JP2006247674A - レーザー加工装置 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】 被加工物を保持するチャックテーブルと、レーザー光線を照射するレーザー光線照射手段と、チャックテーブルを加工送り方向に移動せしめる加工送り手段と、レーザー光線照射手段を加工送り方向(X)と直交する割り出し送り方向(Y)に相対移動せしめる割り出し送り手段とを具備するレーザー加工装置において、加工送り量を検出する加工送り量検出手段と、割り出し送り量を検出する割り出し送り量検出手段と、被加工物に形成する細孔のX,Y座標値を記憶する記憶手段を備え、記憶手段に記憶された細孔のX,Y座標値と加工送り量検出手段および割り出し送り量検出手段からの検出信号に基づいてレーザー光線照射手段を制御する制御手段とを具備している。
【選択図】 図1
Description
該チャックテーブルと該レーザー光線照射手段との相対的な加工送り量を検出する加工送り量検出手段と、
該チャックテーブルと該レーザー光線照射手段との相対的な割り出し送り量を検出する割り出し送り量検出手段と、
被加工物に形成する細孔のX,Y座標値を記憶する記憶手段を備え、該記憶手段に記憶された細孔のX,Y座標値と該加工送り量検出手段および該割り出し送り量検出手段からの検出信号に基づいて該レーザー光線照射手段を制御する制御手段と、を具備し、
該制御手段は、該加工送り量検出手段および該割り出し送り量検出手段からの信号に基づいて該記憶手段に記憶された細孔のX,Y座標値が該レーザー光線照射手段の照射位置に達したとき、該レーザー光線照射手段に照射信号を出力する、
ことを特徴とするレーザー加工装置が提供される。
図2にはレーザー加工される被加工物としての半導体ウエーハ20の平面図が示されている。図2に示す半導体ウエーハ20は、シリコンウエーハからなっており、その表面20aに格子状に配列された複数の分割予定ライン201によって複数の領域が区画され、この区画された領域にIC、LSI等のデバイス202がそれぞれ形成されている。この各デバイス202は、全て同一の構成をしている。デバイス202の表面にはそれぞれ図3に示すように複数の電極203(203a〜203j)が形成されている。なお、図示の実施形態においては、203aと203f、203bと203g、203cと203h、203dと203i、203eと203jは、X方向位置が同一である。この複数の電極203(203a〜203j)部にそれぞれ貫通孔(ビヤホール)が形成される。各デバイス202における電極203(203a〜203j)のX方向(図3において左右方向)の間隔A、および各デバイス202に形成された電極203における分割予定201を挟んでX方向(図3において左右方向)に隣接する電極即ち電極203eと電極203aとの間隔Bは、図示の実施形態においては同一間隔に設定されている。また、各デバイス202における電極203(203a〜203j)のY方向(図3において上下方向)の間隔C、および各デバイス202に形成された電極203における分割予定ライン201を挟んでY方向(図3において上下方向)に隣接する電極即ち電極203fと電極203aおよび電極203jと電極203eとの間隔Dは、図示の実施形態においては同一間隔に設定されている。このように構成された半導体ウエーハ20について、図2に示す各行E1・・・・Enおよび各列F1・・・・Fnに配設されたデバイス202の個数と上記各間隔A,B,C,Dは、その設計値のデータが上記ランダムアクセスメモリ(RAM)103の第1に記憶領域103aに格納されている。
上記のように構成された半導体ウエーハ10は、図4に示すように環状のフレーム21に装着されたポリオレフィン等の合成樹脂シートからなる保護テープ22に表面20aを上側にして貼着する。
このようにして環状のフレーム21に保護テープ22を介して支持された半導体ウエーハ20は、図1に示すレーザー加工装置のチャックテーブル36上に保護テープ22を載置する。そして、図示しない吸引手段を作動することにより半導体ウエーハ20は、保護テープ22を介してチャックテーブル36上に吸引保持される。また、環状のフレーム21は、クランプ362によって固定される。
光源 :LD励起QスイッチNd:YVO4
波長 :355nm
出力 :3W
集光スポット径 :50μm
加工送り速度 :100mm/秒
このような加工条件によって穿孔工程を実施すると、半導体ウエーハ20には深さが5μm程度のレーザー加工孔204を形成することができる。
3:チャックテーブル機構
31:案内レール
36:チャックテーブル
37:加工送り手段
374:加工送り量検出手段
38:第1の割り出し送り手段
4:レーザー光線照射ユニット支持機構
41:案内レール
42:可動支持基台
43:第2の割り出し送り手段
433:割り出し送り量検出手段
5:レーザー光線照射ユニット
51:ユニットホルダ
52:レーザー光線加工手段
522:集光器
6:撮像手段
10:制御手段
20:半導体ウエーハ
201:分割予定ライン
202:回路
203:電極
204:レーザー加工孔
21:環状のフレーム
22:保護テープ
Claims (1)
- 被加工物を保持するチャックテーブルと、該チャックテーブルに保持された被加工物にレーザー光線を照射するレーザー光線照射手段と、該チャックテーブルと該レーザー光線照射手段を加工送り方向(X)に相対的に移動せしめる加工送り手段と、該チャックテーブルと該レーザー光線照射手段を該加工送り方向(X)と直交する割り出し送り方向(Y)に相対移動せしめる割り出し送り手段と、を具備するレーザー加工装置において、
該チャックテーブルと該レーザー光線照射手段との相対的な加工送り量を検出する加工送り量検出手段と、
該チャックテーブルと該レーザー光線照射手段との相対的な割り出し送り量を検出する割り出し送り量検出手段と、
被加工物に形成する細孔のX,Y座標値を記憶する記憶手段を備え、該記憶手段に記憶された細孔のX,Y座標値と該加工送り量検出手段および該割り出し送り量検出手段からの検出信号に基づいて該レーザー光線照射手段を制御する制御手段と、を具備し、
該制御手段は、該加工送り量検出手段および該割り出し送り量検出手段からの信号に基づいて該記憶手段に記憶された細孔のX,Y座標値が該レーザー光線照射手段の照射位置に達したとき、該レーザー光線照射手段に照射信号を出力する、
ことを特徴とするレーザー加工装置。
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