JP2006322531A - 静圧気体軸受を有したエアスライド装置 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】 エアスライド装置1は、可動台2と、可動台2の走行を案内する案内基台3と、案内基台3と可動台2との間に空気層4を形成して案内基台3に対して可動台2を空気層4を介して可動に支持する静圧気体軸受5と、案内基台3により案内されて走行する可動台2を制動する制動手段6とを具備しており、制動手段6は、可動台2に設けられた磁界発生手段31と、磁界発生手段31により発生された磁界により渦電流を生じるように案内基台3に設けられた導体手段32とを具備している。
【選択図】図1
Description
2 可動台
3 案内基台
4 空気層
5 静圧気体軸受
6 制動手段
31 磁界発生手段
32 導体手段32
Claims (5)
- 可動台と、この可動台が設けられていると共に可動台の走行を案内する案内基台と、この案内基台と可動台との間に空気層を形成して案内基台に対して可動台を空気層を介して可動に支持する静圧気体軸受と、案内基台により案内されて走行する可動台を制動する制動手段とを具備しており、この制動手段は、可動台と案内基台との少なくとも一方に設けられた磁界発生手段と、この磁界発生手段により発生された磁界により渦電流を生じるように可動台と案内基台との少なくとも他方に設けられた導体手段とを具備しているエアスライド装置。
- 静圧気体軸受は、給気孔が設けられた軸受本体と、この軸受本体に取り付けられていると共に給気孔からの高圧空気を噴出する多孔面を有した多孔質体とを具備しており、磁界発生手段は、多孔質体に設けられた永久磁石又は磁心部材を有した電磁石を具備している請求項1に記載のエアスライド装置。
- 永久磁石又は電磁石の磁心部材は、その磁束発生面が多孔面と面一となるようにして多孔質体に埋め込まれている請求項2に記載のエアスライド装置。
- 多孔質体は、多孔質金属焼結層を具備しており、多孔質金属焼結層の一方の面が多孔面となっている請求項2又は3に記載のエアスライド装置。
- 導体手段は、可動台の走行方向において連続して設けられた単列又は複列の導体帯又は可動台の走行方向において単列又は複列に配列された複数の導体片を具備している請求項1から4のいずれか一項に記載のエアスライド装置。
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