JPH11210748A - 静圧軸受装置 - Google Patents
静圧軸受装置Info
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- JPH11210748A JPH11210748A JP2161298A JP2161298A JPH11210748A JP H11210748 A JPH11210748 A JP H11210748A JP 2161298 A JP2161298 A JP 2161298A JP 2161298 A JP2161298 A JP 2161298A JP H11210748 A JPH11210748 A JP H11210748A
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- magnetic
- housing
- porous body
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Abstract
(57)【要約】
【課題】 小型化および軽量化を図ることができ、せん
断応力の発生を抑制することができ、磁性体の塵芥等の
付着を防止でき、しかも、外部からのモーメント力の影
響を殆ど受けにくい静圧軸受装置を提供すること。 【解決手段】 円環状のハウジング１２の基台１１に対
向する対向面の外周側に、圧縮空気を噴出する円環状の
多孔質体１４を配置する共に、この対向面の多孔質体１
４の内周側に、磁気吸引力を発生する永久磁石１８を配
置し、これにより、基台１１に圧縮空気を噴出してハウ
ジング１２を非接触で支持すると共に、磁気吸引力によ
りハウジング１２を磁性材製の基台１１に吸引して接近
させている。さらに、多孔質体１４を、非磁性材から形
成している。
断応力の発生を抑制することができ、磁性体の塵芥等の
付着を防止でき、しかも、外部からのモーメント力の影
響を殆ど受けにくい静圧軸受装置を提供すること。 【解決手段】 円環状のハウジング１２の基台１１に対
向する対向面の外周側に、圧縮空気を噴出する円環状の
多孔質体１４を配置する共に、この対向面の多孔質体１
４の内周側に、磁気吸引力を発生する永久磁石１８を配
置し、これにより、基台１１に圧縮空気を噴出してハウ
ジング１２を非接触で支持すると共に、磁気吸引力によ
りハウジング１２を磁性材製の基台１１に吸引して接近
させている。さらに、多孔質体１４を、非磁性材から形
成している。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、精密工作機械や半
導体露光装置等に用いられる静圧案内装置に装着される
静圧軸受装置に関し、詳しくは、小型化および軽量化を
図ることができ、せん断応力の発生を抑制することがで
き、磁性体の塵芥等の付着を防止でき、しかも、外部か
らのモーメント力の影響を殆ど受けることがない静圧軸
受装置に関する。
導体露光装置等に用いられる静圧案内装置に装着される
静圧軸受装置に関し、詳しくは、小型化および軽量化を
図ることができ、せん断応力の発生を抑制することがで
き、磁性体の塵芥等の付着を防止でき、しかも、外部か
らのモーメント力の影響を殆ど受けることがない静圧軸
受装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】精密工作機械や半導体露光装置において
は、加工工具又は基板等の被加工物を高精度で位置決め
することが要求されている。そのため、加工工具又は被
加工物の載置台の位置決め装置に摩擦の殆どない静圧案
内装置が用いられている。このような静圧案内装置で
は、被加工物の載置台である可動体と、ガイドレールと
の間に加圧流体が介在され、この可動体がガイドレール
に対して非接触で移動されるようになっている。
は、加工工具又は基板等の被加工物を高精度で位置決め
することが要求されている。そのため、加工工具又は被
加工物の載置台の位置決め装置に摩擦の殆どない静圧案
内装置が用いられている。このような静圧案内装置で
は、被加工物の載置台である可動体と、ガイドレールと
の間に加圧流体が介在され、この可動体がガイドレール
に対して非接触で移動されるようになっている。
【０００３】また、このような静圧案内装置には、載置
台の可動体とガイドレールとの間に、加圧流体を噴出し
て可動体をガイドレールに対して非接触で支持すると共
に永久磁石等により磁気吸引力を発生して可動体をガイ
ドレールに接近させる静圧軸受装置が設けられている。
台の可動体とガイドレールとの間に、加圧流体を噴出し
て可動体をガイドレールに対して非接触で支持すると共
に永久磁石等により磁気吸引力を発生して可動体をガイ
ドレールに接近させる静圧軸受装置が設けられている。
【０００４】この静圧軸受装置の従来の構造を図４に示
す。紙面に垂直に、ガイドレール１が延在され、このガ
イドレール１の上面に、可動テーブル２が摺動自在に嵌
合され、この可動テーブル２の両側部の下側に、一対の
脚部３，３がガイドレール１の両側部に摺動自在に設け
られている。可動テーブル２の下側でガイドレール１に
対向する対向面、及び、脚部３，３の横側でガイドレー
ル１に対向する対向面には、夫々、多孔質体４，５，５
が配設されている。図示しない供給路から供給された加
圧流体がこれら多孔質体４，５，５からガイドレール１
に向けて噴出されて、可動テーブル２がガイドレール１
に対して非接触で浮上されるようになっている。
す。紙面に垂直に、ガイドレール１が延在され、このガ
イドレール１の上面に、可動テーブル２が摺動自在に嵌
合され、この可動テーブル２の両側部の下側に、一対の
脚部３，３がガイドレール１の両側部に摺動自在に設け
られている。可動テーブル２の下側でガイドレール１に
対向する対向面、及び、脚部３，３の横側でガイドレー
ル１に対向する対向面には、夫々、多孔質体４，５，５
が配設されている。図示しない供給路から供給された加
圧流体がこれら多孔質体４，５，５からガイドレール１
に向けて噴出されて、可動テーブル２がガイドレール１
に対して非接触で浮上されるようになっている。
【０００５】さらに、脚部３，３の下側の端部には、永
久磁石６，６が配設され、この永久磁石６，６の下側に
ヨーク７，７が設けられて、可動テーブル２と脚部３，
３とが、永久磁石６，６の磁気吸引力によりヨーク７，
７を介してガイドレール１に吸引されて接近されるよう
になっている。これにより、多孔質体４，５，５から噴
出される加圧流体による浮上力と、永久磁石６，６によ
る磁気吸引力とがバランスされて、可動テーブル２は、
ガイドレール１に対して非接触で浮上されて移動され
る。
久磁石６，６が配設され、この永久磁石６，６の下側に
ヨーク７，７が設けられて、可動テーブル２と脚部３，
３とが、永久磁石６，６の磁気吸引力によりヨーク７，
７を介してガイドレール１に吸引されて接近されるよう
になっている。これにより、多孔質体４，５，５から噴
出される加圧流体による浮上力と、永久磁石６，６によ
る磁気吸引力とがバランスされて、可動テーブル２は、
ガイドレール１に対して非接触で浮上されて移動され
る。
【０００６】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、図４に
示した静圧軸受装置では、加圧流体を噴出する多孔質体
５，５が離間して配置されていると共に、磁気吸引力を
発生する永久磁石６，６も離間して配置されているた
め、小型化および軽量化が困難であるといった問題があ
る。
示した静圧軸受装置では、加圧流体を噴出する多孔質体
５，５が離間して配置されていると共に、磁気吸引力を
発生する永久磁石６，６も離間して配置されているた
め、小型化および軽量化が困難であるといった問題があ
る。
【０００７】また、浮上力は、主として可動テーブル２
の中央で上向きに発生しているのに対し、磁気吸引力
は、その位置から離れた可動テールブル２の両端部で下
向きに発生しているため、可動テーブル２にせん断応力
によるモーメントが作用して、可動テーブル２が変形す
る虞れがあり、その結果、このような場合には、ガイド
レール１と可動テーブル２との間の所定の軸受隙間が得
られず軸受性能が劣ってしまうといった問題がある。
の中央で上向きに発生しているのに対し、磁気吸引力
は、その位置から離れた可動テールブル２の両端部で下
向きに発生しているため、可動テーブル２にせん断応力
によるモーメントが作用して、可動テーブル２が変形す
る虞れがあり、その結果、このような場合には、ガイド
レール１と可動テーブル２との間の所定の軸受隙間が得
られず軸受性能が劣ってしまうといった問題がある。
【０００８】さらに、永久磁石６，６のヨーク７，７
は、可動テーブル２の両端部（脚部３）に設けられ、こ
の両端部でガイドレール１に吸引されるようになってい
る、すなわち外側に吸引力が発生する構造のため、外部
から可動テーブル２にモーメント力が加えられ、可動テ
ーブル２が揺動されるような場合には、永久磁石６，６
のヨーク７，７とガイドレール１との間の隙間は、大き
く変動する。そのため、狭くされたヨーク７，７とガイ
ドレール１との間の隙間では、磁気吸引力が急激に増大
することから、この磁気吸引力の増大分だけ、負荷能力
が低減されるといったことがある。
は、可動テーブル２の両端部（脚部３）に設けられ、こ
の両端部でガイドレール１に吸引されるようになってい
る、すなわち外側に吸引力が発生する構造のため、外部
から可動テーブル２にモーメント力が加えられ、可動テ
ーブル２が揺動されるような場合には、永久磁石６，６
のヨーク７，７とガイドレール１との間の隙間は、大き
く変動する。そのため、狭くされたヨーク７，７とガイ
ドレール１との間の隙間では、磁気吸引力が急激に増大
することから、この磁気吸引力の増大分だけ、負荷能力
が低減されるといったことがある。
【０００９】さらに、永久磁石６，６が可動テーブル２
の両端部に設けられているため、外部から磁性体の塵芥
等が永久磁石６，６に付着するといった問題がある。
の両端部に設けられているため、外部から磁性体の塵芥
等が永久磁石６，６に付着するといった問題がある。
【００１０】本発明は、上述したような事情に鑑みてな
されたものであって、小型化および軽量化を図ることが
でき、せん断応力の発生を抑制することができ、磁性体
の塵芥等の付着を防止でき、しかも、外部からのモーメ
ント力の影響を殆ど受けることがない静圧軸受装置を提
供することを目的とする。
されたものであって、小型化および軽量化を図ることが
でき、せん断応力の発生を抑制することができ、磁性体
の塵芥等の付着を防止でき、しかも、外部からのモーメ
ント力の影響を殆ど受けることがない静圧軸受装置を提
供することを目的とする。
【００１１】
【課題を解決するための手段】上記目的達成のため、本
発明に係る静圧軸受装置は、磁性材製の基台に対して加
圧流体を噴出して可動体を非接触で支持すると共に、磁
気吸引力により可動体を磁性材製の基台に接近させる静
圧軸受装置において、可動体の基台に対向する対向面の
外周側に、加圧流体を噴出する多孔質体を配置すると共
に、この対向面の多孔質体の内周側に、磁気吸引力を発
生する磁気手段を配置し、前記多孔質体を、非磁性材か
ら形成したことを特徴とする。
発明に係る静圧軸受装置は、磁性材製の基台に対して加
圧流体を噴出して可動体を非接触で支持すると共に、磁
気吸引力により可動体を磁性材製の基台に接近させる静
圧軸受装置において、可動体の基台に対向する対向面の
外周側に、加圧流体を噴出する多孔質体を配置すると共
に、この対向面の多孔質体の内周側に、磁気吸引力を発
生する磁気手段を配置し、前記多孔質体を、非磁性材か
ら形成したことを特徴とする。
【００１２】このように、本発明では、可動体の基台に
対向する対向面の外周側に、加圧流体を噴出する多孔質
体が配置されていると共に、この対向面の多孔質体の内
周側に、磁気吸引力を発生する磁気手段が配置されてい
る。即ち、可動体の一つの対向面の外周側で、加圧流体
が基台に向けて噴出され、同一の対向面の内周側で、磁
気吸引力が発生されている。そのため、一つの平面（対
向面）で、加圧流体の噴出と磁気吸引力の発生とを構成
することができ、小型化および軽量化を図ることができ
る。
対向する対向面の外周側に、加圧流体を噴出する多孔質
体が配置されていると共に、この対向面の多孔質体の内
周側に、磁気吸引力を発生する磁気手段が配置されてい
る。即ち、可動体の一つの対向面の外周側で、加圧流体
が基台に向けて噴出され、同一の対向面の内周側で、磁
気吸引力が発生されている。そのため、一つの平面（対
向面）で、加圧流体の噴出と磁気吸引力の発生とを構成
することができ、小型化および軽量化を図ることができ
る。
【００１３】また、上記のように、可動体の一つの対向
面の外周側で、加圧流体が基台に向けて噴出されて基台
に対する浮上力が発生され、同一の対向面の内周側で、
磁気吸引力が発生されている。即ち、浮上力と磁気吸引
力とが、夫々、近い位置で作用し、可動体内でのせん断
応力によるモーメントの発生を極めて少なくすることが
でき、可動体の変形の虞れを殆どなくすことができる。
面の外周側で、加圧流体が基台に向けて噴出されて基台
に対する浮上力が発生され、同一の対向面の内周側で、
磁気吸引力が発生されている。即ち、浮上力と磁気吸引
力とが、夫々、近い位置で作用し、可動体内でのせん断
応力によるモーメントの発生を極めて少なくすることが
でき、可動体の変形の虞れを殆どなくすことができる。
【００１４】さらに、上記のように、可動体の対向面の
外周側に、加圧流体を噴出する多孔質体が配置されてい
ると共に、対向面の内周側に、磁気吸引力を発生する磁
気手段が配置されている、すなわち外周部に浮上力が発
生する構造となっているため、外部から可動体にモーメ
ント力が加えられ、可動体が揺動されるような場合であ
っても、磁気手段と基台との間の隙間は、変動しずら
い。そのため、この磁気手段と基台との間の隙間で、磁
気吸引力が急激に増大することもなく、負荷能力が低減
されるといったこともなく、外部からのモーメント力の
影響を受けにくい。
外周側に、加圧流体を噴出する多孔質体が配置されてい
ると共に、対向面の内周側に、磁気吸引力を発生する磁
気手段が配置されている、すなわち外周部に浮上力が発
生する構造となっているため、外部から可動体にモーメ
ント力が加えられ、可動体が揺動されるような場合であ
っても、磁気手段と基台との間の隙間は、変動しずら
い。そのため、この磁気手段と基台との間の隙間で、磁
気吸引力が急激に増大することもなく、負荷能力が低減
されるといったこともなく、外部からのモーメント力の
影響を受けにくい。
【００１５】さらに、可動体の内周側に、磁気手段が配
置され、可動体の外周側に、非磁性材から形成された多
孔質体が配置されているため、磁性体の塵芥等が可動体
に付着するといったことを効果的に防止できる。
置され、可動体の外周側に、非磁性材から形成された多
孔質体が配置されているため、磁性体の塵芥等が可動体
に付着するといったことを効果的に防止できる。
【００１６】なお、可動体と磁気手段との間に、磁気手
段と基台との間の隙間を調整するためのスペーサを介在
させてもよい。これにより、磁気手段と基台と間の隙間
を調整することにより、この隙間に発生されている磁気
吸引力を調整することができる。
段と基台との間の隙間を調整するためのスペーサを介在
させてもよい。これにより、磁気手段と基台と間の隙間
を調整することにより、この隙間に発生されている磁気
吸引力を調整することができる。
【００１７】
【発明の実施の形態】図１を参照して、本発明の実施の
形態に係る静圧軸受装置を説明する。図１は、実施の形
態に係る静圧軸受装置の断面図である。
形態に係る静圧軸受装置を説明する。図１は、実施の形
態に係る静圧軸受装置の断面図である。
【００１８】静圧軸受装置１０は、磁性材製の基台１１
に対して加圧流体により非接触で浮上されていると共に
磁気吸引力により基台１１に接近されている。この静圧
軸受装置１０には、円環状のハウジング１２が設けら
れ、この円環状のハウジング１２の下方には、円筒状部
１３が形成されており、この円筒状部１３の内側に、圧
縮空気（加圧流体）を噴出するための円環状の多孔質体
１４が焼ばめにより固定されている。この多孔質体１４
は、非磁性材例えば銅系焼結材、グラファイト、セラミ
ックス多孔質から形成されている。
に対して加圧流体により非接触で浮上されていると共に
磁気吸引力により基台１１に接近されている。この静圧
軸受装置１０には、円環状のハウジング１２が設けら
れ、この円環状のハウジング１２の下方には、円筒状部
１３が形成されており、この円筒状部１３の内側に、圧
縮空気（加圧流体）を噴出するための円環状の多孔質体
１４が焼ばめにより固定されている。この多孔質体１４
は、非磁性材例えば銅系焼結材、グラファイト、セラミ
ックス多孔質から形成されている。
【００１９】ハウジング１２の円筒状部１３には、圧縮
空気を導入するためのねじ孔の導入口１５が形成され、
ハウジング１２の上部には、残余の圧縮空気を排出して
空気溜まりを防止するための排出口１６，１６が設けら
れている。さらに、多孔質体１４の外周面には、導入口
１５から供給された圧縮空気を多孔質体１４内に均一に
導くための環状溝１７が形成されている。従って、外部
から導入口１５を介して供給された圧縮空気は、環状溝
１７を通して多孔質体１４内に導入されて基台１１に向
けて噴出され、これにより、ハウジング１２は基台１１
に対して非接触で浮上される。残余の圧縮空気は、空気
溜まりを防止するため、多孔質体１４の内側から上方に
流されて、排出口１６，１６を介して排出される。
空気を導入するためのねじ孔の導入口１５が形成され、
ハウジング１２の上部には、残余の圧縮空気を排出して
空気溜まりを防止するための排出口１６，１６が設けら
れている。さらに、多孔質体１４の外周面には、導入口
１５から供給された圧縮空気を多孔質体１４内に均一に
導くための環状溝１７が形成されている。従って、外部
から導入口１５を介して供給された圧縮空気は、環状溝
１７を通して多孔質体１４内に導入されて基台１１に向
けて噴出され、これにより、ハウジング１２は基台１１
に対して非接触で浮上される。残余の圧縮空気は、空気
溜まりを防止するため、多孔質体１４の内側から上方に
流されて、排出口１６，１６を介して排出される。
【００２０】さらに、ハウジング１２の下側で、多孔質
体１４の内周側には、永久磁石（磁気手段）１８、ヨー
ク１９、及びスペーサ２０が順次積層されて、ボルト２
１により取り付けられている。この永久磁石１８の基台
１１に対する対向面側をＮ極とすると、永久磁石１８の
磁気回路は、永久磁石１８の対向面（Ｎ極）→磁性材製
の基台１１→ヨーク１９→永久磁石１８の裏面（Ｓ極）
の順に磁束が通ることにより構成され、これにより、永
久磁石１８から基台１１に対して磁気吸引力が発生され
ている。この磁気吸引力は、圧縮空気の浮上力よりも小
さく設定されている。なお、永久磁石１８の極性は、対
向面側がＳ極で裏面側がＮ極であってもよく、また、磁
気手段としては、永久磁石１８に代えて電磁石であって
もよい。
体１４の内周側には、永久磁石（磁気手段）１８、ヨー
ク１９、及びスペーサ２０が順次積層されて、ボルト２
１により取り付けられている。この永久磁石１８の基台
１１に対する対向面側をＮ極とすると、永久磁石１８の
磁気回路は、永久磁石１８の対向面（Ｎ極）→磁性材製
の基台１１→ヨーク１９→永久磁石１８の裏面（Ｓ極）
の順に磁束が通ることにより構成され、これにより、永
久磁石１８から基台１１に対して磁気吸引力が発生され
ている。この磁気吸引力は、圧縮空気の浮上力よりも小
さく設定されている。なお、永久磁石１８の極性は、対
向面側がＳ極で裏面側がＮ極であってもよく、また、磁
気手段としては、永久磁石１８に代えて電磁石であって
もよい。
【００２１】上記スペーサ２０がハウジング１２とヨー
ク１９との間に設けられているため、このスペーサ２０
の厚みを調整することにより、永久磁石１８と基台１１
と間の隙間を調整することができ、この隙間の磁気吸引
力を調整することができる。
ク１９との間に設けられているため、このスペーサ２０
の厚みを調整することにより、永久磁石１８と基台１１
と間の隙間を調整することができ、この隙間の磁気吸引
力を調整することができる。
【００２２】本実施の形態では、上記のように構成され
ているため、外部から導入口１５を介して圧縮空気が供
給されると、圧縮空気は、環状溝１７を通して多孔質体
１４内に導入されて基台１１に向けて噴出され、これに
より、ハウジング１２は基台１１に対して非接触で浮上
される。なお、この際、残余の圧縮空気は、空気溜まり
を防止するため、多孔質体１４の内側から上方に流され
て、排出口１６，１６を介して排出される。一方、永久
磁石１８から発生された磁気吸引力によりハウジング１
２が基台１１に吸引されて接近される。圧縮空気による
浮上力と、永久磁石１８による磁気吸引力とがバランス
されて、ハウジング１２は、基台１１に対して非接触で
浮上されて移動される。
ているため、外部から導入口１５を介して圧縮空気が供
給されると、圧縮空気は、環状溝１７を通して多孔質体
１４内に導入されて基台１１に向けて噴出され、これに
より、ハウジング１２は基台１１に対して非接触で浮上
される。なお、この際、残余の圧縮空気は、空気溜まり
を防止するため、多孔質体１４の内側から上方に流され
て、排出口１６，１６を介して排出される。一方、永久
磁石１８から発生された磁気吸引力によりハウジング１
２が基台１１に吸引されて接近される。圧縮空気による
浮上力と、永久磁石１８による磁気吸引力とがバランス
されて、ハウジング１２は、基台１１に対して非接触で
浮上されて移動される。
【００２３】特に、本実施の形態では、ハウジング１２
の基台１１に対向する対向面の外周側に、多孔質体１４
が配置されていると共に、この対向面の多孔質体１４の
内周側に、永久磁石１８が配置されている。即ち、ハウ
ジング１２の一つの対向面の外周側で、圧縮空気が基台
１１に向けて噴出され、同一の対向面の内周側で、磁気
吸引力が発生されている。そのため、一つの対向面で、
圧縮空気の噴出と磁気吸引力の発生とを構成することが
でき、小型化および軽量化を図ることができる。
の基台１１に対向する対向面の外周側に、多孔質体１４
が配置されていると共に、この対向面の多孔質体１４の
内周側に、永久磁石１８が配置されている。即ち、ハウ
ジング１２の一つの対向面の外周側で、圧縮空気が基台
１１に向けて噴出され、同一の対向面の内周側で、磁気
吸引力が発生されている。そのため、一つの対向面で、
圧縮空気の噴出と磁気吸引力の発生とを構成することが
でき、小型化および軽量化を図ることができる。
【００２４】また、上記のように、ハウジング１２の一
つの対向面の外周側で、圧縮空気が基台１１に向けて噴
出されて基台１１に対する浮上力が発生され、同一の対
向面の内周側で、磁気吸引力が発生されている。即ち、
浮上力と磁気吸引力とが、夫々、近い位置で作用し、ハ
ウジング１２内でのせん断応力によるモーメントの発生
を極めて少なくすることができ、ハウジング１２の変形
の虞れを殆どなくすことができる。
つの対向面の外周側で、圧縮空気が基台１１に向けて噴
出されて基台１１に対する浮上力が発生され、同一の対
向面の内周側で、磁気吸引力が発生されている。即ち、
浮上力と磁気吸引力とが、夫々、近い位置で作用し、ハ
ウジング１２内でのせん断応力によるモーメントの発生
を極めて少なくすることができ、ハウジング１２の変形
の虞れを殆どなくすことができる。
【００２５】さらに、上記のように、ハウジング１２の
対向面の外周側に、多孔質体１４が配置されていると共
に、対向面の多孔質体１４の内周側に、永久磁石１８が
配置されているため、外部からハウジング１２にモーメ
ント力が加えられ、ハウジング１２が揺動されるような
場合であっても、永久磁石１８と基台１１との間の隙間
は、外周側に永久磁石を配置し、内周側に多孔質体を配
置する場合に比べて変動しずらい。そのため、この永久
磁石１８と基台１１との間の隙間で、磁気吸引力が急激
に増大することもなく、負荷能力が低減されるといった
こともなく、外部からのモーメント力の影響を受けにく
い。
対向面の外周側に、多孔質体１４が配置されていると共
に、対向面の多孔質体１４の内周側に、永久磁石１８が
配置されているため、外部からハウジング１２にモーメ
ント力が加えられ、ハウジング１２が揺動されるような
場合であっても、永久磁石１８と基台１１との間の隙間
は、外周側に永久磁石を配置し、内周側に多孔質体を配
置する場合に比べて変動しずらい。そのため、この永久
磁石１８と基台１１との間の隙間で、磁気吸引力が急激
に増大することもなく、負荷能力が低減されるといった
こともなく、外部からのモーメント力の影響を受けにく
い。
【００２６】さらに、ハウジング１２の内周側に、永久
磁石１８が配置され、ハウジング１２の外周側に、非磁
性材から形成された多孔質体１４が配置されているた
め、磁性体の塵芥等が永久磁石１８やハウジング１２に
付着するといったことを効果的に防止できる。
磁石１８が配置され、ハウジング１２の外周側に、非磁
性材から形成された多孔質体１４が配置されているた
め、磁性体の塵芥等が永久磁石１８やハウジング１２に
付着するといったことを効果的に防止できる。
【００２７】次いで、図２および図３に、本実施の形態
に係る静圧軸受装置を適用した静圧案内装置の例を示
す。
に係る静圧軸受装置を適用した静圧案内装置の例を示
す。
【００２８】図２の静圧案内装置では、ガイドレール２
２と、Ｌ字状の可動テーブル２３とが紙面に垂直に摺動
自在に設けられ、このガイドレール２２と可動テーブル
２３との間の水平面および垂直面に、夫々、静圧軸受装
置１０，１０が介在されている。このように、本実施の
形態に係る静圧軸受装置１０は小型化および軽量化を図
ることができるため、図２に示すような複雑な静圧案内
装置であっても、静圧軸受装置１０を容易に組み込むこ
とができる。
２と、Ｌ字状の可動テーブル２３とが紙面に垂直に摺動
自在に設けられ、このガイドレール２２と可動テーブル
２３との間の水平面および垂直面に、夫々、静圧軸受装
置１０，１０が介在されている。このように、本実施の
形態に係る静圧軸受装置１０は小型化および軽量化を図
ることができるため、図２に示すような複雑な静圧案内
装置であっても、静圧軸受装置１０を容易に組み込むこ
とができる。
【００２９】図３の静圧案内装置では、Ｖ字状のガイド
レール２４と、三角形状の可動テーブル２５とが紙面に
垂直に摺動自在に設けられ、ガイドレール２４と可動テ
ーブル２５との間の傾斜面に、夫々、静圧軸受装置１
０，１０が介在されている。このように、本実施の形態
に係る静圧軸受装置１０は小型化および軽量化を図るこ
とができるため、図２の場合と同様に、複雑な静圧案内
装置であっても、静圧軸受装置１０を容易に組み込むこ
とができる。
レール２４と、三角形状の可動テーブル２５とが紙面に
垂直に摺動自在に設けられ、ガイドレール２４と可動テ
ーブル２５との間の傾斜面に、夫々、静圧軸受装置１
０，１０が介在されている。このように、本実施の形態
に係る静圧軸受装置１０は小型化および軽量化を図るこ
とができるため、図２の場合と同様に、複雑な静圧案内
装置であっても、静圧軸受装置１０を容易に組み込むこ
とができる。
【００３０】なお、本発明は、上述した実施の形態に限
定されず、種々変形可能である。
定されず、種々変形可能である。
【００３１】
【発明の効果】以上説明したように、本発明では、可動
体の一つの対向面の外周側で、加圧流体が基台に向けて
噴出され、同一の対向面の内周側で、磁気吸引力が発生
されているため、一つの平面（対向面）で、加圧流体の
噴出と磁気吸引力の発生とを構成することができ、小型
化および軽量化を図ることができる。
体の一つの対向面の外周側で、加圧流体が基台に向けて
噴出され、同一の対向面の内周側で、磁気吸引力が発生
されているため、一つの平面（対向面）で、加圧流体の
噴出と磁気吸引力の発生とを構成することができ、小型
化および軽量化を図ることができる。
【００３２】また、浮上力と磁気吸引力とが、夫々、一
つの同心円の外側と内側とで作用し、浮上力の重心と磁
気吸引力の重心とが一致しているため、可動体内でのせ
ん断応力の発生を極めて少なくすることができ、可動体
の変形の虞れを殆どなくすことができる。
つの同心円の外側と内側とで作用し、浮上力の重心と磁
気吸引力の重心とが一致しているため、可動体内でのせ
ん断応力の発生を極めて少なくすることができ、可動体
の変形の虞れを殆どなくすことができる。
【００３３】さらに、外部から可動体にモーメント力が
加えられ、可動体が揺動されるような場合であっても、
磁気手段と基台との間の隙間は、変動しずらいため、こ
の磁気手段と基台との間の隙間で、磁気吸引力が急激に
増大することもなく、負荷能力が低減されるといったこ
ともなく、外部からのモーメント力の影響を受けにく
い。
加えられ、可動体が揺動されるような場合であっても、
磁気手段と基台との間の隙間は、変動しずらいため、こ
の磁気手段と基台との間の隙間で、磁気吸引力が急激に
増大することもなく、負荷能力が低減されるといったこ
ともなく、外部からのモーメント力の影響を受けにく
い。
【００３４】さらに、可動体の内周側に、磁気手段が配
置され、可動体の外周側に、非磁性材から形成された多
孔質体が配置されているため、磁性体の塵芥等が可動体
に付着するといったことを効果的に防止できる。
置され、可動体の外周側に、非磁性材から形成された多
孔質体が配置されているため、磁性体の塵芥等が可動体
に付着するといったことを効果的に防止できる。
【図１】本発明の実施の形態に係る静圧軸受装置の断面
図である。
図である。
【図２】本発明の実施の形態に係る静圧軸受装置を適用
した静圧案内装置の断面図である。
した静圧案内装置の断面図である。
【図３】本発明の実施の形態に係る静圧軸受装置を適用
した他の静圧案内装置の断面図である。
した他の静圧案内装置の断面図である。
【図４】従来に係る静圧軸受装置の断面図である。
１０ 静圧軸受装置 １１ 基台 １２ ハウジング（可動体） １３ 円筒状部 １４ 多孔質体 １５ 導入口 １６ 排出口 １７ 環状溝 １８ 永久磁石（磁気手段） １９ ヨーク ２０ スペーサ ２１ ボルト ２２ ガイドレール ２３ 可動テーブル ２４ ガイドレール ２５ 可動テーブル
Claims (1)
- 【請求項１】磁性材製の基台に対して加圧流体を噴出し
て可動体を非接触で支持すると共に、磁気吸引力により
可動体を磁性材製の基台に接近させる静圧軸受装置にお
いて、 可動体の基台に対向する対向面の外周側に、加圧流体を
噴出する多孔質体を配置すると共に、この対向面の多孔
質体の内周側に、磁気吸引力を発生する磁気手段を配置
し、前記多孔質体を、非磁性材から形成したことを特徴
とする静圧軸受装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2161298A JPH11210748A (ja) | 1998-01-20 | 1998-01-20 | 静圧軸受装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2161298A JPH11210748A (ja) | 1998-01-20 | 1998-01-20 | 静圧軸受装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH11210748A true JPH11210748A (ja) | 1999-08-03 |
Family
ID=12059878
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP2161298A Pending JPH11210748A (ja) | 1998-01-20 | 1998-01-20 | 静圧軸受装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH11210748A (ja) |
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2006322531A (ja) * | 2005-05-18 | 2006-11-30 | Oiles Ind Co Ltd | 静圧気体軸受を有したエアスライド装置 |
| WO2013077172A1 (ja) * | 2011-11-25 | 2013-05-30 | オイレス工業株式会社 | 静圧気体軸受構造 |
| JP2014095424A (ja) * | 2012-11-09 | 2014-05-22 | Mitsubishi Heavy Ind Ltd | 磁気予圧式静圧案内装置 |
| CN107061497A (zh) * | 2017-04-19 | 2017-08-18 | 西安工业大学 | 一种高精度干涉仪气体静压减振基座 |
-
1998
- 1998-01-20 JP JP2161298A patent/JPH11210748A/ja active Pending
Cited By (6)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2006322531A (ja) * | 2005-05-18 | 2006-11-30 | Oiles Ind Co Ltd | 静圧気体軸受を有したエアスライド装置 |
| WO2013077172A1 (ja) * | 2011-11-25 | 2013-05-30 | オイレス工業株式会社 | 静圧気体軸受構造 |
| JP2013113344A (ja) * | 2011-11-25 | 2013-06-10 | Oiles Corp | 静圧気体軸受構造 |
| CN103946569A (zh) * | 2011-11-25 | 2014-07-23 | 奥依列斯工业株式会社 | 静压气体支承结构 |
| JP2014095424A (ja) * | 2012-11-09 | 2014-05-22 | Mitsubishi Heavy Ind Ltd | 磁気予圧式静圧案内装置 |
| CN107061497A (zh) * | 2017-04-19 | 2017-08-18 | 西安工业大学 | 一种高精度干涉仪气体静压减振基座 |
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20041129 |
|
| A131 | Notification of reasons for refusal |
Effective date: 20041207 Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 |
|
| A521 | Written amendment |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20050204 |
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| A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20051004 |
|
| A02 | Decision of refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A02 Effective date: 20060214 |