(2)；及朝軌條(2)的長度方向X以非接觸移動在軌條(2)之滑件引導面(211、212)上的滑件(3)。該滑件(3)，具備：組合成L字型的滑板(31)；以介於滑板(31)及軌條(2)之間的狀態安裝在滑板(31)的第一、第二空氣軸承(4A、4B)。該第一、第二空氣軸承(4A、4B)，具備：產生磁力的磁力產生部(41)；及配置在磁力產生部(41)周圍，吐出壓縮空氣的壓縮空氣供應部(42)。該壓縮空氣供應部(42)的端面(421)，是和磁力產生部(41)的端面(411)一起構成與軌條(2)的導件引導面(211、212)以非接觸成為相向的支撐面(40)。

Description

氣動滑槽裝置

本發明是關於具備有滑件以非接觸移動在軌條上的氣動滑槽裝置，特別是關於軌條上之滑件的滑行穩定性高並且小型暨輕量化都適合之氣動滑槽裝置的構造。

專利文獻1中，揭示有即使為輕型支撐對象還是能夠以非接觸將該輕型支撐對象支撐成穩定的靜壓氣體軸承。該靜壓氣體軸承，於其以非接觸和支撐對象成為對面的支撐面具有：分別形成有多數細孔的第一及第二多孔面；及對第一多孔面隔離第二多孔面用之隔板的端面。接著，於第一多孔面的各細孔連結有讓壓縮空氣從開口吐出的壓縮空氣供應用泵浦，此外，於第二多孔面連結有讓空氣吸入至開口的空氣吸引用泵浦。另外，第二多孔面和第一多孔面是形成為實質上平整的面。

根據上述構造，專利文獻1記載的靜壓氣體軸承，是利用壓縮空氣供應用泵浦之從第一多孔面的壓縮空氣吐出和空氣吸引用泵浦之對第二多孔面的空氣吸入及本身重量或許支撐對象重量的平衡，構成為即使為輕型支撐對象還是能夠以非接觸將該輕型支撐對象支撐成穩定。

[先行技術獻] [專利文獻]

[專利文獻1]日本特開2005-214290號公報

先前已知有在滑件之滑板安裝靜壓氣體軸承，使該靜壓氣體軸承的支撐面與軌條表面成為對面，藉此以非接觸使滑件移動在軌條上的氣動滑槽裝置。於該構成的氣動滑槽裝置，若使用專利文獻1所記載的靜壓氣體軸承時則會產生下述問題。

即，專利文獻1所記載的靜壓氣體軸承，是利用對第二多孔面的空氣吸入使支撐對象靠攏，因此使用大氣壓以上的力量時就無法使滑板往軌條表面靠攏。基於此，專利文獻1所記載的靜壓氣體軸承，其剛性低，例如當對滑板施加外力使負荷產生變動時，軌條上之滑件的滑行就可能會不穩定。

此外，專利文獻1所記載的靜壓氣體軸承，除了讓壓縮空氣從第一多孔面吐出的壓縮空氣供應用泵浦以外，還需要有讓空氣吸入至第二多孔面內的空氣吸引用泵浦。因此，氣動滑槽裝置就會大型暨重量化。

本發明是有鑑於上述問題而為的明，其目的是在於提供一種其滑件之滑行穩定性高並且小型暨輕量化的氣動滑槽裝置。

為了解決上述課題，於本發明中，是使用具有帶磁性之滑行引導面的對象零件，並且在沿著滑行引導面滑行的滑件，至少設置一個其所具備的支撐面和滑行引導面成為對面的靜壓氣體軸承。於該靜壓氣體軸承，設有：產生磁力使滑行引導面相對性靠攏支撐面的磁力產生手段；及在滑行引導面和支撐面之間隙吐出壓縮氣體的壓縮氣體供應手段。

例如：本發明，是一種其所具備的滑件以非接觸移動在對象零件的氣動滑槽裝置，上述對象零件，具備帶有磁性滑件引導面，上述滑件，至少具有一個其所具備的支撐面和上述滑件引導面以非接觸成為對面的靜壓氣體軸承，上述靜壓氣體軸承，設有：產生磁力使上述滑件引導面相對性靠攏的磁力產生手段；及在上述滑件引導面和上述支撐面之間隙供應壓縮氣體的壓縮氣體供應手段。

根據本發明時，對於靜壓氣體軸承的對象零件，是使用具有帶磁性滑件引導面的對象零件。利用磁力產生手段所產生的磁力使帶有磁性的滑件引導面相對性靠攏靜壓氣體軸承的支撐面。因此，與使對象零件靠攏的力量會受限於大氣壓以下之空氣吸引的形態相比，是能夠實現靜壓氣 體軸承達到具有高剛性可降低突然之負荷變動造成的影響。基於此，即使滑件或靜壓氣體軸承突然產生負荷變動，還是能夠保持滑行引導面上之滑件的滑行穩定性。此外，又不需要氣體吸引用泵浦，因此氣動滑槽裝置全體就能夠小型暨輕量化。

[發明之實施形態]

以下，參照圖面對本發明實施形態進行說明。

第1圖為本發明一實施形態相關之氣動滑槽裝置1的外觀圖。此外，第2(A)圖、第2(B)圖、第2(C)圖分別為滑件3的正面圖、底面圖、右側面圖。

如圖所示，本實施形態相關的氣動滑槽裝置1，具備：其上面(一方的滑件引導面)211及其上面211相鄰之一側面(另一方的滑件引導面)212為帶有磁性的軌條2；及朝軌條2之長度方向(第1圖X方向)以非接觸移動在軌條2之滑件引導面211、212上的滑件3。

軌條2，例如具備有：以鋁等形成的框架21；及由內六角螺栓51及梯形螺帽55固定在框架21相鄰二面(軌條2的引導面211、212)的2片磁性鋼板等軌條板22。軌條2的滑件引導面211、212，由2片軌條板22的表面211、212形成。

滑件3，具備：剖面L字形狀的滑板31：及以介於滑板31及軌條2的滑件引導面211、212之間的狀態安裝在 滑板31的第一、第二空氣軸承4A、4B。另，第2圖中，雖然揭示著使用3個第一空氣軸承4A及2個第二空氣軸承4B的例子，但是第一及第二空氣軸承4A、4B數量只要根據氣動滑槽裝置1的用途等加以適當決定即可。

滑板31，具有：與軌條2之一方滑件引導面211成為對面的第一面311；及與軌條2之另一方滑件引導面212成為對面的第二面312。如上述構成的滑板31，例如由2片板32A、32B組合成L字形狀以內六角螺栓52固定後製成。

於滑板31，以螺絲固定第一空氣軸承4A用的螺孔314，是根據第一空氣軸承4A的數量形成，形成為接通第一面311和其相反側的面313，此外，以螺絲固定第二空氣軸承4B用的螺孔316，是根據第二空氣軸承4B的數量形成，形成為接通第二面312和其相反側的面315(參照第6圖)。

此外，於滑板31，複數的通氣路317A、317B，形成為接通第二面312和其相反側的面315。雖然未加以圖示，但是至少於一個通氣路317A，安裝有對接通在各第一空氣軸承4A之軟管連接壓縮空氣用泵浦之軟管的聯結器，該聯結器安裝在第二面312相反側的面315側。另一方面，其他的通氣路317B，分別於第二面312側接通於任一第二空氣軸承4B之下述的壓縮空氣供應路426。接著，於第二面312相反側的面315側安裝有連接於壓縮空氣供應用泵浦之軟管的連結器(參照第6圖)。

第一空氣軸承4A，是由螺絲固定在滑板31的第一面311側，對軌條2其一方的滑件引導面211成非接觸支撐著來自於滑板31的載重，將滑板31保持成沿著軌條2滑行自如。

第3(A)圖、第3(B)圖為第一空氣軸承4A的外觀圖。此外，第4(A)圖、第4(B)圖及第5(A)圖分別為第一空氣軸承4A的正面圖、背面圖及右側面圖，第5(B)圖為第4(A)圖的A-A剖面圖。

如圖所示，第一空氣軸承4A，具備：具有以非接觸和滑件引導面211成為對面之支撐面10的支撐體18；安裝有支撐體18的底座板43；及將第一空氣軸承4A保持成擺動自如的球窩接頭44。支撐體18，具有：產生磁力的手段即磁力產生部41；及配置在磁力產生部41的周圍，吐出壓縮空氣的手段即壓縮空氣供應部42。

磁力產生部41，例如形成為圓柱狀的永久磁鐵，又例如可使用釹磁鐵。另於本實施形態中，磁力產生部41是使用1個圓柱形永久磁鐵，但永久磁鐵的形狀及數量可加以適當變更。例如：也可以使用角柱狀的永久磁鐵，此外，也可在下述之壓縮空氣供應部42的中央部形成複數的貫通孔423，於該等貫通孔423分別嵌入有永久磁鐵。

壓縮空氣供應部42，其為圓板狀構件且於中央部形成有從一端面421接通於另一端面422的貫通孔423，在該貫通孔423嵌入有磁力產生部41。

壓縮空氣供應部42的一端面421，是和嵌入在貫通 孔423的磁力產生部41一起構成以非接觸和軌條2之一方的滑件引導面211成為對面的支撐面40。此外，於一端面421，形成有包圍貫通孔423(即磁力產生部41)的環狀溝槽424，於該溝槽424的槽底，沿著溝槽424的圓周方向以等間隔形成有由自動縮口造成的多數壓縮空氣吐出口425。

於壓縮空氣供應部42的另一端面422，形成有和多數形成在一端面421的壓縮空氣吐出口425接通的環狀溝槽426做為壓縮空氣供應路426。於該壓縮空氣供應路426的外緣形成有O環用溝槽428，於該O環用溝槽428內，收容有防止空氣從壓縮空氣供應路426洩漏用的O環47。此外，於壓縮空氣供應部42之另一端面422，形成有將壓縮空氣供應部42固定在底座板43用的內六角螺栓53所要鎖緊的螺孔427。

底座板43，是和壓縮空氣供應部42大致相同外徑的圓板狀構件，於對應壓縮空氣供應部42之螺孔427的位置，形成有從一端面431接通於另一端面432的魚眼孔433。於底座板43之另一端面432接觸在壓縮空氣供應部42之另一端面422之狀態下，將內六角螺栓53插入在該魚眼孔433藉此鎖緊在壓縮空氣供應部42的螺孔427，如此就能夠使壓縮空氣供應部42固定在底座板43。此時，也可利用黏著劑將已經嵌入在壓縮空氣供應部42之貫通孔423的磁力產生部41之另一端面412黏著在底座板43之另一端面432。

於底座板43的一端面431，形成有將球窩接頭44固定在底座板43用之內六角螺栓54所要鎖緊的螺孔434。

底座板43的另一端面432，是和形成在壓縮空氣供應部42之壓縮空氣供應路426外緣的O環用溝槽428內的O環47抵接著。如此一來，就能夠防止已經填充在壓縮空氣供應部42之壓縮空氣供應路426的壓縮空氣從壓縮空氣供應部42之壓縮空氣吐出口425以外的區域即從壓縮空氣供應部42之另一端面422和底座板43之另一端面432的抵接部份洩漏至外部。

此外，於底座板43，形成有接通於壓縮空氣供應部42之壓縮空氣供應路436的通氣路437。該通氣路437的開口438，是形成在底座板43的側面436。接著，雖然未加以圖示，但是於該開口部438安裝有讓於底座板31之通氣路317A已經連結在壓縮空氣供應用泵浦之軟管的軟管接通於通氣路437用的聯結器。如此一來，壓縮空氣供應用泵浦所供應的壓縮空氣就會經由滑板31的通氣路317A及底座板43的通氣路437供應至壓縮空氣供應部42的壓縮空氣供應路426，從壓縮空氣供應部42的壓縮空氣吐出口425朝軌條2的滑件引導面211噴出。

球窩接頭44，具備：具有球頭442的球柱栓441；將球頭442收容成轉動自如的球窩443；一體形成在球窩443的固定板444；及讓第一空氣軸承4A固定在滑板31(參照第6圖)用的固定用螺帽445。

球柱栓441，具有：形成有外螺紋部448的柱栓部 449；及一體形成在柱栓部449之一端面4492的球頭442。

於柱栓部449的另一端面449，形成有六角扳手用的內六角頭4493。此外，於柱栓部449之球頭442側(外螺紋部148和球頭142之間)的外圍形成有從外圍面伸出的凸緣4494。於第一空氣軸承4A安裝在滑板31之前，固定用螺帽445是鎖入在柱栓部449的外螺紋448直到與該凸緣4494抵接為止。當第一空氣軸承4A安裝在滑板31時，是對形成在滑板31的螺孔314從第一面311側鎖入柱栓部449的螺紋部448，然後對內六角頭4493內插入六角扳手藉此一邊阻止柱栓部449的旋轉之同時一邊旋轉固定用螺帽445直到接觸滑板31的第一面311為止。如此一來，就會使第一空氣軸承4A安裝在滑板31的第一面311側(參照第6圖)。

球窩443，例如形成為以下所示的構成。即，在與固定板444形成為一體使其一端面由固定板444蓋住之圓筒構件的內部插入球柱栓441的球頭442，以該狀態，嵌塞該圓筒構件的開口側。於球窩443配置有墊片4431，收容在球窩443的球頭442由該墊片4431支撐著。

於固定板444，在對應底座板43之螺孔434的位置形成有螺栓差入用的貫通孔4441。對該貫通孔4441插入內六角螺栓54，使內六角螺栓54鎖在底座板43的螺孔434，藉此就可使球窩接頭44安裝在底座板43。

第二空氣軸承4B，是以螺絲固定在滑板31的第二面 312側，對軌條2之另一方的滑行引導側面212以非接觸將滑板31支撐成沿著軌條2滑行自如。

第二空氣軸承4B，其與第3圖至第5圖所示之第一空氣軸承4A不同之處是在於：支撐面40以非接觸與軌條2之另一方的滑件引導面212成為對面；省略底座板43和球窩接頭44而直接固定在滑件3；及滑板31的通氣路317B直接連結於壓縮空氣供應路426(參照第6圖)。滑板31的魚眼孔316，形成在對應第二空氣軸承4B之壓縮空氣供應部42的螺孔427之位置。此外，滑板31的複數通氣路317A、317B當中，將壓縮空氣供應至第一空氣軸承4A用的通氣路317A以外的通氣路317B，形成在接通任一第二空氣軸承4B之壓縮空氣供應部42的位置。將內六角螺栓55從滑板31之第二面312相反側的面315插入在該魚眼孔316使其鎖在壓縮空氣供應部42的螺孔427，藉此就可使第二空氣軸承4B固定在滑板31的第二面312。於該狀態下，由於滑板31的通氣路317B分別接通於第二空氣軸承4B的壓縮空氣供應部42，因此當從滑板31之各通氣路317B所連接的壓縮空氣供應用泵浦開始供應壓縮空氣時，壓縮空氣就會經由滑板31的通氣路317B供應至壓縮空氣供應部42的壓縮空氣供應路426，從壓縮空氣供應部42的壓縮空氣吐出口425朝軌條2之另一方的滑件引導面212噴出。此時，形成在壓縮空氣供應部42之壓縮空氣供應路426外緣之O環用溝槽428內的O環47會抵接在滑板31的第二面312，因此填 充在壓縮空氣供應部42之壓縮空氣供應路426的壓縮空氣就不會從壓縮空氣供應部42的壓縮空氣吐出口425以外的區域洩漏至外部外，即該壓縮空氣不會從壓縮空氣供應部42之另一端面422和滑板31之第二面312的抵接部份洩漏至外部。

其次，對具有如上述構成之氣動滑槽裝置1的動作原理進行說明。第6圖為本發明一實施形態相關之氣動滑槽1的動作原理說明圖。另，雖然第6圖中沒有圖示，但是於滑板31的通氣路317A、317B分別從第二面312相反側的面315側事先連接有壓縮空氣供應用泵浦的軟管。

接著，當以安裝在滑板31之第一、第二面311、312的第一、第二空氣軸承4A、4B之支撐面40分別與軌條2之一方的滑件引導面211及另一方的滑件引導面212成為對面的狀態，將滑板31接近軌條2時，第一、第二空氣軸承4A、4B之磁力產生部41的磁力m會使第一、第二空氣軸承4A、4B的支撐面40分別往軌條2的滑件引導面211、212靠攏吸附。如此一來，滑板31就會穩定保持在軌條2上。

於該狀態下，利用未圖示之壓縮空氣供應用泵浦供應壓縮空氣時，於第一空氣軸承4A之壓縮空氣供應部42的壓縮空氣供應路426會有經由滑板31的通氣路317A及底座板43的通氣路437供應過來的壓縮空氣，此外，於第二空氣軸承4B之壓縮空氣供應部42的壓縮空氣供應路426會有經由滑板31的通氣路317B供應過來的壓縮空 氣。基於此，第一及第二空氣軸承4A、4B之壓縮空氣供應部42的壓縮空氣供應路426就會充滿壓縮空氣，從壓縮空氣吐出口425朝軌條的滑件引導面211、212吐出壓縮空氣a。於是，第一及第二空氣軸承4A、4B就會離開軌條2的滑件引導面211、212，分別定位在壓縮空氣a之壓力和第一及第二空氣軸承4A、4B之磁力產生部41的磁力m及滑件3的重量等形成平衡的位置(第一空氣軸承4A位於支撐面40和軌條2的一方滑件引導面211之間隙為t1的位置，第二空氣軸承4B位於支撐面40和軌條2的另一方滑件引導面212之間隙為t2的位置)。如此一來，第一及第二空氣軸承4A、4B就會對軌條2以非接觸支撐著來自於滑件3的載重，將滑件3保持成朝軌條2的長度方向(第1圖及第6圖的X方向)滑動自如。

此時，由於第二空氣軸承4B是直接固定在滑板31的第二面312，因此就能夠使第二空氣軸承4B的支撐面和軌條2的一側面212之間隙維持成t2，基於此，滑件31就會於滑件31的第二面312和軌條2的一側面212之間隙維持成t3的狀態下以非接觸移動在軌條2上。

另一方面，由於第一空氣軸承4A是透過球窩接頭44安裝在滑板31的第一面311，因此例如當軌條2的尺寸精度低，以致軌條2的一方滑件引導面211對另一方滑件引導面212有若干傾斜時，球窩接頭44還是會使底座板43、壓縮空氣供應部42及磁力產生部41成為一體朝繞著 球頭142中心旋轉的方向d擺動，自動調整對球柱栓441之支撐面40的傾斜d。如此一來，就可調整定位使第一空氣軸承4A的支撐面40和軌條2的一方滑件引導面211之間隙以t1保持成均勻。

以上為本發明實施形態的說明。

根據本實施形態時，磁力產生部41的磁力m會使磁性體的軌條2對第一及第二空氣軸承4A、4B的支撐面40相對性靠攏。因此，與利用空氣吸引使滑板靠攏軌條之型式(即，於空氣軸承之支撐面靠攏軌條用的力量被限制在大氣壓以下之形態)的氣動滑槽裝置相比，本實施形態是能夠以更大的力量使軌條相對性靠攏第一及第二空氣軸承4A、4B的支撐面40。因此，能夠更加提高對負荷變動的剛性，即使滑件3突然產生負荷變動，還是能夠使滑板31穩定滑行在軌條2上。此外，由於不需要空氣吸引用泵浦，因此氣動滑槽裝置1全體就能夠小型暨輕量化。再加上，如第6圖所示，可使滑件3更正確靜止在軌條2上的期望位置，因此能夠提高定位功能。

此外，本實施形態中，軌條2的側面當中正交的側面是構成為帶有磁性的滑件引導面211、212，且相對於該等滑件引導面211、212，配置有剛性高的第一及第二空氣軸承4A、4B。因此，即使有來自於橫向及縱向之任一方向的外力施加在滑件3，還是能夠使滑件3穩定滑行在軌條2上。

此外，本實施形態中，產生拉攏力使第一空氣軸承 4A靠攏軌條2之一方滑件引導面211的磁力產生部41是配置在中央，且以包圍著該磁力產生部41之外圍側的狀態，配置有產生分離力使第一空氣軸承4A從軌條2之一方滑件引導面211分開的壓縮空氣供應部42。同樣地，產生拉攏力使第二空氣軸承4B靠攏軌條2之另一方滑件引導面212的磁力產生部41是配置在中央，且以包圍著該磁力產生部41之外圍側的狀態，配置有產生分離力使第二空氣軸承4B從軌條2之另一方滑件引導面212分開的壓縮空氣供應部42。因此，例如：當相對於軌條2之滑件引導面211、212即使有使支撐面40傾斜之方向的外力施加在第一及第二空氣軸承4A、4B，但於支撐面40的外圍區域，為了要消除該傾斜，會作用有使第一及第二空氣軸承4A、4B之支撐面40和軌條2之滑件引導面211、212相對性分開的力量，因此就能夠維持著第一及第二空氣軸承4A、4B的支撐面40和軌條2的滑件引導面211、212之間隙t的同時使滑件3穩定滑行在軌條2的滑件引導面211、212上。

另外，本實施形態中，對於磁力產生部41是採用永久磁鐵。但是利用空氣吸引使滑板靠攏軌條之型式的氣動滑槽裝置中，例如當故障等需停止泵浦時，隨著讓滑板從軌條分開的分離力，讓滑板靠攏軌條的拉攏力也會沒有作用，因此滑板就有可能從軌條脫落。基於此，就需要有脫落防止措置，即需要將3片滑板以夾著軌條兩側面的狀態組合成字形狀藉此製成滑件等的構成，導致滑件的大型 化暨重量化。相對於此，根據本實施形態時，利用永久磁鐵，是能夠經常作用有讓滑板31靠攏軌條2的磁力m，因此即使壓縮空氣供應泵浦停止動作，但第一及第二空氣軸承4A、4B和軌條2會彼此吸附。基於此，即使不採用特別的脫落防止措置還是能夠使滑件3保持在軌條2。因此，滑件3就不需要採用夾著軌條2兩側面的字形狀等防止滑件3從軌條2脫落的構成，基於此滑件3就能夠使形成為更加小型、更加輕型的L字型。此外，因滑件3製作上所需之滑板31的片數削減，因此還能夠抑制滑件成本。

此外，本實施形態中，球窩接頭44，是構成為可調整對球柱栓441之支撐面40的傾斜d，使第一空氣軸承4A的支撐面40和軌條2的滑件引導面211之間隙t1保持成均勻，因此針對軌條2之滑件引導面211的傾斜，能夠自動調整第一空氣軸承4A的定位。

另，本發明並不限於上述實施形態，在本發明的主旨範圍內可加以各種的變形。

例如：上述實施形態中，第一、第二空氣軸承4A、4B的壓縮空氣供應部42是採用形成有自動縮口之多數壓縮空氣吐出口425的壓縮空氣供應部42，但本發明並不限於此。該壓縮空氣供應部42也可取代改成採用利用節流縮口、表面縮口等使壓縮空氣的吐出口多數形成在支撐面40構成用之表面421的壓縮空氣供應部。或者，也可採用在支撐面40構成用之表面形成有多孔燒結層可接通 於壓縮空氣供應路426的壓縮空氣供應部。

此外，上述實施形態中，第一、第二空氣軸承4A、4B的磁力產生部41是採用永久磁鐵，但也可使用電磁鐵做為第一、第二空氣軸承4A、4B的磁力產生部41。

另外，上述第一空氣軸承4A的定位調整機構是使用球窩接頭44，但本發明並不限於此。只要構成為能夠自動調整第一空氣軸承4A之支撐面40的傾斜使該第一空氣軸承4A的支撐面40和軌條2的滑件引導面211之間隙t1保持成均勻，也可使用其他的定位調整機構。例如：隔著彈性體將第一空氣軸承4A安裝在滑板31的第一面311，藉此就可使第一空氣軸承4A的支撐面40和軌條2的滑件引導面211之間隙t1保持成均勻。

此外，上述實施形態中，具有球窩接頭44之第一空氣軸承4A的支撐面40是與軌條2之上面側的滑件引導面211成為對面，不具有球窩接頭44之第二空氣軸承4B的支撐面40是與軌條2之側面側的滑件引導面212成為對面，但也可根據氣動滑槽裝置1的用途等需求將具有球窩接頭44之第一空氣軸承4A的支撐面40與軌條2之側面側的滑件引導面212成為對面，將不具有球窩接頭44之第二空氣軸承4B的支撐面40與軌條2之上面側的滑件引導面211成為對面。又，也可將安裝在滑件3的全部空氣軸承做為具有球窩接頭44的第一空氣軸承4A。

另外，上述實施形態中，對以非接觸使滑件3移動在軌條2上的氣動滑槽裝置1的例子進行了說明，但本發明 並不限於具有軌條2的氣動滑槽裝置，還可應用在其所具備之零件(例如平台)具有滑件3引導用之滑件引導面的氣動滑槽裝置。

此外，上述實施形態中，對滑件3的滑行使用與軌條2之間隙形成有空氣層，隔著該空氣層以非接觸使滑件3移動的空氣軸承4A、4B的例子進行了說明，但本發明也可構成為滑件3的滑行是使用與軌條2之間隙形成有氣體層，隔著該氣體層以非接觸使滑件3移動的靜壓氣體軸承。

1‧‧‧氣動滑槽裝置

2‧‧‧軌條

3‧‧‧滑件

4A‧‧‧第一空氣軸承

4B‧‧‧第二空氣軸承

18‧‧‧支撐體

21‧‧‧框架

22‧‧‧軌條板

31‧‧‧滑板

32A、32B‧‧‧板

40‧‧‧支撐面

41‧‧‧磁力產生部

42‧‧‧壓縮空氣供應部

43‧‧‧底座板

44‧‧‧球接頭

47‧‧‧O環

51、52、53、54‧‧‧內六角螺栓

55‧‧‧梯形螺帽

211‧‧‧滑件引導面(軌條2的上面)

212‧‧‧滑件引導面(軌條2的一側面)

311‧‧‧滑板31的第一面

312‧‧‧滑板31的第二面

313‧‧‧第一面311相反側的面

314‧‧‧滑板31的螺孔

315‧‧‧第二面312相反側的面

316‧‧‧滑板31的魚眼孔

317A、317B‧‧‧滑板31的通氣路

411、412‧‧‧磁力產生部41的端面

421、422‧‧‧壓縮空氣部42的端面

423‧‧‧壓縮空氣部42的貫通孔

424‧‧‧壓縮空氣部42的溝槽

425‧‧‧壓縮空間吐出口

426‧‧‧壓縮空氣供應部42的壓縮空氣供應路

427‧‧‧壓縮空間供應部42的螺孔

428‧‧‧壓縮空間供應部42的O環用溝槽

431、432‧‧‧底座板43的端面

433‧‧‧底座板43的魚眼孔

434‧‧‧底座板43的螺孔

436‧‧‧底座板43的側面

437‧‧‧底座板43的通氣路

438‧‧‧通氣路437的開口

441‧‧‧球柱栓

442‧‧‧球頭

443‧‧‧球窩

444‧‧‧固定板

445‧‧‧固定用螺帽

448‧‧‧柱栓部449的外螺紋部

449‧‧‧球柱栓441的柱栓部

4431‧‧‧墊片

4441‧‧‧固定板444的螺孔

4491、4492‧‧‧柱栓部449的端面

4493‧‧‧柱栓部449的內六角頭

4494‧‧‧柱栓部449的凸緣

第1圖為本發明一實施形態相關之氣動滑槽裝置1的外觀圖。

第2(A)圖、第2(B)圖、第2(C)圖分別為滑件3的正面圖、底面圖、右側面圖。

第3(A)圖、第3(B)圖為第一空氣軸承4A的外觀圖。

第4(A)圖、第4(B)圖分別為第一空氣軸承4A的正面圖、背面圖。

第5(A)圖為第4(A)圖所示之第一空氣軸承4A的右側面圖，第5(B)圖為第4(A)圖所示之第一空氣軸承4A的A-A剖面圖。

第6圖為本發明一實施形態相關之氣動滑槽裝置1的動作原理說明圖。

1‧‧‧氣動滑槽裝置

2‧‧‧軌條

3‧‧‧滑件

4A‧‧‧第一空氣軸承

4B‧‧‧第二空氣軸承

18‧‧‧支撐體

21‧‧‧框架

22‧‧‧軌條板

31‧‧‧滑板

32A、32B‧‧‧板

51、52‧‧‧內六角螺栓

55‧‧‧梯形螺帽

211‧‧‧滑件引導面(軌條2的上面)

212‧‧‧滑件引導面(軌條2的一側面)

313‧‧‧第一面311相反側的面

314‧‧‧滑板31的螺孔

315‧‧‧第二面312相反側的面

316‧‧‧滑板31的魚眼孔

317A、317B‧‧‧滑板31的通氣路

Claims (12)

1. 一種氣動滑槽裝置，具備有相對於對象零件以非接觸移動之滑件的氣動滑槽裝置，其特徵為：上述對象零件，具備帶有磁性的滑件引導面，上述滑件，至少具有一個其所具備的支撐面和上述滑行引導面以非接觸成為對面的靜壓氣體軸承，上述靜壓氣體軸承，具有：產生磁力使上述滑行引導面相對地靠攏上述支撐面的磁力產生手段；及在上述滑行引導面和上述支撐面之間隙供應壓縮氣體的壓縮氣體供應手段。
2. 如申請專利範圍第1項所記載的氣動滑槽裝置，其中，上述磁力產生手段配置在上述支撐面的中央，以包圍著該磁力產生手段外圍側的狀態配置有上述壓縮氣體供應手段。
3. 如申請專利範圍第1項所記載的氣動滑槽裝置，其中，上述磁力產生手段，其為磁鐵，上述壓縮空氣供應手段，其為板狀構件，構成為於一端面至少形成有一個壓縮空氣吐出口，於另一端面的中央部形成有上述磁力產生手段的插入孔，上述支撐面，其構成為包括上述磁鐵的端面和上述板狀構件的上述一端面。
4. 如申請專利範圍第2項所記載的氣動滑槽裝置，其中，上述磁力產生手段，其為磁鐵，上述壓縮空氣供應手段，其為板狀構件，構成為於一 端面至少形成有一個壓縮空氣吐出口，於另一端面的中央部形成有上述磁力產生手段的插入孔，上述支撐面，其構成為包括上述磁鐵的端面和上述板狀構件的上述一端面。
5. 如申請專利範圍第3項所記載的氣動滑槽裝置，其中，上述磁鐵，至少由一個永久磁鐵形成。
6. 如申請專利範圍第4項所記載的氣動滑槽裝置，其中，上述磁鐵，至少由一個永久磁鐵形成。
7. 如申請專利範圍第1項至第6項任一項所記載的氣動滑槽裝置，其中，上述對象零件，具備彼此不同方向之二面的滑件引導面，具備有複數的上述靜壓氣體軸承，上述滑件，具有L字形狀的滑板，該滑板具備有：與上述二面的滑件引導面當中一方之滑件引導面成為對面的第一面；及與另一方之滑件引導面成為對面的第二面，上述複數的靜壓氣體軸承，包括：上述支撐面和上述一方之滑件引導面成為對面地安裝在上述第一面的至少一個第一靜壓氣體軸承；及上述支撐面和上述另一方之滑件引導面成為對面地安裝在上述第二面的至少一個第二靜壓氣體軸承。
8. 如申請專利範圍第7項所記載的氣動滑槽裝置，其中，上述第一靜壓氣體軸承，具有使該第一靜壓氣體軸承之上述支撐面和上述一方之滑件引導面的間隙保持成均勻的定位調整手段。
9. 如申請專利範圍第8項所記載的氣動滑槽裝置，其中，上述定位調整手段，其為可使上述第一靜壓氣體軸承對上述第一面安裝成角度自由的球窩接頭。
10. 如申請專利範圍第7項所記載的氣動滑槽裝置，其中，上述第二靜壓氣體軸承固定在上述第二面。
11. 如申請專利範圍第8項所記載的氣動滑槽裝置，其中，上述第二靜壓氣體軸承固定在上述第二面。
12. 如申請專利範圍第9項所記載的氣動滑槽裝置，其中，上述第二靜壓氣體軸承固定在上述第二面。