JP2016207987A - 切削装置 - Google Patents
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Abstract
Description
該第1の切削手段および第2の切削手段は、それぞれ移動基台と、該移動基台にそれぞれ配設され互いに同一軸線上に配設された切削ブレードを備え、該第1の切削手段の移動基台および該第2の切削手段の移動基台がY軸方向に沿って配設されたY軸ガイドレールに移動可能に支持されており、
該割り出し送り手段は、該Y軸ガイドレールに沿って配設された共通のY軸リニアレールと、該Y軸リニアレールに移動可能に嵌挿され該第1の切削手段の移動基台に装着された第1のコイル可動子と、該Y軸リニアレールに移動可能に嵌挿され該第2の切削手段の移動基台に装着された第2のコイル可動子と、からなっている、
ことを特徴とする切削装置が提供される。
上記搬出・搬入機構は、支持基台と、該支持基台に配設されカセットに収容された被加工物を把持する把持部材と、被加工物を所定の位置に規制する一対の規制ピンと、該支持基台をY軸方向に移動する搬送移動手段とを備え、
上記仮置き機構は、Y軸方向に延在し被加工物の両側部を支持する底部と側部とを有し底部が開閉可能に構成された一対の支持レールと、該一対の支持レールの底部を開閉する開閉手段と、一対の支持レールを上下方向に移動せしめる昇降手段とを備えており、
上記保持テーブルが被加工物着脱領域に位置付けられている際に、搬出・搬入機構によってカセットに収容された被加工物を搬出して仮置き機構を構成する一対の支持レールに仮置きし、昇降手段によって一対の支持レールを下降して被加工物を保持テーブルに載置し、開閉手段によって底部を開くことにより被加工物を該保持テーブルに保持する。
補助仮置き機構は、Y軸方向に延在し被加工物の両側部を支持する底部と側部とを有し底部が開閉可能に構成された一対の補助支持レールと、該一対の補助支持レールの底部を開閉する開閉手段と、一対の補助支持レールを上下方向に移動せしめる補助昇降手段とを備えている。
切削済みの被加工物を保持した保持テーブルが被加工物着脱領域に位置付けられている際に、仮置き機構を構成する一対の支持レールの底部を開にした状態で一対の支持レールを下降して底部を切削済みの被加工物の下部に位置付けた後に底部を閉にして切削済みの被加工物を支持した状態で該一対の支持レールを上昇させ、
次に、搬出・搬入機構の該把持部材によってカセットに収容された被加工物を把持するとともに支持基台に設けられた一対の補助規制ピンを切削済みの被加工物における把持部材によって把持された領域と反対側の領域の端面に位置付け、支持基台を補助仮置き機構側に移動することにより、カセットに収容された被加工物を仮置き機構に位置付けるとともに切削済みの被加工物を補助仮置き機構に位置付け、
次に、補助仮置き機構を構成する補助昇降手段によって一対の補助支持レールに仮置きし、昇降手段によって一対の補助支持レールを下降して被加工物を洗浄機構のスピンナーテーブルに載置し、開閉手段によって底部を開くことにより切削済みの被加工物をスピンナーテーブルに保持する。
上記係合手段は、支持基台に進退可能に配設された係合ロッドを備え、係合ロッドを進出した状態で噴射ノズルにおける錘の重力によって移動する方向から接触せしめる。
図示の実施形態における切削装置は、静止基台2と、該静止基台2上に配設され被加工物を保持する保持テーブル機構3と、該保持テーブル機構3に保持された被加工物を切削する切削機構4とを具備している。
切削機構4は、上記静止基台2上に固定された門型の支持フレーム41を具備している。この門型の支持フレーム41は、間隔を置いて配設された第1の柱部411および第2の柱部412と、該第1の柱部411と第2の柱部412の上端を連結し矢印Xで示す加工送り方向と直交する矢印Yで示す割り出し送り方向(Y軸方向)に沿って配設された支持部413とからなり、上記2本のX軸ガイドレール31を跨ぐように配設されている。
図示の実施形態における洗浄機構10は、上記仮置き機構8に隣接しカセット載置機構6に対してY軸方向反対側に配設される。この洗浄機構10は、洗浄ハウジング11を具備している。この洗浄ハウジング11は、前壁111と後壁112と側壁113および114と底壁(図示せず)とからなっており、上方が解放されている。このように構成された洗浄ハウジング11内には、スピンナーテーブル12が配設されている。スピンナーテーブル12は、テーブル本体121と、該テーブル本体121の上面に配設された吸着チャック122と、テーブル本体121を回転駆動するサーボモータ123とからなっている。テーブル本体121は、外径が上記ウエーハWの外径より大きくウエーハWをダイシングテープTを介して支持する環状のフレームFの内径より小さく形成されている。吸着チャック122は、ポーラスセラミックスによって形成され図示しない吸引手段に接続されており、適宜負圧が作用せしめられるようになっている。従って、吸着チャック122上に載置された被加工物は、図示しない吸引手段を作動することにより吸着チャック122上に吸引保持される。
先ず、図10に示すように仮置き機構8のエアーシリンダー861を作動して一対の支持レール80を上部位置に位置付けるとともに、搬出・搬入機構7の把持部材74(図6参照)および一対の規制ピン75(図5および図6参照)が配設された支持基台72を図示の待機位置に位置付ける。
3:保持テーブル機構
32:移動基台
34:保持テーブル
35:加工送り手段
351:X軸リニアレール
352:X軸コイル可動子
4:切削機構
5a:第1の切削手段
5b:第2の切削手段
54:割り出し送り手段
540:共通のY軸リニアレール
544a:第1のY軸コイル可動子
544b:第2のコイル可動子
6:カセット載置機構
60:カセット
7:搬出・搬入機構
71:搬送移動手段
72:支持基台
74:把持部材
75:一対の規制ピン
76:補助把持部材
77:一対の補助規制ピン
8:仮置き機構
80:一対の支持レール
9:補助仮置き機構
90:一対の補助支持レール
10:洗浄機構
11:洗浄ハウジング
12:スピンナーテーブル
13:噴射ノズル
14:錘
15:ワイヤー
16:プーリー
F:環状のフレーム
T:ダイシングテープ
W:半導体ウエーハ
Claims (7)
- 複数の被加工物を収容したカセットが載置されるカセット載置機構と、該カセット載置機構に載置されたカセットから被加工物を搬出および搬入する搬出・搬入機構と、該搬出・搬入機構によって搬出された被加工物を仮置きする仮置き機構と、該仮置き機構に仮置きされた被加工物を保持する保持テーブルと、該保持テーブルを加工送り方向(X軸方向)に移動せしめる加工送り機構と、該保持テーブルに保持された被加工物に切削加工を施す第1の切削手段および第2の切削手段と、該第1の切削手段および第2の切削手段をX軸方向と直交する割り出し送り方向(Y軸方向)にそれぞれ移動せしめる割り出し送り機構と、を具備する切削装置であって、
該第1の切削手段および第2の切削手段は、それぞれ移動基台と、該移動基台にそれぞれ配設され互いに同一軸線上に配設された切削ブレードを備え、該第1の切削手段の移動基台および該第2の切削手段の移動基台がY軸方向に沿って配設されたY軸ガイドレールに移動可能に支持されており、
該割り出し送り手段は、該Y軸ガイドレールに沿って配設された共通のY軸リニアレールと、該Y軸リニアレールに移動可能に嵌挿され該第1の切削手段の移動基台に装着された第1のコイル可動子と、該Y軸リニアレールに移動可能に嵌挿され該第2の切削手段の移動基台に装着された第2のコイル可動子と、からなっている、
ことを特徴とする切削装置。 - 該加工送り機構は、該保持テーブルが配設された移動基台を該仮置き機構が配設された被加工物着脱領域と、該該第1の切削手段および第2の切削手段が配設された加工領域との間において移動可能に支持するX軸ガイドレールと、該X軸ガイドレールに沿って配設されたX軸リニアレールと、該X軸リニアレールに移動可能に嵌挿され該移動基台に装着されたX軸コイル可動子と、からなっている、請求項1記載の切削装置。
- 該カセット載置機構と該仮置き機構はY軸方向に隣接して配設され、
該搬出・搬入機構は、支持基台と、該支持基台に配設されカセットに収容された被加工物を把持する把持部材と、被加工物を所定の位置に規制する一対の規制ピンと、該支持基台をY軸方向に移動する搬送移動手段とを備え、
該仮置き機構は、Y軸方向に延在し被加工物の両側部を支持する底部と側部とを有し該底部が開閉可能に構成された一対の支持レールと、該一対の支持レールの該底部を開閉する開閉手段と、該一対の支持レールを上下方向に移動せしめる昇降手段と、を備えており、
該保持テーブルが該被加工物着脱領域に位置付けられている際に、該搬出・搬入機構によってカセットに収容された被加工物を搬出して該仮置き機構を構成する該一対の支持レールに仮置きし、該昇降手段によって該一対の支持レールを下降して被加工物を該保持テーブルに載置し、該開閉手段によって該底部を開くことにより被加工物を該保持テーブルに保持する、請求項2記載の切削装置。 - 該仮置き機構に隣接し該カセット載置機構に対してY軸方向反対側に被加工物を洗浄するためのスピンナーテーブルを備えた洗浄機構が配設されるとともに、該洗浄機構の直上に該仮置き機構と連通するように構成され被加工物を仮置きする補助仮置き機構が配設されており、
該補助仮置き機構は、Y軸方向に延在し被加工物の両側部を支持する底部と側部とを有し該底部が開閉可能に構成された一対の補助支持レールと、該一対の補助支持レールの該底部を開閉する開閉手段と、該一対の補助支持レールを上下方向に移動せしめる補助昇降手段とを備えている、請求項3記載の切削装置。 - 該搬出・搬入機構は、該支持基台に配設され該一対の補助支持レールに支持された被加工物における該把持部材によって把持される領域と反対側の領域を把持する補助把持部材と、該一対の補助支持レールに支持された被加工物を所定の位置に規制する一対の補助規制ピンとを備え、
切削済みの被加工物を保持した該保持テーブルが該被加工物着脱領域に位置付けられている際に、該仮置き機構を構成する該一対の支持レールの該底部を開にした状態で該一対の支持レールを下降して該底部を切削済みの被加工物の下部に位置付けた後に該底部を閉にして切削済みの被加工物を支持した状態で該一対の支持レールを上昇させ、
次に、該搬出・搬入機構の該把持部材によってカセットに収容された被加工物を把持するとともに該支持基台に設けられた該一対の補助規制ピンを切削済みの該被加工物における該把持部材によって把持された領域と反対側の領域の端面に位置付け、該支持基台を該補助仮置き機構側に移動することにより、カセットに収容された被加工物を該仮置き機構に位置付けるとともに切削済みの被加工物を該補助仮置き機構に位置付け、
次に、該補助仮置き機構を構成する該補助昇降手段によって該一対の補助支持レールに仮置きし、該昇降手段によって該一対の補助支持レールを下降して被加工物を該洗浄機構の該スピンナーテーブルに載置し、該開閉手段によって該底部を開くことにより切削済みの被加工物を該スピンナーテーブルに保持する、請求項4記載の切削装置。 - 該洗浄機構は、該スピンナーテーブルの上方に配設された洗浄水を噴射する噴射ノズルを備えており、該噴射ノズルは該搬出・搬入機構を構成する該支持基台に配設され選択的に係合する係合手段によって該支持基台の移動に伴いY軸方向に移動し、少なくとも被加工物の外周から中心までの領域に洗浄水を噴射する、請求項4又は5に記載の切削装置。
- 該洗浄機構の該噴射ノズルには、一端に錘が連結されたワイヤーの他端がプーリーを介して連結され、該錘の重力によってY軸方向に移動するように構成されており、
該係合手段は、該支持基台に進退可能に配設された係合ロッドを備え、該係合ロッドを進出した状態で該噴射ノズルにおける該錘の重力によって移動する方向から接触せしめる、請求項6記載の切削装置。
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