JP4019159B2 - ダイシング装置におけるワーク切断方法 - Google Patents
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Description
【発明の属する技術分野】
本発明はダイシング装置におけるワーク切断方法に係り、特に2枚のブレードで半導体ウェーハを碁盤目状に切断するダイシング装置におけるワーク切断方法に関する。
【0002】
【従来の技術】
特開平8−25209号公報に開示されたダイシング装置は、2本のスピンドルをY軸方向に平行に配置し、2本のスピンドルと半導体ウェーハとを相対的にX軸方向に移動させながら、2本のスピンドルに装着された2枚のブレードで半導体ウェーハを切断線(ストリート)に沿って切断する。また、前記2本のスピンドルのうち1本のスピンドルは、Y軸方向の位置を位置調整できるように構成されており、そのスピンドルをY軸方向に所定量移動して2枚のブレードの相対位置をストリートのピッチ分ずらすことによって、2本のストリートを同時に切断するようにしている。
【0003】
図9は、前記ダイシング装置のワーク切断方法を示す遷移図である。図9(A)に示すように切断前の2枚のブレード1、2は、ウェーハWの切断線の1ピッチ分だけY方向にずれた位置に位置決めされている。この2枚のブレード1、2で、例えば切断線L1、L2を切断する場合には、まず、図上右側のブレード1を切断線L1に合わせた後、2枚のブレード1、2又はウェーハWをX軸方向に移動させ、図9(B)に示すようにブレード1で切断線L1の切断を開始すると共に、これに後続させてブレード2で切断線L2の切断を開始する。そして、前記X方向の移動を継続すると、ブレード1による切断線L1の切断が終了し、その後、ブレード2による切断線L2の切断が図9(C)に示すように終了する。これによって、2本の切断線L1、L2を同時に切断することができる。なお、符号3はブレード1のモータであり、符号4は前記モータ3のスピンドルである。また、符号5はブレード2のモータで、符号6はモータ5のスピンドルである。
【0004】
【発明が解決しようとする課題】
しかしながら、前記従来のダイシング装置によるワーク切断方法は、2枚のブレード1、2を並設しているので、図9(C)上で破線Dで囲まれた広範囲のエリアEでブレード1、2を移動させなければ2本の切断線L1、L2を同時に切断することができない。これにより、無駄切り部分が多くなり、切断時間が長くなるという欠点がある。また、X方向のストロークも大きくとる必要があり、装置の幅方向サイズが大きくなってしまうという欠点がある。
【0005】
本発明はこのような事情に鑑みてなされたもので、ブレードによる無駄切り部分を極力少なくして切断時間を短縮することができるダイシング装置におけるワーク切断方法を提供する。
【0006】
【課題を解決するための手段】
本発明は、前記目的を達成するために、2枚のブレードをY軸方向に対向配置すると共に2枚のブレードの間隔をワークの切断線の全ピッチ分に対応する間隔に設定した後、該2枚のブレードとワークとをX軸方向に相対的に移動させて前記2枚のブレードで前記ワークの両端の切断線を2本同時に切断し、前記2本の切断線の切断終了後に、前記2枚のブレードのうち一方のブレードを他方のブレードに向けて切断線の1ピッチ分だけY軸方向に移動させると共に、他方のブレードを一方のブレードに向けて切断線の1ピッチ分だけY軸方向に移動させて次の切断線を2本同時に切断し、この切断動作を複数回繰り返して複数本の切断線を切断した後、残りの複数本の切断線において、一方のブレードを他方のブレードに向けて切断線の1ピッチ分だけY軸方向に移動させると共に、他方のブレードを一方のブレードに向けてY方向に移動させて2枚のブレードの間隔が残りの複数の切断線の全ピッチの半分に対応する間隔になるように2枚のブレードをY軸方向に対向配置し、該2枚のブレードとワークとをX軸方向に相対的に移動させながら、2枚のブレードで前記残りの切断線を2本同時に切断し、前記2本の切断線の切断終了後に、前記2枚のブレードをY軸の同一方向に切断線の1ピッチ分だけ移動させて次の切断線を2本同時に切断し、この切断動作を繰り返して残りの切断線を切断することを特徴としている。
【0007】
本発明によれば、2枚のブレードを対向配置して切断するようにしたので、X軸方向の相対的移動量を最小限に抑えることができ、よって、切断時間を短縮することができる。
【0008】
【発明の実施の形態】
以下添付図面に従って本発明に係るダイシング装置におけるワーク切断方法について詳説する。
図1は本発明が適用された半導体ウェーハのダイシング装置1の斜視図であり、図2はその平面図である。図1に示すように、前記ダイシング装置1は、主として切断部10、洗浄部20、カセット収納部30、エレベータ部40、及び搬送装置50等から構成されている。
【0009】
このダイシング装置1によるウェーハWの切断工程を説明すると、まず、カセット収納部30に複数枚収納されている加工前のウェーハWは、エレベータ部40によって順次引き出され、そして、引き出されたウェーハWは図2に示す位置P4にセットされる。次に、このウェーハWは、搬送装置50によって位置P1のプリロードステージを介して切断部10のカッティングテーブル(位置P2)上に載置される。ここで、ウェーハWはカッティングテーブルに吸着保持される。吸着保持されたウェーハWは、アライメント部18、19によってウェーハW上のパターンが画像認識され、これに基づいてアライメントされる。そして、アライメントされたウェーハWは、切断部10の矢印A、Bで示すY軸方向移動と、カッティングテーブルの矢印C、Dで示すX軸方向移動とによって、2本のストリートが同時に切断される。最初の2本のストリートが切断されると、切断部10のスピンドルをストリートのピッチ分だけY軸方向に移動させ、そして、カッティングテーブルを再びX軸方向に移動させることにより次の2本のストリートが切断される。この切断動作を繰り返して行い、一方向(X方向)の全てのストリートの切断が終了すると、カッティングテーブルを90°回動させて、前記切断したストリートに直交する他方向(図2上でY方向)のストリートを順次切断する。これにより、ウェーハWは最終的に碁盤目状に切断される。なお、本実施の形態では、アライメント部18、19を切断部10の上流側に設けたが、これに限られるものではなく、切断部10の各キャリッジ72、74に設けても良い。
【0010】
切断終了したウェーハWは、カッティングテーブルによって位置P2に戻された後、搬送装置50によって位置P3の洗浄部20のスピナテーブルに搬送される。ここでウェーハWは、洗浄水により洗浄された後、エアブローによって乾燥される。乾燥したウェーハWは、搬送装置50によって位置P4に搬送され、エレベータ部40によってカセット部30に収納される。以上が前記ダイシング装置1による1枚のウェーハWの切断工程である。
【0011】
次に、ダイシング装置1の切断部10について説明する。図3は切断部10の平面図である。同図に示す切断部10の切断装置14、16は、モータ60、62、スピンドル64、66、及びスピンドル64、66の先端部に装着されたブレード68、70を有している。これらの切断装置14、16は、スピンドル移動機構によってY軸方向に各々独立して移動される。
【0012】
前記スピンドル移動機構は図4に示すように、モータ60、62が搭載されたキャリッジ72、74をY軸方向に移動自在にガイドするガイドレール90、92、及びキャリッジ72、74をY軸方向に移動させるリニアモータ76を主な構成としている。前記リニアモータ76は、マグネットレール78、及び2個のコイルアセンブリ80、82から構成されており、マグネットレール78は、ダイシング装置1に固定された支持プレート84の側面にY軸方向に沿って水平に固着されている。また、前記2個のコイルアセンブリ80、82のうち一方のコイルアセンブリ80はキャリッジ72に、そして他方のコイルアセンブリ82はキャリッジ74に固着されている。
【0013】
前記マグネットレール78は、リニアモータの固定部材を構成し、前記2個のコイルアセンブリ80、82はリニアモータの移動部材を構成している。前記マグネットレール78とコイルアセンブリ80、82とは図5に示すように(図5では一方のコイルアセンブリ80のみ図示)、所定の間隙を介して対向配置されている。このリニアモータを駆動することによって前記キャリッジ72、74は、共通のマグネットレール78に沿ってY軸方向に各々独立して移動する。なお、リニアモータの駆動原理については、周知であるので省略する。
【0014】
図5に示すように前記キャリッジ72には、2個のLM(直動)ガイド86、88が固着されている。これらのLMガイド86、88は、前記コイルアセンブリ80を挟んで上部、及び下部に設けられており、前記スライダ86はガイドレール90に摺動自在に支持され、前記スライダ88はガイドレール92に摺動自在に支持されている。また、図示していないが、キャリッジ74も同様に2個のスライダが固着され、その一方のスライダが前記ガイドレール92に摺動自在に支持されると共に、他方のスライダがガイドレール92に摺動自在に支持されている。なお、前記ガイドレール90、92は同図の如く、マグネットレール78と平行に固定され、2台のキャリッジ72、74の共通のガイド部材として機能している。
【0015】
前記支持プレート84には、リニアエンコーダを構成するモアレスケール94が取り付けられている。このモアレスケール94は、キャリッジ72、74に設けられた検出片96、98の位置を非接触で検出することで、ブレード68、70の位置を間接的に検出するものであり、マグネットレール78と平行に固定されている。前記モアレスケール94で検出されたブレード68、70の位置情報によって、前述したリニアモータ76が図示しない制御装置によってフィードバック制御されている。
【0016】
一方、前記モータ60、62は図4に示すように、アーム100、102、及びZ軸移動機構104、106を介して前記キャリッジ72、74に連結されている。したがって、Z軸移動機構104、106を駆動すればモータ60、62をZ軸に沿って上下移動させることができ、これによってブレード68、70を上下移動させることができる。したがって、Z軸移動機構104、106でブレード68、70の下降移動量を調節することにより、ウェーハWの切断切込み量を設定することができる。
【0017】
次に、前記の如く構成されたダイシング装置1のスピンドル移動機構の作用について説明する。
まず、前記スピンドル移動機構のリニアモータ76を駆動して、図3に示す2枚のブレード68、70の間隔を設定する。この場合、図示しない外部入力装置から前記間隔設定値が入力されると、リニアモータ76が図示しない制御装置に制御されてキャリッジ72、74をY軸方向に移動させる。その移動時におけるブレード68、70の位置情報がモアレスケール94から制御装置に出力される。制御装置は、前記位置情報に基づいてリニアモータ76をフィードバック制御し、前記間隔設定値の位置に前記ブレード68、70を位置決めする。
【0018】
各キャリッジ72、74の位置決めが終了すると、Z軸移動機構104、106が駆動してブレード68、70を下降移動し、ウェーハWの切断切込み量を設定する。この後、モータ60、62でブレード68、70を回転させると共に、カッティングテーブルをX軸方向に移動してウェーハWの最初の2本のストリートを前記ブレード68、70で切断する。
【0019】
最初の2本のストリートの切断が終了すると、前記スピンドル移動機構によってブレード68、70を、共通のガイド部材であるガイドレール90、92に沿ってストリートのピッチ分だけY軸方向に移動させる。そして、カッティングテーブルをX軸方向に再び移動させて次の2本のストリートを切断する。この切断動作を繰り返して行い、X軸方向の全てのストリートの切断が終了すると、カッティングテーブルを90°回動させて、前記切断したストリートに直交するY方向のストリートを前述した手順を繰り返して切断する。これにより、ウェーハWは最終的に碁盤目状に切断される。
【0020】
ここで、図6、図7、図8を参照して本実施の形態のウェーハW切断方法の実施例について述べる。
図6はウェーハWの切断手順を模式的に示したもので、特に、ウェーハWの切断エリアを▲1▼〜▲4▼エリアに分割し、これらのエリア中の複数本のストリートを▲1▼→▲2▼→▲3▼→▲4▼エリアの順で切断する方法である。この切断方法は、例えば図6上において1−1で示すストリートは、ブレード70で切断する1本目のストリートを示し、2−1で示すストリートは、ブレード68で切断する1本目のストリートを示している。したがって、▲1▼エリアによれば、ブレード68とブレード70とを3ピッチ分ずらして間隔設定し、まず1本目の1−1ストリートをブレード70で、そして2−1ストリートをブレード68で同時に切断する。
【0021】
次に、ブレード68、70の間隔を変えることなくブレード68、70をスピンドル移動機構によってストリートの1ピッチ分ずらす。そして、2本目の1−2ストリートをブレード70で、そして、2−2ストリートをブレード68で同時に切断する。この動作をあと2回繰り返して行い、▲1▼エリアの計8本のストリートを切断する。
【0022】
▲1▼エリアの全てのストリートの切断が終了すると、▲2▼エリア、▲3▼エリアの各8本のストリートを同様の手順で切断する。そして、▲4▼エリアは残り5本のストリートなので、1−1ストリートをブレード70によって、そして2−1ストリートをブレード68によって同時に切断した後、ブレード70のみで1−2〜1−4ストリートを順に切断する。これにより、X方向の全てのストリートの切断が終了する。
【0023】
上記切断方法では、ブレード68、70の間隔を変えることなく一定ピッチ移動させることでストリートを切断することができるので、ブレード68、70の位置制御が容易になり、また、切断ポイントも集中しているのでコンタミが付き難くなる。なお、ウェーハWの切断送り方向(X方向)は、一方向でも両方向でも良い。
【0024】
図7に示すウェーハWの切断方法も2枚のブレード68、70による同時切断方法であり、1−1、2、3〜15ストリートをブレード70で順に切断し、2−1、2、3〜15ストリートをブレード68で順に切断する。この切断方法によれば、まず、ブレード68とブレード70との間隔を全ピッチに対応する間隔に設定し、一方側の1−1ストリートをブレード70で、そして、他方側の2−1ストリートをブレード68で同時に切断する。
【0025】
次に、ブレード68を1ピッチ分だけブレード70に向けて移動させると共に、ブレード70を1ピッチ分だけブレード68に向けて移動させて、1−2ストリートをブレード70で、2−2ストリートをブレード68で切断する。この1ピッチ分互いに近づけて切断する動作をあと9回繰り返して行う。そして、残りの8本のストリートを図6に示した切断方法で切断する。即ち、ブレード68とブレード70とを3ピッチ分ずらして間隔設定し、1−12〜15ストリートをブレード70で、そして2−12〜15ストリートをブレード68で同時に切断する。
【0026】
上記切断方法では、ウェーハWの両側にあるストリートから中央にあるストリートに向けてストリートを順に切断するため、テープのテンションに影響されないでストリートを確実に切断することができる。ダイシング装置1で切断されるウェーハWは、通常、テープを介してフレームに接着されており、この際、テープにテンションをかけた状態でウェーハWを接着している。このため、ストリートを切断していくと、テープの復元力でウェーハWの位置がずれる場合があり、このように位置がずれてしまうとブレード68、70を1ピッチ移動させたとしても、ブレード68、70が次のストリートに当たらず、チップを切断してしまうという虞が生じる。図7の切断方法は、上記不具合を防止することができる。即ち、図7の切断方法では、切断した小片の長尺状のウェーハの位置が前記テープの復元力でずれることがあっても、切断するウェーハW本体の位置はずれないので、ストリートを確実に切断することができる。
【0027】
図8に示すウェーハWの切断方法も2枚のブレード68、70による同時切断方法であり、1−1〜13ストリートをブレード70で順に切断すると共に、2−1〜13ストリートをブレード68で順に切断する。そして、残りの3本の1−14〜16ストリートをブレード70で切断する方法である。
上記切断方法は、3本の1−14〜16ストリートを残した位置が、ブレード68、70の最大接近位置であり、これらの1−14〜16ストリートを2枚のブレード68、70で同時切断することができないので、この場合には、一方のブレード(本実施例ではブレード70)で1−14〜16ストリートを順に切断する。
【0028】
以上のように本実施の形態のワーク切断方法を実施すれば、ウェーハWを切断するためのX方向移動量を最小限に抑えることができる。したがって、ウェーハWを短時間で効率良く切断することができる。また、前記X方向移動量を最小限に抑えることで無駄切り部分(図6〜図8上で破線Dで囲まれたエリア)を最小限に押さえることができるので、ブレード68、70の寿命や次のドレッシングまでの期間を延ばすことができる。
【0029】
なお、本実施の形態のワーク切断方法は、ウェーハWの切断手法である、フルカット、ハーフカット、セミフルカット、異種ブレードによるカット(同一切削位置に対して2回以上の切り込みを行うカット)にも適用することができる。
【0030】
【発明の効果】
以上説明したように本発明に係るダイシング装置におけるワーク切断方法によれば、2枚のブレードを対向配置してワークを切断するようにしたので、X軸方向の相対的移動量を最小限に抑えることができ、よって、ワークの切断時間を短縮することができる。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明が適用されたダイシング装置の斜視図
【図2】図1に示したダイシング装置の平面図
【図3】ダイシング装置の切断部の平面図
【図4】図3上4−4線から見た切断部の側面図
【図5】図3上5−5線から見た切断部の縦断面図
【図6】ウェーハ切断方法の第1実施例を示す説明図
【図7】ウェーハ切断方法の第2実施例を示す説明図
【図8】ウェーハ切断方法の第3実施例を示す説明図
【図9】従来のダイシング装置のワーク切断方法を示す遷移図
【符号の説明】
1…ダイシング装置
10…切断部
60、62…モータ
64、66…スピンドル
68、70…ブレード
76…リニアモータ
90、92…ガイドレール
W…ウェーハ
Claims (1)
- 2枚のブレードをY軸方向に対向配置すると共に2枚のブレードの間隔をワークの切断線の全ピッチ分に対応する間隔に設定した後、該2枚のブレードとワークとをX軸方向に相対的に移動させて前記2枚のブレードで前記ワークの両端の切断線を2本同時に切断し、
前記2本の切断線の切断終了後に、前記2枚のブレードのうち一方のブレードを他方のブレードに向けて切断線の1ピッチ分だけY軸方向に移動させると共に、他方のブレードを一方のブレードに向けて切断線の1ピッチ分だけY軸方向に移動させて次の切断線を2本同時に切断し、
この切断動作を複数回繰り返して複数本の切断線を切断した後、残りの複数本の切断線において、一方のブレードを他方のブレードに向けて切断線の1ピッチ分だけY軸方向に移動させると共に、他方のブレードを一方のブレードに向けてY方向に移動させて2枚のブレードの間隔が残りの複数の切断線の全ピッチの半分に対応する間隔になるように2枚のブレードをY軸方向に対向配置し、該2枚のブレードとワークとをX軸方向に相対的に移動させながら、2枚のブレードで前記残りの切断線を2本同時に切断し、
前記2本の切断線の切断終了後に、前記2枚のブレードをY軸の同一方向に切断線の1ピッチ分だけ移動させて次の切断線を2本同時に切断し、
この切断動作を繰り返して残りの切断線を切断することを特徴とするダイシング装置におけるワーク切断方法。
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