JP2001053034A - ワークテーブルの送り機構及びダイシング装置 - Google Patents
ワークテーブルの送り機構及びダイシング装置Info
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- JP2001053034A JP2001053034A JP22917599A JP22917599A JP2001053034A JP 2001053034 A JP2001053034 A JP 2001053034A JP 22917599 A JP22917599 A JP 22917599A JP 22917599 A JP22917599 A JP 22917599A JP 2001053034 A JP2001053034 A JP 2001053034A
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Abstract
(57)【要約】
【課題】精度の高い加工を効率よく行うことができるワ
ークテーブルの送り機構及びダイシング装置を提供す
る。 【解決手段】Ｘ軸ガイドレール３４Ｒ、３４Ｌ上にはエ
アベアリングを介してＸ軸キャリッジ３８が走行自在に
設けられている。Ｘ軸キャリッジ３８は、リニアモータ
４４に駆動されて走行し、このＸ軸キャリッジ３８上に
ワークテーブル５６が搭載されている。これにより、ワ
ークテーブル５６は、振動の発生が少なく、安定した高
速走行が可能になる。
ークテーブルの送り機構及びダイシング装置を提供す
る。 【解決手段】Ｘ軸ガイドレール３４Ｒ、３４Ｌ上にはエ
アベアリングを介してＸ軸キャリッジ３８が走行自在に
設けられている。Ｘ軸キャリッジ３８は、リニアモータ
４４に駆動されて走行し、このＸ軸キャリッジ３８上に
ワークテーブル５６が搭載されている。これにより、ワ
ークテーブル５６は、振動の発生が少なく、安定した高
速走行が可能になる。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、ワークテーブルの
送り機構及びダイシング装置に係り、特にダイシング装
置などの精密切断装置に適用されるワークテーブルの送
り機構及びダイシング装置に関する。
送り機構及びダイシング装置に係り、特にダイシング装
置などの精密切断装置に適用されるワークテーブルの送
り機構及びダイシング装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】従来の精密切断装置、たとえばダイシン
グ装置のワークテーブルは、ボールネジで構成される送
り機構によって送りを与えるようにしている。すなわ
ち、ワークテーブルをキャリッジ上に搭載するととも
に、該キャリッジをガイドレール上に摺動自在に設け、
そのワークテーブルをボールネジで駆動して送るように
している。
グ装置のワークテーブルは、ボールネジで構成される送
り機構によって送りを与えるようにしている。すなわ
ち、ワークテーブルをキャリッジ上に搭載するととも
に、該キャリッジをガイドレール上に摺動自在に設け、
そのワークテーブルをボールネジで駆動して送るように
している。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、ボール
ネジを用いた従来の送り機構では、ボールネジの回転に
伴い振動が発生し、切断精度に悪影響を与えるという欠
点があった。また、ボールネジによる駆動では発生させ
ることができる送り速度に限界があり、高速切断ができ
ないという欠点があった。
ネジを用いた従来の送り機構では、ボールネジの回転に
伴い振動が発生し、切断精度に悪影響を与えるという欠
点があった。また、ボールネジによる駆動では発生させ
ることができる送り速度に限界があり、高速切断ができ
ないという欠点があった。
【０００４】本発明は、このような事情に鑑みてなされ
たもので、精度の高い加工を効率よく行うことができる
ワークテーブルの送り機構及びダイシング装置を提供す
ることを目的とする。
たもので、精度の高い加工を効率よく行うことができる
ワークテーブルの送り機構及びダイシング装置を提供す
ることを目的とする。
【０００５】
【課題を解決するための手段】本発明は、前記目的を達
成するために、ワークを保持するワークテーブルに所定
経路に沿った送りを与えるワークテーブルの送り機構に
おいて、前記ワークテーブルが載置されるキャリッジ
と、前記キャリッジを所定経路に沿って走行自在に支持
するガイド部材と、前記キャリッジを前記ガイド部材に
沿って走行させるリニアモータと、からなることを特徴
とする。
成するために、ワークを保持するワークテーブルに所定
経路に沿った送りを与えるワークテーブルの送り機構に
おいて、前記ワークテーブルが載置されるキャリッジ
と、前記キャリッジを所定経路に沿って走行自在に支持
するガイド部材と、前記キャリッジを前記ガイド部材に
沿って走行させるリニアモータと、からなることを特徴
とする。
【０００６】本発明によれば、ワークテーブルはリニア
モータに駆動されて走行する。リニアモータは、駆動に
際して振動の発生が少なく、かつ、高速走行が可能であ
る。したがって、リニアモータを用いれば、ワークテー
ブルは安定した高速走行が可能になり、この結果、精度
の高い加工を効率よく行うことができる。
モータに駆動されて走行する。リニアモータは、駆動に
際して振動の発生が少なく、かつ、高速走行が可能であ
る。したがって、リニアモータを用いれば、ワークテー
ブルは安定した高速走行が可能になり、この結果、精度
の高い加工を効率よく行うことができる。
【０００７】
【発明の実施の形態】以下、添付図面に従って本発明に
係るワークテーブルの送り機構及びダイシング装置の好
ましい実施の形態について詳説する。
係るワークテーブルの送り機構及びダイシング装置の好
ましい実施の形態について詳説する。
【０００８】図１は、本発明に係るワークテーブルの送
り機構が適用されたダイシング装置の斜視図であり、図
２は、その平面図である。同図に示すように、前記ダイ
シング装置は、主として切断部１、洗浄部２、カセット
収納部３、エレベータ部４及び搬送装置５等から構成さ
れている。
り機構が適用されたダイシング装置の斜視図であり、図
２は、その平面図である。同図に示すように、前記ダイ
シング装置は、主として切断部１、洗浄部２、カセット
収納部３、エレベータ部４及び搬送装置５等から構成さ
れている。
【０００９】このダイシング装置によるウェーハＷの切
断工程を説明すると、まず、カセット収納部３に複数枚
収納されている加工前のウェーハＷは、エレベータ部４
によって順次引き出され、図２に示す位置Ｐ４にセット
される。次に、このウェーハＷは、搬送装置５によって
位置Ｐ１のプリロードステージを介して切断部１の図示
しないワークテーブル（位置Ｐ２）上に載置される。こ
こで、ウェーハＷはワークテーブルに吸着保持される。
断工程を説明すると、まず、カセット収納部３に複数枚
収納されている加工前のウェーハＷは、エレベータ部４
によって順次引き出され、図２に示す位置Ｐ４にセット
される。次に、このウェーハＷは、搬送装置５によって
位置Ｐ１のプリロードステージを介して切断部１の図示
しないワークテーブル（位置Ｐ２）上に載置される。こ
こで、ウェーハＷはワークテーブルに吸着保持される。
【００１０】ワークテーブルに吸着保持されたウェーハ
Ｗは、アライメント部８、９によってウェーハＷ上のパ
ターンが画像認識され、これに基づいてアライメントさ
れる。そして、アライメントされたウェーハＷは、切断
部１の矢印Ａ、Ｂで示すＹ軸方向の移動と、ワークテー
ブルの矢印Ｃ、Ｄで示すＸ軸方向の移動とによって、２
本のストリートが同時に切断される。最初の２本のスト
リートが切断されると、切断部１のスピンドルがストリ
ートのピッチ分だけＹ軸方向に移動する。そして、ワー
クテーブルが再びＸ軸方向に移動し、これにより、次の
２本のストリートが切断される。この切断動作を繰り返
して行い、一方向（Ｘ方向）の全てのストリートを切断
する。一方向（Ｘ方向）の全てのストリートが切断され
ると、ワークテーブルが９０°回動し、前記切断したス
トリートに直交する方向（図２上でＹ方向）のストリー
トが順次切断される。これにより、ウェーハＷは最終的
に碁盤目状に切断される。
Ｗは、アライメント部８、９によってウェーハＷ上のパ
ターンが画像認識され、これに基づいてアライメントさ
れる。そして、アライメントされたウェーハＷは、切断
部１の矢印Ａ、Ｂで示すＹ軸方向の移動と、ワークテー
ブルの矢印Ｃ、Ｄで示すＸ軸方向の移動とによって、２
本のストリートが同時に切断される。最初の２本のスト
リートが切断されると、切断部１のスピンドルがストリ
ートのピッチ分だけＹ軸方向に移動する。そして、ワー
クテーブルが再びＸ軸方向に移動し、これにより、次の
２本のストリートが切断される。この切断動作を繰り返
して行い、一方向（Ｘ方向）の全てのストリートを切断
する。一方向（Ｘ方向）の全てのストリートが切断され
ると、ワークテーブルが９０°回動し、前記切断したス
トリートに直交する方向（図２上でＹ方向）のストリー
トが順次切断される。これにより、ウェーハＷは最終的
に碁盤目状に切断される。
【００１１】切断の終了したウェーハＷは、ワークテー
ブルによって位置Ｐ２に戻され、その後、搬送装置５に
よって位置Ｐ３の洗浄部２のスピナテーブルに搬送され
る。そして、ここで洗浄水により洗浄されたのち、エア
ブローによって乾燥される。洗浄・乾燥が終了したウェ
ーハＷは、搬送装置５によって位置Ｐ４に搬送され、そ
の後、エレベータ部４によってカセット部１に収納され
る。
ブルによって位置Ｐ２に戻され、その後、搬送装置５に
よって位置Ｐ３の洗浄部２のスピナテーブルに搬送され
る。そして、ここで洗浄水により洗浄されたのち、エア
ブローによって乾燥される。洗浄・乾燥が終了したウェ
ーハＷは、搬送装置５によって位置Ｐ４に搬送され、そ
の後、エレベータ部４によってカセット部１に収納され
る。
【００１２】以上がダイシング装置による１枚のウェー
ハＷの切断工程であり、以下同様の手順でカセット収納
部３に収納されている全てのウェーハＷを切断する。
ハＷの切断工程であり、以下同様の手順でカセット収納
部３に収納されている全てのウェーハＷを切断する。
【００１３】次に、本発明に係るワークテーブルの送り
機構が適用されたダイシング装置の切断部１の構成につ
いて説明する。
機構が適用されたダイシング装置の切断部１の構成につ
いて説明する。
【００１４】図３は、切断部１の構成を示す斜視図であ
る。同図に示すように、切断部１は、ウェーハＷを切断
するウェーハ切断装置１０と、そのウェーハ切断装置１
０に向けてウェーハＷを送るウェーハ送り装置３０とか
ら構成されている。
る。同図に示すように、切断部１は、ウェーハＷを切断
するウェーハ切断装置１０と、そのウェーハ切断装置１
０に向けてウェーハＷを送るウェーハ送り装置３０とか
ら構成されている。
【００１５】まず、ウェーハ切断装置１０の構成につい
て説明する。図示しないダイシング装置の本体フレーム
上には、門型に形成されたＹ軸ベース１２が垂直に立設
されている。このＹ軸ベース１２は図中Ｙ軸方向に沿っ
て配設されており、その前面には一対のＹ軸ガイドレー
ル１４、１４がＹ軸方向に沿って敷設されている。
て説明する。図示しないダイシング装置の本体フレーム
上には、門型に形成されたＹ軸ベース１２が垂直に立設
されている。このＹ軸ベース１２は図中Ｙ軸方向に沿っ
て配設されており、その前面には一対のＹ軸ガイドレー
ル１４、１４がＹ軸方向に沿って敷設されている。
【００１６】前記一対のＹ軸ガイドレール１４、１４上
には、２台のＹ軸キャリッジ１６Ｒ、１６Ｌが摺動自在
に設けられている。この２台のＹ軸キャリッジ１６Ｒ、
１６Ｌは、それぞれ図示しない移動手段（たとえば、リ
ニアモータやボールネジ）に駆動されてＹ軸ガイドレー
ル１４、１４上を個別に摺動する。
には、２台のＹ軸キャリッジ１６Ｒ、１６Ｌが摺動自在
に設けられている。この２台のＹ軸キャリッジ１６Ｒ、
１６Ｌは、それぞれ図示しない移動手段（たとえば、リ
ニアモータやボールネジ）に駆動されてＹ軸ガイドレー
ル１４、１４上を個別に摺動する。
【００１７】また、この２台のＹ軸キャリッジ１６Ｒ、
１６Ｌの前面には、それぞれ図示しない一対のＺ軸ガイ
ドレールが図中Ｚ軸方向に沿って敷設されている。この
一対のＺ軸ガイドレール上には、それぞれＺ軸キャリッ
ジ１８Ｒ、１８Ｌが摺動自在に設けられており、該Ｚ軸
キャリッジ１８Ｒ、１８Ｌは、それぞれ図示しない昇降
駆動手段（たとえば、ボールネジやシリンダ）に駆動さ
れて、Ｚ軸ガイドレール上を摺動する。
１６Ｌの前面には、それぞれ図示しない一対のＺ軸ガイ
ドレールが図中Ｚ軸方向に沿って敷設されている。この
一対のＺ軸ガイドレール上には、それぞれＺ軸キャリッ
ジ１８Ｒ、１８Ｌが摺動自在に設けられており、該Ｚ軸
キャリッジ１８Ｒ、１８Ｌは、それぞれ図示しない昇降
駆動手段（たとえば、ボールネジやシリンダ）に駆動さ
れて、Ｚ軸ガイドレール上を摺動する。
【００１８】さらに、この２台のＺ軸キャリッジ１８
Ｒ、１８Ｌの前面下部には、それぞれスピンドル駆動モ
ータ２０Ｒ、２０Ｌが設けられている。このスピンドル
駆動モータ２０Ｒ、２０Ｌの出力軸には、スピンドル２
２Ｒ、２２Ｌが連結されており、該スピンドル２２Ｒ、
２２Ｌにブレード２４Ｒ、２４Ｌが装着されている。
Ｒ、１８Ｌの前面下部には、それぞれスピンドル駆動モ
ータ２０Ｒ、２０Ｌが設けられている。このスピンドル
駆動モータ２０Ｒ、２０Ｌの出力軸には、スピンドル２
２Ｒ、２２Ｌが連結されており、該スピンドル２２Ｒ、
２２Ｌにブレード２４Ｒ、２４Ｌが装着されている。
【００１９】以上のように構成されたウェーハ切断装置
１０によれば、ウェーハＷを切断するブレード２４Ｒ、
２４Ｌは、スピンドル駆動モータ２０Ｒ、２０Ｌを駆動
することにより回転する。そして、Ｚ軸キャリッジ１８
Ｒ、１８ＬをＺ軸ガイドレールに沿って摺動させること
によりＺ軸方向に移動し、Ｙ軸キャリッジ１６Ｒ、１６
ＬをＹ軸ガイドレール１４、１４に沿って摺動させるこ
とによりＹ軸方向に移動する。
１０によれば、ウェーハＷを切断するブレード２４Ｒ、
２４Ｌは、スピンドル駆動モータ２０Ｒ、２０Ｌを駆動
することにより回転する。そして、Ｚ軸キャリッジ１８
Ｒ、１８ＬをＺ軸ガイドレールに沿って摺動させること
によりＺ軸方向に移動し、Ｙ軸キャリッジ１６Ｒ、１６
ＬをＹ軸ガイドレール１４、１４に沿って摺動させるこ
とによりＹ軸方向に移動する。
【００２０】次に、ウェーハ送り装置３０の構成につい
て説明する。図示しないダイシング装置の本体フレーム
上には、図中Ｘ軸方向に沿ってＸ軸ベース３２が水平に
敷設されている。このＸ軸ベース３２上には、所定の間
隔をもって一対のＸ軸ガイドレール３４Ｒ、３４ＬがＸ
軸方向に沿って敷設されている。そして、このＸ軸ガイ
ドレール３４Ｒ、３４Ｌ上には、スライドユニット３６
Ｒ、３６Ｒ、３６Ｌ、３６Ｌを介してＸ軸キャリッジ３
８が走行自在に設けられている。
て説明する。図示しないダイシング装置の本体フレーム
上には、図中Ｘ軸方向に沿ってＸ軸ベース３２が水平に
敷設されている。このＸ軸ベース３２上には、所定の間
隔をもって一対のＸ軸ガイドレール３４Ｒ、３４ＬがＸ
軸方向に沿って敷設されている。そして、このＸ軸ガイ
ドレール３４Ｒ、３４Ｌ上には、スライドユニット３６
Ｒ、３６Ｒ、３６Ｌ、３６Ｌを介してＸ軸キャリッジ３
８が走行自在に設けられている。
【００２１】ここで、このＸ軸キャリッジ３８を支持す
るスライドユニット３６Ｒ、３６Ｒ、３６Ｌ、３６Ｌ
は、それぞれＸ軸キャリッジ３８の四隅に設けられてお
り、次のように構成されている。
るスライドユニット３６Ｒ、３６Ｒ、３６Ｌ、３６Ｌ
は、それぞれＸ軸キャリッジ３８の四隅に設けられてお
り、次のように構成されている。
【００２２】図４に示すように、図中右側のスライドユ
ニット３６Ｒ、３６Ｒは、それぞれガイドレール３４Ｒ
を上下方向から挟み込むようにして配設された一対のエ
アベアリング４０Ｒ1 、４０Ｒ2 を備えている。そし
て、この一対のエアベアリング４０Ｒ1 、４０Ｒ2 は、
共にＸ軸キャリッジ３８の裏面に固着された支持フレー
ム４２Ｒに設けられている。
ニット３６Ｒ、３６Ｒは、それぞれガイドレール３４Ｒ
を上下方向から挟み込むようにして配設された一対のエ
アベアリング４０Ｒ1 、４０Ｒ2 を備えている。そし
て、この一対のエアベアリング４０Ｒ1 、４０Ｒ2 は、
共にＸ軸キャリッジ３８の裏面に固着された支持フレー
ム４２Ｒに設けられている。
【００２３】一方、同図に示すように、図中左側のスラ
イドユニット３６Ｌ、３６Ｌは、それぞれガイドレール
３４Ｌを上下方向から挟み込むようにして配設された一
対のエアベアリング４０Ｌ1 、４０Ｌ3 と、そのガイド
レール３４Ｌを左右方向から挟み込むようにして配設さ
れた一対のエアベアリング４０Ｌ2 、４０Ｌ4 を備えて
いる。そして、これらのエアベアリング４０Ｌ1 〜４０
Ｌ4 は、それぞれＸ軸キャリッジ３８の裏面に固着され
た支持フレーム４２Ｌに設けられている。
イドユニット３６Ｌ、３６Ｌは、それぞれガイドレール
３４Ｌを上下方向から挟み込むようにして配設された一
対のエアベアリング４０Ｌ1 、４０Ｌ3 と、そのガイド
レール３４Ｌを左右方向から挟み込むようにして配設さ
れた一対のエアベアリング４０Ｌ2 、４０Ｌ4 を備えて
いる。そして、これらのエアベアリング４０Ｌ1 〜４０
Ｌ4 は、それぞれＸ軸キャリッジ３８の裏面に固着され
た支持フレーム４２Ｌに設けられている。
【００２４】前記各エアベアリング４０Ｒ1 〜４０
Ｒ2 、４０Ｌ1 〜４０Ｌ4 からは、それぞれガイドレー
ル３４Ｒ、３４Ｌに向けて圧縮エアが噴射され、これに
より、各スライドユニット３６Ｒ、３６Ｌが、ガイドレ
ール３４Ｒ、３４Ｌ上を非接触状態で支持される。そし
て、これにより、Ｘ軸キャリッジ３８が、Ｘ軸ガイドレ
ール３４Ｒ、３４Ｌ上を非接触状態で走行自在に支持さ
れる。
Ｒ2 、４０Ｌ1 〜４０Ｌ4 からは、それぞれガイドレー
ル３４Ｒ、３４Ｌに向けて圧縮エアが噴射され、これに
より、各スライドユニット３６Ｒ、３６Ｌが、ガイドレ
ール３４Ｒ、３４Ｌ上を非接触状態で支持される。そし
て、これにより、Ｘ軸キャリッジ３８が、Ｘ軸ガイドレ
ール３４Ｒ、３４Ｌ上を非接触状態で走行自在に支持さ
れる。
【００２５】前記のごとくＸ軸ガイドレール３４Ｒ、３
４Ｌ上を非接触状態で支持されるＸ軸キャリッジ３８
は、リニアモータ４４に駆動されて走行する。このリニ
アモータ４４は、図４に示すように、Ｘ軸ガイドレール
３４Ｒ、３４Ｌに沿って配設された上下一対からなるマ
グネットレール４６Ａ、４６Ｂと、そのマグネットレー
ル４６Ａ、４６Ｂの間に配設されたコイルアッセンブリ
４８とから構成されている。
４Ｌ上を非接触状態で支持されるＸ軸キャリッジ３８
は、リニアモータ４４に駆動されて走行する。このリニ
アモータ４４は、図４に示すように、Ｘ軸ガイドレール
３４Ｒ、３４Ｌに沿って配設された上下一対からなるマ
グネットレール４６Ａ、４６Ｂと、そのマグネットレー
ル４６Ａ、４６Ｂの間に配設されたコイルアッセンブリ
４８とから構成されている。
【００２６】一対のマグネットレール４６Ａ、４６Ｂ
は、前記一対のＸ軸ガイドレール３４Ｒ、３４Ｌに沿っ
て敷設された断面コ字状のヨーク５０に設けられてお
り、所定の間隔をもって互いに対向するように配設され
ている。一方、コイルアッセンブリ４８は、そのマグネ
ットレール４６Ａ、４６Ｂの間に所定の空隙をもって配
設されており、アーム５２を介してＸ軸キャリッジ３８
に接続されている。
は、前記一対のＸ軸ガイドレール３４Ｒ、３４Ｌに沿っ
て敷設された断面コ字状のヨーク５０に設けられてお
り、所定の間隔をもって互いに対向するように配設され
ている。一方、コイルアッセンブリ４８は、そのマグネ
ットレール４６Ａ、４６Ｂの間に所定の空隙をもって配
設されており、アーム５２を介してＸ軸キャリッジ３８
に接続されている。
【００２７】Ｘ軸キャリッジ３８は、このリニアモータ
４４を駆動することによりＸ軸ガイドレール３４Ｒ、３
４Ｌに沿ってＸ軸方向に移動する。なお、リニアモータ
の駆動原理については周知であるので、ここではその説
明は省略する。
４４を駆動することによりＸ軸ガイドレール３４Ｒ、３
４Ｌに沿ってＸ軸方向に移動する。なお、リニアモータ
の駆動原理については周知であるので、ここではその説
明は省略する。
【００２８】前記のごとくガイドレール３４Ｒ、３４Ｌ
上を走行するＸ軸キャリッジ３８の上面中央部には、図
３に示すように、θ軸モータ５４が搭載され、該θ軸モ
ータ５４の出力軸にワークテーブル５６が連結される。
上を走行するＸ軸キャリッジ３８の上面中央部には、図
３に示すように、θ軸モータ５４が搭載され、該θ軸モ
ータ５４の出力軸にワークテーブル５６が連結される。
【００２９】ウェーハ送り装置３０は、前記のごとく構
成され、前記Ｘ軸キャリッジ３８をリニアモータ４４で
駆動して走行させることにより、ワークテーブル５６が
Ｘ軸ガイドレール３４Ｒ、３４Ｌに沿ってＸ軸方向に走
行する。
成され、前記Ｘ軸キャリッジ３８をリニアモータ４４で
駆動して走行させることにより、ワークテーブル５６が
Ｘ軸ガイドレール３４Ｒ、３４Ｌに沿ってＸ軸方向に走
行する。
【００３０】なお、図３において、Ｘ軸ガイドレール３
４Ｌに沿ってＸ軸ベース３２に配設された符号５８はモ
アレスケール等のリニアスケールである。このリニアス
ケール５８は、Ｘ軸キャリッジ３８に設けられた検出片
６０の位置を非接触で検出することにより、ウェーハＷ
の位置を間接的に検出するものである。
４Ｌに沿ってＸ軸ベース３２に配設された符号５８はモ
アレスケール等のリニアスケールである。このリニアス
ケール５８は、Ｘ軸キャリッジ３８に設けられた検出片
６０の位置を非接触で検出することにより、ウェーハＷ
の位置を間接的に検出するものである。
【００３１】次に、前記のごとく構成された本発明に係
るワークテーブルの送り機構が適用されたダイシング装
置の切断部１によるウェーハＷのダイシング方法につい
て説明する。
るワークテーブルの送り機構が適用されたダイシング装
置の切断部１によるウェーハＷのダイシング方法につい
て説明する。
【００３２】まず、２台のＹ軸キャリッジ１６Ｒ、１６
ＬがＹ軸ガイドレール１４、１４に沿って個別に走行す
ることにより、２枚のブレード２４Ｒ、２４Ｌの間隔が
所定の間隔に設定される。次に、２台のＹ軸キャリッジ
１６Ｒ、１６ＬがＹ軸ガイドレール１４、１４に沿って
同時に走行することにより、２枚のブレード２４Ｒ、２
４Ｌが所定の切断開始位置に位置決めされる。次に、２
台のＺ軸キャリッジ１８Ｒ、１８Ｌが所定距離下降する
ことにより、２枚のブレード２４Ｒ、２４Ｌによるウェ
ーハＷの切断切込み量が設定される。
ＬがＹ軸ガイドレール１４、１４に沿って個別に走行す
ることにより、２枚のブレード２４Ｒ、２４Ｌの間隔が
所定の間隔に設定される。次に、２台のＹ軸キャリッジ
１６Ｒ、１６ＬがＹ軸ガイドレール１４、１４に沿って
同時に走行することにより、２枚のブレード２４Ｒ、２
４Ｌが所定の切断開始位置に位置決めされる。次に、２
台のＺ軸キャリッジ１８Ｒ、１８Ｌが所定距離下降する
ことにより、２枚のブレード２４Ｒ、２４Ｌによるウェ
ーハＷの切断切込み量が設定される。
【００３３】以上の初期設定が終了すると、スピンドル
駆動モータ２０Ｒ、２０Ｌが駆動され、ブレード２４
Ｒ、２４Ｌが回転する。次に、リニアモータ４４が駆動
され、ウェーハＷを吸着保持したワークテーブル５６が
Ｘ軸ガイドレール３４Ｒ、３４Ｌに沿って走行する。こ
れにより、最初の二本のストリートが切断される。な
お、このときワークテーブル５６は、リニアモータ４４
に駆動されて少なくとも５００ｍｍ／ｓ以上のスピード
走行が可能である。
駆動モータ２０Ｒ、２０Ｌが駆動され、ブレード２４
Ｒ、２４Ｌが回転する。次に、リニアモータ４４が駆動
され、ウェーハＷを吸着保持したワークテーブル５６が
Ｘ軸ガイドレール３４Ｒ、３４Ｌに沿って走行する。こ
れにより、最初の二本のストリートが切断される。な
お、このときワークテーブル５６は、リニアモータ４４
に駆動されて少なくとも５００ｍｍ／ｓ以上のスピード
走行が可能である。
【００３４】最初の切断が終了すると、２台のＹ軸キャ
リッジ１６Ｒ、１６ＬがＹ軸ガイドレール１４、１４に
沿って走行することにより、２枚のブレード２４Ｒ、２
４Ｌがストリートのピッチ分だけＹ軸方向に移動する。
そして、再びリニアモータ４４が駆動され、ワークテー
ブル５６がＸ軸ガイドレールレール３４Ｒ、３４Ｌに沿
って移動することにより、次の２本のストリートが切断
される。この切断動作を繰り返して行い、Ｘ軸方向の全
てのストリートを切断する。
リッジ１６Ｒ、１６ＬがＹ軸ガイドレール１４、１４に
沿って走行することにより、２枚のブレード２４Ｒ、２
４Ｌがストリートのピッチ分だけＹ軸方向に移動する。
そして、再びリニアモータ４４が駆動され、ワークテー
ブル５６がＸ軸ガイドレールレール３４Ｒ、３４Ｌに沿
って移動することにより、次の２本のストリートが切断
される。この切断動作を繰り返して行い、Ｘ軸方向の全
てのストリートを切断する。
【００３５】Ｘ軸方向の全てのストリートの切断が終了
すると、θ軸モータ５４が駆動されてワークテーブル５
６が９０°回転する。そして、前記切断したストリート
に直交するＹ方向のストリートを前述した手順を繰り返
して切断する。これにより、ウェーハＷは最終的に碁盤
目状に切断される。
すると、θ軸モータ５４が駆動されてワークテーブル５
６が９０°回転する。そして、前記切断したストリート
に直交するＹ方向のストリートを前述した手順を繰り返
して切断する。これにより、ウェーハＷは最終的に碁盤
目状に切断される。
【００３６】以上が本発明に係るワークテーブルの送り
機構が適用されたダイシング装置の切断部１によるウェ
ーハＷのダイシング方法である。
機構が適用されたダイシング装置の切断部１によるウェ
ーハＷのダイシング方法である。
【００３７】このように、本実施の形態のワークテーブ
ルの送り機構によれば、リニアモータ４４を用いてワー
クテーブル５６に送りを与えるようにしているので、ウ
ェーハＷに振動を与えることなく切断することができ
る。これにより、精度の高い安定した切断を行うことが
できる。
ルの送り機構によれば、リニアモータ４４を用いてワー
クテーブル５６に送りを与えるようにしているので、ウ
ェーハＷに振動を与えることなく切断することができ
る。これにより、精度の高い安定した切断を行うことが
できる。
【００３８】また、リニアモータ４４を用いてワークテ
ーブル５６に送りを与えることにより、ワークテーブル
５６の高速走行が可能になり、生産性の向上を図ること
ができる。
ーブル５６に送りを与えることにより、ワークテーブル
５６の高速走行が可能になり、生産性の向上を図ること
ができる。
【００３９】さらに、本実施の形態のワークテーブルの
送り機構によれば、Ｘ軸キャリッジ３８がエアベアリン
グを介してＸ軸ガイドレール３４Ｒ、３４Ｌにガイドさ
れるため、ワークテーブル５６は、より振動の少ない安
定した走行が可能になる。
送り機構によれば、Ｘ軸キャリッジ３８がエアベアリン
グを介してＸ軸ガイドレール３４Ｒ、３４Ｌにガイドさ
れるため、ワークテーブル５６は、より振動の少ない安
定した走行が可能になる。
【００４０】また、この際、Ｘ軸キャリッジ３８は、非
接触状態でＸ軸ガイドレール３４Ｒ、３４Ｌ上を走行す
るので、Ｘ軸ガイドレール３４Ｒ、３４Ｌの磨耗がな
く、長期間に渡って安定した走行が可能になる。
接触状態でＸ軸ガイドレール３４Ｒ、３４Ｌ上を走行す
るので、Ｘ軸ガイドレール３４Ｒ、３４Ｌの磨耗がな
く、長期間に渡って安定した走行が可能になる。
【００４１】図５は、本発明に係るワークテーブルの送
り機構が適用されたダイシング装置の第２の実施の形態
の要部の構成を示す斜視図である。なお、上述した第１
の実施の形態と同一部材には同一符号が付されている。
り機構が適用されたダイシング装置の第２の実施の形態
の要部の構成を示す斜視図である。なお、上述した第１
の実施の形態と同一部材には同一符号が付されている。
【００４２】同図に示すように、本実施の形態では、Ｘ
軸キャリッジ３８をガイドするガイド部がリニアガイド
によって構成されている点が上述した第１の実施の形態
と相違している。
軸キャリッジ３８をガイドするガイド部がリニアガイド
によって構成されている点が上述した第１の実施の形態
と相違している。
【００４３】すなわち、図５に示すように、Ｘ軸ベース
３２上には、図中Ｘ軸方向に沿ってレールベース７０
Ｒ、７０Ｌが敷設されており、該レールベース７０Ｒ、
７０Ｌ上にＸ軸ガイドレール７２Ｒ、７２Ｌが水平に敷
設されている。そして、このＸ軸ガイドレール７２Ｒ、
７２Ｌ上にリニアガイド７４Ｒ、７４Ｒ、７４Ｌ、７４
Ｌを介してＸ軸キャリッジ３８が走行自在に設けられて
いる。このリニアガイド７４Ｒ、７４Ｌは、Ｘ軸キャリ
ッジ３８の裏面四隅に配設されており、これによりＸ軸
キャリッジ３８は、Ｘ軸ガイドレール７２Ｒ、７２Ｌ上
をＸ軸方向に沿って走行自在にガイドされる。
３２上には、図中Ｘ軸方向に沿ってレールベース７０
Ｒ、７０Ｌが敷設されており、該レールベース７０Ｒ、
７０Ｌ上にＸ軸ガイドレール７２Ｒ、７２Ｌが水平に敷
設されている。そして、このＸ軸ガイドレール７２Ｒ、
７２Ｌ上にリニアガイド７４Ｒ、７４Ｒ、７４Ｌ、７４
Ｌを介してＸ軸キャリッジ３８が走行自在に設けられて
いる。このリニアガイド７４Ｒ、７４Ｌは、Ｘ軸キャリ
ッジ３８の裏面四隅に配設されており、これによりＸ軸
キャリッジ３８は、Ｘ軸ガイドレール７２Ｒ、７２Ｌ上
をＸ軸方向に沿って走行自在にガイドされる。
【００４４】図６は、本発明に係るワークテーブルの送
り機構が適用されたダイシング装置の第３の実施の形態
の要部の構成を示す斜視図である。なお、上述した第１
の実施の形態と同一部材には同一符号が付されている。
り機構が適用されたダイシング装置の第３の実施の形態
の要部の構成を示す斜視図である。なお、上述した第１
の実施の形態と同一部材には同一符号が付されている。
【００４５】同図に示すように、本実施の形態では、Ｘ
軸キャリッジ３８をガイドするガイド部が、滑り軸受に
よって構成されている点が上述した第１及び第２の実施
の形態と相違している。
軸キャリッジ３８をガイドするガイド部が、滑り軸受に
よって構成されている点が上述した第１及び第２の実施
の形態と相違している。
【００４６】すなわち、Ｘ軸ベース３２上には、図中Ｘ
軸方向に滑り軸受８２Ｒ、８２Ｌが水平に敷設されてい
る。Ｘ軸キャリッジ３８は、この滑り軸受８２Ｒ、８２
Ｌ上を摺動自在に設けられており、この滑り軸受８２
Ｒ、８２Ｌ上によってＸ軸方向に沿って走行自在にガイ
ドされる。
軸方向に滑り軸受８２Ｒ、８２Ｌが水平に敷設されてい
る。Ｘ軸キャリッジ３８は、この滑り軸受８２Ｒ、８２
Ｌ上を摺動自在に設けられており、この滑り軸受８２
Ｒ、８２Ｌ上によってＸ軸方向に沿って走行自在にガイ
ドされる。
【００４７】この他、直動案内は、磁気浮上案内などの
種々の形式のものを用いることができる。
種々の形式のものを用いることができる。
【００４８】また、リニアモータについてもリニアイン
ダクションモータやリニアシンクロナスモータ、リニア
パルスモータ等の種々の形式のものを用いることができ
る。
ダクションモータやリニアシンクロナスモータ、リニア
パルスモータ等の種々の形式のものを用いることができ
る。
【００４９】なお、本実施の形態では、本発明をダイシ
ング装置に適用した例で説明しているが、本発明はダイ
シング装置に限らず種々の精密切断装置や精密切削装置
に適用することができる。
ング装置に適用した例で説明しているが、本発明はダイ
シング装置に限らず種々の精密切断装置や精密切削装置
に適用することができる。
【００５０】
【発明の効果】以上説明したように、本発明によれば、
ワークテーブルがリニアモータに駆動されて走行するの
で、ワークテーブルは、振動が少なく安定した高速走行
が可能になる。この結果、精度の高い加工を効率よく行
うことができる。
ワークテーブルがリニアモータに駆動されて走行するの
で、ワークテーブルは、振動が少なく安定した高速走行
が可能になる。この結果、精度の高い加工を効率よく行
うことができる。
【図１】本発明が適用されたダイシング装置の斜視図
【図２】図１に示したダイシング装置の平面図
【図３】図１に示したダイシング装置の切断部の構成を
示す斜視図
示す斜視図
【図４】本発明に係るワークテーブルの送り機構の要部
の構成を示す正面断面図
の構成を示す正面断面図
【図５】本発明に係るワークテーブルの送り機構が適用
されたダイシング装置の第２の実施の形態の要部の構成
を示す斜視図
されたダイシング装置の第２の実施の形態の要部の構成
を示す斜視図
【図６】本発明に係るワークテーブルの送り機構が適用
されたダイシング装置の第３の実施の形態の要部の構成
を示す斜視図
されたダイシング装置の第３の実施の形態の要部の構成
を示す斜視図
１…切断部、１０…ウェーハ切断装置、１４…Ｙ軸ガイ
ドレール、１６Ｒ、１６Ｌ…Ｙ軸キャリッジ、１８Ｒ、
１８Ｌ…Ｚ軸キャリッジ、２０Ｒ、２０Ｌ…スピンドル
駆動モータ、２２Ｒ、２２Ｌ…スピンドル、２４Ｒ、２
４Ｌ…ブレード、３０…ウェーハ送り装置、３２…Ｘ軸
ベース、３４Ｒ、３４Ｌ…Ｘ軸ガイドレール、３６Ｌ、
３６Ｒ…スライドユニット、３８…Ｘ軸キャリッジ、４
０Ｒ1 〜４０Ｒ2 、４０Ｌ1 〜４０Ｌ4 …エアベアリン
グ、４４…リニアモータ、４６Ａ、４６Ｂ…マグネット
レール、４８…コイルアッセンブリ、５４…θ軸モー
タ、５６…ワークテーブル、７２Ｒ、７２Ｌ…Ｘ軸ガイ
ドレール、７４Ｒ、７４Ｌ…リニアガイド、８２Ｒ、８
２Ｌ…滑り軸受
ドレール、１６Ｒ、１６Ｌ…Ｙ軸キャリッジ、１８Ｒ、
１８Ｌ…Ｚ軸キャリッジ、２０Ｒ、２０Ｌ…スピンドル
駆動モータ、２２Ｒ、２２Ｌ…スピンドル、２４Ｒ、２
４Ｌ…ブレード、３０…ウェーハ送り装置、３２…Ｘ軸
ベース、３４Ｒ、３４Ｌ…Ｘ軸ガイドレール、３６Ｌ、
３６Ｒ…スライドユニット、３８…Ｘ軸キャリッジ、４
０Ｒ1 〜４０Ｒ2 、４０Ｌ1 〜４０Ｌ4 …エアベアリン
グ、４４…リニアモータ、４６Ａ、４６Ｂ…マグネット
レール、４８…コイルアッセンブリ、５４…θ軸モー
タ、５６…ワークテーブル、７２Ｒ、７２Ｌ…Ｘ軸ガイ
ドレール、７４Ｒ、７４Ｌ…リニアガイド、８２Ｒ、８
２Ｌ…滑り軸受
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 東 正幸 東京都三鷹市下連雀９丁目７番１号 株式 会社東京精密内 (72)発明者 足立 禎 千葉県習志野市屋敷４丁目３番１号 セイ コー精機株式会社内
Claims (5)
- 【請求項１】 ワークを保持するワークテーブルに所定
経路に沿った送りを与えるワークテーブルの送り機構に
おいて、 前記ワークテーブルが載置されるキャリッジと、 前記キャリッジを所定経路に沿って走行自在に支持する
ガイド部材と、 前記キャリッジを前記ガイド部材に沿って走行させるリ
ニアモータと、からなることを特徴とするワークテーブ
ルの送り機構。 - 【請求項２】 前記ガイド部材は、 所定経路に沿って配設されたガイドレールと、 前記ガイドレールと前記キャリッジとの間に設けられ、
前記キャリッジを前記ガイドレールに沿って走行自在に
支持するエアベアリングと、からなることを特徴とする
請求項１記載のワークテーブルの送り機構。 - 【請求項３】 前記ガイド部材は、 所定経路に沿って配設されたガイドレールと、 前記ガイドレールと前記キャリッジとの間に設けられ、
前記キャリッジを前記ガイドレールに沿って走行自在に
支持するリニアガイドと、からなることを特徴とする請
求項１記載のワークテーブルの送り機構。 - 【請求項４】 前記ガイド部材は、所定経路に沿って配
設され、前記キャリッジが摺動自在に支持される滑り軸
受であることを特徴とする請求項１記載のワークテーブ
ルの送り機構。 - 【請求項５】 ワークを収納する収納部と、前記収納部
からワークを引き出すエレベータ部と、前記エレベータ
部により引き出されたワークを搬送する搬送装置と、前
記搬送装置により搬送されたワークを保持するワークテ
ーブルと、前記ワークテーブルに送りを与える送り機構
と、前記ワークテーブルに保持されたワークを切断する
切断部と、前記切断部により切断されたワークを洗浄す
る洗浄部と、を備えたダイシング装置において、 前記送り機構が請求項１〜４の何れか１に記載のワーク
テーブルの送り機構であることを特徴とするダイシング
装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP22917599A JP2001053034A (ja) | 1999-08-13 | 1999-08-13 | ワークテーブルの送り機構及びダイシング装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP22917599A JP2001053034A (ja) | 1999-08-13 | 1999-08-13 | ワークテーブルの送り機構及びダイシング装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JP2001053034A true JP2001053034A (ja) | 2001-02-23 |
Family
ID=16887977
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP22917599A Pending JP2001053034A (ja) | 1999-08-13 | 1999-08-13 | ワークテーブルの送り機構及びダイシング装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2001053034A (ja) |
Cited By (7)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2008023709A (ja) * | 2006-07-24 | 2008-02-07 | Deckel Maho Seebach Gmbh | フライス・ボール盤 |
| CN100382273C (zh) * | 2006-06-05 | 2008-04-16 | 北京航空航天大学 | 双直线电机冗余同步驱动的t型工作台 |
| KR100948933B1 (ko) * | 2008-03-18 | 2010-03-24 | (주)디엠테크놀러지 | 중량물용 가이드 장치 및 이에 적용되는 캠포로와형 이중앵굴러 콘택 베어링 |
| JP2016120569A (ja) * | 2014-12-25 | 2016-07-07 | 株式会社ディスコ | 加工装置 |
| KR20160128224A (ko) * | 2015-04-28 | 2016-11-07 | 가부시기가이샤 디스코 | 절삭 장치 |
| KR20160128223A (ko) * | 2015-04-28 | 2016-11-07 | 가부시기가이샤 디스코 | 절삭 장치 |
| WO2022103111A1 (ko) * | 2020-11-13 | 2022-05-19 | 한국표준과학연구원 | 기생운동 및 리플이 최소 발생 가능한 진동 발생장치 |
-
1999
- 1999-08-13 JP JP22917599A patent/JP2001053034A/ja active Pending
Cited By (14)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN100382273C (zh) * | 2006-06-05 | 2008-04-16 | 北京航空航天大学 | 双直线电机冗余同步驱动的t型工作台 |
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| CN106079122A (zh) * | 2015-04-28 | 2016-11-09 | 株式会社迪思科 | 切削装置 |
| KR20160128223A (ko) * | 2015-04-28 | 2016-11-07 | 가부시기가이샤 디스코 | 절삭 장치 |
| KR20160128224A (ko) * | 2015-04-28 | 2016-11-07 | 가부시기가이샤 디스코 | 절삭 장치 |
| JP2016207987A (ja) * | 2015-04-28 | 2016-12-08 | 株式会社ディスコ | 切削装置 |
| JP2016207988A (ja) * | 2015-04-28 | 2016-12-08 | 株式会社ディスコ | 切削装置 |
| KR102402403B1 (ko) * | 2015-04-28 | 2022-05-25 | 가부시기가이샤 디스코 | 절삭 장치 |
| KR102405690B1 (ko) | 2015-04-28 | 2022-06-03 | 가부시기가이샤 디스코 | 절삭 장치 |
| WO2022103111A1 (ko) * | 2020-11-13 | 2022-05-19 | 한국표준과학연구원 | 기생운동 및 리플이 최소 발생 가능한 진동 발생장치 |
| KR20220065241A (ko) * | 2020-11-13 | 2022-05-20 | 한국표준과학연구원 | 기생운동 및 리플이 최소 발생 가능한 진동 발생장치 |
| KR102465838B1 (ko) * | 2020-11-13 | 2022-11-10 | 한국표준과학연구원 | 기생운동 및 리플이 최소 발생 가능한 진동 발생장치 |
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