JP3817633B2 - 検査装置 - Google Patents
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Description
【発明の属する技術分野】
本発明は、検査装置に関し、更に詳しくは半導体ウエハ(以下、「ウエハ」と称す。)等の被検査体の検査中の振動を抑制することができる検査装置に関する。
【0002】
【従来の技術】
従来から被検査体(例えば、ウエハ)の電気的特性検査を行う検査装置としてプローブ装置が広く用いられている。従来のプローブ装置は、例えば図5に示すように、ウエハWを載置する載置台1と、この載置台1をX,Y方向へ移動させるX、Y方向移動機構2と、上記載置台1の上方に配置されたプローブカード3と、このプローブカード3とウエハWの位置合わせを行うアライメント機構4とを備えている。
【0003】
図5に示すように、X、Y方向移動機構2は、載置台1をX方向に移動させるX方向移動機構5と、X方向移動機構5をY方向に移動させるY方向移動機構6を備えている。X方向移動機構5は、載置台1を支持するXステージ5Aと、Xステージ5AをX方向へ移動案内する一対のガイドレール5Bと、Xステージ5Aと螺合するボールネジ5Cと、ボールネジ5Cを正逆回転させてXステージ5AをX方向に移動させるサーボモータ(図示せず)と、サーボモータの回転数を検出する検出器(図示せず)を備えている。Y方向移動機構6は、X方向移動機構5と同様に、Yステージ6A、ガイドレール6B、ボールネジ6C、サーボモータ6D及び検出器6Eを備えている。尚、図5において、7は基台である
【0004】
ウエハWの電気的特性検査を行う場合には、載置台1がX、Y方向移動機構2を介してX、Y方向に移動する間にアライメント機構4を介してウエハWとプローブカード3のプローブ3Aとを位置合わせした後、ウエハWをインデックス送りしながらウエハWとプローブ3Aを電気的に接触させて検査を行う。
【0005】
載置台1を移動させる時には載置台1がX、Y方向移動機構2を介して加速、減速して所定の距離だけ正確に移動するようにサーボモータを駆動制御している。ところが、最近ではウエハWの大口径化や超微細化に伴って載置台1が重量化していることから載置台1が停止した瞬間に振動が残るため、この停止時の振動が許容値に下がるまでの遅延時間を設け、載置台1の停止から遅延時間を経過した後にウエハWの検査を行っている。
【0006】
【発明が解決しようとする課題】
しかしながら、従来のようにウエハのインデックス送りを行なう度毎に残振動を許容値まで下げるための遅延時間を設けると、遅延時間の合計時間が長くなってスループットが低下するという課題があった。尚、このような載置台の制振機構としては例えば特開平11−189332号公報に記載されたカウンタマス機構、特開2000−133573号公報等に記載されたものが知られているが、いずれも構造的に複雑で制御技術も複雑である。
【0007】
本発明は、上記課題を解決するためになされたもので、載置台の停止時の振動を抑制して遅延時間を短縮し、スループットを高めることができる検査装置を提供することを目的としている。
【0008】
【課題を解決するための手段】
本発明の請求項1に記載の検査装置は、被検査体を載置する載置台と、この載置台をX、Y方向へ移動させるX、Y方向移動機構とを備え、上記載置台を上記X、Y方向移動機構を介して移動させて上記被検査体の電気的特性検査を行う検査装置において、上記載置台を移動させる時の駆動力とは逆向きの駆動力を移動体に加えて上記載置台の停止時に残る振動を抑制する制振機構を上記X、Y方向移動機構の下方に設け、上記制振機構は、それぞれX、Y方向で直交して移動するように上下に配置された少なくとも二つの移動体と、これらの移動体それぞれを上記載置台と同期させて個別に移動させる少なくとも二つの移動機構とを有することを特徴とするものである。
【0009】
また、本発明の請求項2に記載の検査装置は、請求項1に記載の発明において、X方向に移動する上記移動体は、Y方向の中央部に配置され、Y方向に移動する上記移動体は、X方向の中央部に配置されていることを特徴とするものである。
【0010】
また、本発明の請求項3に記載の検査装置は、請求項1または請求項2に記載の発明において、X方向に移動する上記移動体は、Y方向の中央から互いに反対方向に等距離ずつ離間して配置された複数の移動体からなり、Y方向に移動する上記移動体は、X方向の中央から互いに反対方向に等距離ずつ離間して配置された複数の移動体からなることを特徴とするものである。
【0011】
また、本発明の請求項4に記載の検査装置は、請求項1〜請求項3のいずれか1項に記載の発明において、上記移動機構は、上記移動体と螺合するボールネジと、このボールネジを正逆回転させるモータとを有することを特徴とするものである。
【0014】
【発明の実施の形態】
以下、図1〜図4に示す実施形態に基づいて本発明を説明する。尚、図1は本実施形態のプローブ装置を概念的に示した正面図である。
本実施形態の検査装置10は、図1、図2に示すように、検査室11内に配設され且つウエハWを載置する載置台12と、載置台12をX、Y方向に往復移動させるX、Y方向移動機構13と、X、Y方向移動機構13を介して移動する時の載置台12の振動を抑制する制振機構14とを備え、制御装置15の制御下で駆動するように構成されている。
【0015】
X、Y方向移動機構13は、図1及び図2の(a)に示すように、従来と同様にX方向移動機構16及びY方向移動機構17を備え、基台18上に配置されて制御装置15の制御下で駆動する。X方向移動機構16は、載置台12を支持するXテーブル16Aと、Xテーブル16AをX方向に移動案内する一対のXガイドレール16Bと、Xテーブル16Aを駆動するボールネジ(図示せず)と、ボールネジを正逆回転させるサーボモータ(図示せず)と、サーボモータの回転量を検出する検出器とを備え、X方向にウエハWのインデックス送りを行なってウエハWの検査を行なう。この際、制御装置15は検出器を介して検出されたボールネジの回転量に基づいてインデックス送り量をフィードバック制御する。
【0016】
Y方向移動機構17もX方向移動機構16と同様にYテーブル17A、Yガイドレール17B、ボールネジ及びサーボモータ(共に図示せず)を備え、ウエハWをY方向にデバイス1個分だけ送ってX方向のインデックス送り方向を逆方向に切り替える。Y方向の送り量は制御装置15でフィードバック制御する。
【0017】
従って、載置台12がXテーブル16A上をX方向で往復移動する際に、サーボモータが駆動してボールネジを介して載置台12をX方向に加減速して移動した後停止させると、サーボモータがXテーブル16A上に固定されているため、サーボモータの加減速に伴って載置台12からの反力がサーボモータに作用し、Xテーブル16Aを振動させる。そこで、本実施形態ではこの振動を制振機構14によって抑制する。
【0018】
而して、制振機構14は、例えば図1に示すように、基台18の下方に配置され、制御装置15の制御下で駆動する。この制振機構14は、図2の(b)に示すように、金属等の重量物からなる2個の移動体19、20と、これらの移動体19、20をX、Y方向へ載置台12と同期させて載置台12とは逆方向に加減速して移動させ且つ上下で互いに直交する第1、第2移動機構21、22とを備え、基台18を支持する支持体23に連結されている。
【0019】
第1移動機構21は、例えば図2の(b)に示すように、Y方向の中央部にX方向に沿って配設され且つ移動体19と螺合するボールネジ21Aと、このボールネジ21Aを両端で回転自在に支持し且つ支持体23に固定された二対の軸受け21Bと、これらの軸受け21Bで支持されたボールネジ21Aを正逆回転させるサーボモータ21Cと、このサーボモータ21Cを駆動させるドライバ21Dと、このドライバ21Dを介して回転するボールネジ21Aと平行に配設され且つ移動体19を貫通するガイドロッド21Eとを備え、載置台12がガイドレール16Bを左端と右端の間でインデックス送りによってX方向に移動する間に、移動体19が載置台12と同期して載置台12と略同一の駆動力でボールネジ21AをX方向の右端と左端の間でインデックス送りによってX方向を載置台12とは逆向きに移動する。
【0020】
また、第2移動機構22は、図2の(b)に示すように、第1移動機構21と同様にボールネジ22A、軸受け22B、サーボモータ22C、ドライバ22D及びガイドロッド22Eを備え、載置台12がガイドレール17Bを上端と下端の間でY方向に移動する間に、移動体20が載置台12と同期して載置台12と略同一の駆動力でボールネジ22Aを下端と上端の間でY方向を載置台12とは逆向きに移動する。
【0021】
例えば、質量31Kgの載置台12が0.62G(1G=9.8m/s2)の加速度で加減速する場合には載置台12に対して19.2Kgfの駆動力が図1及び図2の(a)に矢印Aで示す方向に作用し、この駆動力の反力がXステージ16Aに作用する。このため、載置台12が停止しても載置台12に振動が残る。
【0022】
一方、制振機構14では19.2Kgの移動体19が第1移動機構21を介して載置台12と同期して1.0Gの加速度で加減速し略19.2Kgfの駆動力が矢印Bで示す方向に作用し、この駆動力の反力でXステージ16Aに作用する載置台12からの反力を相殺し、延いては載置台12の停止時に残る振動を移動体19による逆向きの振動で抑制し、載置台12が停止までの遅延時間を短縮する。この時の載置台12のサーボモータの加減速と移動体19のサーボモータ21Cの加減速の様子を示したものが図3である。図3において、実線はXステージ16Aが駆動する時のサーボモータの回転数(PPS)の時間変化を示し、破線は移動体19が駆動する時のサーボモータの回転数(PPS)の時間変化を示している。載置台12のY方向の移動時には、Y方向移動機構17を介して載置台12に作用する力を相殺する力を第2移動機構22から移動体20に付与し、Y方向での振動を抑制する。
【0023】
本実施形態では第1、第2移動機構21、22が上下で互いに直交し、載置台12がX、Y方向の如何なる座標位置で移動しても載置台12の駆動力に対応する逆向きの駆動力が第1、第2移動機構21、22から移動体19、20に作用し、載置台12のインデックス送りに基づく振動を効率良く抑制する。
【0024】
次に動作について説明する。ウエハWを載置台12上に載置すると、アライメント機構(図示せず)を介してウエハWとプローブカードのプローブとのアライメントを行った後、ウエハW内の各デバイスについての電気的特性検査を行う。検査を行う際にはX、Y方向移動機構13が駆動して載置台12を介してウエハWをX、Y方向へインデックス送りを行うと共に、制振機構14の第1、第2移動機構21、22がX、Y方向移動機構13と同期して駆動して移動体19、20を載置台12とは逆向きに移動させる。この際、載置台12がガイドレール16BのX方向の左端を始点として右端まで移動すれば、移動体19はボールネジ21AのX方向の右端を始点として左端まで移動する。
【0025】
例えば、載置台12が図1及び図2の(a)に矢印Aで示すようにX方向に移動した後に停止すると、制振機構14の第1移動機構21がX、Y方向移動機構13と同期して駆動し移動体19が図1及び図2の(b)に矢印Bで示すようにX方向を逆向きに移動した後停止する。載置台12が停止する時にサーボモータに作用する反力でXテーブル16Aが振動するが、移動体19も載置台12と同期して停止する時にサーボモータ21CにXテーブル16Aの反力とは逆向きの反力が作用し、Xテーブル16Aの振動を相殺し、従来よりも格段に短い遅延時間でXテーブル16Aの振動を止める。その後、載置台12が上昇してウエハWとプローブが電気的に接触してデバイスの電気的特性検査を行うことができる。デバイスの検査を終えると、載置台12が下降し、載置台12と移動体19はそれぞれ上述の動作を繰り返してウエハWの検査を行なう。このように載置台12がX方向のインデックス送りで移動する度毎に制振機構14を介してXテーブル16Aの残振動を止め、遅延時間を短縮することができ、延いては検査のスループットを高めることができる。
【0026】
載置台12がガイドレール16Bの左端から右端に達すると、Y方向移動機構17が駆動してYテーブル17AがY方向にインデックス送りで移動して停止する。この際、載置台12が図2の(a)に矢印Cで示すようにY方向に移動した後停止すると、制振機構14の第2移動機構22がY方向移動機構17と同期して駆動し移動体20が図2の(b)に矢印Dで示すようにY方向を逆向きに移動した後停止し、Y方向の振動を短時間で停止させる。
【0027】
以上説明したように本実施形態によれば、載置台12を移動させる時の駆動力とは逆向きの駆動力を移動体19、20に加えて載置台12の停止時に残る振動を抑制する制振機構14を、X、Y方向移動機構16、17の下方に設け、制振機構14は、それぞれX、Y方向で直交して移動するように上下に配置された移動体19、20と、これらの移動体19、20それぞれを載置台12と同期させて個別に移動させる第1、第2移動機構21、22とを有し、ウエハWの検査を行う際に載置台12に基づく振動を抑制する方向に移動体19、20が同期して移動するようにしたため、従来の検査装置に制振機構14を付加するだけで、載置台12の停止時の振動を抑制して遅延時間を短縮し、検査のスループットを高めることができ、しかも、移動体19、20を直交して移動するように上下に配置するため、X、Y方向移動機構16、17の下方の適宜の位置に制振機構14を増設することができる。また、X方向に移動する移動体19は、Y方向の中央部に配置され、Y方向に移動する移動体20は、X方向の中央部に配置されているため、移動体19、20はX、Y方向の中央部を直交するように移動し、載置台12がX、Y方向の中央部に近づくほど載置台12の振動を短時間で抑制することができる。
【0028】
また、本実施形態によれば、制振機構14は、2個の移動体19、20と、これらの移動体19、20を載置台12と同期させて移動させる第1、第2移動機構21、22とを有するため、制振機構14を簡単な構成で構築することができる。しかも、制振機構14の第1、第2移動機構21、22がそれぞれ個別にX、Y方向移動機構13に同期して駆動するため、制振機構14の制御プログラムは従来のX、Y方向移動機構13の制御プログラムに準じて簡単に構築することができる。また、第1、第2移動機構21、22は、移動体19、20と螺合するボールネジ21A、22Aと、これらのボールネジを21A、22Aを正逆させるサーボモータ21C、22Cとを有する構成であるため、第1、第2移動機構21、22も簡単に構築することができる。
【0029】
また、図4の(a)、(b)はそれぞれ本発明の他の実施形態の制振機構の要部を示す平面図である。本実施形態の検査装置は制振機構40を異にする以外は上記実施形態に準じて構成されている。本実施形態の制振機構40は、例えば図4の(a)、(b)に示すように、上下にそれぞれ二系列の移動体19、20及び第1、第2移動機構21、22を備え、各移動体19、20が第1、第2移動機構21、22を介して載置台12と同期して載置台12とは逆向きに移動する。本実施形態の場合には各移動体19、20はそれぞれ載置台12の約半分の重さで形成されている。そして、上下の二系列の各移動体19、20はそれぞれ載置台12に基づく振動を抑制する配置であれば、各移動体19,20間の距離を適宜設定することができる。このように二系列の移動体19、20がそれぞれ離れた二箇所の位置から載置台12と同期して逆向きに移動することによって載置台12の振動をバランス良く抑制することができ、更に短時間で載置台12を完全停止させることができる。
【0030】
尚、本発明は上記実施形態に何等制限されるものではなく、必要に応じて各構成要素を適宜設計変更することができる。例えば、本実施形態では一系列及び二系列の移動体19、20とそれぞれの第1、第2移動機構21、22を有する制振機構14について説明したが、移動体及び第1、第2移動機構は三系列以上備えたものであっても良い。
【0031】
【発明の効果】
本発明の請求項1に記載の発明によれば、被検査体を載置する載置台と、この載置台をX、Y方向へ移動させるX、Y方向移動機構とを備え、上記載置台を上記X、Y方向移動機構を介して移動させて上記被検査体の電気的特性検査を行う検査装置において、上記載置台を移動させる時の駆動力とは逆向きの駆動力を移動体に加えて上記載置台の停止時に残る振動を抑制する制振機構を上記X、Y方向移動機構の下方に設け、上記制振機構は、それぞれX、Y方向で直交して移動するように上下に配置された少なくとも二つの移動体と、これらの移動体それぞれを上記載置台と同期させて個別に移動させる少なくとも二つの移動機構とを有するため、載置台の停止時の振動を抑制して遅延時間を短縮し、スループットを高めることができ、しかも従来の検査装置の設置面積を増やすことなく、X、Y方向移動機構の下方の適宜の位置に制振機構を増設できる検査装置を提供することができる。
また、本発明の請求項2に記載の発明によれば、請求項1に記載の発明において、X方向に移動する上記移動体は、Y方向の中央部に配置され、Y方向に移動する上記移動体は、X方向の中央部に配置されているため、載置台がX、Y方向の中央部にあるほど載置台の振動を効果的に抑制できる検査装置を提供することができる。
また、本発明の請求項3に記載の発明によれば、請求項1または請求項2に記載の発明において、X方向に移動する上記移動体は、Y方向の中央から互いに反対方向に等距離ずつ離間して配置された複数の移動体からなり、Y方向に移動する上記移動体は、X方向の中央から互いに反対方向に等距離ずつ離間して配置された複数の移動体からなるため、複数の移動体によって載置台の振動をバランス良く抑制できる検査装置を提供することができる。
また、本発明の請求項4に記載の発明によれば、請求項1〜請求項3のいずれか1項に記載の発明において、上記移動機構は、上記移動体と螺合するボールネジと、このボールネジを正逆回転させるモータとを有するため、移動機構をX、Y移動機構に準じて簡単に構築できる検査装置を提供することができる。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明の検査装置の一実施形態の要部を概念的に示す正面図である。
【図2】図1に示す検査装置の要部を示す平面図で、(a)は載置台及びX、Y方向移動機構を示す図、(b)は制振機構を示す平面図である。
【図3】(a)、(b)はそれぞれ本発明の検査装置の他の実施形態の上下の制振機構を示す平面図である。
【図4】図2の(a)、(b)に示すXテーブルを移動させる時の時間とX、Y移動機構のモータの回転数(PPS)との関係及び移動体と移動機構のモータの回転数(PPS)との関係を示すグラフである。
【図5】従来の検査装置の一例の要部を拡大して示す模式図である。
【符号の説明】
10 検査装置
12 載置台
13 X、Y方向移動機構
14、40 制振機構
15 制御装置
16 X方向移動機構
17 Y方向移動機構
19、20 移動体
21、22 移動機構
21A、22A ボールネジ
21C、22C サーボモータ
W ウエハ(被処理体)
Claims (4)
- 被検査体を載置する載置台と、この載置台をX、Y方向へ移動させるX、Y方向移動機構とを備え、上記載置台を上記X、Y方向移動機構を介して移動させて上記被検査体の電気的特性検査を行う検査装置において、上記載置台を移動させる時の駆動力とは逆向きの駆動力を移動体に加えて上記載置台の停止時に残る振動を抑制する制振機構を上記X、Y方向移動機構の下方に設け、上記制振機構は、それぞれX、Y方向で直交して移動するように上下に配置された少なくとも二つの移動体と、これらの移動体それぞれを上記載置台と同期させて個別に移動させる少なくとも二つの移動機構とを有することを特徴とする検査装置。
- X方向に移動する上記移動体は、Y方向の中央部に配置され、Y方向に移動する上記移動体は、X方向の中央部に配置されていることを特徴とする請求項1に記載の検査装置。
- X方向に移動する上記移動体は、Y方向の中央から互いに反対方向に等距離ずつ離間して配置された複数の移動体からなり、Y方向に移動する上記移動体は、X方向の中央から互いに反対方向に等距離ずつ離間して配置された複数の移動体からなることを特徴とする請求項1または請求項2に記載の検査装置。
- 上記移動機構は、上記移動体と螺合するボールネジと、このボールネジを正逆回転させるモータとを有することを特徴とする請求項1〜請求項3のいずれか1項に記載の検査装置。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2002056455A JP3817633B2 (ja) | 2002-03-01 | 2002-03-01 | 検査装置 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2002056455A JP3817633B2 (ja) | 2002-03-01 | 2002-03-01 | 検査装置 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2003258046A JP2003258046A (ja) | 2003-09-12 |
JP3817633B2 true JP3817633B2 (ja) | 2006-09-06 |
Family
ID=28667024
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2002056455A Expired - Fee Related JP3817633B2 (ja) | 2002-03-01 | 2002-03-01 | 検査装置 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP3817633B2 (ja) |
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
WO2016208938A1 (ko) * | 2015-06-23 | 2016-12-29 | 강유신 | 분동식 압력계의 피스톤 회전장치 |
Families Citing this family (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
KR100981648B1 (ko) | 2006-02-23 | 2010-09-10 | 씨에스전자(주) | 수동식 반도체 웨이퍼 검사장치 |
-
2002
- 2002-03-01 JP JP2002056455A patent/JP3817633B2/ja not_active Expired - Fee Related
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
WO2016208938A1 (ko) * | 2015-06-23 | 2016-12-29 | 강유신 | 분동식 압력계의 피스톤 회전장치 |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP2003258046A (ja) | 2003-09-12 |
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Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20041015 |
|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20051207 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20051220 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20060213 |
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A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
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R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
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FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20120623 Year of fee payment: 6 |
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