JP2002231660A - ダイシング装置のスピンドル移動機構 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【課題】本発明は、構造が簡単でコンパクトなダイシン
グ装置のスピンドル移動機構を提供する。 【解決手段】本発明のスピンドル移動機構は、スピンド
ル６４、６６が搭載された２台のキャリッジ７２、７４
をＹ軸方向に移動自在にガイドするガイドレール９０、
９２、及びキャリッジ７２、７４をＹ軸方向に移動させ
るリニアモータ７６を主な構成としている。リニアモー
タ７６は、マグネットレール７８、及び２個のマグネッ
トブロック８０、８２から構成される。マグネットレー
ル７８は支持プレート８４に固定され、マグネットブロ
ック８０はキャリッジ７２に固定され、マグネットブロ
ック８２はキャリッジ７４に固定される。リニアモータ
７６を駆動すると、キャリッジ７２、７４は、共通のガ
イドレール９０、９２に沿ってＹ軸方向に移動する。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明はダイシング装置のス
ピンドル移動機構に係り、特に２本のスピンドルに取り
付けられた２枚のブレードで半導体ウェーハを碁盤目状
に切断するダイシング装置のスピンドル移動機構に関す
る。

【０００２】

【従来の技術】特開平８−２５２０９号公報に開示され
たダイシング装置は、２本のスピンドルをＹ軸方向に平
行に配置し、２本のスピンドルと半導体ウェーハとを相
対的にＸ軸方向に移動させながら、２本のスピンドルに
装着された２枚のブレードで半導体ウェーハを切断線
（ストリート）に沿って切断する。また、前記２本のス
ピンドルのうち１本のスピンドルは、Ｙ軸方向の位置を
位置調整できるように構成されており、そのスピンドル
をＹ軸方向に所定量移動して２枚のブレードの相対位置
をストリートのピッチ分ずらすことによって、２本のス
トリートを同時に切断するようにしている。

【０００３】ところで、前記ダイシング装置のスピンド
ル移動機構は、第１ボールねじ装置と第２ボールねじ装
置とから構成されている。前記第１ボールねじ装置のね
じ棒には第１キャリッジが螺合され、この第１キャリッ
ジに固定側のスピンドルと第２ボールねじ装置とが搭載
されている。そして、第２ボールねじ装置のねじ棒には
第２キャリッジが螺合され、第２キャリッジに移動側の
スピンドルが固定されている。したがって、このスピン
ドル移動機構によれば、第１ボールねじ装置を駆動する
と２本のスピンドルを一緒にＹ軸方向に移動させること
ができ、第２ボールねじ装置を駆動すると、移動側の１
本のスピンドルをＹ軸方向に移動させることができる。

【０００４】

【発明が解決しようとする課題】しかしながら、前記従
来のダイシング装置のスピンドル移動機構は、２本のス
ピンドルをＹ軸方向に移動させるためのガイド（ねじ棒
等）がスピンドル毎に設けられているので、構造が複雑
で且つ大型になるという欠点がある。

【０００５】本発明はこのような事情に鑑みてなされた
もので、構造が簡単でコンパクトなダイシング装置のス
ピンドル移動機構を提供する。

【０００６】

【課題を解決するための手段】本発明は、前記目的を達
成するために、軸方向がそれぞれＹ軸方向と一致し、且
つ互いに対向する２本のスピンドルを有し、該２本のス
ピンドルとワークとをＸ軸方向に相対的に移動させなが
ら、２本のスピンドルに装着された２枚のブレードを回
転させて前記ワークを切断線に沿って２本同時に切断す
ると共に、前記２本のスピンドルをＹ軸方向に所定ピッ
チ移動させて前記ワークを次の切断線に沿って２本同時
に切断することができるダイシング装置のスピンドル移
動機構であって、前記スピンドル移動機構は、前記２本
のスピンドルが独立して取り付けられた２台のキャリッ
ジと、前記２台のキャリッジをＹ軸方向に移動自在にガ
イドする１つのガイド部材と、前記２台のキャリッジに
各々設けられ、前記ガイド部材に沿って各キャリッジを
Ｙ軸方向に移動させる移動手段と、から成ることを特徴
としている。

【０００７】本発明のスピンドル移動機構によれば、各
スピンドルは、各キャリッジに設けられた移動手段によ
って１つのガイド部材に沿ってＹ軸方向に移動する。し
たがって、本発明は、各スピンドルのガイドを１つのガ
イド部材で共用したので、ガイドがスピンドル毎に必要
な従来のスピンドル移動機構と比較して、構造が簡単で
コンパクトになる。

【０００８】前記スピンドル移動機構の移動手段とし
て、リニアモータを適用することができる。この場合、
リニアモータの固定部材を構成するマグネットレールは
ガイド部材に沿って設ければ良く、また、リニアモータ
の移動部材を構成するコイルアッセンブリは２台のキャ
リッジにそれぞれ設ければ良い。また、移動手段とし
て、ラックとピニオンとから成るギア機構を適用するこ
ともできる。この場合、ラックはガイド部材に沿って設
ければ良く、また、ピニオンは２台のキャリッジにそれ
ぞれ設ければ良い。また、ピニオンを回転させるモータ
も２台のキャリッジにそれぞれ設ければ良い。この他に
も、固定された１体のボールネジに２つのナットを個別
に駆動する機構を設けても良い。

【０００９】

【発明の実施の形態】以下添付図面に従って本発明に係
るダイシング装置について詳説する。

【００１０】図１は本発明が適用された半導体ウェーハ
のダイシング装置１の斜視図であり、図２はその平面図
である。図１に示すように、前記ダイシング装置１は、
主として切断部１０、洗浄部２０、カセット収納部３
０、エレベータ部４０、及び搬送装置５０等から構成さ
れている。

【００１１】このダイシング装置１によるウェーハＷの
切断工程を説明すると、まず、カセット収納部３０に複
数枚収納されている加工前のウェーハＷは、エレベータ
部４０によって順次引き出され、そして、引き出された
ウェーハＷは図２に示す位置Ｐ４にセットされる。次
に、このウェーハＷは、搬送装置５０によって位置Ｐ１
のプリロードステージを介して切断部１０のカッティン
グテーブル（位置Ｐ２）上に載置される。ここで、ウェ
ーハＷはカッティングテーブルに吸着保持される。吸着
保持されたウェーハＷは、アライメント部１８、１９に
よってウェーハＷ上のパターンが画像認識され、これに
基づいてアライメントされる。そして、アライメントさ
れたウェーハＷは、切断部１０の矢印Ａ、Ｂで示すＹ軸
方向移動と、カッティングテーブルの矢印Ｃ、Ｄで示す
Ｘ軸方向移動とによって、２本のストリートが同時に切
断される。最初の２本のストリートが切断されると、切
断部１０のスピンドルをストリートのピッチ分だけＹ軸
方向に移動させ、そして、カッティングテーブルを再び
Ｘ軸方向に移動させることにより次の２本のストリート
が切断される。この切断動作を繰り返して行い、一方向
（Ｘ方向）の全てのストリートの切断が終了すると、カ
ッティングテーブルを９０°回動させて、前記切断した
ストリートに直交する他方向（図２上でＹ方向）のスト
リートを順次切断する。これにより、ウェーハＷは最終
的に碁盤目状に切断される。なお、本実施の形態では、
前記アライメント部１８、１９を切断部１０の上流側に
設けたが、これに限られるものではなく、切断部１０の
各キャリッジ７２、７４に設けても良い。

【００１２】切断終了したウェーハＷは、カッティング
テーブルによって位置Ｐ２に戻された後、搬送装置５０
によって位置Ｐ３の洗浄部２０のスピナテーブルに搬送
される。ここでウェーハＷは、洗浄水により洗浄された
後、エアブローによって乾燥される。乾燥したウェーハ
Ｗは、搬送装置５０によって位置Ｐ４に搬送され、エレ
ベータ部４０によってカセット部１０に収納される。以
上が前記ダイシング装置１による１枚のウェーハＷの切
断工程である。

【００１３】次に、ダイシング装置１の切断部１０につ
いて説明する。図３は切断部１０の平面図である。同図
に示す切断部１０の切断装置１４、１６は、モータ６
０、６２、Ｙ軸方向に対向配置されたスピンドル６４、
６６、及びスピンドル６４、６６の先端部に装着された
ブレード６８、７０を有している。これらの切断装置１
４、１６は、本発明の実施の形態のスピンドル移動機構
によって、Ｙ軸方向に各々独立して移動される。

【００１４】前記スピンドル移動機構は図４に示すよう
に、モータ６０、６２が搭載された１台のキャリッジ７
２、７４をＹ軸方向に移動自在にガイドするガイドレー
ル（ガイド部材）９０、９２、及びキャリッジ７２、７
４をＹ軸方向に移動させるリニアモータ７６を主な構成
としている。前記リニアモータ７６は、マグネットレー
ル７８、及び２個のコイルアッセンブリ８０、８２から
構成されており、マグネットレール７８は、ダイシング
装置１に固定された支持プレート８４の側面にＹ軸方向
に沿って水平に固着されている。また、前記２個のコイ
ルアッセンブリ８０、８２のうち一方のコイルアッセン
ブリ８０はキャリッジ７２に、そして他方のコイルアッ
センブリ８２はキャリッジ７４に固着されている。

【００１５】前記マグネットレール７８は、リニアモー
タの固定部材を構成し、前記２個のコイルアッセンブリ
８０、８２はリニアモータの移動部材を構成している。
前記マグネットレール７８とコイルアッセンブリ８０、
８２とは図５に示すように（図５では一方のコイルアッ
センブリ８０のみ図示）、所定の間隙を介して対向配置
されている。このリニアモータを駆動することによって
前記キャリッジ７２、７４は、共通のマグネットレール
７８に沿ってＹ軸方向に各々独立して移動する。なお、
リニアモータの駆動原理については、周知であるので省
略する。

【００１６】図５に示すように前記キャリッジ７２に
は、２個のＬＭ（直動）ガイド８６、８８が固着されて
いる。これらのＬＭガイド８６、８８は、前記コイルア
ッセンブリ８０を挟んで上部、及び下部に設けられてお
り、前記ＬＭガイド８６はガイドレール９０に摺動自在
に支持され、前記ＬＭガイド８８はガイドレール９２に
摺動自在に支持されている。また、図示していないが、
キャリッジ７４も同様に２個のＬＭガイドが固着され、
その一方のＬＭガイドが前記ガイドレール９２に摺動自
在に支持されると共に、他方のＬＭガイドがガイドレー
ル９２に摺動自在に支持されている。なお、前記ガイド
レール９０、９２は同図の如く、マグネットレール７８
と平行に固定され、２台のキャリッジ７２、７４の共通
のガイド部材として機能している。

【００１７】前記支持プレート８４には、リニアエンコ
ーダを構成するモアレスケール９４が取り付けられてい
る。このモアレスケール９４は、キャリッジ７２、７４
に設けられた検出片９６、９８の位置を非接触で検出す
ることで、ブレード６８、７０の位置を間接的に検出す
るものであり、マグネットレール７８と平行に固定され
ている。前記モアレスケール９４で検出されたブレード
６８、７０の位置情報によって、前述したリニアモータ
７６が図示しない制御装置によってフィードバック制御
されている。光学式や磁気式の他のリニアエンコーダ等
をモアレスケールの代わりに用いても良い。

【００１８】一方、前記モータ６０、６２は図４に示す
ように、アーム１００、１０２、及びＺ軸移動機構１０
４、１０６を介して前記キャリッジ７２、７４に連結さ
れている。したがって、Ｚ軸移動機構１０４、１０６を
駆動すればモータ６０、６２をＺ軸に沿って上下移動さ
せることができ、これによってブレード６８、７０を上
下移動させることができる。したがって、Ｚ軸移動機構
１０４、１０６でブレード６８、７０の下降移動量を調
節することにより、ウェーハＷの切断切込み量を設定す
ることができる。

【００１９】次に、前記の如く構成されたダイシング装
置１のスピンドル移動機構の作用について説明する。

【００２０】まず、前記スピンドル移動機構のリニアモ
ータ７６を駆動して、図３に示す２枚のブレード６８、
７０の間隔を設定する。この場合、図示しない外部入力
装置から前記間隔設定値が入力されると、リニアモータ
７６が図示しない制御装置に制御されてキャリッジ７
２、７４をＹ軸方向に移動させる。その移動時における
ブレード６８、７０の位置情報がモアレスケール９４か
ら制御装置に出力される。制御装置は、前記位置情報に
基づいてリニアモータ７６をフィードバック制御し、前
記間隔設定値の位置に前記ブレード６４、６６を位置決
めする。

【００２１】各キャリッジ７２、７４の位置決めが終了
すると、Ｚ軸移動機構１０４、１０６が駆動してブレー
ド６８、７０を下降移動し、ウェーハＷの切断切込み量
を設定する。この後、モータ６０、６２でブレード６
４、６６を回転させると共に、ウェーハカッティングテ
ーブルをＸ軸方向に移動してウェーハＷの最初の２本の
ストリートを前記ブレード６４、６６で切断する。

【００２２】最初の２本のストリートの切断が終了する
と、前記スピンドル移動機構によってブレード６４、６
６を、共通のガイド部材であるガイドレール９０、９２
に沿ってストリートのピッチ分だけＹ軸方向に移動させ
る。そして、カッティングテーブルをＸ軸方向に再び移
動させて次の２本のストリートを切断する。この切断動
作を繰り返して行い、Ｘ軸方向の全てのストリートの切
断が終了すると、カッティングテーブルを９０°回動さ
せて、前記切断したストリートに直交するＹ方向のスト
リートを前述した手順を繰り返して切断する。これによ
り、ウェーハＷは最終的に碁盤目状に切断される。

【００２３】このように、本実施の形態のスピンドル移
動機構は、２本のスピンドル６４、６６をＹ軸方向に移
動可能にガイドするガイド部材をガイドレール９０、９
２で共用している。したがって、前記スピンドル移動機
構は、スピンドル毎にガイド部材を具備した従来のスピ
ンドル移動機構と比較して、構造が簡単でコンパクトに
なる。

【００２４】ここで、図６、図７、図８を参照して本実
施の形態のスピンドル移動機構によるウェーハ切断方法
の一例について述べる。

【００２５】図６はウェーハＷの切断手順を模式的に示
したもので、特に、ウェーハＷの切断エリアを〜ま
で４エリアに分割し、これらのエリア中の複数本のスト
リートを→→→エリアの順で切断する方法であ
る。この切断方法は、例えば図６上において１−１で示
すストリートは、ブレード７０で切断する１本目のスト
リートを示し、２−１で示すストリートは、ブレード６
８で切断する１本目のストリートを示している。したが
って、エリアによれば、ブレード６８とブレード７０
とを３ピッチ分ずらして間隔設定し、まず１本目の１−
１ストリートをブレード７０で、そして２−１ストリー
トをブレード６８で同時に切断する。

【００２６】次に、ブレード６８、７０の間隔を変える
ことなくブレード６８、７０をスピンドル移動機構によ
ってストリートの１ピッチ分ずらす。そして、２本目の
１−２ストリートをブレード７０で、そして、２−２ス
トリートをブレード６８で同時に切断する。この動作を
あと２回繰り返して行い、エリアの計８本のストリー
トを切断する。

【００２７】エリアの全てのストリートの切断が終了
すると、エリア、エリアの各８本のストリートを同
様の手順で切断する。そして、エリアは残り５本のス
トリートなので、１−１ストリートをブレード７０によ
って、そして２−１ストリートをブレード６８によって
同時に切断した後、ブレード７０のみで１−２〜１−４
ストリートを順に切断する。これにより、Ｘ方向の全て
のストリートの切断が終了する。

【００２８】上記切断方法では、ブレード６８、７０の
間隔を変えることなく一定ピッチ移動させることでスト
リートを切断することができるので、ブレード６８、７
０の位置制御が容易になり、また、コンタミも発生し難
くなる。なお、ウェーハＷの切断送り方向（Ｘ方向）
は、一方向でも両方向でも良い。

【００２９】図７に示すウェーハＷの切断方法も２枚の
ブレード６８、７０による同時切断方法であり、１−
１、２、３〜１５ストリートをブレード７０で順に切断
し、２−１、２、３〜１５ストリートをブレード６８で
順に切断する。この切断方法によれば、まず、ブレード
６８とブレード７０との間隔を最大限の間隔に設定し、
一方側の１−１ストリートをブレード７０で、そして、
他方側の２−１ストリートをブレード６８で同時に切断
する。

【００３０】次に、ブレード６８を１ピッチ分だけブレ
ード７０に向けて移動させると共に、ブレード７０を１
ピッチ分だけブレード６８に向けて移動させて、１−２
ストリートをブレード７０で、２−２ストリートをブレ
ード６８で切断する。この１ピッチ分互いに近づけて切
断する動作をあと９回繰り返して行う。そして、残りの
８本のストリートを図６に示した切断方法で切断する。
即ち、ブレード６８とブレード７０とを３ピッチ分ずら
して間隔設定し、１−１２〜１５ストリートをブレード
７０で、そして２−１２〜１５ストリートをブレード６
８で同時に切断する。

【００３１】上記切断方法では、ウェーハＷの両側にあ
るストリートから中央にあるストリートに向けてストリ
ートを順に切断するため、テープのテンションに影響さ
れないでストリートを確実に切断することができる。ダ
イシング装置１で切断されるウェーハＷは、通常、テー
プを介してフレームに接着されており、この際、テープ
にテンションかけた状態でウェーハＷを接着している。
このため、ストリートを切断していくと、テープの復元
力でウェーハＷの位置がずれる場合があり、このように
位置がずれてしまうとブレード６８、７０を１ピッチ移
動させたとしても、ブレード６８、７０が次のストリー
トに当たらず、チップを切断してしまうという虞が生じ
る。図７の切断方法は、上記不具合を防止することがで
きる。即ち、図７の切断方法では、切断した小片の長尺
状のウェーハの位置が前記テープの復元力でずれること
があっても、切断するウェーハＷ本体の位置はずれない
ので、ストリートを確実に切断することができる。

【００３２】図８に示すウェーハＷの切断方法も２枚の
ブレード６８、７０による同時切断方法であり、１−１
〜１３ストリートをブレード７０で順に切断すると共
に、２−１〜１３ストリートをブレード６８で順に切断
する。そして、残りの３本の１−１４〜１６ストリート
をブレード７０で切断する方法である。

【００３３】上記切断方法は、３本の１−１４〜１６ス
トリートを残した位置が、ブレード６８、７０の最大接
近位置であり、これらの１−１４〜１６ストリートを２
枚のブレード６８、７０で同時切断することができない
ので、この場合には、一方のブレード（本実施例ではブ
レード７０）で１−１４〜１６ストリートを順に切断す
る。

【００３４】以上のように本実施の形態のスピンドル移
動機構を適用することで、多種類の切断方法を得ること
ができ、特に図６〜図８に示した切断方法は、ウェーハ
Ｗを切断するためのＸ方向移動量も最小に押さえること
ができる。したがって、ウェーハＷを短時間で効率良く
切断することができる。また、前記Ｘ方向移動量を最小
に押さえることにより、ブレード６８、７０の寿命や次
のドレッシングまでの期間を延ばすことができる。

【００３５】なお、本実施の形態では、スピンドル移動
機構としてリニアモータ７６を適用したが、これに限ら
れるものではなく、例えば、図９に示すラック１１０と
ピニオン１１２、１１４とから成るギア機構ででスピン
ドル移動機構を構成しても良い。このギア機構の場合に
は、ラック１１０が支持プレート８４に水平に固定さ
れ、また、ラック１１０に噛合するピニオン１１２とこ
のピニオン１１２を回転させる図示しないモータとが図
９上で二点鎖線で示すキャリッジ７２に取り付けられて
いる。そして、ピニオン１１４とこのピニオン１１４を
回転させる図示しないモータとが、図９上で二点鎖線で
示すキャリッジ７４に設けられている。したがって、前
記ピニオン１１２、１１４を回転させることでブレード
６８、７０（図３参照）をＹ軸方向に移動させることが
できる。図９では、２台のキャリッジ７２、７４のガイ
ドとして１本のラック１１０を共用している。

【００３６】更に、図１０は、スピンドル移動機構の他
の実施の形態を示している。同図に示すスピンドル移動
機構は、ねじ棒１２０に挿通された中空モータ１１８で
ボールねじ装置のナット１１６を回転させることによ
り、ナット１１６をねじ棒１２０に沿ってＹ軸方向に移
動させる機構である。また、ねじ棒１２０には、もう一
つのナット１２２が螺合されており、このナット１２２
を中空モータ１２４で回転させることにより、ナット１
２４をねじ棒１２０に沿ってＹ軸方向に移動させること
ができる。この機構では、前記中空モータ（非回転体）
１１８にキャリッジ７２を固定すると共に、中空モータ
（非回転体）１２４にキャリッジ７４を固定する。図１
０では、２台のキャリッジ７２、７４のガイドとして１
本のねじ棒１２０を共用している。

【００３７】

【発明の効果】以上説明したように本発明に係るダイシ
ング装置のスピンドル移動機構によれば、２本のスピン
ドルをＹ軸方向に移動可能にガイドするガイド部材を共
用したので、スピンドル毎にガイド部材を備えた従来の
スピンドル移動機構と比較して、構造が簡単でコンパク
ト化することができる。また、２本のスピンドルがＹ軸
方向に対向配置されているため、それらのブレードの間
隔を変えることなく一定ピッチ移動させることでストリ
ートを切断することができるので、ブレードの位置制御
が容易になり、また、コンタミも発生し難くなる。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明が適用されたダイシング装置の斜視図で
ある。

【図２】図１に示したダイシング装置の平面図である。

【図３】ダイシング装置の切断部の平面図

【図４】図３上４−４線から見た切断部の側面図

【図５】図３上５−５線から見た切断部の縦断面図

【図６】ウェーハ切断方法の第１実施例を示す説明図

【図７】ウェーハ切断方法の第２実施例を示す説明図

【図８】ウェーハ切断方法の第３実施例を示す説明図

【図９】スピンドル移動機構の第２の実施例であるラッ
クとピニオンの説明図

【図１０】スピンドル移動機構の第３の実施例であるボ
ールねじ機構の説明図

【符号の説明】

１…ダイシング装置、１０…切断部、６０、６２…モー
タ、６４、６６…スピンドル、６８、７０…ブレード、
７２、７４…キャリッジ、７６…リニアモータ、７８…
マグネットレール、８０、８２…コイルアッセンブリ、
８６、８８…ＬＭガイド、９０、９２…ガイドレール、
９４…モアレスケール、Ｗ…ウェーハ

フロントページの続き (72)発明者 長田 正照 東京都三鷹市下連雀９丁目７番１号 株式 会社東京精密内 (72)発明者 東 正幸 東京都三鷹市下連雀９丁目７番１号 株式 会社東京精密内 (72)発明者 下田 浩史 東京都三鷹市下連雀９丁目７番１号 株式 会社東京精密内 (72)発明者 フェリックス・コーエン イスラエル共和国、20187、グシュ・セゲ ブ、ミ ツペ・アビブ31

Claims (5)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 軸方向がそれぞれＹ軸方向と一致し、且
   つ互いに対向する２本のスピンドルを有し、該２本のス
   ピンドルとワークとをＸ軸方向に相対的に移動させなが
   ら、２本のスピンドルに装着された２枚のブレードを回
   転させて前記ワークを切断線に沿って２本同時に切断す
   ると共に、前記２本のスピンドルをＹ軸方向に所定ピッ
   チ移動させて前記ワークを次の切断線に沿って２本同時
   に切断することができるダイシング装置のスピンドル移
   動機構であって、 前記スピンドル移動機構は、 前記２本のスピンドルが独立して取り付けられた２台の
   キャリッジと、 前記２台のキャリッジをＹ軸方向に移動自在にガイドす
   る１つのガイド部材と、 前記２台のキャリッジに各々設けられ、前記ガイド部材
   に沿って各キャリッジをＹ軸方向に移動させる移動手段
   と、 から成ることを特徴とするダイシング装置のスピンドル
   移動機構。
2. 【請求項２】前記移動手段はリニアモータであり、該リ
   ニアモータの固定部材を構成するマグネットレールは前
   記ガイド部材に沿って設けられ、該リニアモータの移動
   部材を構成するコイルアッセンブリは前記２台のキャリ
   ッジにそれぞれ設けられていることを特徴とする請求項
   １記載のダイシング装置のスピンドル移動機構。
3. 【請求項３】前記移動手段はラックとピニオンとから成
   るギア機構であり、該ラックは前記ガイド部材に沿って
   設けられ、該ピニオンは前記２台のキャリッジにそれぞ
   れ設けられていることを特徴とする請求項１記載のダイ
   シング装置のスピンドル移動機構。
4. 【請求項４】前記移動手段は１本のねじ棒と、該ねじ棒
   が挿通された一対の中空モータと、該一対の中空モータ
   によって回転されるとともに前記ねじ棒に螺合された一
   対のナット部材とから成る機構であり、該ねじ棒は前記
   ガイド部材に沿って設けられ、前記一対の中空モータは
   前記２台のキャリッジに設けられていることを特徴とす
   る請求項１記載のダイシング装置のスピンドル移動機
   構。
5. 【請求項５】前記ダイシング装置のスピンドル移動機構
   には、前記ブレードの位置を検出するためのリニアエン
   コーダを構成するモアレスケールが取り付けられ、該モ
   アレスケールは前記ガイド部材よりも前記スピンドルに
   近い側に設けられていることを特徴とする請求項１記載
   のダイシング装置のスピンドル移動機構。