JP4859784B2 - ノズルユニット - Google Patents

Description

本発明は、基板上の所望の実装位置に電子部品等の部品を実装する部品実装機に用いるノズルユニットに関する。

従来、部品実装機は、次のように動作する。すなわち、部品実装機は、先ず、部品供給部から供給された部品に向かってノズルユニットの吸着ビット部を降下させ、吸着ビット部の部品吸着口が所定の高さとなったタイミングで、部品吸着口に負圧（大気圧未満）を供給し、その部品吸着口に部品を真空吸着させる。

次に、部品実装機は、吸着ビット部を上昇させ、吸着ビット部が吸着保持している部品の姿勢をカメラで撮像して認識する。部品実装機は、認識した吸着保持中の部品の姿勢および予めＮＣテーブルで定められている部品の姿勢に応じて、ノズルユニットをその軸芯回りに回転させて、部品の向きを修正する。

次に、部品実装機は、ノズルユニットを基板上の所望の実装位置に向かって水平方向に移動させ、吸着ビット部を基板に向かって降下させ、吸着ビット部の部品吸着口が所定の高さとなったタイミングで、部品吸着口に背圧（大気圧以上）を供給して、部品が基板に当接した時、あるいは当接した後に、吸着ビット部による吸着保持が解除されるようにする。その後、部品実装機は、基板に当接している部品を吸着ビット部により押圧して、部品を実装する。

従来のノズルユニットの構成について、図２１を用いて説明する。従来のノズルユニットは、ビットホルダ部１０１と、ビットホルダ部１０１の中心孔１０１ａ内を上下に摺動自在な吸着ビット部１０２と、吸着ビット部１０２とビットホルダ部１０１との間に係着された圧縮ばね１０３と、を備える。圧縮ばね１０３は、吸着ビット部１０２を下方に付勢しており、この付勢力により、吸着ビット部１０２はビットホルダ部１０１から突出している。

また、ビットホルダ部１０１にはガイドピン１０４が中心孔１０１ａ内に突出するように設けられており、そのガイドピン１０４の先端を、吸着ビット部１０２の外周部に設けた軸線方向の溝１０２ａに嵌入させて吸着ビット部１０２とビットホルダ部１０１との相対回転を規制している。

圧縮ばね１０３は、部品吸着時に吸着ビット部１０２の先端の部品吸着口１０５に供給される負圧により吸着ビット部１０２が上昇しないようにしている。さらに、下降開始時（加速時）に吸着ビット部１０２が上昇しないようにしている。また、実装時には部品を押圧する。

以上のように、従来、ノズルユニットは、実装時に圧縮ばねの付勢力により部品を押圧する構成となっている（例えば特許文献１参照。）。しかし、近年、抵抗素子等のチップ部品の小型化が進んできており、実装時に部品割れ等が起こるようになってきた。そのため、実装時に部品に作用する衝撃力を小さくすることが要求されている。

実装時に部品に作用する衝撃力には、次の２つの力がある。すなわち、部品を実装位置に当接する際に部品に作用する衝撃力：Ｆ＝ｍｖ／ｔ＋ｍｇ＋Ｐ＋ｋμ０と、部品を押圧する際に部品に作用する衝撃力：Ｆ＝ｍｇ＋Ｐ＋ｋμ１である。ここで、ｍ：吸着ビット部の質量、ｖ：吸着ビット部の降下時の速度（通常は等速である）、ｔ：ｖが変化した場合のその時の時間、Ｐ：吸着ビット部をビットホルダ部に対して下方へ付勢する付勢力（圧縮ばねの付勢力）、ｋ：係数、μ０：静止摩擦係数、μ１：動摩擦係数である。

図２１に示すノズルユニットでは、部品吸着口１０５に供給される負圧が吸着ビット部１０２の上面にも作用して、圧縮ばね１０３に抗して吸着ビット部１０２を吸い上げようとする力が生じるため、圧縮ばね１０３の付勢力Ｐを小さくできず、実装時に部品に作用する衝撃力が大きくなる。

また、ビットホルダ部１０１の中心孔１０１ａ内に、吸着ビット部１０２がすべり軸受けにより摺動自在に設けられており、その摺動部に発生する摩擦係数μ０、μ１が大きいため、実装時に部品に作用する衝撃力が大きくなる。

さらに、中心孔１０１ａの内面と吸着ビット部１０２の外面との接触面（摺動部）に発生する摩擦係数μ０、μ１が大きいことから、耐久性を考慮して、吸着ビット部１０２とビットホルダ部１０１は鉄でできており、そのため、吸着ビット部１０２の質量ｍが重くなり、実装時に部品に作用する衝撃力が大きくなる。

したがって、図２１に示す従来のノズルユニットでは、実装時に部品に作用する衝撃力が大きくなるため、実装時に部品割れ等が起こるおそれがある。そこで、部品吸着口１０５に供給する負圧が吸着ビット部１０２の上面に作用しないようにして、その分、圧縮ばね１０３の付勢力Ｐを小さくすることで、実装時に部品に作用する衝撃力を小さくするものが提案されている（例えば特許文献１参照。）。図２２にその従来のノズルユニットを示す。但し、図２１において説明した部材に対応する部材には同一符号を付して、説明を省略する。

図２２に示すように、このノズルユニットは、ビットホルダ部１０１に設けた大径の中心孔１０１ａと負圧供給用の圧力源に通じる小径の中心孔１０１ｂとをコの字型の通路１０１ｃにより連通させ、この通路１０１ｃをビットホルダ部１０１の外周部に嵌着した外筒１０６により密閉すると共に、吸着ビット部１０２の上部に小径部１０２ｂを設けた構成となっている。

このノズルユニットの構成によれば、吸着ビット部１０２の上面に負圧が作用しないので、その分、圧縮ばね１０３の付勢力Ｐを小さくでき、実装時に部品へ作用する衝撃力を小さくすることができる。

しかし、やはり、ビットホルダ部１０１の中心孔１０１ａ内に、吸着ビット部１０２がすべり軸受けにより摺動自在に設けられているため、その摺動部に作用する摩擦係数μ０、μ１が大きくなる。また、中心孔１０１ａの内面と吸着ビット部１０２の外面との接触面（摺動部）に発生する摩擦係数μ０、μ１が大きいため、耐久性を考慮して、吸着ビット部１０２とビットホルダ部１０１は鉄製にする必要があり、吸着ビット部１０２の質量ｍが重くなる。したがって、図２２に示す従来のノズルユニットでも、実装時に部品に作用する衝撃力が大きくなるため、実装時に部品割れ等が起こるおそれがある。

一方、部品実装機のノズルユニットとは異なるが、回路基板に半導体チップをボンディングするチップボンディングツールにおいて、図２３に示すように、上下動するピストン２０２のロッド２０４を静圧軸受け２１７で支持することで、ピストン２０２の支持箇所の摩擦抵抗を小さくして、低圧レベルの加圧エアでピストン２０２を下方へ移動できるようにしたものが提案されている（例えば、特許文献２参照。）。

チップボンディングツールは、シリンダチューブ２０１の内部に上下動自在にピストン２０２を支持し、チップボンディング時に、ピストン２０２のヘッド２０３を下方向へ移動させ、ロッド２０４の先端に装着された加圧子２０５に吸着している半導体チップを回路基板にボンディングする。

具体的には、図２３に示すように、シリンダチューブ２０１の上部ポート２０６に管路２０７が、下部ポート２０８に管路２０９がそれぞれ接続しており、チップボンディング時には、管路２０７および上部ポート２０６を経て加圧エアを供給しながら、下部ポート２０８および管路２０９を経てエアを排出して、ピストン２０２のヘッド２０３を下方向へ移動させる。

また図２３に示すチップボンディングツールは、エア供給孔２１０に管路２１１が、エア吸引孔２１２に管路２１３がそれぞれ接続されており、エア吸引孔２１２は、ピストン２０２のロッド２０４に設けられた接続孔２１４に接続し、接続孔２１４は、ロッド２０４の先端に設けられた加圧子２０５のチップ吸着孔２１５に接続している。チップボンディング時には、管路２１３、エア吸引孔２１２、接続孔２１４を経て、チップ吸着孔２１５を真空状態にして、半導体チップを真空吸着する。さらにこのとき、管路２１１およびエア供給孔２１０を経た加圧エアを多孔質体２１６で均一に分散させてピストン２０２のロッド２０４を非接触状態に支持している。

しかしながら、このチップボンディングツールは、シリンダチューブ２０１の側壁に貫通せしめられたエア供給孔２１０およびエア吸引孔２１２に管路が接続する構成となっており、回転させることができない。したがって、このチップボンディングツールの機構を、回転させる必要があるノズルユニットに採用することはできなかった。
特開平２−１７４２９９号公報 特開平１０−３４０９３１号公報

本発明は、上記問題点に鑑み、吸着ビット部が挿入される貫通穴を有するエア供給用ブロック部を設け、吸着ビット部とエア供給用ブロック部との間に静圧軸受けを構成することにより、回転する吸着ビット部を静圧軸受けで支持することができ、実装時に部品に作用する衝撃力を低減することができるノズルユニットを提供することを目的とする。

本発明の請求項１記載のノズルユニットは、基板上に部品を実装する部品実装機に用いられるノズルユニットであって、部品を吸着する部品吸着口が形成された吸着ビット部と、下方へ開口する凹部を有し前記凹部に挿入された前記吸着ビット部を上下動可能に支持するビットホルダ部と、前記ビットホルダ部に支持された前記吸着ビット部を、前記ビットホルダ部に対して下方へ付勢する付勢部と、前記ビットホルダ部に支持された前記吸着ビット部、および前記ビットホルダ部を共に上下動および回転させる可動軸と、前記ビットホルダ部に支持された前記吸着ビット部が挿入される貫通穴を有し、前記貫通穴へ連通する気体供給口および、前記貫通穴の内面と前記貫通穴に挿入された前記吸着ビット部の外面との間に形成された隙間を経由して前記吸着ビット部の前記部品吸着口に連通する気体吸引口が形成されたエア供給用ブロック部と、を備え、前記気体供給口へ供給された気体により、前記貫通穴の内面と前記貫通穴に挿入された前記吸着ビット部の外面との間に形成された隙間に静圧軸受けが構成され、かつ、前記気体吸引口から気体が吸引されることにより、前記部品吸着口に部品を吸着し、前記貫通穴に前記ビットホルダ部の側壁が挿入されており、その側壁に、前記貫通穴の内面と前記ビットホルダ部の外面との間の隙間を経由して前記ビットホルダ部の内面と前記吸着ビット部の外面との間の隙間に前記気体供給口および前記気体吸引口を連通させる連通孔がそれぞれ形成されていることを特徴とする。

また、本発明の請求項２記載のノズルユニットは、基板上に部品を実装する部品実装機に用いられるノズルユニットであって、部品を吸着する部品吸着口が形成された吸着ビット部と、下方へ開口する凹部を有し前記凹部に挿入された前記吸着ビット部を上下動可能に支持するビットホルダ部と、前記ビットホルダ部に支持された前記吸着ビット部を、前記ビットホルダ部に対して下方へ付勢する付勢部と、前記ビットホルダ部に支持された前記吸着ビット部、および前記ビットホルダ部を共に上下動および回転させる可動軸と、前記ビットホルダ部に支持された前記吸着ビット部が挿入される貫通穴を有し、前記貫通穴へ連通する気体供給口および、前記貫通穴の内面と前記貫通穴に挿入された前記吸着ビット部の外面との間に形成された隙間を経由して前記吸着ビット部の前記部品吸着口に連通する気体吸引口が形成されたエア供給用ブロック部と、を備え、前記気体供給口へ供給された気体により、前記貫通穴の内面と前記貫通穴に挿入された前記吸着ビット部の外面との間に形成された隙間に静圧軸受けが構成され、かつ、前記気体吸引口から気体が吸引されることにより、前記部品吸着口に部品を吸着し、前記吸着ビット部は上方に開放された凹部を有し、前記可動軸は、下方に開放された凹部を有し前記ビットホルダ部および前記吸着ビット部の内側に突出する突出部と、前記突出部の内側空間をその上部で前記ビットホルダ部の内側空間に連通させる連通孔と、を有し、前記吸着ビット部の側壁には、前記貫通孔の内面と前記吸着ビット部の外面との間の隙間を経由して前記吸着ビット部の内面と前記突出部の外面との間の隙間に前記気体供給口を連通させる連通孔が形成されていることを特徴とする。

また、本発明の請求項３記載のノズルユニットは、基板上に部品を実装する部品実装機に用いられるノズルユニットであって、部品を吸着する部品吸着口が形成された吸着ビット部と、下方へ開口する凹部を有し前記凹部に挿入された前記吸着ビット部を上下動可能に支持するビットホルダ部と、前記ビットホルダ部に支持された前記吸着ビット部を、前記ビットホルダ部に対して下方へ付勢する付勢部と、前記ビットホルダ部に支持された前記吸着ビット部、および前記ビットホルダ部を共に上下動および回転させる可動軸と、前記ビットホルダ部に支持された前記吸着ビット部が挿入される貫通穴を有し、前記貫通穴へ連通する気体供給口および、前記貫通穴の内面と前記貫通穴に挿入された前記吸着ビット部の外面との間に形成された隙間を経由して前記吸着ビット部の前記部品吸着口に連通する気体吸引口が形成されたエア供給用ブロック部と、を備え、前記気体供給口へ供給された気体により、前記貫通穴の内面と前記貫通穴に挿入された前記吸着ビット部の外面との間に形成された隙間に静圧軸受けが構成され、かつ、前記気体吸引口から気体が吸引されることにより、前記部品吸着口に部品を吸着し、前記貫通穴の一部に前記ビットホルダ部の側壁が挿入されており、その側壁に、前記貫通穴の内面と前記ビットホルダ部の外面との間の隙間を経由して前記ビットホルダ部の内面と前記吸着ビット部の外面との間の隙間に前記気体供給口を連通させる連通孔が形成されていることを特徴とする。

本発明の好ましい形態によれば、回転する吸着ビット部を静圧軸受けで支持することができ、摺動部の摩擦係数を低減することができる。さらに、その分、吸着ビット部をビットホルダ部に対して下方へ付勢する付勢力を小さくすることが可能となる。

また、摺動部の摩擦係数を低減できるので、吸着ビット部の材質を鉄からアルミ等の比重の軽い材料へ代えることができ、吸着ビット部の質量を小さくすることができる。さらに、その分、吸着ビット部をビットホルダ部に対して下方へ付勢する付勢力を小さくすることが可能となる。

また、吸着ビット部とエア供給用ブロック部にのみ、吸着ビット部の部品吸着口へ負圧（大気圧未満）を供給するための流路が形成されるので、吸着ビット部が挿入されるビットホルダ部の内側空間には負圧の流路は形成されず、吸着ビット部の上面に負圧が作用しない。したがって、その分、吸着ビット部をビットホルダ部に対して下方へ付勢する付勢力を小さくすることが可能となる。

以上のように、摺動部の摩擦係数、吸着ビット部をビットホルダ部に対して下方へ付勢する付勢力、および吸着ビット部の質量を小さくすることができるので、部品を基板上に実装する際に部品に作用する衝撃力を小さくすることができる。したがって、その衝撃力による部品の割れ等を回避することができる。

以下、本発明の各実施の形態について、図面を交えて説明する。なお、本発明は、以下で説明する実施の形態に限るものではない。例えば、各実施の形態で説明する事項を適宜組み合わせてもよい。

（実施の形態１）
図１は、本発明の実施の形態１に係るノズルユニットを示す模式断面図である。図１に示すように、このノズルユニットは、装着ヘッドベース部１０が上下動および回転可能に可動軸２０を支持し、その可動軸２０の先端（下端）に接続されたビットホルダ部３０が吸着ビット部４０を支持し、エア供給用ブロック部５０が、静圧軸受けにより吸着ビット部４０を上下動および回転可能に支持する構成となっている。この構成により、可動軸２０を上下動および回転させることで、ビットホルダ部３０および吸着ビット部４０を共に装着ヘッドベース部１０に対して上下動および回転させることが可能となる。

また、このノズルユニットは、吸着ビット部４０の先端（下端）に形成された部品吸着口４１にエア供給用ブロック部５０から負圧（大気圧未満）が供給される構成となっている。この構成により、吸着ビット部４０の先端（部品吸着口４１）に部品７０を吸着させることが可能となる。

このノズルユニットは、基板上の所望の実装位置に部品を実装する部品実装機に用いられるものである。部品実装機は、次のように部品実装を行う。すなわち、部品実装機は、先ず、部品供給部から供給された部品７０に向かってノズルユニットの吸着ビット部４０を降下させ、吸着ビット部４０の部品吸着口４１が所定の高さとなったタイミングで、部品吸着口４１に負圧を供給し、その部品吸着口４１に部品７０を真空吸着させる。

次に、部品実装機は、吸着ビット部４０を上昇させ、吸着ビット部４０が吸着保持している部品７０の姿勢をカメラで撮像して認識する。部品実装機は、認識した吸着保持中の部品７０の姿勢および予めＮＣテーブルで定められている部品７０の姿勢に応じて、吸着ビット部４０をその軸芯回りに回転させて、部品の向きを修正する。

次に、部品実装機は、ノズルユニットを基板上の所望の実装位置に向かって水平方向に移動させ、吸着ビット部４０を基板に向かって降下させ、吸着ビット部４０の部品吸着口４１が所定の高さとなったタイミングで、部品吸着口４１に背圧（大気圧以上）を供給して、部品７０が基板に当接した時、あるいは当接した後に、吸着ビット部４０による吸着保持が解除されるようにする。その後、部品実装機は、基板に当接している部品７０を吸着ビット部４０により押圧して、部品を実装する。

また、部品実装機は、以上説明した動作の間、エア供給用ブロック部５０に正圧（大気圧以上）を供給して、エア供給用ブロック部５０と吸着ビット部４０との間に静圧軸受けを構成する。

以下、ノズルユニットを詳細に説明する。装着ヘッドベース部１０は、可動軸２０を上下動および回転可能に支持する。この構成は、例えば、装着ヘッドベース部１０と可動軸２０との間に、スプライン軸受け１１とボールベアリング１２を２重に設けた構成としてもよい。なお、無論、可動軸２０の軸受けは、この構成に限るものではない。

可動軸２０は、例えば、装着ヘッドベース部１０に設けた図示しないリニアモータと、装着ヘッドベース部１０および可動軸２０に設けた突出部１３、２１に係着するばね１４により上下動する。つまり、可動軸２０を下降させるときには、リニアモータを駆動して可動軸２０を下方へ押し、可動軸２０を上昇させるときには、ばね１４の付勢力により可動軸２０を上方へ戻す。なお、無論、可動軸２０を上下動させる構成は、この構成に限るものではない。

可動軸２０を回転させる構成としては、例えば可動軸２０にプーリ２２を設けて、プーリ２２を回転させる構成とする。なお、無論、可動軸２０を回転させる構成は、この構成に限るものではない。

可動軸２０の先端（下端）に接続されたビットホルダ部３０は円筒形状をしており、下方に開放された凹部３１を有する。このビットホルダ部３０は、その凹部３１の内側に挿入された吸着ビット部４０を、上下動可能に支持すると共に可動軸２０の回転に連動して回転させる。また、エア供給用ブロック部５０が吸着ビット部４０を静圧軸受けにより支持したとき、ビットホルダ部３０の内面と吸着ビット部４０の外面との間に一定のクリアランスが保たれるように構成する。

吸着ビット部４０をビットホルダ部３０に対して上下動可能に支持すると共に可動軸２０の回転に連動して回転させる構成としては、例えば、ビットホルダ部３０に設けた上下方向に長い長穴３２ａに吸着ビット部４０に設けた回り止め用のピン４２ａを嵌め込む構成にする。図２に、図１に示すＡ方向から見たノズルユニットの外観を示す。

図２に示すように、吸着ビット部４０のピン４２ａを、ビットホルダ部３０の長穴３２ａに、その長手方向に移動自在に嵌め込むことで、吸着ビット部４０をビットホルダ部３０に対して上下動可能に支持することができ、かつ、ビットホルダ部３０（可動軸２０）の回転に連動して吸着ビット部４０を回転させることができる。

なお、無論、吸着ビット部４０をビットホルダ部３０に対して上下動可能に支持すると共に可動軸２０の回転に連動して回転させる構成は、この構成に限るものではない。例えば、図３に示すように、吸着ビット部４０の上部に四角柱形状の回り止め部４２ｂを設けると共に、ビットホルダ部３０の側壁に、その回り止め部４２ｂの鍔部が上下方向に移動可能に嵌め込まれる形状の環状穴３２ｂを設ける構成としてもよい。

また、ビットホルダ部３０と吸着ビット部４０との間に、吸着ビット部４０をビットホルダ部３０に対して下方へ付勢する圧縮ばね（付勢部）３３が係着されている。圧縮ばね３３は、次の３つの機能を有する。第１は、吸着ビット部４０の先端（部品吸着口４１）で部品７０を吸着しているときに、負圧により吸着ビット部４０が上昇しないようにして、吸着ビット部４０を下限位置に規制する機能である。第２は、吸着ビット部４０の下降開始時（加速時）に吸着ビット部４０が上昇しないようにして、吸着ビット部４０を下限位置に規制する機能である。第３は、部品７０の実装時に、部品７０を押圧する機能である。

以上説明した構成により、ビットホルダ部３０に支持される吸着ビット部４０、およびビットホルダ部３０は、可動軸２０の上下動ないし回転動作に連動して、上下動ないし回転する。

ビットホルダ部３０に支持される吸着ビット部４０は、円柱形状の胴体部（ノズルホルダ）４３と、胴体部４３に装着されたノズル部４４からなる。ノズル部４４は円筒形状であり、その先端（下端）に部品吸着口４１が形成されている。部品吸着口４１は、吸着ビット部４０に形成された連通孔４５を経由して、吸着ビット部４０の外側面に連通する。連通孔４５は、具体的には、円筒形状のノズル部４４の内側空間と、その内側空間と胴体部４３の外側面とを連通する複数本の連通孔からなり、その各連通孔の開口部が胴体部４３の外側面に形成されている。

吸着ビット部４０は、エア供給用ブロック部５０が有する貫通穴５１に挿入（遊嵌）される。エア供給用ブロック部５０は、外面に気体供給口５２および気体吸引口５３が形成されている。また、貫通穴５１の内面に、環状の気体供給室５４および気体吸引室５５が形成されている。気体吸引室５５は、吸着ビット部４０の外側面に形成された連通孔４５の開口部に対向するように配置する。

気体供給口５２は、エア供給用ブロック部５０の内部に形成された連通孔５６を経由して気体供給室５４に連通する。同様に、気体吸引口５３は、エア供給用ブロック部５０の内部に形成された連通孔５７を経由して気体吸引室５５に連通する。

つまり、気体供給口５２は、吸着ビット部４０の外面と貫通穴５１の内面との間の隙間に連通する。一方、気体吸引口５３は、吸着ビット部４０の外面と貫通穴５１の内面との間の隙間を経由して吸着ビット部４０の部品吸着口４１に連通する。

また、気体供給口５２は、図示しない部品実装機の正圧供給用の圧力源に、管路７１および電磁弁７２を介して接続する。部品実装機は、電磁弁７２の開閉を制御して、気体供給口５２への気体（正圧）の供給および供給停止を制御する。

気体吸引口５３は、図示しない部品実装機の負圧供給用の圧力源および背圧供給用の圧力源に、管路７３、電磁弁７４、並びに管路７３の接続先を負圧供給用の圧力源および背圧供給用の圧力源との間で切り換える電磁弁（図示せず）を介して接続する。部品実装機は、２つの電磁弁の開閉を制御して、気体吸引口５３からの気体の吸引および吸引停止ないし気体吸引口５３への気体（背圧）の供給および供給停止を制御する。すなわち、部品吸着口４１への負圧ないし背圧の供給および供給停止を制御する。

図４に、図１に示すＢ方向から見たノズルユニットの外観を示す。このように気体供給口５２と気体吸引口５３を上下方向に並べて配置することで、例えば、図５（ａ）に示すように６個のノズルユニットを配置したり、図５（ｂ）に示すように１２個のノズルユニットを配置することができ、多数個のノズルユニットをコンパクトに配置することができるようになる。なお、図５（ａ）、図５（ｂ）には、１個の装着ヘッドベース部に対して複数個の可動部やエア供給用ブロック部等を装着した構成を示している。

図６に吸着ビット部４０周辺のエアの流れを示す。図６において、矢印がエアの流れを示している。図６に示すように、気体供給口５２に供給された気体（正圧）は、貫通穴５１の内面と吸着ビット部４０の外面との間の隙間に供給される。したがって、気体供給口５２に気体（正圧）を供給することで、貫通穴５１の内面と吸着ビット部４０の外面との間の隙間に静圧軸受けを構成することができ、その摺動部の静摩擦係数および動摩擦係数をほぼ零にすることができる。

一方、気体吸引口５３から気体を吸引すると、吸着ビット部４０の先端（部品吸着口４１）に負圧が供給される。したがって、気体吸引口５３から気体を吸引することで、吸着ビット部４０の先端に部品７０を吸着させることができる。なお、気体吸引口５３から吸引する気体の流量は、気体供給口５２に供給する気体の流量よりも大きくする。

図７に、図６に示すＣ１−Ｃ１’部の断面を示す。図７に示すように、環状の気体供給室５４を形成することで、吸着ビット部４０の全周に対して静圧軸受けを構成することができる。

図８に、図６に示すＣ２−Ｃ２’部の断面を示す。図８に示すように環状の気体吸引室５５を形成することで、吸着ビット部４０が回転しても部品吸着口４１に負圧を安定して供給することが可能となる。

なお、図８には、円筒形状のノズル部４４の内側空間を吸着ビット部４０の外側面に連通する連通孔を８本形成した構成を示しているが、無論、この連通孔は８本に限定されるものではない。また、ここでは環状の気体吸引室を形成する場合を例示したが、気体吸引室は、少なくとも吸着ビット部の回転範囲に対応する範囲に形成する。

また、図１に示すように、エア供給用ブロック部５０には、可動軸２０を回転可能に支持し、可動軸２０の上下動に連動して上下動するレバー部５８が装着している。レバー部５８が可動軸２０を回転可能に支持する構成としては、例えば可動軸２０とレバー部５８との間にボールベアリング５９を設けてもよい。なお、無論、可動軸２０を支持する構成は、これに限るものではない。

またエア供給用ブロック部５０は装着ヘッドベース部１０に上下動可能に支持される。エア供給用ブロック部５０を支持する構成としては、例えば図１に示すように、装着ヘッドベース部１０とエア供給用ブロック部５０との間にスプライン軸受け１５を設けてもよい。なお、無論、エア供給用ブロック部５０を支持する構成は、これに限るものではない。例えば、装着ヘッドベース部１０に下方に突出する突出部を設け、その突出部の軸受けをエア供給用ブロック部５０側に設けてもよい。

以上のようにレバー部５８を設けることで、エア供給用ブロック部５０は可動軸２０の上下動に連動して上下動する。したがって、可動軸２０が上下動しても、吸着ビット部４０とエア供給用ブロック部５０との位置関係は変わらず、気体供給室５４は、吸着ビット部４０の外側面に常に対向するので、エア供給用ブロック部５０と吸着ビット部４０との間に安定して静圧軸受けを構成することができる。

また、可動軸２０が上下動しても、気体吸引室５５は、吸着ビット部４０の外側面に形成された連通孔４５の開口部に常に対向するので、吸着ビット部４０の部品吸着口４１へ負圧を安定して供給することができる。なお、可動軸２０の上下方向の移動量が小さい場合には、例えばエア供給用ブロック部５０を装着ヘッドベース部１０に固定してもよい。

また、可動軸２０が回転してもエア供給用ブロック部５０が回転しない構成であるので、常に決まった方向からエア供給用ブロック部５０に負圧や正圧、背圧を供給することができ、可動軸２０が回転してもエア供給用ブロック部５０に接続する管路は回転しない。

本実施の形態１によれば、吸着ビット部４０とエア供給用ブロック部５０にのみ、吸着ビット部４０の部品吸着口４１へ負圧を供給するための流路が形成され、吸着ビット部４０が挿入されるビットホルダ部３０の内側空間には負圧の流路が形成されないので、吸着ビット部４０の上面に負圧が作用しない。したがって、その分、圧縮ばね３３の付勢力を小さくすることが可能となる。

また、貫通穴５１の内面と吸着ビット部４０の外面との間の隙間に静圧軸受けを構成することができ、摺動部の摩擦係数を低減することができる。さらに、その分、圧縮ばね３３の付勢力を小さくすることが可能となる。

また、摺動部の摩擦係数を低減できるので、吸着ビット部４０の材質を鉄からアルミ等の比重の軽い材料へ代えることができ、吸着ビット部４０の質量を小さくすることができる。さらに、その分、圧縮ばね３３の付勢力を小さくすることが可能となる。

以上のように、圧縮ばね３３の付勢力、摺動部の摩擦係数、および吸着ビット部４０の質量を小さくすることができるので、部品７０を基板上に実装する際に部品７０に作用する衝撃力を小さくすることができる。したがって、その衝撃力による部品７０の割れ等を回避することができる。但し、圧縮ばね３３は、少なくとも、負圧による吸着ビット部の上昇、および下降開始時の吸着ビット部の上昇を抑えるだけの付勢力を有する必要がある。

なお、気体供給室５４を貫通穴５１の内面に形成したが、図９に示すように、エア供給用ブロック部５０の内部に環状の気体供給室５４を設け、その気体供給室５４を貫通穴５１の内面に形成した複数の開口部へ連通させてもよい。図１０に、図９に示すＣ１−Ｃ１’部の断面を示す。図１０には、貫通穴５１の内面と吸着ビット部４０の外面との間の隙間へ気体供給室５４を連通させる連通孔を４本形成した場合を例示しているが、無論、この連通孔は４本に限定されるものではない。

また、図示しないが、吸着ビット部４０の外側面に環状の気体供給室を設けてもよい。また、気体吸引室５５についても同様に、吸着ビット部４０の外側面に設けてもよい。

（実施の形態２）
図１１は、本発明の実施の形態２に係るノズルユニットの一部を示す模式断面図である。但し、図１１には、前述した実施の形態１で説明した構成と異なる部分を説明するのに必要な構成のみを示す。また、前述した実施の形態１において説明した部材に対応する部材には同一符号を付している。なお、図１１に示していない部分は、前述した実施の形態１と同様であるので、説明を省略する。

本実施の形態２に係るノズルユニットは、主に、エア供給用ブロック部とエア供給用ブロック部に挿入されたビットホルダ部との間の隙間、およびビットホルダ部と吸着ビット部との間の隙間に、静圧軸受けが構成される点が、前述した実施の形態１と異なる。以下、前述した実施の形態１と異なる点について説明する。

筒形状のビットホルダ部３０は、外面の断面形状が円形状をしており、内面の断面形状が四角形状をしている。吸着ビット部４０の胴体部４３は四角柱形状をしており、ビットホルダ部３０の四角柱形状の内側空間に挿入（遊嵌）される。ビットホルダ部３０は、挿入された吸着ビット部４０を上下動可能に支持する。

吸着ビット部４０をビットホルダ部３０に対して上下動可能に支持する構成としては、例えば、ビットホルダ部３０に設けた上下方向に長い長穴３２ｃに、吸着ビット部４０に設けた挿入ピン４２ｃを挿入する構成にする。図１２に、図１１に示すＡ方向から見たノズルユニットの外観を示す。

図１２に示すように、吸着ビット部４０の挿入ピン４２ｃを、ビットホルダ部３０の長穴３２ｃに挿入することで、吸着ビット部４０をビットホルダ部３０に対して上下動可能に支持することができる。挿入ピン４２ｃは回り止め用のものではないので、図１２に示すように、ビットホルダ部３０の長穴３２ｃに挿入ピン４２ｃを遊嵌してもよい。なお、無論、吸着ビット部４０をビットホルダ部３０に対して上下動可能に支持する構成は、この構成に限るものではない。

ビットホルダ部３０と吸着ビット部４０は共に、エア供給用ブロック部５０が有する貫通穴５１に挿入（遊嵌）される。ビットホルダ部３０の側壁には、貫通穴５１の内面とビットホルダ部３０の外面との間の隙間を、ビットホルダ部３０の内面と吸着ビット部４０の外面との間の隙間に連通させる連通孔３４、３５がそれぞれ複数本形成されている。

連通孔３４は、貫通穴５１の内面とビットホルダ部３０の外面との間の隙間を経由してビットホルダ部３０の内面と吸着ビット部４０の外面との間の隙間に気体供給口５２を連通させる。

一方、連通孔３５は、貫通穴５１の内面とビットホルダ部３０の外面との間の隙間を経由してビットホルダ部３０の内面と吸着ビット部４０の外面との間の隙間に気体吸引口５３を連通させる。

図１３に、図１１に示すＣ１−Ｃ１’部の断面を示す。図１３に示すように、ビットホルダ部３０に複数本の連通孔３４を形成する。なお、図１３には４本の連通孔３４を形成した場合を例示しているが、無論、４本に限定されるものではない。

このようにビットホルダ部３０の側壁に連通孔３４、３５を形成することで、気体供給口５２は、貫通穴５１の内面とビットホルダ部３０の外面との間の隙間、およびビットホルダ部３０の内面と吸着ビット部４０の外面との間の隙間に連通する。また、気体吸引口５３は、貫通穴５１の内面とビットホルダ部３０の外面との間の隙間、およびビットホルダ部３０の内面と吸着ビット部４０の外面との間の隙間に連通し、連通孔４５を経由して吸着ビット部４０の部品吸着口４１に連通する。

図１１において、矢印がエアの流れを示している。気体供給口５２に供給された気体（正圧）は、貫通穴５１の内面とビットホルダ部３０の外面との間の隙間、およびビットホルダ部３０の内面と吸着ビット部４０の外面との間の隙間に供給される。したがって、気体供給口５２に気体（正圧）を供給することで、貫通穴５１の内面とビットホルダ部３０の外面との間の隙間、およびビットホルダ部３０の内面と吸着ビット部４０の外面との間の隙間に、静圧軸受けを構成することができ、それらの摺動部の静摩擦係数および動摩擦係数をほぼ零にすることができる。

一方、気体吸引口５３から気体を吸引すると、吸着ビット部４０の先端（部品吸着口４１）に負圧が供給される。したがって、気体吸引口５３から気体を吸引することで、吸着ビット部４０の先端に部品７０を吸着させることができる。なお、気体吸引口５３から吸引する気体の流量は、気体供給口５２に供給する気体の流量よりも大きくする。

また、ビットホルダ部３０の内側空間と吸着ビット部４０の胴体部４３は共に四角柱形状をしており、ビットホルダ部３０と吸着ビット部４０との間に構成された静圧軸受けにより、吸着ビット部４０は、ビットホルダ部３０の回転に連動して回転する。

なお、ビットホルダ部３０の内側空間および吸着ビット部４０の胴体部４３の形状は、四角柱形状に限定されるものではなく、例えば図１４に示すように三角柱形状であってもよいし、図１５に示すように六角柱形状であってもよいし、図１６に示すように、四角柱形状の各角部を面取りした形状であってもよい。

本実施の形態２によれば、前述した実施の形態１と同様に、圧縮ばね３３の付勢力、摺動部の摩擦係数、および吸着ビット部４０の質量を小さくすることができるので、部品７０を基板上に実装する際に部品７０に作用する衝撃力を小さくすることができる。したがって、その衝撃力による部品７０の割れ等を回避することができる。

（実施の形態３）
図１７は、本発明の実施の形態３に係るノズルユニットの一部を示す模式断面図である。但し、図１７には、前述した実施の形態１で説明した構成と異なる部分を説明するのに必要な構成のみを示す。また、前述した実施の形態１において説明した部材に対応する部材には同一符号を付している。なお、図１７に示していない部分は、前述した実施の形態１と同様であるので、説明を省略する。

本実施の形態３に係るノズルユニットは、主に、エア供給用ブロック部と吸着ビット部との間の隙間、および吸着ビット部と吸着ビット部の内側に突出する可動軸（突出部）との間の隙間に、静圧軸受けが構成される点が、前述した実施の形態１と異なる。以下、前述した実施の形態１と異なる点について説明する。

可動軸２０は、下方に開放された凹部２４を有しビットホルダ部３０および吸着ビット部４０の内側に突出する突出部２３と、突出部２３の内側空間をその上部でビットホルダ部３０の内側空間に連通させる連通孔２５と、を有する。

吸着ビット部４０は、上方に開放された凹部４６を有する。また吸着ビット部４０の側壁には、貫通穴５１の内面と吸着ビット部４０の外面との間の隙間を、吸着ビット部４０の内面と突出部２３の外面との間の隙間に連通させる連通孔４７が複数本形成されている。この連通孔４７により、貫通孔５１の内面と吸着ビット部４０の外面との間の隙間を経由して吸着ビット部４０の内面と突出部２３の外面との間の隙間に気体供給口５２を連通させる。

以上説明した構成により、気体供給口５２は、貫通穴５１の内面と吸着ビット部４０の外面との間の隙間、および吸着ビット部４０の内面と突出部２３の外面との間の隙間に連通する。

一方、気体吸引口５３は、前述した実施の形態１と同様に、吸着ビット部４０の部品吸着口４１に、貫通穴５１の内面と吸着ビット部４０の外面との間の隙間を経由して連通する。

図１８に吸着ビット部４０周辺のエアの流れを示す。図１８において、矢印がエアの流れを示している。気体供給口５２に供給された気体（正圧）は、貫通穴５１の内面と吸着ビット部４０の外面との間の隙間、および吸着ビット部４０の内面と突出部２３の外面との間の隙間に供給される。したがって、気体供給口５２に気体（正圧）を供給することで、貫通穴５１の内面と吸着ビット部４０の外面との間の隙間、および吸着ビット部４０の内面と突出部２３の外面との間の隙間に静圧軸受けを構成することができ、それらの摺動部の静摩擦係数および動摩擦係数をほぼ零にすることができる。なお、吸着ビット部４０の内面と突出部２３の外面との間の隙間に供給された気体の一部は、突出部２３の内側空間を経由して連通孔２５へと流れる。

一方、気体吸引口５３から気体を吸引すると、吸着ビット部４０の先端（部品吸着口４１）に負圧が供給される。したがって、気体吸引口５３から気体を吸引することで、吸着ビット部４０の先端に部品７０を吸着させることができる。なお、気体吸引口５３から吸引する気体の流量は、気体供給口５２に供給する気体の流量よりも大きくする。

本実施の形態３によれば、前述した実施の形態１と同様に、圧縮ばね３３の付勢力、摺動部の摩擦係数、および吸着ビット部４０の質量を小さくすることができるので、部品７０を基板上に実装する際に部品７０に作用する衝撃力を小さくすることができる。したがって、その衝撃力による部品７０の割れ等を回避することができる。

（実施の形態４）
図１９は、本発明の実施の形態４に係るノズルユニットの一部を示す模式断面図である。但し、図１９には、前述した実施の形態１で説明した構成と異なる部分を説明するのに必要な構成のみを示す。また、前述した実施の形態１において説明した部材に対応する部材には同一符号を付している。なお、図１９に示していない部分は、前述した実施の形態１と同様であるので、説明を省略する。

本実施の形態４に係るノズルユニットは、主に、エア供給用ブロック部が、静圧軸受けを構成する部分と真空吸着を行う部分とに分かれている点が、前述した実施の形態１と異なる。以下、前述した実施の形態１と異なる点について説明する。

エア供給用ブロック部５０は、第１ブロック部５０ａと第２ブロック部５０ｂとを備える。第１ブロック部５０ａは貫通穴（第１の貫通穴）５１ａを有し、第２ブロック部５０ｂは貫通穴（第２の貫通穴）５１ｂを有する。貫通穴５１ａ、５１ｂは径の大きさが異なり、第１ブロック部５０ａの貫通穴５１ａの径の方が、第２ブロック部５０ｂの貫通穴５１ｂの径よりも大きい。貫通穴５１ａには、吸着ビット部４０とビットホルダ部３０が挿入（遊嵌）され、貫通穴５１ｂには吸着ビット部４０のみが挿入（遊嵌）される。

ビットホルダ部３０の側壁には、第１ブロック部５０ａの貫通穴５１ａの内面とビットホルダ部３０の外面との間の隙間を、ビットホルダ部３０の内面と吸着ビット部４０の外面との間の隙間に連通させる連通孔３４が複数本形成されている。この連通孔３４により、貫通孔５１ａの内面とビットホルダ部３０の外面との間の隙間を経由してビットホルダ部３０の内面と吸着ビット部４０の外面との間の隙間に気体供給口５２を連通させる。

以上説明した構成により、気体供給口５２は、第１ブロック部５０ａの貫通穴５１ａの内面とビットホルダ部３０の外面との間の隙間、およびビットホルダ部３０の内面と吸着ビット部４０の外面との間の隙間に連通する。一方、気体吸引口５３は、吸着ビット部４０の部品吸着口４１に、第２ブロック部５０ｂの貫通穴５１ｂの内面と吸着ビット部４０の外面との間の隙間を経由して連通する。

図１９において、矢印がエアの流れを示している。気体供給口５２に供給された気体（正圧）は、第１ブロック部５０ａの貫通穴５１ａの内面とビットホルダ部３０の外面との間の隙間、およびビットホルダ部３０の内面と吸着ビット部４０の外面との間の隙間に供給される。したがって、気体供給口５２に気体（正圧）を供給することで、貫通穴５１ａの内面とビットホルダ部３０の外面との間の隙間、およびビットホルダ部３０の内面と吸着ビット部４０の外面との間の隙間に、静圧軸受けを構成することができ、それらの摺動部の静摩擦係数および動摩擦係数をほぼ零にすることができる。

一方、気体吸引口５３から気体を吸引すると、吸着ビット部４０の先端（部品吸着口４１）に負圧が供給される。したがって、気体吸引口５３から気体を吸引することで、吸着ビット部４０の先端に部品７０を吸着させることができる。なお、ここでは、第１ブロック部５０ａと第２ブロック部５０ｂに分ける構成としたので、気体吸引口５３から吸引する気体の流量は、気体供給口５２から供給する気体の流量よりも大きくしてもよいし、小さくしてもよい。

また、ビットホルダ部３０の内壁には、ビットホルダ部３０の内側空間に突出する回り止め用のピン３２ｄが、連通孔３４よりも下の位置に設けられている。一方、吸着ビット部４０の外周部には、上下方向に長い溝４２ｄが形成されている。この吸着ビット部４０の溝４２ｄに、ビットホルダ部３０ピン３２ｄが、溝４２ｄの長手方向に移動自在に嵌め込まれる。

このように構成することで、吸着ビット部４０をビットホルダ部３０に対して上下動可能に支持することができ、かつ、ビットホルダ部３０（可動軸２０）の回転に連動して吸着ビット部４０を回転させることができる。なお、無論、吸着ビット部４０をビットホルダ部３０に対して上下動可能に支持すると共に可動軸２０の回転に連動して回転させる構成は、この構成に限るものではない。

本実施の形態４によれば、前述した実施の形態１と同様に、圧縮ばね３３の付勢力、摺動部の摩擦係数、および吸着ビット部４０の質量を小さくすることができるので、部品７０を基板上に実装する際に部品７０に作用する衝撃力を小さくすることができる。したがって、その衝撃力による部品７０の割れ等を回避することができる。

なお、エア供給用ブロック部を第１ブロック部と第２ブロック部に分ける場合について説明したが、無論、他の実施の形態のように分けない構成であっても、エア供給用ブロック部の貫通穴の上側にのみビットホルダ部を挿入することで、同様に実施可能である。但し、この場合、貫通穴のビットホルダ部が挿入される部分の径を、装着ビット部のみが挿入される部分の径よりも大きくする。

（実施の形態５）
図２０は、本発明の実施の形態５に係るノズルユニットの一部を示す模式断面図である。但し、図２０には、前述した実施の形態１で説明した構成と異なる部分を説明するのに必要な構成のみを示す。また、前述した実施の形態１において説明した部材に対応する部材には同一符号を付している。なお、図２０に示していない部分は、前述した実施の形態１と同様であるので、説明を省略する。

本実施の形態５に係るノズルユニットは、吸着ビット部をビットホルダ部に対して下方に付勢する付勢手段が、前述した実施の形態１と異なる。以下、前述した実施の形態１と異なる点について説明する。

可動軸２０は、ビットホルダ部３０の内面および吸着ビット部４０の上面により囲まれた空間を外部に連通させる連通孔２６を有する。連通孔２６は、図示しない部品実装機の正圧供給用の圧力源に、管路７５および電磁弁７６を介して接続する。部品実装機は、制御部７７により電磁弁７６の開閉を制御して、ビットホルダ部３０の内面および吸着ビット部４０の上面により囲まれた空間への気体（正圧）の供給および供給停止を制御する。

このように、ビットホルダ部３０の内面および吸着ビット部４０の上面により囲まれた空間への気体（正圧）の供給および供給停止を制御することで、その空間内の圧力を調節することができ、吸着ビット部４０をビットホルダ部３０に対して下方に付勢する付勢手段の機能を担うことができる。

本発明にかかるノズルユニットは、部品実装時に部品に作用する衝撃力を低減することができ、その衝撃力による部品の割れ等を回避することができ、寸法が４００μｍ×２００μｍの０４０２部品等の小型部品を基板へ実装する技術に有用である。

本発明の実施の形態１に係るノズルユニットの縦断面を示す模式図 本発明の実施の形態１に係るノズルユニットの外観を示す模式図 本発明の実施の形態１に係るノズルユニットの他例の縦断面を示す模式図 本発明の実施の形態１に係るノズルユニットの外観を示す模式図 本発明の実施の形態１に係るノズルユニットの配置例を示す模式図 本発明の実施の形態１に係るノズルユニットにおけるエアの流れを示す模式図 本発明の実施の形態１に係るノズルユニットの横断面を示す模式図 本発明の実施の形態１に係るノズルユニットの横断面を示す模式図 本発明の実施の形態１に係るノズルユニットの他例の縦断面を示す模式図 本発明の実施の形態１に係るノズルユニットの他例の横断面を示す模式図 本発明の実施の形態２に係るノズルユニットの縦断面を示す模式図 本発明の実施の形態２に係るノズルユニットの外観を示す模式図 本発明の実施の形態２に係るノズルユニットの横断面を示す模式図 本発明の実施の形態２に係るノズルユニットの他例の横断面を示す模式図 本発明の実施の形態２に係るノズルユニットの他例の横断面を示す模式図 本発明の実施の形態２に係るノズルユニットの他例の横断面を示す模式図 本発明の実施の形態３に係るノズルユニットの縦断面を示す模式図 本発明の実施の形態３に係るノズルユニットにおけるエアの流れを示す模式図 本発明の実施の形態４に係るノズルユニットの縦断面を示す模式図 本発明の実施の形態５に係るノズルユニットの縦断面を示す模式図 従来のノズルユニットの縦断面を示す図 従来のノズルユニットの縦断面を示す図 従来のチップボンディングツールの縦断面を示す図

符号の説明

１０ 装着ヘッドベース部
１１、１５ スプライン軸受け
１２ ボールベアリング
１３、２１ 突出部
１４ ばね
２０ 可動軸
２２ プーリ
２３ 突出部
２４ 凹部
２５、２６ 連通孔
３０ ビットホルダ部
３１ 凹部
３２ａ 長穴
３２ｂ 環状穴
３２ｃ 長穴
３２ｄ 回り止め用のピン
３３ 圧縮ばね
３４、３５、４５、４７、５６、５７ 連通孔
４０ 吸着ビット部
４１ 部品吸着口
４２ａ 回り止め用のピン
４２ｂ 回り止め部
４２ｃ 挿入ピン
４２ｄ 溝
４３ 胴体部
４４ ノズル部
４６ 凹部
５０ エア供給用ブロック部
５０ａ 第１ブロック部
５０ｂ 第２ブロック部
５１、５１ａ、５１ｂ 貫通穴
５２ 気体供給口
５３ 気体吸引口
５４ 気体供給室
５５ 気体吸引室
５８ レバー部
５９ ボールベアリング
７０ 部品
７１、７３、７５ 管路
７２、７４、７６ 電磁弁
７７ 制御部
１０１ ビットホルダ部
１０１ａ、１０１ｂ 中心孔
１０１ｃ コの字型の通路
１０２ 吸着ビット部
１０２ａ 溝
１０２ｂ 小径部
１０３ 圧縮ばね
１０４ ガイドピン
１０５ 部品吸着口
１０６ 外筒
２０１ シリンダチューブ
２０２ ピストン
２０３ ヘッド
２０４ ロッド
２０５ 加圧子
２０６ 上部ポート
２０７、２０９、２１１、２１３ 管路
２０８ 下部ポート
２１０ エア供給孔
２１２ エア吸引孔
２１４ 接続孔
２１５ チップ吸着孔
２１６ 多孔質体
２１７ 静圧軸受け

Claims (3)

1. 基板上に部品を実装する部品実装機に用いられるノズルユニットであって、
   部品を吸着する部品吸着口が形成された吸着ビット部と、
   下方へ開口する凹部を有し前記凹部に挿入された前記吸着ビット部を上下動可能に支持するビットホルダ部と、
   前記ビットホルダ部に支持された前記吸着ビット部を、前記ビットホルダ部に対して下方へ付勢する付勢部と、
   前記ビットホルダ部に支持された前記吸着ビット部、および前記ビットホルダ部を共に上下動および回転させる可動軸と、
   前記ビットホルダ部に支持された前記吸着ビット部が挿入される貫通穴を有し、前記貫通穴へ連通する気体供給口および、前記貫通穴の内面と前記貫通穴に挿入された前記吸着ビット部の外面との間に形成された隙間を経由して前記吸着ビット部の前記部品吸着口に連通する気体吸引口が形成されたエア供給用ブロック部と、
   を備え、前記気体供給口へ供給された気体により、前記貫通穴の内面と前記貫通穴に挿入された前記吸着ビット部の外面との間に形成された隙間に静圧軸受けが構成され、かつ、前記気体吸引口から気体が吸引されることにより、前記部品吸着口に部品を吸着し、
   前記貫通穴に前記ビットホルダ部の側壁が挿入されており、その側壁に、前記貫通穴の内面と前記ビットホルダ部の外面との間の隙間を経由して前記ビットホルダ部の内面と前記吸着ビット部の外面との間の隙間に前記気体供給口および前記気体吸引口を連通させる連通孔がそれぞれ形成されている
   ことを特徴とするノズルユニット。
2. 基板上に部品を実装する部品実装機に用いられるノズルユニットであって、
   部品を吸着する部品吸着口が形成された吸着ビット部と、
   下方へ開口する凹部を有し前記凹部に挿入された前記吸着ビット部を上下動可能に支持するビットホルダ部と、
   前記ビットホルダ部に支持された前記吸着ビット部を、前記ビットホルダ部に対して下方へ付勢する付勢部と、
   前記ビットホルダ部に支持された前記吸着ビット部、および前記ビットホルダ部を共に上下動および回転させる可動軸と、
   前記ビットホルダ部に支持された前記吸着ビット部が挿入される貫通穴を有し、前記貫通穴へ連通する気体供給口および、前記貫通穴の内面と前記貫通穴に挿入された前記吸着ビット部の外面との間に形成された隙間を経由して前記吸着ビット部の前記部品吸着口に連通する気体吸引口が形成されたエア供給用ブロック部と、
   を備え、前記気体供給口へ供給された気体により、前記貫通穴の内面と前記貫通穴に挿入された前記吸着ビット部の外面との間に形成された隙間に静圧軸受けが構成され、かつ、前記気体吸引口から気体が吸引されることにより、前記部品吸着口に部品を吸着し、
   前記吸着ビット部は上方に開放された凹部を有し、
   前記可動軸は、下方に開放された凹部を有し前記ビットホルダ部および前記吸着ビット部の内側に突出する突出部と、前記突出部の内側空間をその上部で前記ビットホルダ部の内側空間に連通させる連通孔と、を有し、
   前記吸着ビット部の側壁には、前記貫通孔の内面と前記吸着ビット部の外面との間の隙間を経由して前記吸着ビット部の内面と前記突出部の外面との間の隙間に前記気体供給口を連通させる連通孔が形成されている
   ことを特徴とするノズルユニット。
3. 基板上に部品を実装する部品実装機に用いられるノズルユニットであって、
   部品を吸着する部品吸着口が形成された吸着ビット部と、
   下方へ開口する凹部を有し前記凹部に挿入された前記吸着ビット部を上下動可能に支持するビットホルダ部と、
   前記ビットホルダ部に支持された前記吸着ビット部を、前記ビットホルダ部に対して下方へ付勢する付勢部と、
   前記ビットホルダ部に支持された前記吸着ビット部、および前記ビットホルダ部を共に上下動および回転させる可動軸と、
   前記ビットホルダ部に支持された前記吸着ビット部が挿入される貫通穴を有し、前記貫通穴へ連通する気体供給口および、前記貫通穴の内面と前記貫通穴に挿入された前記吸着ビット部の外面との間に形成された隙間を経由して前記吸着ビット部の前記部品吸着口に連通する気体吸引口が形成されたエア供給用ブロック部と、
   を備え、前記気体供給口へ供給された気体により、前記貫通穴の内面と前記貫通穴に挿入された前記吸着ビット部の外面との間に形成された隙間に静圧軸受けが構成され、かつ、前記気体吸引口から気体が吸引されることにより、前記部品吸着口に部品を吸着し、
   前記貫通穴の一部に前記ビットホルダ部の側壁が挿入されており、その側壁に、前記貫通穴の内面と前記ビットホルダ部の外面との間の隙間を経由して前記ビットホルダ部の内面と前記吸着ビット部の外面との間の隙間に前記気体供給口を連通させる連通孔が形成されている
   ことを特徴とするノズルユニット。

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