JP2013113345A - エアスライド装置 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】エアスライド装置1は、スライダ案内面211、212が磁性体で形成されたレール2と、レール2の長手方向Xにレール2のスライダ案内面211、212上を非接触で移動するスライダ3と、を備えている。スライダ3は、L字型に組み合わされたスライドプレート31と、スライドプレート31およびレール2の間に介在するようにスライドプレート31に取り付けられた第一、第二のエアベアリング4A、4Bと、を備えている。第一、第二のエアベアリング4A、4Bは、磁力を発生する磁力発生部41と、磁力発生部41の周囲に配置され、圧縮空気を吐出する圧縮空気供給部42と、を備えている。圧縮空気供給部42の端面421は、磁力発生部41の端面411とともに、レール2のスライダ案内面211、212と非接触で対面する支持面40を構成している。
【選択図】図1
Description
前記相手部品は、磁性を帯びたスライダ案内面を備え、
前記スライダは、
前記スライダ案内面と非接触で対面する支持面を備えた静圧気体軸受を少なくとも一つ有し、
前記静圧気体軸受は、
前記スライド案内面を相対的に引き寄せる磁力を発生させる磁力発生手段と、
前記スライダ案内面と前記支持面との隙間に圧縮気体を供給する圧縮気体供給手段と、を有する。
Claims (8)
- 相手部品に対して非接触で移動するスライダを備えたエアスライド装置であって、
前記相手部品は、磁性を帯びたスライダ案内面を備え、
前記スライダは、
前記スライダ案内面と非接触で対面する支持面を備えた静圧気体軸受を少なくとも一つ有し、
前記静圧気体軸受は、
前記スライド案内面を前記支持面に相対的に引き寄せる磁力を発生させる磁力発生手段と、
前記スライダ案内面と前記支持面との隙間に圧縮気体を供給する圧縮気体供給手段と、を有する
ことを特徴とするエアスライド装置。 - 請求項1に記載のエアスライド装置であって、
前記磁力発生手段が前記支持面の中央に配置され、当該磁力発生手段の外周側を囲むように、前記圧縮気体供給手段が配置されている
ことを特徴とするエアスライド装置。 - 請求項1または2に記載のエアスライド装置であって、
前記磁力発生手段は、磁石であり、
前記圧縮空気供給手段は、一方の端面に圧縮空気吐出口が少なくとも一つ形成され、当該一方の端面の中央部に前記磁力発生手段の挿入穴が形成された板状部材であり、
前記支持面は、
前記磁石の端面と、前記板状部材の前記一方の端面とを含んで構成されている
ことを特徴とするエアスライド装置。 - 請求項3に記載のエアスライド装置であって、
前記磁石は、少なくとも一つの永久磁石からなる
ことを特徴とするエアスライド装置。 - 請求項1ないし4のいずれか一項に記載のエアスライド装置であって、
前記相手部材は、互いに異なる方向の二面のスライダ案内面を備え、
前記静圧気体軸受を複数備え、
前記スライダは、
前記二面のスライダ案内面のうちの一方のスライダ案内面と対面する第一の面、および、他方のスライダ案内面と対面する第二の面を備えたL字形状のスライドプレートを有しており、
前記複数の静圧気体軸受は、
前記支持面が前記一方のスライダ案内面と対面するように前記第一の面に取り付けられた、少なくとも一つの第一の静圧気体軸受と、
前記支持面が前記他方のスライダ案内面と対面するように前記第二の面に取り付けられた、少なくとも一つの第二の静圧気体軸受と、を含む
ことを特徴とするエアスライド装置。 - 請求項5に記載のエアスライド装置であって、
前記第一の静圧気体軸受は、
当該第一の静圧気体軸受の前記支持面と前記一方のスライダ案内面との隙間を均一に保つための調芯手段を有する
ことを特徴とするエアスライド装置。 - 請求項6に記載のエアスライド装置であって、
前記調芯手段は、
前記第一の静圧気体軸受を前記第一の面に対して角度自在に取り付けるためのボールジョイントである
ことを特徴とするエアスライド装置。 - 請求項5ないし7のいずれか一項に記載のエアスライド装置であって、
前記第二の静圧気体軸受は、前記第二の面に固定されている
ことを特徴とするエアスライド装置。
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