JP2000343523A - ダイシング装置のスピンドル移動機構 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【課題】構造が簡単でコンパクトなダイシング装置のス
ピンドル移動機構を提供する。 【解決手段】ブレードが装着されたスピンドルは、２台
のＹ軸キャリッジ５０Ａ、５０Ｂに個別に搭載される。
２台のＹ軸キャリッジ５０Ａ、５０Ｂは、共に一対のＹ
軸ガイドレール４６、４６上に摺動自在に設けられてい
る。ネジ棒駆動モータ６４でネジ棒５６を回転させる
と、２台のＹ軸キャリッジ５０Ａ、５０Ｂは、共に同じ
移動量で同じ方向に移動する。また、一方のＹ軸キャリ
ッジ５０Ｂに設けられた中空モータ６８によってナット
６６Ｂを回転させると、一方のＹ軸キャリッジ５０Ｂの
みが単独で移動する。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、ダイシング装置の
スピンドル移動機構に係り、特に２本のスピンドルを備
えたダイシング装置のスピンドル移動機構に関する。

【０００２】

【従来の技術】従来、この種のダイシング装置として
は、特開平８−２５２０９号公報に開示された装置が知
られている。このダイシング装置は、ブレードが装着さ
れた２本のスピンドルをＹ軸方向に沿って配置すること
により、Ｘ軸方向に移動する半導体ウェーハを切断線
（ストリート）に沿って２本同時に切断する。ここで、
このダイシング装置の２本のスピンドルは、個別にその
位置を制御することができるように構成されており、こ
れにより２枚のブレードの間隔や切断位置を調整するよ
うにしている。

【０００３】ところで、前記ダイシング装置では、２本
のスピンドルを移動させる機構が、２台のキャリッジに
よって構成されている。すなわち、基板上に配設された
レールに沿ってＹ軸方向に移動自在に設けられた第１キ
ャリッジと、その第１キャリッジ上に配設されたレール
に沿ってＹ軸方向に移動自在に設けられた第２キャリッ
ジとから構成されている。そして、この第１キャリッジ
と第２キャリッジ上にそれぞれスピンドルが搭載されて
いる。このスピンドル移動機構によれば、第１キャリッ
ジを移動させると２本のスピンドルを同時に移動させる
ことができ、第２キャリッジを移動させると、一方のス
ピンドルのみが移動して、その間隔を可変することがで
きる。

【０００４】

【発明が解決しようとする課題】しかしながら、前記従
来のスピンドル移動機構では、第１キャリッジ上に第２
キャリッジが搭載された構成であるため、２枚のブレー
ドが対向するように２本のスピンドルを一直線上に配置
したダイシング装置においては、装置の構造が複雑かつ
大型化するという欠点がある。

【０００５】本発明は、このような事情に鑑みてなされ
たもので、構造が簡単でコンパクトなダイシング装置の
スピンドル移動機構を提供することを目的とする。

【０００６】

【課題を解決するための手段】請求項１に係る発明は、
前記目的を達成するために、各々個別にブレードが装着
された２本のスピンドルをＹ軸方向に沿って配置し、該
２本のスピンドルを回転させながら、該２本のスピンド
ルとワークをＸ軸方向に沿って相対的に移動させること
により、前記ワークを切断線に沿って切断するととも
に、前記２本のスピンドルをＹ軸方向に沿って所定ピッ
チ移動させることにより、前記ワークを次の切断線に沿
って切断するダイシング装置のスピンドル移動機構にお
いて、前記スピンドル移動機構は、前記ダイシング装置
の本体フレームに設けられたベースと、Ｙ軸方向に沿っ
て前記ベースに配設されたレールと、前記レール上に摺
動自在に設けられ、前記２本のスピンドルが各々独立し
て搭載された２台のキャリッジと、前記レールに沿って
配設されたネジ棒と、前記ベースに設けられ、前記ネジ
棒を回転させるネジ棒駆動モータと、前記２台のキャリ
ッジにそれぞれ設けられ、前記ネジ棒に螺合されたナッ
ト部材と、前記２台のキャリッジのいずれか一方に設け
られ、前記ナット部材を回転させるナット駆動モータ
と、からなることを特徴とする。

【０００７】本発明によれば、一方のキャリッジに設け
られたナット駆動モータを駆動してナットを回転させる
と、その一方のキャリッジのみがレール上を移動して、
２台のキャリッジ（２本のスピンドル）の間隔が可変す
る。これにより、２枚のブレードの間隔を調整すること
ができる。また、ネジ棒駆動モータを駆動してネジ棒を
回転させると、前記の間隔を維持したまま２台のキャリ
ッジ（２本のスピンドル）が同時にレール上を移動す
る。これにより、２枚のブレードを同時に移動させるこ
とができる。このように本発明によれば、各キャリッジ
が１つのレール上を移動するので、従来のスピンドル移
動機構と比較して構造が簡単でコンパクトになる。

【０００８】また、請求項２に係る発明は、前記目的を
達成するために、各々個別にブレードが装着された２本
のスピンドルをＹ軸方向に沿って配置し、該２本のスピ
ンドルを回転させながら、該２本のスピンドルとワーク
をＸ軸方向に沿って相対的に移動させることにより、前
記ワークを切断線に沿って切断するとともに、前記２本
のスピンドルをＹ軸方向に沿って所定ピッチ移動させる
ことにより、前記ワークを次の切断線に沿って切断する
ダイシング装置のスピンドル移動機構において、前記ス
ピンドル移動機構は、前記ダイシング装置の本体フレー
ムに設けられたベースと、Ｙ軸方向に沿って前記ベース
に配設されたレールと、前記レール上に摺動自在に設け
られ、前記２本のスピンドルが各々独立して搭載された
２台のキャリッジと、前記レールに沿って配設されたネ
ジ棒と、前記ベースに固定され、前記ネジ棒に螺合され
た固定ナット部材と、前記２台のキャリッジの一方に設
けられ、前記ネジ棒を回転させるネジ棒駆動モータと、
前記２台のキャリッジの他方に設けられ、前記ネジ棒に
螺合された可動ナット部材と、前記他方のキャリッジに
設けられ、前記可動ナット部材を回転させるナット駆動
モータと、からなることを特徴とする。

【０００９】本発明によれば、一方のキャリッジに設け
られたネジ棒駆動モータを駆動してネジ棒を回転させる
と、一方のキャリッジがレール上を移動する。このと
き、他方側のキャリッジに設けられた可動ナット部材を
ナット駆動モータで回転させることにより、他方のキャ
リッジの位置制御が可能になる。このように本発明によ
れば、各キャリッジが１つのレール上を移動するので、
従来のスピンドル移動機構と比較して構造が簡単でコン
パクトになる。

【００１０】本発明によれば、他方側のキャリッジに設
けられたナット駆動モータを駆動してナットを回転させ
ると、その他方側のキャリッジのみがレール上を移動し
て、２台のキャリッジ（２本のスピンドル）の間隔が可
変する。これにより、２枚のブレードの間隔を調整する
ことができる。また、一方のキャリッジに設けられたネ
ジ棒駆動モータを駆動してネジ棒を回転させると、前記
設定間隔を維持したまま２台のキャリッジ（２本のスピ
ンドル）が同時にレール上を移動する。これにより、２
枚のブレードを同時に移動させることができる。このよ
うに本発明によれば、各キャリッジが１つのレール上を
移動するので、従来のスピンドル移動機構と比較して構
造が簡単でコンパクトになる。

【００１１】また、請求項３に係る発明は、前記目的を
達成するために、各々個別にブレードが装着された２本
のスピンドルをＹ軸方向に沿って配置し、該２本のスピ
ンドルを回転させながら、該２本のスピンドルとワーク
をＸ軸方向に沿って相対的に移動させることにより、前
記ワークを切断線に沿って切断するとともに、前記２本
のスピンドルをＹ軸方向に沿って所定ピッチ移動させる
ことにより、前記ワークを次の切断線に沿って切断する
ダイシング装置のスピンドル移動機構において、前記ス
ピンドル移動機構は、前記ダイシング装置の本体フレー
ムに設けられたベースと、Ｙ軸方向に沿って前記ベース
に配設されたレールと、前記レール上に摺動自在に設け
られ、前記２本のスピンドルが各々独立して搭載された
２台のキャリッジと、前記ベースに設けられた第１モー
タと、前記レールに沿って配設され、前記第１モータに
駆動されて回転する第１ネジ棒と、前記２台のキャリッ
ジの一方に設けられ、前記第１ネジ棒に螺合された第１
ナット部材と、前記２台のキャリッジの他方に設けられ
た第２モータと、前記ガイド部材に沿って配設され、前
記第２モータに駆動されて回転する第２ネジ棒と、前記
一方のキャリッジに設けられ、前記第２ネジ棒に螺合さ
れた第２ナット部材と、からなることを特徴とする。

【００１２】本発明によれば、他方側のキャリッジに設
けられた第２モータを駆動して第２ネジ棒を回転させる
と、その他方側のキャリッジのみがレール上を移動し
て、２台のキャリッジ（２本のスピンドル）の間隔が可
変する。これにより、２枚のブレードの間隔を調整する
ことができる。また、ベースに設けられた第１モータを
駆動して第１ネジ棒を回転させると、前記設定間隔を維
持したまま２台のキャリッジ（２本のスピンドル）が同
時にレール上を移動する。これにより、２枚のブレード
を一定の間隔を維持させた状態また移動させることがで
きる。このように本発明によれば、各キャリッジが１つ
のレール上を移動するので、従来のスピンドル移動機構
と比較して構造が簡単でコンパクトになる。

【００１３】

【発明の実施の形態】以下、添付図面に従って本発明に
係るダイシング装置のスピンドル移動機構の好ましい実
施の形態について詳説する。図１は、本発明に係るスピ
ンドル移動機構が適用されたダイシング装置の斜視図で
あり、図２は、その平面図である。

【００１４】図１に示すように、前記ダイシング装置
は、主として切断部１、洗浄部２、カセット収納部３、
エレベータ部４及び搬送装置５等から構成されている。
このダイシング装置によるウェーハＷの切断工程を説明
すると、まず、カセット収納部３に複数枚収納されてい
る加工前のウェーハＷは、エレベータ部４によって順次
引き出され、図２に示す位置Ｐ４にセットされる。次
に、このウェーハＷは、搬送装置５によって位置Ｐ１の
プリロードステージを介して切断部１のウェーハテーブ
ル（位置Ｐ２）上に載置される。ここで、ウェーハＷは
ウェーハテーブルに吸着保持される。

【００１５】ウェーハテーブルに吸着保持されたウェー
ハＷは、アライメント部８、９によってウェーハＷ上の
パターンが画像認識され、これに基づいてアライメント
される。そして、アライメントされたウェーハＷは、切
断部１の矢印Ａ、Ｂで示すＹ軸方向の移動と、ウェーハ
テーブルの矢印Ｃ、Ｄで示すＸ軸方向の移動とによっ
て、２本のストリートが同時に切断される。

【００１６】最初の２本のストリートが切断されると、
切断部１のスピンドルがストリートのピッチ分だけＹ軸
方向に移動する。そして、ウェーハテーブルが再びＸ軸
方向に移動し、これにより、次の２本のストリートが切
断される。この切断動作を繰り返して行い、一方向（Ｘ
方向）の全てのストリートを切断する。一方向（Ｘ方
向）の全てのストリートが切断されると、ウェーハテー
ブルが９０°回動し、前記切断したストリートに直交す
る方向（図２上でＹ方向）のストリートが順次切断され
る。これにより、ウェーハＷは最終的に碁盤目状に切断
される。

【００１７】切断の終了したウェーハＷは、ウェーハテ
ーブルによって位置Ｐ２に戻される。その後、搬送装置
５によって位置Ｐ３の洗浄部２のスピナテーブルに搬送
され、ここで洗浄水により洗浄された後、エアブローに
よって乾燥される。洗浄・乾燥が終了したウェーハＷ
は、搬送装置５によって位置Ｐ４に搬送されたのち、エ
レベータ部４によってカセット部１に収納される。

【００１８】以上がダイシング装置による１枚のウェー
ハＷの切断工程であり、以下同様の手順でカセット収納
部３に収納されている全てのウェーハＷを切断する。次
に、ダイシング装置の切断部１の構成について説明す
る。図３は、切断部１の構成を示す斜視図である。同図
に示すように、切断部１は、ウェーハＷを保持してＸ軸
方向に沿って送りを与えるウェーハ送り装置１２と、そ
のウェーハ送り装置１２によってＸ軸方向に送られたウ
ェーハＷをストリートに沿って切断する切断装置１４を
備えている。

【００１９】まず、ウェーハ送り装置１２の構成につい
て説明する。図示しないダイシング装置の本体フレーム
上には、図中Ｘ軸方向に沿ってＸ軸ベース２０が水平に
敷設されている。このＸ軸ベース２０上には、一対のＸ
軸ガイドレール２２、２２がＸ軸方向に沿って敷設され
ている。前記Ｘ軸ガイドレール２２、２２上には、Ｘ軸
キャリッジ２４が摺動自在に設けられている。このＸ軸
キャリッジ２４の中央部にはθ軸モータ２６が搭載され
ており、該θ軸モータ２６の出力軸にはウェーハテーブ
ル２８が連結されている。切断対象のウェーハＷは、こ
のウェーハテーブル２８に吸着保持される。

【００２０】ここで、このウェーハテーブル２８が搭載
されたＸ軸キャリッジ２４は、リニアモータ３０に駆動
されて、前記Ｘ軸ガイドレール２２、２２上を摺動す
る。このリニアモータ３０は、マグネットレール３２と
コイルアッセンブリ（図示せず）とから構成されてお
り、マグネットレール３２は、前記一対のＸ軸ガイドレ
ール２２、２２の間に配設されている。また、コイルア
ッセンブリは、前記Ｘ軸キャリッジ２４の裏面に設けら
れており、このコイルアッセンブリとマグネットレール
３２とは所定の間隙をもって互いに対向するように配設
されている。

【００２１】前記Ｘ軸キャリッジ２４は、前記リニアモ
ータ３０を駆動することにより、前記Ｘ軸ガイドレール
２２、２２に沿ってＸ軸方向に移動し、この結果、ウェ
ーハＷを吸着保持したウェーハテーブル２８がＸ軸方向
に沿って移動する。なお、図３において、前記Ｘ軸ガイ
ドレール２２に沿ってＸ軸ベース２０に配設された符号
３４はモアレスケールである。このモアレスケール３４
は、Ｘ軸キャリッジ２４に設けられた検出片３６の位置
を非接触で検出することにより、ウェーハＷの位置を間
接的に検出するものである。

【００２２】次に、切断装置１４の構成について説明す
る。この切断装置１４は、ブレード４０Ａ、４０Ｂが装
着された２本のスピンドル４２Ａ、４２Ｂを有してお
り、該２本のスピンドル４２Ａ、４２Ｂは、次に説明す
るスピンドル移動機構によってＺ軸方向及びＹ軸方向に
各々独立して移動する。図３に示すように、門型に形成
され、前記Ｘ軸ベース２０を跨ぐようにして配設された
Ｙ軸ベース４４は、図示しないダイシング装置の本体フ
レーム上に垂直に立設されている。このＹ軸ベース４４
は、図中Ｙ軸方向に沿って配設されており、その垂直な
ガイド面４４Ｓには、一対のＹ軸ガイドレール４６、４
６がＹ軸方向に沿って所定の間隔で敷設されている。

【００２３】前記一対のＹ軸ガイドレール４６、４６上
には、図３及び図４に示すように、スライダ４８Ａ、４
８Ｂを介して２台のＹ軸キャリッジ５０Ａ、５０Ｂが摺
動自在に設けられている（スライダ４８Ａ、４８Ｂは、
Ｙ軸キャリッジ５０Ａ、５０Ｂの裏面四隅に配設されて
いる。）。前記２台のＹ軸キャリッジ５０Ａ、５０Ｂの
前面５０ａ、５０ｂには、それぞれ図示しない一対のＺ
軸ガイドレールが図中Ｚ軸方向に沿って敷設されてお
り、該Ｚ軸ガイドレール上をそれぞれＺ軸キャリッジ５
２Ａ、５２Ｂが摺動自在に設けられている。この２台の
Ｚ軸キャリッジ５２Ａ、５２Ｂは、それぞれ図示しない
昇降駆動手段（たとえば、ボールネジ装置やシリンダな
ど）に駆動されて、前記Ｚ軸ガイドレール上を図中Ｚ軸
方向に沿って摺動する。

【００２４】また、この２台のＺ軸キャリッジ５２Ａ、
５２Ｂの前面下部には、それぞれスピンドル駆動モータ
５４Ａ、５４Ｂが設けられている。そして、このスピン
ドル駆動モータ５４Ａ、５４Ｂの出力軸に、前記ブレー
ド４０Ａ、４０Ｂが装着されたスピンドル４２Ａ、４２
Ｂが連結されている。したがって、前記スピンドル４２
Ａ、４２Ｂは、前記Ｚ軸キャリッジ５２Ａ、５２ＢをＺ
軸ガイドレールに沿って摺動させることにより、Ｚ軸方
向に移動させることができる。

【００２５】一方、このスピンドル４２Ａ、４２ＢをＹ
軸方向に移動させる機構は次のように構成されている。
図５に示すように、前記一対のＹ軸ガイドレール４６、
４６の間には、該Ｙ軸ガイドレール４６、４６に沿って
ネジ棒５６が配設されている。このネジ棒５６の一端
（図５において右端）は、前記Ｙ軸ベース４４上に軸受
ブラケット５８を介して設けられた軸受６０に回動自在
に支持されている。また、このネジ棒５６の他端（図５
において左端）は、前記Ｙ軸ベース４４上にモータブラ
ケット６２を介して設けられたネジ棒駆動モータ６４の
出力軸に連結されている。ネジ棒５６は、このネジ棒駆
動モータ６４を駆動することにより回転する。

【００２６】一方、前記２台のＹ軸キャリッジ５０Ａ、
５０Ｂの裏面には、それぞれナット６６Ａ、６６Ｂが設
けられている。このナット６６Ａ、６６Ｂは、それぞれ
ネジ棒５６に螺合されている。したがって、前記ネジ棒
駆動モータ６４を駆動してネジ棒５６を回転させれば、
そのネジ棒５６の回転量に応じて前記２台のＹ軸キャリ
ッジ５０Ａ、５０Ｂが同じ移動量で移動する。

【００２７】ここで、図５に示すように、図中右側のＹ
軸キャリッジ５０Ｂの裏面には中空モータ６８（ナット
駆動モータ）が設けられている。そして、この中空モー
タ６８の出力軸に前記ナット６６Ｂが連結されている。
この中空モータ６８は、出力軸が中空状に形成されてお
り、前記ネジ棒５６はこの出力軸の中空部に挿通されて
いる。前記ナット６６Ｂは、この中空モータ６８を駆動
することにより回転し、この結果、図中右側のＹ軸キャ
リッジ５０ＢのみがＹ軸ガイドレール４６、４６に沿っ
てＹ軸方向に移動する。

【００２８】なお、中空モータ６８は、駆動停止中、出
力軸の回転が固定される。これにより、ナット５０Ｂが
ネジ棒５６の回転に伴って回転するのが防止される。ま
た、図４において、前記Ｙ軸ガイドレール４６に沿って
Ｙ軸ベース４４に配設された符号７０はモアレスケール
である。このモアレスケール７０は、Ｙ軸キャリッジ５
０Ａ、５０Ｂに設けられた検出片７２Ａ、７２Ｂの位置
を非接触で検出することにより、ブレード４０Ａ、４０
Ｂの位置を間接的に検出するものである。

【００２９】前記のごとく構成された本実施の形態のス
ピンドル移動機構の作用は次のとおりである。まず、本
実施の形態のスピンドル移動機構による２本のスピンド
ル４２Ａ、４２Ｂの基本動作について説明する。なお、
以下の説明では、必要に応じて図４中左側のスピンドル
４２Ａを『第１スピンドル』といい、右側のスピンドル
４２Ｂを『第２スピンドル』という。同様に、図４中左
側のＹ軸キャリッジ５０Ａを『１キャリッジ』といい、
右側のＹ軸キャリッジ５０Ｂを『第２Ｙ軸キャリッジ』
という。

【００３０】ネジ棒駆動モータ６４を駆動することによ
りネジ棒５６が回転し、この結果、そのネジ棒５６の回
転量に応じて２本のスピンドル４２Ａ、４２Ｂが同時に
同じ方向に同じ移動量で移動する。そして、これにより
２枚のブレード４０Ａ、４０Ｂが同時に同じ方向に同じ
移動量で移動する。一方、中空モータ６８を駆動するこ
とにより第２スピンドル４２Ｂ側のナット６６Ｂが回転
し、この結果、第２スピンドル４２ＢのみがＹ軸方向に
移動する。そして、これにより２本のスピンドル４２
Ａ、４２Ｂの間隔が可変する。また、これにより、２枚
のブレード４０Ａ、４０Ｂの間隔が可変する。

【００３１】また、２本のスピンドル４２Ａ、４２Ｂ
は、図示しない昇降駆動手段によってＺ軸キャリッジ５
２Ａ、５２ＢをＺ軸ガイドレールに沿って個別に摺動さ
せることにより、Ｚ軸方向に沿って個別に移動する。そ
して、これにより２枚のブレード４０Ａ、４０ＢがＺ軸
方向に沿って個別に移動する。次に、本実施の形態のス
ピンドル移動機構が組み込まれたダイシング装置のウェ
ーハダイシング方法について説明する。

【００３２】まず、中空モータ６８を駆動して２枚のブ
レード４０Ａ、４０Ｂの間隔を設定する。この場合、図
示しない外部入力装置から前記間隔設定値が入力される
と、中空モータ６８が図示しない制御装置に制御されて
第２スピンドル４２ＢをＹ軸方向に移動させる。そし
て、その移動中のブレード４０Ｂの位置情報がモアレス
ケール７０から制御装置に出力される。制御装置は、前
記位置情報に基づいて中空モータ６８をフィードバック
制御し、前記間隔設定値の位置にブレード４０Ｂを位置
決めする。

【００３３】次に、ネジ棒駆動モータ６４を駆動して、
２枚のブレード４０Ａ、４０Ｂを同時に移動させること
により、その２枚のブレード４０Ａ、４０Ｂを所定の切
断開始位置に位置させる。この場合も前記同様、移動中
のブレード４０Ａ、４０Ｂの位置情報がモアレスケール
７０から制御装置に出力される。そして、制御装置は、
この位置情報に基づいてネジ棒駆動モータ６４をフィー
ドバック制御し、前記ブレード４０Ａ、４０Ｂを所定の
切断開始位置に位置決めする。

【００３４】次に、図示しない昇降駆動手段が駆動され
てＺ軸キャリッジ５２Ａ、５２Ｂが所定量下降し、２枚
のブレード４０Ａ、４０ＢによるウェーハＷの切断切込
み量が設定される。以上の初期設定が終了すると、スピ
ンドル駆動モータ５４Ａ、５４Ｂが駆動されてブレード
４０Ａ、４０Ｂが回転する。次いで、リニアモータ３０
が駆動され、ウェーハＷを吸着保持したウェーハテーブ
ル２８がＸ軸方向に沿って移動する。これにより、最初
の二本のストリートが切断される。

【００３５】最初の切断が終了すると、ネジ棒駆動モー
タ６４が駆動され、２枚のブレード４０Ａ、４０Ｂがス
トリートのピッチ分だけＹ軸方向に移動する。そして、
再びウェーハテーブル２８がＸ軸方向に移動されて、次
の２本のストリートが切断される。この切断動作を繰り
返して行い、Ｘ軸方向の全てのストリートを切断する。

【００３６】Ｘ軸方向の全てのストリートの切断が終了
すると、θ軸モータ２６が駆動されてウェーハテーブル
２８が９０°回転する。そして、前記切断したストリー
トに直交するＹ方向のストリートを前述した手順を繰り
返して切断する。これにより、ウェーハＷは最終的に碁
盤目状に切断される。このように、本実施の形態のスピ
ンドル移動機構は、２本のスピンドル４２Ａ、４２Ｂが
搭載されたＹ軸キャリッジ５０Ａ、５０Ｂが一対のＹ軸
ガイドレール４６、４６を共用している。したがって、
スピンドル毎にガイド部材を具備した従来のスピンドル
移動機構と比較して構造が簡単でコンパクトになる。

【００３７】また、本実施の形態のスピンドル移動機構
では、一度ブレード４０Ａ、４０Ｂの間隔を設定すれ
ば、その設定間隔を維持した状態で２枚のブレード４０
Ａ、４０Ｂを同時に移動させることができる。したがっ
て、常にブレード４０Ａ、４０Ｂの間隔を一定に維持し
て切断する場合は、一度の設定でその後連続して切断を
進行することができるので、効率よく切断することがで
きる。

【００３８】ここで、図６、図７、図８を参照して本実
施の形態のスピンドル移動機構によるウェーハ切断方法
の一例について述べる。図６はウェーハＷの切断手順を
模式的に示したもので、特に、ウェーハＷの切断エリア
を〜まで４エリアに分割し、これらのエリア中の複
数本のストリートを→→→エリアの順で切断す
る方法である。この切断方法は、例えば図６上において
１−１で示すストリートは、ブレード４０Ｂで切断する
１本目のストリートを示し、２−１で示すストリート
は、ブレード４０Ａで切断する１本目のストリートを示
している。したがって、エリアによれば、ブレード４
０Ａとブレード４０Ｂとを３ピッチ分ずらして間隔設定
し、まず１本目の１−１ストリートをブレード４０Ｂ
で、そして２−１ストリートをブレード４０Ａで同時に
切断する。

【００３９】次に、ブレード４０Ａ、４０Ｂの間隔を変
えることなくブレード４０Ａ、４０Ｂをスピンドル移動
機構によってストリートの１ピッチ分ずらす。そして、
２本目の１−２ストリートをブレード４０Ｂで、そし
て、２−２ストリートをブレード４０Ａで同時に切断す
る。この動作をあと２回繰り返して行い、エリアの計
８本のストリートを切断する。

【００４０】エリアの全てのストリートの切断が終了
すると、エリア、エリアの各８本のストリートを同
様の手順で切断する。そして、エリアは残り５本のス
トリートなので、１−１ストリートをブレード４０Ｂに
よって、そして２−１ストリートをブレード４０Ａによ
って同時に切断した後、ブレード４０Ｂのみで１−２〜
１−４ストリートを順に切断する。これにより、Ｘ方向
の全てのストリートの切断が終了する。

【００４１】上記切断方法では、ブレード４０Ａ、４０
Ｂの間隔を変えることなく一定ピッチ移動させることで
ストリートを切断することができるので、ブレード４０
Ａ、４０Ｂの位置制御が容易になり、また、コンタミも
発生し難くなる。この場合、本実施の形態のスピンドル
移動機構は、ブレード４０Ａ、４０Ｂの間隔を常に一定
に維持した状態でブレード４０Ａ、４０Ｂを同時に移動
させることができるので特に有効である。

【００４２】なお、ウェーハＷの切断送り方向（Ｘ方
向）は、一方向でも両方向でも良い。図７に示すウェー
ハＷの切断方法も２枚のブレード４０Ａ、４０Ｂによる
同時切断方法であり、１−１、２、３〜１５ストリート
をブレード４０Ｂで順に切断し、２−１、２、３〜１５
ストリートをブレード４０Ａで順に切断する。この切断
方法によれば、まず、ブレード４０Ａとブレード４０Ｂ
との間隔を最大限の間隔に設定し、一方側の１−１スト
リートをブレード４０Ｂで、そして、他方側の２−１ス
トリートをブレード４０Ａで同時に切断する。

【００４３】次に、ブレード４０Ａを１ピッチ分だけブ
レード４０Ｂに向けて移動させると共に、ブレード４０
Ｂを１ピッチ分だけブレード４０Ａに向けて移動させ
て、１−２ストリートをブレード４０Ｂで、２−２スト
リートをブレード４０Ａで切断する。この１ピッチ分互
いに近づけて切断する動作をあと９回繰り返して行う。
そして、残りの８本のストリートを図６に示した切断方
法で切断する。即ち、ブレード４０Ａとブレード４０Ｂ
とを３ピッチ分ずらして間隔設定し、１−１２〜１５ス
トリートをブレード４０Ｂで、そして２−１２〜１５ス
トリートをブレード４０Ａで同時に切断する。

【００４４】上記切断方法では、ウェーハＷの両側にあ
るストリートから中央にあるストリートに向けてストリ
ートを順に切断するため、テープのテンションに影響さ
れないでストリートを確実に切断することができる。ダ
イシング装置で切断されるウェーハＷは、通常、テープ
を介してフレームに接着されており、この際、テープに
テンションかけた状態でウェーハＷを接着している。こ
のため、ストリートを切断していくと、テープの復元力
でウェーハＷの位置がずれる場合があり、このように位
置がずれてしまうとブレード４０Ａ、４０Ｂを１ピッチ
移動させたとしても、ブレード４０Ａ、４０Ｂが次のス
トリートに当たらず、チップを切断してしまうというお
それが生じる。図７の切断方法は、上記不具合を防止す
ることができる。すなわち、図７の切断方法では、切断
した小片の長尺状のウェーハの位置が前記テープの復元
力でずれることがあっても、切断するウェーハＷ本体の
位置はずれないので、ストリートを確実に切断すること
ができる。

【００４５】図８に示すウェーハＷの切断方法も２枚の
ブレード４０Ａ、４０Ｂによる同時切断方法であり、１
−１〜１３ストリートをブレード４０Ｂで順に切断する
と共に、２−１〜１３ストリートをブレード４０Ａで順
に切断する。そして、残りの３本の１−１４〜１６スト
リートをブレード４０Ｂで切断する方法である。上記切
断方法は、３本の１−１４〜１６ストリートを残した位
置が、ブレード４０Ａ、４０Ｂの最大接近位置であり、
これらの１−１４〜１６ストリートを２枚のブレード４
０Ａ、４０Ｂで同時切断することができないので、この
場合には、一方のブレード（本実施例ではブレード４０
Ｂ）で１−１４〜１６ストリートを順に切断する。

【００４６】以上のように本実施の形態のスピンドル移
動機構を適用することで、多種類の切断方法を得ること
ができ、特に図６〜図８に示した切断方法は、ウェーハ
Ｗを切断するためのＸ方向移動量も最小に押さえること
ができる。したがって、ウェーハＷを短時間で効率良く
切断することができる。また、前記Ｘ方向移動量を最小
に押さえることにより、ブレード４０Ａ、４０Ｂの寿命
や次のドレッシングまでの期間を延ばすことができる。

【００４７】図９は、本発明に係るスピンドル移動機構
の第２の実施の形態の要部の構成を示す正面図である。
第２の実施の形態のスピンドル移動機構は、Ｙ軸方向の
移動機構が上述した第１の実施の形態のスピンドル移動
機構と相違している。したがって、ここではＹ軸方向の
移動機構の構成についてのみ説明する。

【００４８】なお、図９において、上述した第１の実施
の形態のスピンドル移動機構と同一部材には同一符号が
付されている。図９に示すように、一対のＹ軸ガイドレ
ール４６、４６の間には、該Ｙ軸ガイドレール４６、４
６に沿ってネジ棒８０が配設されている。このネジ棒８
０は、Ｙ軸ベース４４上にブラケット８２を介して設け
られたナット８４（固定ナット部材）に螺合されてい
る。また、このネジ棒８０の一端（図９において左端）
は、第１Ｙ軸キャリッジ５０Ａの裏面に設置されたネジ
棒駆動モータ８６の出力軸に連結されている。ネジ棒８
０は、このネジ棒駆動モータ８６を駆動することにより
回転し、これにより第１Ｙ軸キャリッジ５０ＡがＹ軸ガ
イドレール４６、４６上を摺動する。

【００４９】また、第２Ｙ軸キャリッジ５０Ｂの裏面に
は中空モータ８８（ナット駆動モータ）が設けられてい
る。この中空モータ８８の出力軸にはナット９０（可動
ナット部材）が固着されており、該ナット９０は前記中
空モータ８８を駆動することにより回転する。前記ネジ
棒８０は、このナット９０に螺合されるとともに、前記
中空モータ８８の中空状の出力軸に挿通されている。し
たがって、第２Ｙ軸キャリッジ５０Ｂは、前記中空モー
タ８８を駆動することによりＹ軸ガイドレール４６、４
６上を摺動する。

【００５０】なお、中空モータ８８は、駆動停止中、出
力軸の回転が固定される。これにより、ナット９０がネ
ジ棒８０の回転に伴って回転するのが防止される。前記
のごとく構成された第２の実施の形態のスピンドル移動
機構によれば、ネジ棒駆動モータ８６を駆動してネジ棒
８０を回転させることにより、第１Ｙ軸キャリッジ５０
ＡがＹ軸ガイドレール４６上を摺動する。このとき、中
空モータ６８を駆動してナット９０を回転させることに
より、第２Ｙ軸キャリッジ５０Ｂの位置制御が可能にな
る。これにより、２本のスピンドル４２Ａ、４２Ｂを任
意の位置に移動させることができるようになり、２枚の
ブレード４０Ａ、４０Ｂの位置制御が可能になる。

【００５１】図１０は、本発明に係るスピンドル移動機
構の第３の実施の形態の要部の構成を示す正面図であ
る。第３の実施の形態のスピンドル移動機構は、Ｙ軸方
向の移動機構が上述した第１の実施の形態のスピンドル
移動機構と相違している。したがって、ここではＹ軸方
向の移動機構の構成についてのみ説明する。

【００５２】なお、図１０において、上述した第１の実
施の形態のスピンドル移動機構と同一部材には同一符号
が付されている。図１０に示すように、一対のＹ軸ガイ
ドレール４６、４６の間には、該Ｙ軸ガイドレール４
６、４６に沿って第１ネジ棒１００と第２ネジ棒１０２
が配設されている。

【００５３】第１ネジ棒１００は、第１Ｙ軸キャリッジ
５０Ａに設けられた第１ナット１０６に螺合されてい
る。また、この第１ネジ棒１００の一端（図１０におい
て左端）は、Ｙ軸ベース４４上にモータブラケット１０
８を介して設置された第１モータ１１０の出力軸に連結
されている。第１ネジ棒１００は、この第１モータ１１
０を駆動することにより回転し、これにより第１Ｙ軸キ
ャリッジ５０ＡがＹ軸ガイドレール４６、４６上を摺動
する。

【００５４】一方、第２ネジ棒１０２は、前記第１ネジ
棒１００と同様に一方（図１０において左側）の第１Ｙ
軸キャリッジ５０Ａに設けられた第２ナット１１２に螺
合されている。また、この第２ネジ棒１０２の一端（図
１０において右端）は、第２Ｙ軸キャリッジ５０Ｂの裏
面に設けられた第２モータ１１４の出力軸に連結されて
いる。第２ネジ棒１０２は、この第２モータ１１４を駆
動することにより回転し、これにより第２Ｙ軸キャリッ
ジ５０ＢがＹ軸ガイドレール４６、４６上を摺動する。

【００５５】前記のごとく構成された第３の実施の形態
のスピンドル移動機構によれば、第２モータ１１４を駆
動して第２ネジ棒１０２を回転させると、その第２ネジ
棒１０２の回転量に応じて第２キャリッジ５０ＢがＹ軸
ガイドレール４６、４６上を単独で摺動する。これによ
り、第２スピンドル４２ＢがＹ軸方向に移動し、２枚の
ブレード４０Ａ、４０Ｂの間隔が可変する。

【００５６】一方、第１モータ１１０を駆動して第１ネ
ジ棒１００を回転させると、その第１ネジ棒１００の回
転量に応じて第１キャリッジ５０Ａと第２キャリッジ５
０Ｂとが同時にＹ軸ガイドレール４６、４６上を摺動す
る。これにより、第１スピンドル４２Ａと第２スピンド
ル４２Ｂとが同時に同じ方向に同じ移動量で移動し、２
枚のブレード４０Ａ、４０Ｂの間隔を一定に維持したま
まＹ軸方向に移動させることができる。

【００５７】

【発明の効果】以上説明したように本発明に係るダイシ
ング装置のスピンドル移動機構によれば、スピンドルが
搭載された２台のキャリッジを共通のガイドレールでガ
イドするようにしたので、コンパクトで簡単な構成にす
ることができる。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明が適用されたダイシング装置の斜視図

【図２】図１に示したダイシング装置の平面図

【図３】切断部の構成を示す斜視図

【図４】スピンドル移動機構の構成を示す正面図

【図５】スピンドル移動機構の要部の構成を示す正面図

【図６】ウェーハ切断方法の説明図

【図７】ウェーハ切断方法の説明図

【図８】ウェーハ切断方法の説明図

【図９】スピンドル移動機構の第２の実施の形態の要部
の構成を示す正面図

【図１０】スピンドル移動機構の第３の実施の形態の要
部の構成を示す正面図

【符号の説明】

１…切断部、１２…ウェーハ送り装置、１４…切断装
置、２８…ウェーハテーブル、４０Ａ、４０Ｂ…ブレー
ド、４２Ａ、４２Ｂ…スピンドル、４６…Ｙ軸ガイドレ
ール、５０Ａ、５０Ｂ…Ｙ軸キャリッジ、５２Ａ、５２
Ｂ…Ｚ軸キャリッジ、５４…スピンドル駆動モータ、５
６…ネジ棒、６４…ネジ棒駆動モータ、６６Ａ、６６Ｂ
…ナット、６８…中空モータ（ナット駆動モータ）、８
０…ネジ棒、８４…ナット、８６…ネジ棒駆動モータ、
８８…中空モータ（ナット駆動モータ）、９０…第１ナ
ット、１００…第１ネジ棒、１０２…第２ネジ棒、１０
６…ナット、１１０…第１モータ、１１２…第２ナッ
ト、１１４…第２モータ、Ｗ…ウェーハ

─────────────────────────────────────────────────────

【手続補正書】

【提出日】平成１１年６月１７日（１９９９．６．１
７）

【手続補正１】

【補正対象書類名】明細書

【補正対象項目名】００１０

【補正方法】削除

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 東 正幸 東京都三鷹市下連雀９丁目７番１号 株式 会社東京精密内 (72)発明者 足立 禎 千葉県習志野市屋敷４丁目３番１号 セイ コー精機株式会社内 Ｆターム(参考） 3C058 AA03 AA13 AA18 AB03 AB04 AB06 AC02 BA07 BC01 CB05 DA17 3C069 AA01 BA04 BB01 BB03 BB04 BC02 BC03 BC07 CA05 CB02 CB05 EA01 EA02

Claims (3)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 各々個別にブレードが装着された２本の
   スピンドルをＹ軸方向に沿って配置し、該２本のスピン
   ドルを回転させながら、該２本のスピンドルとワークを
   Ｘ軸方向に沿って相対的に移動させることにより、前記
   ワークを切断線に沿って切断するとともに、前記２本の
   スピンドルをＹ軸方向に沿って所定ピッチ移動させるこ
   とにより、前記ワークを次の切断線に沿って切断するダ
   イシング装置のスピンドル移動機構において、 前記スピンドル移動機構は、 前記ダイシング装置の本体フレームに設けられたベース
   と、 Ｙ軸方向に沿って前記ベースに配設されたレールと、 前記レール上に摺動自在に設けられ、前記２本のスピン
   ドルが各々独立して搭載された２台のキャリッジと、 前記レールに沿って配設されたネジ棒と、 前記ベースに設けられ、前記ネジ棒を回転させるネジ棒
   駆動モータと、 前記２台のキャリッジにそれぞれ設けられ、前記ネジ棒
   に螺合されたナット部材と、 前記２台のキャリッジのいずれか一方に設けられ、前記
   ナット部材を回転させるナット駆動モータと、からなる
   ことを特徴とするダイシング装置のスピンドル移動機
   構。
2. 【請求項２】 各々個別にブレードが装着された２本の
   スピンドルをＹ軸方向に沿って配置し、該２本のスピン
   ドルを回転させながら、該２本のスピンドルとワークを
   Ｘ軸方向に沿って相対的に移動させることにより、前記
   ワークを切断線に沿って切断するとともに、前記２本の
   スピンドルをＹ軸方向に沿って所定ピッチ移動させるこ
   とにより、前記ワークを次の切断線に沿って切断するダ
   イシング装置のスピンドル移動機構において、 前記スピンドル移動機構は、 前記ダイシング装置の本体フレームに設けられたベース
   と、 Ｙ軸方向に沿って前記ベースに配設されたレールと、 前記レール上に摺動自在に設けられ、前記２本のスピン
   ドルが各々独立して搭載された２台のキャリッジと、 前記レールに沿って配設されたネジ棒と、 前記ベースに固定され、前記ネジ棒に螺合された固定ナ
   ット部材と、 前記２台のキャリッジの一方に設けられ、前記ネジ棒を
   回転させるネジ棒駆動モータと、 前記２台のキャリッジの他方に設けられ、前記ネジ棒に
   螺合された可動ナット部材と、 前記他方のキャリッジに設けられ、前記可動ナット部材
   を回転させるナット駆動モータと、からなることを特徴
   とするダイシング装置のスピンドル移動機構。
3. 【請求項３】 各々個別にブレードが装着された２本の
   スピンドルをＹ軸方向に沿って配置し、該２本のスピン
   ドルを回転させながら、該２本のスピンドルとワークを
   Ｘ軸方向に沿って相対的に移動させることにより、前記
   ワークを切断線に沿って切断するとともに、前記２本の
   スピンドルをＹ軸方向に沿って所定ピッチ移動させるこ
   とにより、前記ワークを次の切断線に沿って切断するダ
   イシング装置のスピンドル移動機構において、 前記スピンドル移動機構は、 前記ダイシング装置の本体フレームに設けられたベース
   と、 Ｙ軸方向に沿って前記ベースに配設されたレールと、 前記レール上に摺動自在に設けられ、前記２本のスピン
   ドルが各々独立して搭載された２台のキャリッジと、 前記ベースに設けられた第１モータと、 前記レールに沿って配設され、前記第１モータに駆動さ
   れて回転する第１ネジ棒と、 前記２台のキャリッジの一方に設けられ、前記第１ネジ
   棒に螺合された第１ナット部材と、 前記２台のキャリッジの他方に設けられた第２モータ
   と、 前記ガイド部材に沿って配設され、前記第２モータに駆
   動されて回転する第２ネジ棒と、 前記一方のキャリッジに設けられ、前記第２ネジ棒に螺
   合された第２ナット部材と、からなることを特徴とする
   ダイシング装置のスピンドル移動機構。