JP7463032B2 - 被加工物の保持機構及び加工装置 - Google Patents
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- 230000007246 mechanism Effects 0.000 title claims description 65
- 239000012530 fluid Substances 0.000 claims description 71
- 239000000463 material Substances 0.000 claims description 6
- 239000003302 ferromagnetic material Substances 0.000 claims description 5
- 238000000034 method Methods 0.000 claims description 4
- 230000005294 ferromagnetic effect Effects 0.000 claims description 3
- 230000001747 exhibiting effect Effects 0.000 claims description 2
- 230000032258 transport Effects 0.000 description 13
- 239000002390 adhesive tape Substances 0.000 description 10
- 239000000758 substrate Substances 0.000 description 5
- 239000007788 liquid Substances 0.000 description 3
- 230000005291 magnetic effect Effects 0.000 description 3
- XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N water Substances O XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- XEEYBQQBJWHFJM-UHFFFAOYSA-N Iron Chemical compound [Fe] XEEYBQQBJWHFJM-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- PXHVJJICTQNCMI-UHFFFAOYSA-N Nickel Chemical compound [Ni] PXHVJJICTQNCMI-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 238000013459 approach Methods 0.000 description 2
- 239000002173 cutting fluid Substances 0.000 description 2
- 229920001971 elastomer Polymers 0.000 description 2
- 230000035699 permeability Effects 0.000 description 2
- 239000011347 resin Substances 0.000 description 2
- 229920005989 resin Polymers 0.000 description 2
- 239000005060 rubber Substances 0.000 description 2
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 description 2
- 244000043261 Hevea brasiliensis Species 0.000 description 1
- 239000002313 adhesive film Substances 0.000 description 1
- 239000000919 ceramic Substances 0.000 description 1
- 239000010941 cobalt Substances 0.000 description 1
- 229910017052 cobalt Inorganic materials 0.000 description 1
- GUTLYIVDDKVIGB-UHFFFAOYSA-N cobalt atom Chemical compound [Co] GUTLYIVDDKVIGB-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 239000004020 conductor Substances 0.000 description 1
- 230000007423 decrease Effects 0.000 description 1
- 230000005611 electricity Effects 0.000 description 1
- 239000011521 glass Substances 0.000 description 1
- 229910052742 iron Inorganic materials 0.000 description 1
- 230000014759 maintenance of location Effects 0.000 description 1
- 229920003052 natural elastomer Polymers 0.000 description 1
- 229920001194 natural rubber Polymers 0.000 description 1
- 229910052759 nickel Inorganic materials 0.000 description 1
- 229920000098 polyolefin Polymers 0.000 description 1
- -1 polytetrafluoroethylene Polymers 0.000 description 1
- 229920001343 polytetrafluoroethylene Polymers 0.000 description 1
- 239000004810 polytetrafluoroethylene Substances 0.000 description 1
- 229920000915 polyvinyl chloride Polymers 0.000 description 1
- 239000004800 polyvinyl chloride Substances 0.000 description 1
- 238000005507 spraying Methods 0.000 description 1
- 230000003068 static effect Effects 0.000 description 1
- 229920003051 synthetic elastomer Polymers 0.000 description 1
- 239000005061 synthetic rubber Substances 0.000 description 1
- 239000010409 thin film Substances 0.000 description 1
- 238000011144 upstream manufacturing Methods 0.000 description 1
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- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
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- B65G47/90—Devices for picking-up and depositing articles or materials
- B65G47/92—Devices for picking-up and depositing articles or materials incorporating electrostatic or magnetic grippers
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- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B65—CONVEYING; PACKING; STORING; HANDLING THIN OR FILAMENTARY MATERIAL
- B65G—TRANSPORT OR STORAGE DEVICES, e.g. CONVEYORS FOR LOADING OR TIPPING, SHOP CONVEYOR SYSTEMS OR PNEUMATIC TUBE CONVEYORS
- B65G49/00—Conveying systems characterised by their application for specified purposes not otherwise provided for
- B65G49/05—Conveying systems characterised by their application for specified purposes not otherwise provided for for fragile or damageable materials or articles
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- Engineering & Computer Science (AREA)
- Mechanical Engineering (AREA)
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- Condensed Matter Physics & Semiconductors (AREA)
- Manufacturing & Machinery (AREA)
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- Microelectronics & Electronic Packaging (AREA)
- Power Engineering (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Container, Conveyance, Adherence, Positioning, Of Wafer (AREA)
- Dicing (AREA)
- Jigs For Machine Tools (AREA)
- Feeding Of Workpieces (AREA)
Description
4 :基台
4a :開口
6 :X軸移動テーブル
8 :防塵防滴カバー
10 :チャックテーブル
10a :保持面
12 :切削ユニット(加工ユニット、加工手段)
14 :支持構造
16 :切削ユニット移動機構
18 :Y軸ガイドレール
20 :Y軸移動プレート
22 :Y軸ボールネジ
24 :Y軸パルスモータ
26 :Z軸ガイドレール
28 :Z軸移動プレート
30 :Z軸ボールネジ
32 :Z軸パルスモータ
34 :切削ブレード
36 :ノズル
38 :カメラ
40 :搬入側テーブル(ロードテーブル)
40a :保持面
42 :搬入側テーブル移動機構
44 :ガイドレール
46 :搬出側テーブル(アンロードテーブル)
46a :保持面
46b :流路
46c :バルブ
46d :吸引源
48 :搬出側テーブル移動機構
50 :ガイドレール
52 :搬送ユニット(搬送手段)
54 :保持機構(保持手段)
56 :直動機構(移動手段)
58 :ノズル
60 :保持基台
60a :保持面
60b :開口
62 :磁石
64 :リリース機構(リリース手段)
66 :カバーシート
66a :面
66b :凸部(凹凸構造)
68 :固定枠
70a :第1流路
70b :第2流路
72 :流体供給源(流体供給部)
74a :第1バルブ
74b :第2バルブ
76 :エジェクタ(アスピレータ)
76a :吸引口
76b :供給口
76c :排出口
78 :圧力計
86 :カバーシート
86a :面
86b :層
11 :被加工物
13 :粘着テープ
Claims (6)
- 強磁性を示す材料を含む被加工物に対応する形状及び大きさの保持面を有する保持基台と、
該保持基台の該保持面に設置され、該被加工物との間に引力を生じさせる磁石と、
該磁石との間に生じる引力によって該保持基台の該保持面側に保持される該被加工物に対して、該保持面から離れる向きの力を加えるリリース手段と、を備え、
該リリース手段は、
該保持面を覆うカバーシートと、
該保持面と該カバーシートとの間に流体を供給する流体供給部と、を有し、
該カバーシートの該保持面とは反対側の面には、複数のチップへと分割された後の該被加工物の該カバーシートによる吸着を抑制し、該チップの大きさの5%~50%の大きさを持つ凹凸構造、又は該カバーシートからの該被加工物の剥離を促進させる剥離促進剤を含む層が設けられており、
該カバーシートを介して該磁石との間に生じる引力によって該被加工物を保持するとともに、該流体供給部から供給される流体で該カバーシートを膨らませることによって該保持面から離れる向きの力を生じさせる被加工物の保持機構。 - 該凹凸構造の高低差は、50μm~500μm(ただし、50μmを除く)である請求項1に記載の被加工物の保持機構。
- 該リリース手段は、
該保持面と該流体供給部とを接続する第1流路と、
該第1流路に設けられたバルブと、
該バルブを介して該第1流路から分岐された第2流路と、
該第1流路の該バルブより該保持面側に接続される吸引口と、該第2流路に接続される供給口と、該供給口から供給された流体が排出される排出口と、を有するエジェクタと、を更に有し、
該バルブは、該第1流路を通じて該保持面と該カバーシートとの間に流体が供給される第1状態と、該第2流路を通じて該エジェクタの該供給口に流体が供給され該吸引口に負圧を発生させる第2状態と、に切り替えられる請求項1又は請求項2に記載の被加工物の保持機構。 - 強磁性を示す材料を含む被加工物を保持するチャックテーブルと、
該チャックテーブルに保持された該被加工物を加工する加工ユニットと、
該チャックテーブルに該被加工物を搬入し、又は該チャックテーブルから該被加工物を搬出する搬送手段と、を備え、
該搬送手段は、
該被加工物に対応する形状及び大きさの保持面を有する保持基台と、
該保持基台の該保持面に設置され、該被加工物との間に引力を生じさせる磁石と、
該磁石との間に生じる引力によって該保持基台の該保持面側に保持される該被加工物に対して、該保持面から離れる向きの力を加えるリリース手段と、を備え、
該リリース手段は、
該保持面を覆うカバーシートと、
該保持面と該カバーシートとの間に流体を供給する流体供給部と、を有し、
該カバーシートの該保持面とは反対側の面には、複数のチップへと分割された後の該被加工物の該カバーシートによる吸着を抑制し、該チップの大きさの5%~50%の大きさを持つ凹凸構造、又は該カバーシートからの該被加工物の剥離を促進させる剥離促進剤を含む層が設けられており、
該搬送手段は、該カバーシートを介して該磁石との間に生じる引力によって該被加工物を保持するとともに、該流体供給部から供給される流体で該カバーシートを膨らませることによって該保持面から離れる向きの力を生じさせる加工装置。 - 該凹凸構造の高低差は、50μm~500μm(ただし、50μmを除く)である請求項4に記載の加工装置。
- 該リリース手段は、
該保持面と該流体供給部とを接続する第1流路と、
該第1流路に設けられたバルブと、
該バルブを介して該第1流路から分岐された第2流路と、
該第1流路の該バルブより該保持面側に接続される吸引口と、該第2流路に接続される供給口と、該供給口から供給された流体が排出される排出口と、を有するエジェクタと、を更に有し、
該バルブは、該第1流路を通じて該保持面と該カバーシートとの間に流体が供給される第1状態と、該第2流路を通じて該エジェクタの該供給口に流体が供給され該吸引口に負圧を発生させる第2状態と、に切り替えられる請求項4又は請求項5に記載の加工装置。
Priority Applications (4)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2020089668A JP7463032B2 (ja) | 2020-05-22 | 2020-05-22 | 被加工物の保持機構及び加工装置 |
KR1020210048878A KR20210144570A (ko) | 2020-05-22 | 2021-04-15 | 피가공물의 유지 기구 및 가공 장치 |
CN202110527385.7A CN113707592A (zh) | 2020-05-22 | 2021-05-14 | 被加工物的保持机构和加工装置 |
TW110117973A TW202145325A (zh) | 2020-05-22 | 2021-05-18 | 被加工物之保持機構以及加工裝置 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2020089668A JP7463032B2 (ja) | 2020-05-22 | 2020-05-22 | 被加工物の保持機構及び加工装置 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2021183369A JP2021183369A (ja) | 2021-12-02 |
JP7463032B2 true JP7463032B2 (ja) | 2024-04-08 |
Family
ID=78648209
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2020089668A Active JP7463032B2 (ja) | 2020-05-22 | 2020-05-22 | 被加工物の保持機構及び加工装置 |
Country Status (4)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP7463032B2 (ja) |
KR (1) | KR20210144570A (ja) |
CN (1) | CN113707592A (ja) |
TW (1) | TW202145325A (ja) |
Citations (7)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
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JP2016207987A (ja) | 2015-04-28 | 2016-12-08 | 株式会社ディスコ | 切削装置 |
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JP2019192827A (ja) | 2018-04-26 | 2019-10-31 | 株式会社ディスコ | チャックテーブル |
Family Cites Families (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH10313042A (ja) * | 1997-05-14 | 1998-11-24 | Sony Corp | コレット |
JP2004200440A (ja) | 2002-12-19 | 2004-07-15 | Disco Abrasive Syst Ltd | 基板保持システム |
JP5947010B2 (ja) | 2011-09-15 | 2016-07-06 | 株式会社ディスコ | 分割装置 |
JP2014116486A (ja) | 2012-12-11 | 2014-06-26 | Disco Abrasive Syst Ltd | レーザー加工装置 |
-
2020
- 2020-05-22 JP JP2020089668A patent/JP7463032B2/ja active Active
-
2021
- 2021-04-15 KR KR1020210048878A patent/KR20210144570A/ko active Search and Examination
- 2021-05-14 CN CN202110527385.7A patent/CN113707592A/zh active Pending
- 2021-05-18 TW TW110117973A patent/TW202145325A/zh unknown
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JP2017228617A (ja) | 2016-06-21 | 2017-12-28 | 株式会社ディスコ | 被加工物の保持機構及び加工装置 |
JP2019192827A (ja) | 2018-04-26 | 2019-10-31 | 株式会社ディスコ | チャックテーブル |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
KR20210144570A (ko) | 2021-11-30 |
JP2021183369A (ja) | 2021-12-02 |
TW202145325A (zh) | 2021-12-01 |
CN113707592A (zh) | 2021-11-26 |
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Date | Code | Title | Description |
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A621 | Written request for application examination |
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|
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