KR100545819B1 - 웨이퍼퀄츠 로딩 장치 - Google Patents
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Abstract
본 발명은 기구학적 원리를 이용하여 초기에 적은 스트로크만을 작용시켜도 웨이퍼퀄츠는 더 큰 스트로크로 이동하도록 함으로써 웨이퍼퀄츠의 이송을 편리하게 하기 위한 웨이퍼퀄츠 로딩장치에 관한 것으로, 고정된 평판형의 제1 베이스(10); 상기 제1 베이스(10)의 일측에 배치되는 평판형의 제2 베이스(20); 상기 제2 베이스(20)의 일측에 배치되되고, 웨이퍼퀄츠(Q)가 장착되는 평판형의 제3 베이스(30); 상기 제2 베이스(20)의 일측연부에 장착되는 제1 내지 제4 풀리(P1-4)로서, 제1 및 제2 풀리는 제2 베이스(20)의 한쪽에 일정 거리를 두고 배치되어 벨트(b1)로 연결되고, 제3 풀리(P3)는 제2 베이스(20)의 반대쪽에 배치되어 제2 풀리(P2)와 벨트(b2)로 연결되며, 제4 풀리(P4)는 제3 풀리와 같은 쪽으로 제2 베이스(20)의 반대쪽 단부에 배치되어 제3 풀리와 벨트(b3)와 연결되는 4개의 풀리(P1-4); 상기 제1 벨트(b1)와 제1 베이스(10)를 연결하는 제1 연결부(41); 상기 제3 벨트(b3)와 제3 베이스(30)를 연결하는 제2 연결부(42); 상기 제1 베이스(10)에 대해 제2 베이스(20)가 선형으로 이동할 수 있는 안내부 역할을 하는 제1 가이드(52); 상기 제2 베이스(20)에 대해 제3 베이스(30)가 선형으로 이동할 수 있는 안내부 역할을 하는 제2 가이드(54); 및 상기 제1 베이스(10)에 장착되어 제2 베이스(20)를 전후진 시키기 위한 제2 베이스 이동수단(60);을 포함한다.
Description
도 1은 반도체 제조공정에 사용되는 웨이퍼퀄츠의 사시도;
도 2는 본 발명에 따른 웨이퍼퀄츠 로딩장치가 축소된 상태의 평면도;
도 3은 본 발명에 따른 웨이퍼퀄츠 로딩장치가 신장된 상태의 평면도;
도 4는 본 발명의 장치에 적용되는 벨트 이송기구의 사시도;
도 5는 본 발명에 따른 웨이퍼퀄츠 로딩장치의 정면도.
본 발명은 웨이퍼퀄츠 로딩장치에 관한 것으로, 구체적으로는 기구학적 원리를 이용하여 초기에 적은 스트로크만을 작용시켜도 웨이퍼퀄츠는 더 큰 스트로크로 이동하도록 함으로써 웨이퍼퀄츠의 이송을 편리하게 하기 위한 웨이퍼퀄츠 로딩장치에 관한 것이다.
웨이퍼퀄츠(wafer quartz)란 다수의 웨이퍼, 대략 25개 내지 52개의 웨이퍼를 적재하고, 웨이퍼를 적재한 상태로 반도체처리공정, 구체적으로는 미완성된 웨이퍼들을 열처리공정이나 화학적 처리공정에 투입하기 위한 기구이다.
도 1에는 이런 웨이퍼퀄츠의 사시도가 도시되어 있다.
도시된 바와 같이, 웨이퍼퀄츠(Q)는 대략 반원통형 형상으로서, 다수의 웨이퍼(W)가 웨이퍼퀄츠(Q)에 나란히 장착되어, 전술한 바와 같은 후처리공정, 구체적으로는 열처리공정이나 화학처리공정에 웨이퍼를 투입하기 위한 도구이다.
이렇게 웨이퍼를 다수(구체적으로 25-52개) 장착한 웨이퍼퀄츠(Q)는 후처리공정에 투입되기 위해 반도체 공정중에 자동으로 일정 거리 이송되어야 하는 것이 일반적이다.
종래에는 웨이퍼퀄츠의 이동에 필요한 거리와 동일한 스트로크로 웨이퍼퀄츠를 장착한 구동장치가 이동해야만 했다. 이 경우, 구동장치의 이동거리가 길어야만 하므로 반도체 제조공장에 필요한 공간을 확보해야만 하고 또한 구동장치가 상대적으로 필요한 이동거리만큼 대형화되어야만 한다는 문제가 있다.
본 발명은 종래의 이와 같은 문제점을 감안하여 안출된 것으로서, 기구학적인 텔레스코프 원리를 이용하여, 웨이퍼퀄츠를 이동시켜야 하는 구동장치 자체는 필요한 거리보다 훨씬 작은 거리를 이동하여도 실제로 웨이퍼퀄츠는 필요한 거리만큼 이동하도록 함으로써 작업공간을 절감하고 장치도 소형화하는 것을 목적으로 한다.
본 발명의 이와 같은 목적은, 반도체 제조공정에 사용되는 웨이퍼를 적재하는 웨이퍼퀄츠(Q)의 로딩장치에 있어서:
고정된 평판형의 제1 베이스(10);
상기 제1 베이스(10)의 일측에 배치되는 평판형의 제2 베이스(20);
상기 제2 베이스(20)의 일측에 배치되되고, 웨이퍼퀄츠(Q)가 장착되는 평판형의 제3 베이스(30);
상기 제2 베이스(20)의 일측연부에 장착되는 제1 내지 제4 풀리(P1-4)로서, 제1 및 제2 풀리는 제2 베이스(20)의 한쪽에 일정 거리를 두고 배치되어 벨트(b1)로 연결되고, 제3 풀리(P3)는 제2 베이스(20)의 반대쪽에 배치되어 제2 풀리(P2)와 벨트(b2)로 연결되며, 제4 풀리(P4)는 제3 풀리와 같은 쪽으로 제2 베이스(20)의 반대쪽 단부에 배치되어 제3 풀리와 벨트(b3)와 연결되는 4개의 풀리(P1-4);
상기 제1 벨트(b1)와 제1 베이스(10)를 연결하는 제1 연결부(41);
상기 제3 벨트(b3)와 제3 베이스(30)를 연결하는 제2 연결부(42);
상기 제1 베이스(10)에 대해 제2 베이스(20)가 선형으로 이동할 수 있는 안내부 역할을 하는 제1 가이드(52);
상기 제2 베이스(20)에 대해 제3 베이스(30)가 선형으로 이동할 수 있는 안내부 역할을 하는 제2 가이드(54); 및
상기 제1 베이스(10)에 장착되어 제2 베이스(20)를 전후진 시키기 위한 제2 베이스 이동수단(60);을 포함하고,
상기 이동수단(60)에 의해 제2 베이스(20)가 움직이면, 제1 벨트(b1)가 회전함으로써, 제2 벨트(b2)와 제3 벨트(b3)가 차례로 회전하게 되어, 제3 벨트에 연결된 제3 베이스(30)가 제2 베이스의 스트로크보다 훨씬 큰 스트로크로 움직이게 되는 웨이퍼퀄츠 로딩장치에 의해 달성된다.
본 발명에 따른 웨이퍼퀄츠 로딩장치에 있어서, 제2 풀리(P2)는 대직경부(P2-1)와 소직경부(P2-2)로 구성되고, 제2 풀리의 소직경부는 제1 풀리와 연결되며 제2 풀리의 대직경부는 제3 풀리와 연결되는 것이 바람직하고, 대직경부(P2-1)와 소직경부(P2-2)의 직경비는 1.2:1인 것이 더 바람직하다.
또, 상기 이동수단(60)은 볼스크류인 것이 바람직하다.
이하, 첨부 도면들을 참조하여 본 발명에 대해 자세히 설명하면 다음과 같다.
도 2는 본 발명에 따른 웨이퍼퀄츠 로딩장치가 완전히 수축된 상태의 평면도이고, 도 3은 완전히 신장된 상태의 평면도이다.
도시된 바와 같이, 본 발명에 따른 웨이퍼퀄츠 로딩장치는 고정된 평판형의 제1 베이스(10)와, 역시 평판형의 제2 및 제3 베이스(20,30)을 포함한다. 제1 베이스(10)는 고정되어 움직이지 않지만, 제2, 제3 베이스들(20,30)은 후술하는 바와 같이 일정한 행정거리를 왕복운동할 수 있다. 제2 베이스(20)는 제1 베이스(10)의 전방에 배치되고, 제3 베이스는 제2 베이스의 전방에 배치되고, 웨이퍼퀄츠는 제3 베이스에 장착된다.
제2 베이스(20)의 일측연부, 도시된 상태에서는 제2 베이스의 상연부에는 제2 베이스의 양쪽에 각각 두개씩 4개의 풀리(P1-4)가 장착된다. 제1 및 제2 풀리는 제2 베이스(20)의 한쪽에 일정 거리를 두고 배치되어 벨트(b1)로 연결되고, 제3 풀리(P3)는 제2 베이스(20)의 반대쪽에 배치되어 제2 풀리(P2)와 벨트(b2)로 연결되며, 제4 풀리(P4)는 제3 풀리와 같은 쪽으로 제2 베이스(20)의 반대쪽 단부에 배 치되어 제3 풀리와 벨트(b3)와 연결된다. 즉, 제2, 제3 풀리(P2,P3)는 각각 제2 베이스(20)를 중심으로 서로 반대측에 배치된다. 뒤에 자세히 설명하겠지만, 제3 베이스(30)의 이동거리를 길게 하기 위해서는 풀리 P1, P2 사이의 간격보다 풀리 P3, P4의 간격이 더 긴것이 바람직하고, 이를 위해 제3 풀리(P3)는 제2 풀리(P2)와 비스듬하게 대각선 방향으로 배치되는 것이 바람직고, 또한 제2 풀리(P2)는 대직경부와 소직경부의 2단으로 구성되는 것이 더 바람직하다(도 4 참조).
도 4에 도시된 바와 같이, 제2 풀리(P2)를 대직경부(P2-1)와 소직경부(P2-2)의 이단으로 구성하고, 제2 풀리의 소직경부는 제1 풀리(P1)와 연결되며 제2 풀리의 대직경부는 제3 풀리(P3)와 연결되도록 구성하면, 제1 벨트(b1)보다 제3 벨트(b3)를 더 길게 할 수 있다. 따라서, 제3 벨트(b3)에 연결된 제3 베이스(30)는 더 큰 스트로크로 이동할 수 있다. 가급적 대직경부(P2-1)와 소직경부(P2-2)의 직경비는 1.2:1 정도로 하는 것이 바람직하다. 이렇게 할 경우, 제3 베이스는 제2 베이스의 이동거리의 1.2배 정도를 이동할 수 있다.
또, 제1 벨트(b1)는 제1 연결부(41)에 의해 제1 베이스(10)에 연결되고, 제3 벨트(b3)는 제2 연결부(42)에 의해 제3 베이스(30)에 연결된다. 가급적, 웨이퍼퀄츠(Q)가 최대한의 거리를 이동할 수 있도록 하기 위해서는 도 2와 같이 수축된 상태에서 제1 연결부(41)는 가급적 우측 끝에 위치하고, 제2 연결부(42)는 좌측 끝에 위치하는 것이 바람직하다.
이렇게 구성된 상태에서, 제2 베이스(20)가 화살표(A) 방향으로 이동하면, 제1 벨트(b1)가 회전하게 되고, 이에 따라 제2 벨트(b2)도 회전하게 되며, 제2 벨 트에 연결된 제3 벨트(b3)도 회전하게 된다. 따라서, 제3 벨트에 연결된 제3 베이스(30)가 도 3의 화살표(B) 방향으로 이동하게 된다.
즉, 도 3에 도시된 바와 같이, 제3 베이스(30)에 장착된 웨이퍼퀄츠(Q)는 제2 베이스(20)가 이동한 거리와 제3 베이스(30)가 이동한 거리를 합한 거리만큼 전진하게 되는 것이다.
도 5는 본 발명에 따른 웨이퍼퀄츠 로딩장치의 정면도이다.
도시된 바와 같이, 제1 베이스(10)에 대해 제2 베이스(20)가 선형으로 이동할 수 있는 안내부 역할을 하는 제1 가이드(52)가 제1 베이스와 제2 베이스에 형성되는바, 이런 제1 가이드로는 선형가이드가 바람직하다. 또, 제2 베이스(20)에 대해 제3 베이스(30)가 선형으로 이동할 수 있는 안내부 역할을 하는 제2 가이드(54)가 제2 베이스와 제3 베이스에 형성되는바, 역시 선형가이드가 바람직하다. 이런 선형가이드는 당분야에 널리 이용되므로 더이상의 자세한 설명은 생략하겠지만, 구체적으로는 안내레일과 안내레일을 타고 구르는 롤러로 구성되는 것이 일반적이다.
또, 제1 베이스(10)에는 제2 베이스(20)를 전후진 시키기 위한 제2 베이스 이동수단(60)이 장착되는 것이 바람직하다. 이런 이동수단으로는 볼스크류가 바람직하다. 즉 볼스크류 자체는 제1 베이스에 장착되고, 볼스크류에 맞물려 볼스크류를 회전시키면 볼스크류를 타고 전후진하는 이동부분은 제2 베이스(20)에 연결된다. 이렇게 할 경우, 볼스크류를 회전시키면 제2 베이스(20)를 전후진시킬 수 있다.
이렇게 구성된 본 발명에 따른 웨이퍼퀄츠 로딩장치에 의하면, 기구학적인 텔레스코프 원리를 이용함으로써, 제2 베이스의 이동거리보다 훨씬 큰 거리로 웨이퍼퀄츠를 이동시킬 수 있다. 따라서, 웨이퍼퀄츠를 이동시켜야 하는 구동장치 자체는 필요한 거리보다 훨씬 작은 거리를 이동하여도 실제로 웨이퍼퀄츠는 필요한 거리만큼 이동하게 되므로, 작업공간을 절감하고 장치도 소형화할 수 있다.
Claims (4)
- 반도체 제조공정에 사용되는 웨이퍼를 적재하는 웨이퍼퀄츠(Q)의 로딩장치에 있어서:고정된 평판형의 제1 베이스(10);상기 제1 베이스(10)의 일측에 배치되는 평판형의 제2 베이스(20);상기 제2 베이스(20)의 일측에 배치되되고, 웨이퍼퀄츠(Q)가 장착되는 평판형의 제3 베이스(30);상기 제2 베이스(20)의 일측연부에 장착되는 제1 내지 제4 풀리(P1-4)로서, 제1 및 제2 풀리는 제2 베이스(20)의 한쪽에 일정 거리를 두고 배치되어 벨트(b1)로 연결되고, 제3 풀리(P3)는 제2 베이스(20)의 반대쪽에 배치되어 제2 풀리(P2)와 벨트(b2)로 연결되며, 제4 풀리(P4)는 제3 풀리와 같은 쪽으로 제2 베이스(20)의 반대쪽 단부에 배치되어 제3 풀리와 벨트(b3)와 연결되는 4개의 풀리(P1-4);상기 제1 벨트(b1)와 제1 베이스(10)를 연결하는 제1 연결부(41);상기 제3 벨트(b3)와 제3 베이스(30)를 연결하는 제2 연결부(42);상기 제1 베이스(10)에 대해 제2 베이스(20)가 선형으로 이동할 수 있는 안내부 역할을 하는 제1 가이드(52);상기 제2 베이스(20)에 대해 제3 베이스(30)가 선형으로 이동할 수 있는 안내부 역할을 하는 제2 가이드(54); 및상기 제1 베이스(10)에 장착되어 제2 베이스(20)를 전후진 시키기 위한 제2 베이스 이동수단(60);을 포함하고,상기 이동수단(60)에 의해 제2 베이스(20)가 움직이면, 제1 벨트(b1)가 회전함으로써, 제2 벨트(b2)와 제3 벨트(b3)가 차례로 회전하게 되어, 제3 벨트에 연결된 제3 베이스(30)가 제2 베이스의 스트로크보다 훨씬 큰 스트로크로 움직이게 되는 것을 특징으로 하는 웨이퍼퀄츠 로딩장치.
- 제1항에 있어서, 상기 제2 풀리(P2)는 대직경부(P2-1)와 소직경부(P2-2)로 구성되고, 제2 풀리의 소직경부는 제1 풀리와 연결되며 제2 풀리의 대직경부는 제3 풀리와 연결되는 것을 특징으로 하는 웨이퍼퀄츠 로딩장치.
- 제2항에 있어서, 상기 대직경부(P2-1)와 소직경부(P2-2)의 직경비가 1.2:1인 것을 특징으로 하는 웨이퍼퀄츠 로딩장치.
- 제1항 내지 제3항중 어느 한 항에 있어서, 상기 이동수단(60)이 볼스크류인 것을 특징으로 하는 웨이퍼퀄츠 로딩장치.
Priority Applications (1)
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|---|---|---|---|
| KR1020030032265A KR100545819B1 (ko) | 2003-05-21 | 2003-05-21 | 웨이퍼퀄츠 로딩 장치 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| KR1020030032265A KR100545819B1 (ko) | 2003-05-21 | 2003-05-21 | 웨이퍼퀄츠 로딩 장치 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| KR20040100063A KR20040100063A (ko) | 2004-12-02 |
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Family
ID=37377498
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
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| KR1020030032265A KR100545819B1 (ko) | 2003-05-21 | 2003-05-21 | 웨이퍼퀄츠 로딩 장치 |
Country Status (1)
| Country | Link |
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| KR (1) | KR100545819B1 (ko) |
-
2003
- 2003-05-21 KR KR1020030032265A patent/KR100545819B1/ko active IP Right Grant
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| KR20040100063A (ko) | 2004-12-02 |
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