JP2003258046A - 検査装置及び検査方法 - Google Patents
検査装置及び検査方法Info
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Abstract
(57)【要約】
【課題】 従来のように載置台１が停止した時の残振動
を許容値まで下げるための遅延時間を設けると、遅延時
間の合計時間が長くなってスループットが低下する。 【解決手段】 本発明の検査装置１０は、ウエハＷを載
置する載置台１２と、載置台１２をＸ、Ｙ方向に往復移
動させる第１のＸ、Ｙ方向移動機構１３と、第１のＸ、
Ｙ方向移動機構１３を介して移動する時の載置台１２の
振動を抑制する制振機構１４とを備え、制御装置１５の
制御下で駆動するように構成されている。
を許容値まで下げるための遅延時間を設けると、遅延時
間の合計時間が長くなってスループットが低下する。 【解決手段】 本発明の検査装置１０は、ウエハＷを載
置する載置台１２と、載置台１２をＸ、Ｙ方向に往復移
動させる第１のＸ、Ｙ方向移動機構１３と、第１のＸ、
Ｙ方向移動機構１３を介して移動する時の載置台１２の
振動を抑制する制振機構１４とを備え、制御装置１５の
制御下で駆動するように構成されている。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、検査装置に関し、
更に詳しくは半導体ウエハ（以下、「ウエハ」と称
す。）等の被検査体の検査中の振動を抑制することがで
きる検査装置に関する。
更に詳しくは半導体ウエハ（以下、「ウエハ」と称
す。）等の被検査体の検査中の振動を抑制することがで
きる検査装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】従来から被検査体（例えば、ウエハ）の
電気的特性検査を行う検査装置としてプローブ装置が広
く用いられている。従来のプローブ装置は、例えば図５
に示すように、ウエハＷを載置する載置台１と、この載
置台１をＸ，Ｙ方向へ移動させるＸ、Ｙ方向移動機構２
と、上記載置台１の上方に配置されたプローブカード３
と、このプローブカード３とウエハＷの位置合わせを行
うアライメント機構４とを備えている。
電気的特性検査を行う検査装置としてプローブ装置が広
く用いられている。従来のプローブ装置は、例えば図５
に示すように、ウエハＷを載置する載置台１と、この載
置台１をＸ，Ｙ方向へ移動させるＸ、Ｙ方向移動機構２
と、上記載置台１の上方に配置されたプローブカード３
と、このプローブカード３とウエハＷの位置合わせを行
うアライメント機構４とを備えている。
【０００３】図５に示すように、Ｘ、Ｙ方向移動機構２
は、載置台１をＸ方向に移動させるＸ方向移動機構５
と、Ｘ方向移動機構５をＹ方向に移動させるＹ方向移動
機構６を備えている。Ｘ方向移動機構５は、載置台１を
支持するＸステージ５Ａと、Ｘステージ５ＡをＸ方向へ
移動案内する一対のガイドレール５Ｂと、Ｘステージ５
Ａと螺合するボールネジ５Ｃと、ボールネジ５Ｃを正逆
回転させてＸステージ５ＡをＸ方向に移動させるサーボ
モータ（図示せず）と、サーボモータの回転数を検出す
る検出器（図示せず）を備えている。Ｙ方向移動機構６
は、Ｘ方向移動機構５と同様に、Ｙステージ６Ａ、ガイ
ドレール６Ｂ、ボールネジ６Ｃ、サーボモータ６Ｄ及び
検出器６Ｅを備えている。尚、図５において、７は基台
である
は、載置台１をＸ方向に移動させるＸ方向移動機構５
と、Ｘ方向移動機構５をＹ方向に移動させるＹ方向移動
機構６を備えている。Ｘ方向移動機構５は、載置台１を
支持するＸステージ５Ａと、Ｘステージ５ＡをＸ方向へ
移動案内する一対のガイドレール５Ｂと、Ｘステージ５
Ａと螺合するボールネジ５Ｃと、ボールネジ５Ｃを正逆
回転させてＸステージ５ＡをＸ方向に移動させるサーボ
モータ（図示せず）と、サーボモータの回転数を検出す
る検出器（図示せず）を備えている。Ｙ方向移動機構６
は、Ｘ方向移動機構５と同様に、Ｙステージ６Ａ、ガイ
ドレール６Ｂ、ボールネジ６Ｃ、サーボモータ６Ｄ及び
検出器６Ｅを備えている。尚、図５において、７は基台
である
【０００４】ウエハＷの電気的特性検査を行う場合に
は、載置台１がＸ、Ｙ方向移動機構２を介してＸ、Ｙ方
向に移動する間にアライメント機構４を介してウエハＷ
とプローブカード３のプローブ３Ａとを位置合わせした
後、ウエハＷをインデックス送りしながらウエハＷとプ
ローブ３Ａを電気的に接触させて検査を行う。
は、載置台１がＸ、Ｙ方向移動機構２を介してＸ、Ｙ方
向に移動する間にアライメント機構４を介してウエハＷ
とプローブカード３のプローブ３Ａとを位置合わせした
後、ウエハＷをインデックス送りしながらウエハＷとプ
ローブ３Ａを電気的に接触させて検査を行う。
【０００５】載置台１を移動させる時には載置台１が
Ｘ、Ｙ方向移動機構２を介して加速、減速して所定の距
離だけ正確に移動するようにサーボモータを駆動制御し
ている。ところが、最近ではウエハＷの大口径化や超微
細化に伴って載置台１が重量化していることから載置台
１が停止した瞬間に振動が残るため、この停止時の振動
が許容値に下がるまでの遅延時間を設け、載置台１の停
止から遅延時間を経過した後にウエハＷの検査を行って
いる。
Ｘ、Ｙ方向移動機構２を介して加速、減速して所定の距
離だけ正確に移動するようにサーボモータを駆動制御し
ている。ところが、最近ではウエハＷの大口径化や超微
細化に伴って載置台１が重量化していることから載置台
１が停止した瞬間に振動が残るため、この停止時の振動
が許容値に下がるまでの遅延時間を設け、載置台１の停
止から遅延時間を経過した後にウエハＷの検査を行って
いる。
【０００６】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、従来の
ようにウエハのインデックス送りを行なう度毎に残振動
を許容値まで下げるための遅延時間を設けると、遅延時
間の合計時間が長くなってスループットが低下するとい
う課題があった。尚、このような載置台の制振機構とし
ては例えば特開平１１−１８９３３２号公報に記載され
たカウンタマス機構、特開２０００−１３３５７３号公
報等に記載されたものが知られているが、いずれも構造
的に複雑で制御技術も複雑である。
ようにウエハのインデックス送りを行なう度毎に残振動
を許容値まで下げるための遅延時間を設けると、遅延時
間の合計時間が長くなってスループットが低下するとい
う課題があった。尚、このような載置台の制振機構とし
ては例えば特開平１１−１８９３３２号公報に記載され
たカウンタマス機構、特開２０００−１３３５７３号公
報等に記載されたものが知られているが、いずれも構造
的に複雑で制御技術も複雑である。
【０００７】本発明は、上記課題を解決するためになさ
れたもので、載置台の停止時の振動を抑制して遅延時間
を短縮し、スループットを高めることができる検査装置
及び検査方法を提供することを目的としている。
れたもので、載置台の停止時の振動を抑制して遅延時間
を短縮し、スループットを高めることができる検査装置
及び検査方法を提供することを目的としている。
【０００８】
【課題を解決するための手段】本発明の請求項１に記載
の検査装置は、被検査体を載置する載置台と、この載置
台をＸ、Ｙ方向へ移動させるＸ、Ｙ方向移動機構とを備
え、上記載置台を上記Ｘ、Ｙ方向移動機構を介して移動
させて上記被検査体の電気的特性検査を行う検査装置に
おいて、上記載置台を移動させる時の駆動力とは逆向き
の駆動力を移動体に加えて上記載置台の停止時に残る振
動を抑制する制振機構を設けたことを特徴とするもので
ある。
の検査装置は、被検査体を載置する載置台と、この載置
台をＸ、Ｙ方向へ移動させるＸ、Ｙ方向移動機構とを備
え、上記載置台を上記Ｘ、Ｙ方向移動機構を介して移動
させて上記被検査体の電気的特性検査を行う検査装置に
おいて、上記載置台を移動させる時の駆動力とは逆向き
の駆動力を移動体に加えて上記載置台の停止時に残る振
動を抑制する制振機構を設けたことを特徴とするもので
ある。
【０００９】また、本発明の請求項２に記載の検査装置
は、請求項１に記載の発明において、上記制振機構は、
少なくとも二つの移動体と、これらの移動体をＸ方向及
びＹ方向に上記載置台と同期させて個別に移動させる少
なくとも二つの移動機構とを有することを特徴とするも
のである。
は、請求項１に記載の発明において、上記制振機構は、
少なくとも二つの移動体と、これらの移動体をＸ方向及
びＹ方向に上記載置台と同期させて個別に移動させる少
なくとも二つの移動機構とを有することを特徴とするも
のである。
【００１０】また、本発明の請求項３に記載の検査装置
は、請求項１または請求項２に記載の発明において、上
記移動機構は、上記移動体と螺合するボールネジと、こ
のボールネジを正逆回転させるモータとを有することを
特徴とするものである。
は、請求項１または請求項２に記載の発明において、上
記移動機構は、上記移動体と螺合するボールネジと、こ
のボールネジを正逆回転させるモータとを有することを
特徴とするものである。
【００１１】また、本発明の請求項４に記載の検査装置
は、請求項１〜請求項３のいずれか１項に記載の発明に
おいて、上記制振機構は、上記Ｘ、Ｙ方向移動機構の下
方に配置されていることを特徴とするものである。
は、請求項１〜請求項３のいずれか１項に記載の発明に
おいて、上記制振機構は、上記Ｘ、Ｙ方向移動機構の下
方に配置されていることを特徴とするものである。
【００１２】また、本発明の請求項５に記載の検査方法
は、被検査体を載置する載置台をＸ、Ｙ方向へ移動させ
て上記被検査体の電気的特性検査を行う検査方法におい
て、上記電気的特性検査を行う際に上記載置台に基づく
振動を抑制する方向に移動体を同期移動させることを特
徴とするものである。
は、被検査体を載置する載置台をＸ、Ｙ方向へ移動させ
て上記被検査体の電気的特性検査を行う検査方法におい
て、上記電気的特性検査を行う際に上記載置台に基づく
振動を抑制する方向に移動体を同期移動させることを特
徴とするものである。
【００１３】また、本発明の請求項６に記載の検査方法
は、請求項５に記載の発明において、上記移動体を上記
載置台とは逆方向の駆動力を加えて移動させることを特
徴とするものである。
は、請求項５に記載の発明において、上記移動体を上記
載置台とは逆方向の駆動力を加えて移動させることを特
徴とするものである。
【００１４】
【発明の実施の形態】以下、図１〜図４に示す実施形態
に基づいて本発明を説明する。尚、図１は本実施形態の
プローブ装置を概念的に示した正面図である。本実施形
態の検査装置１０は、図１、図２に示すように、検査室
１１内に配設され且つウエハＷを載置する載置台１２
と、載置台１２をＸ、Ｙ方向に往復移動させるＸ、Ｙ方
向移動機構１３と、Ｘ、Ｙ方向移動機構１３を介して移
動する時の載置台１２の振動を抑制する制振機構１４と
を備え、制御装置１５の制御下で駆動するように構成さ
れている。
に基づいて本発明を説明する。尚、図１は本実施形態の
プローブ装置を概念的に示した正面図である。本実施形
態の検査装置１０は、図１、図２に示すように、検査室
１１内に配設され且つウエハＷを載置する載置台１２
と、載置台１２をＸ、Ｙ方向に往復移動させるＸ、Ｙ方
向移動機構１３と、Ｘ、Ｙ方向移動機構１３を介して移
動する時の載置台１２の振動を抑制する制振機構１４と
を備え、制御装置１５の制御下で駆動するように構成さ
れている。
【００１５】Ｘ、Ｙ方向移動機構１３は、図１及び図２
の（ａ）に示すように、従来と同様にＸ方向移動機構１
６及びＹ方向移動機構１７を備え、基台１８上に配置さ
れて制御装置１５の制御下で駆動する。Ｘ方向移動機構
１６は、載置台１２を支持するＸテーブル１６Ａと、Ｘ
テーブル１６ＡをＸ方向に移動案内する一対のＸガイド
レール１６Ｂと、Ｘテーブル１６Ａを駆動するボールネ
ジ（図示せず）と、ボールネジを正逆回転させるサーボ
モータ（図示せず）と、サーボモータの回転量を検出す
る検出器とを備え、Ｘ方向にウエハＷのインデックス送
りを行なってウエハＷの検査を行なう。この際、制御装
置１５は検出器を介して検出されたボールネジの回転量
に基づいてインデックス送り量をフィードバック制御す
る。
の（ａ）に示すように、従来と同様にＸ方向移動機構１
６及びＹ方向移動機構１７を備え、基台１８上に配置さ
れて制御装置１５の制御下で駆動する。Ｘ方向移動機構
１６は、載置台１２を支持するＸテーブル１６Ａと、Ｘ
テーブル１６ＡをＸ方向に移動案内する一対のＸガイド
レール１６Ｂと、Ｘテーブル１６Ａを駆動するボールネ
ジ（図示せず）と、ボールネジを正逆回転させるサーボ
モータ（図示せず）と、サーボモータの回転量を検出す
る検出器とを備え、Ｘ方向にウエハＷのインデックス送
りを行なってウエハＷの検査を行なう。この際、制御装
置１５は検出器を介して検出されたボールネジの回転量
に基づいてインデックス送り量をフィードバック制御す
る。
【００１６】Ｙ方向移動機構１７もＸ方向移動機構１６
と同様にＹテーブル１７Ａ、Ｙガイドレール１７Ｂ、ボ
ールネジ及びサーボモータ（共に図示せず）を備え、ウ
エハＷをＹ方向にデバイス１個分だけ送ってＸ方向のイ
ンデックス送り方向を逆方向に切り替える。Ｙ方向の送
り量は制御装置１５でフィードバック制御する。
と同様にＹテーブル１７Ａ、Ｙガイドレール１７Ｂ、ボ
ールネジ及びサーボモータ（共に図示せず）を備え、ウ
エハＷをＹ方向にデバイス１個分だけ送ってＸ方向のイ
ンデックス送り方向を逆方向に切り替える。Ｙ方向の送
り量は制御装置１５でフィードバック制御する。
【００１７】従って、載置台１２がＸテーブル１６Ａ上
をＸ方向で往復移動する際に、サーボモータが駆動して
ボールネジを介して載置台１２をＸ方向に加減速して移
動した後停止させると、サーボモータがＸテーブル１６
Ａ上に固定されているため、サーボモータの加減速に伴
って載置台１２からの反力がサーボモータに作用し、Ｘ
テーブル１６Ａを振動させる。そこで、本実施形態では
この振動を制振機構１４によって抑制する。
をＸ方向で往復移動する際に、サーボモータが駆動して
ボールネジを介して載置台１２をＸ方向に加減速して移
動した後停止させると、サーボモータがＸテーブル１６
Ａ上に固定されているため、サーボモータの加減速に伴
って載置台１２からの反力がサーボモータに作用し、Ｘ
テーブル１６Ａを振動させる。そこで、本実施形態では
この振動を制振機構１４によって抑制する。
【００１８】而して、制振機構１４は、例えば図１に示
すように、基台１８の下方に配置され、制御装置１５の
制御下で駆動する。この制振機構１４は、図２の（ｂ）
に示すように、金属等の重量物からなる２個の移動体１
９、２０と、これらの移動体１９、２０をＸ、Ｙ方向へ
載置台１２と同期させて載置台１２とは逆方向に加減速
して移動させ且つ上下で互いに直交する第１、第２移動
機構２１、２２とを備え、基台１８を支持する支持体２
３に連結されている。
すように、基台１８の下方に配置され、制御装置１５の
制御下で駆動する。この制振機構１４は、図２の（ｂ）
に示すように、金属等の重量物からなる２個の移動体１
９、２０と、これらの移動体１９、２０をＸ、Ｙ方向へ
載置台１２と同期させて載置台１２とは逆方向に加減速
して移動させ且つ上下で互いに直交する第１、第２移動
機構２１、２２とを備え、基台１８を支持する支持体２
３に連結されている。
【００１９】第１移動機構２１は、例えば図２の（ｂ）
に示すように、Ｙ方向の中央部にＸ方向に沿って配設さ
れ且つ移動体１９と螺合するボールネジ２１Ａと、この
ボールネジ２１Ａを両端で回転自在に支持し且つ支持体
２３に固定された二対の軸受け２１Ｂと、これらの軸受
け２１Ｂで支持されたボールネジ２１Ａを正逆回転させ
るサーボモータ２１Ｃと、このサーボモータ２１Ｃを駆
動させるドライバ２１Ｄと、このドライバ２１Ｄを介し
て回転するボールネジ２１Ａと平行に配設され且つ移動
体１９を貫通するガイドロッド２１Ｅとを備え、載置台
１２がガイドレール１６Ｂを左端と右端の間でインデッ
クス送りによってＸ方向に移動する間に、移動体１９が
載置台１２と同期して載置台１２と略同一の駆動力でボ
ールネジ２１ＡをＸ方向の右端と左端の間でインデック
ス送りによってＸ方向を載置台１２とは逆向きに移動す
る。
に示すように、Ｙ方向の中央部にＸ方向に沿って配設さ
れ且つ移動体１９と螺合するボールネジ２１Ａと、この
ボールネジ２１Ａを両端で回転自在に支持し且つ支持体
２３に固定された二対の軸受け２１Ｂと、これらの軸受
け２１Ｂで支持されたボールネジ２１Ａを正逆回転させ
るサーボモータ２１Ｃと、このサーボモータ２１Ｃを駆
動させるドライバ２１Ｄと、このドライバ２１Ｄを介し
て回転するボールネジ２１Ａと平行に配設され且つ移動
体１９を貫通するガイドロッド２１Ｅとを備え、載置台
１２がガイドレール１６Ｂを左端と右端の間でインデッ
クス送りによってＸ方向に移動する間に、移動体１９が
載置台１２と同期して載置台１２と略同一の駆動力でボ
ールネジ２１ＡをＸ方向の右端と左端の間でインデック
ス送りによってＸ方向を載置台１２とは逆向きに移動す
る。
【００２０】また、第２移動機構２２は、図２の（ｂ）
に示すように、第１移動機構２１と同様にボールネジ２
２Ａ、軸受け２２Ｂ、サーボモータ２２Ｃ、ドライバ２
２Ｄ及びガイドロッド２２Ｅを備え、載置台１２がガイ
ドレール１７Ｂを上端と下端の間でＹ方向に移動する間
に、移動体２０が載置台１２と同期して載置台１２と略
同一の駆動力でボールネジ２２Ａを下端と上端の間でＹ
方向を載置台１２とは逆向きに移動する。
に示すように、第１移動機構２１と同様にボールネジ２
２Ａ、軸受け２２Ｂ、サーボモータ２２Ｃ、ドライバ２
２Ｄ及びガイドロッド２２Ｅを備え、載置台１２がガイ
ドレール１７Ｂを上端と下端の間でＹ方向に移動する間
に、移動体２０が載置台１２と同期して載置台１２と略
同一の駆動力でボールネジ２２Ａを下端と上端の間でＹ
方向を載置台１２とは逆向きに移動する。
【００２１】例えば、質量３１Ｋｇの載置台１２が０．
６２Ｇ（１Ｇ＝９.８ｍ／ｓ２）の加速度で加減速する
場合には載置台１２に対して１９．２Ｋｇｆの駆動力が
図１及び図２の（ａ）に矢印Ａで示す方向に作用し、こ
の駆動力の反力がＸステージ１６Ａに作用する。このた
め、載置台１２が停止しても載置台１２に振動が残る。
６２Ｇ（１Ｇ＝９.８ｍ／ｓ２）の加速度で加減速する
場合には載置台１２に対して１９．２Ｋｇｆの駆動力が
図１及び図２の（ａ）に矢印Ａで示す方向に作用し、こ
の駆動力の反力がＸステージ１６Ａに作用する。このた
め、載置台１２が停止しても載置台１２に振動が残る。
【００２２】一方、制振機構１４では１９．２Ｋｇの移
動体１９が第１移動機構２１を介して載置台１２と同期
して１．０Ｇの加速度で加減速し略１９．２Ｋｇｆの駆
動力が矢印Ｂで示す方向に作用し、この駆動力の反力で
Ｘステージ１６Ａに作用する載置台１２からの反力を相
殺し、延いては載置台１２の停止時に残る振動を移動体
１９による逆向きの振動で抑制し、載置台１２が停止ま
での遅延時間を短縮する。この時の載置台１２のサーボ
モータの加減速と移動体１９のサーボモータ２１Ｃの加
減速の様子を示したものが図３である。図３において、
実線はＸステージ１６Ａが駆動する時のサーボモータの
回転数（ＰＰＳ）の時間変化を示し、破線は移動体１９
が駆動する時のサーボモータの回転数（ＰＰＳ）の時間
変化を示している。載置台１２のＹ方向の移動時には、
Ｙ方向移動機構１７を介して載置台１２に作用する力を
相殺する力を第２移動機構２２から移動体２０に付与
し、Ｙ方向での振動を抑制する。
動体１９が第１移動機構２１を介して載置台１２と同期
して１．０Ｇの加速度で加減速し略１９．２Ｋｇｆの駆
動力が矢印Ｂで示す方向に作用し、この駆動力の反力で
Ｘステージ１６Ａに作用する載置台１２からの反力を相
殺し、延いては載置台１２の停止時に残る振動を移動体
１９による逆向きの振動で抑制し、載置台１２が停止ま
での遅延時間を短縮する。この時の載置台１２のサーボ
モータの加減速と移動体１９のサーボモータ２１Ｃの加
減速の様子を示したものが図３である。図３において、
実線はＸステージ１６Ａが駆動する時のサーボモータの
回転数（ＰＰＳ）の時間変化を示し、破線は移動体１９
が駆動する時のサーボモータの回転数（ＰＰＳ）の時間
変化を示している。載置台１２のＹ方向の移動時には、
Ｙ方向移動機構１７を介して載置台１２に作用する力を
相殺する力を第２移動機構２２から移動体２０に付与
し、Ｙ方向での振動を抑制する。
【００２３】本実施形態では第１、第２移動機構２１、
２２が上下で互いに直交し、載置台１２がＸ、Ｙ方向の
如何なる座標位置で移動しても載置台１２の駆動力に対
応する逆向きの駆動力が第１、第２移動機構２１、２２
から移動体１９、２０に作用し、載置台１２のインデッ
クス送りに基づく振動を効率良く抑制する。
２２が上下で互いに直交し、載置台１２がＸ、Ｙ方向の
如何なる座標位置で移動しても載置台１２の駆動力に対
応する逆向きの駆動力が第１、第２移動機構２１、２２
から移動体１９、２０に作用し、載置台１２のインデッ
クス送りに基づく振動を効率良く抑制する。
【００２４】次に動作について説明する。ウエハＷを載
置台１２上に載置すると、アライメント機構（図示せ
ず）を介してウエハＷとプローブカードのプローブとの
アライメントを行った後、ウエハＷ内の各デバイスにつ
いての電気的特性検査を行う。検査を行う際にはＸ、Ｙ
方向移動機構１３が駆動して載置台１２を介してウエハ
ＷをＸ、Ｙ方向へインデックス送りを行うと共に、制振
機構１４の第１、第２移動機構２１、２２がＸ、Ｙ方向
移動機構１３と同期して駆動して移動体１９、２０を載
置台１２とは逆向きに移動させる。この際、載置台１２
がガイドレール１６ＢのＸ方向の左端を始点として右端
まで移動すれば、移動体１９はボールネジ２１ＡのＸ方
向の右端を始点として左端まで移動する。
置台１２上に載置すると、アライメント機構（図示せ
ず）を介してウエハＷとプローブカードのプローブとの
アライメントを行った後、ウエハＷ内の各デバイスにつ
いての電気的特性検査を行う。検査を行う際にはＸ、Ｙ
方向移動機構１３が駆動して載置台１２を介してウエハ
ＷをＸ、Ｙ方向へインデックス送りを行うと共に、制振
機構１４の第１、第２移動機構２１、２２がＸ、Ｙ方向
移動機構１３と同期して駆動して移動体１９、２０を載
置台１２とは逆向きに移動させる。この際、載置台１２
がガイドレール１６ＢのＸ方向の左端を始点として右端
まで移動すれば、移動体１９はボールネジ２１ＡのＸ方
向の右端を始点として左端まで移動する。
【００２５】例えば、載置台１２が図１及び図２の
（ａ）に矢印Ａで示すようにＸ方向に移動した後に停止
すると、制振機構１４の第１移動機構２１がＸ、Ｙ方向
移動機構１３と同期して駆動し移動体１９が図１及び図
２の（ｂ）に矢印Ｂで示すようにＸ方向を逆向きに移動
した後停止する。載置台１２が停止する時にサーボモー
タに作用する反力でＸテーブル１６Ａが振動するが、移
動体１９も載置台１２と同期して停止する時にサーボモ
ータ２１ＣにＸテーブル１６Ａの反力とは逆向きの反力
が作用し、Ｘテーブル１６Ａの振動を相殺し、従来より
も格段に短い遅延時間でＸテーブル１６Ａの振動を止め
る。その後、載置台１２が上昇してウエハＷとプローブ
が電気的に接触してデバイスの電気的特性検査を行うこ
とができる。デバイスの検査を終えると、載置台１２が
下降し、載置台１２と移動体１９はそれぞれ上述の動作
を繰り返してウエハＷの検査を行なう。このように載置
台１２がＸ方向のインデックス送りで移動する度毎に制
振機構１４を介してＸテーブル１６Ａの残振動を止め、
遅延時間を短縮することができ、延いては検査のスルー
プットを高めることができる。
（ａ）に矢印Ａで示すようにＸ方向に移動した後に停止
すると、制振機構１４の第１移動機構２１がＸ、Ｙ方向
移動機構１３と同期して駆動し移動体１９が図１及び図
２の（ｂ）に矢印Ｂで示すようにＸ方向を逆向きに移動
した後停止する。載置台１２が停止する時にサーボモー
タに作用する反力でＸテーブル１６Ａが振動するが、移
動体１９も載置台１２と同期して停止する時にサーボモ
ータ２１ＣにＸテーブル１６Ａの反力とは逆向きの反力
が作用し、Ｘテーブル１６Ａの振動を相殺し、従来より
も格段に短い遅延時間でＸテーブル１６Ａの振動を止め
る。その後、載置台１２が上昇してウエハＷとプローブ
が電気的に接触してデバイスの電気的特性検査を行うこ
とができる。デバイスの検査を終えると、載置台１２が
下降し、載置台１２と移動体１９はそれぞれ上述の動作
を繰り返してウエハＷの検査を行なう。このように載置
台１２がＸ方向のインデックス送りで移動する度毎に制
振機構１４を介してＸテーブル１６Ａの残振動を止め、
遅延時間を短縮することができ、延いては検査のスルー
プットを高めることができる。
【００２６】載置台１２がガイドレール１６Ｂの左端か
ら右端に達すると、Ｙ方向移動機構１７が駆動してＹテ
ーブル１７ＡがＹ方向にインデックス送りで移動して停
止する。この際、載置台１２が図２の（ａ）に矢印Ｃで
示すようにＹ方向に移動した後停止すると、制振機構１
４の第２移動機構２２がＹ方向移動機構１７と同期して
駆動し移動体２０が図２の（ｂ）に矢印Ｄで示すように
Ｙ方向を逆向きに移動した後停止し、Ｙ方向の振動を短
時間で停止させる。
ら右端に達すると、Ｙ方向移動機構１７が駆動してＹテ
ーブル１７ＡがＹ方向にインデックス送りで移動して停
止する。この際、載置台１２が図２の（ａ）に矢印Ｃで
示すようにＹ方向に移動した後停止すると、制振機構１
４の第２移動機構２２がＹ方向移動機構１７と同期して
駆動し移動体２０が図２の（ｂ）に矢印Ｄで示すように
Ｙ方向を逆向きに移動した後停止し、Ｙ方向の振動を短
時間で停止させる。
【００２７】以上説明したように本実施形態によれば、
載置台１２を移動させる時の駆動力とは逆向きの駆動力
を移動体１９、２０に加えて載置台１２の停止時に残る
振動を抑制する制振機構１４を設け、ウエハＷの検査を
行う際に載置台１２に基づく振動を抑制する方向に移動
体、２０が同期して移動するようにしたため、従来の検
査装置に制振機構１４を付加するだけで、載置台１２の
停止時の振動を抑制して遅延時間を短縮し、検査のスル
ープットを高めることができる。
載置台１２を移動させる時の駆動力とは逆向きの駆動力
を移動体１９、２０に加えて載置台１２の停止時に残る
振動を抑制する制振機構１４を設け、ウエハＷの検査を
行う際に載置台１２に基づく振動を抑制する方向に移動
体、２０が同期して移動するようにしたため、従来の検
査装置に制振機構１４を付加するだけで、載置台１２の
停止時の振動を抑制して遅延時間を短縮し、検査のスル
ープットを高めることができる。
【００２８】また、本実施形態によれば、制振機構１４
は、２個の移動体１９、２０と、これらの移動体１９、
２０を載置台１２と同期させて移動させる第１、第２移
動機構２１、２２とを有するため、制振機構１４を簡単
な構成で構築することができる。しかも、制振機構１４
の第１、第２移動機構２１、２２がそれぞれ個別にＸ、
Ｙ方向移動機構１３に同期して駆動するため、制振機構
１４の制御プログラムは従来のＸ、Ｙ方向移動機構１３
の制御プログラムに準じて簡単に構築することができ
る。また、第１、第２移動機構２１、２２は、移動体１
９、２０と螺合するボールネジ２１Ａ、２２Ａと、これ
らのボールネジを２１Ａ、２２Ａを正逆させるサーボモ
ータ２１Ｃ、２２Ｃとを有する構成であるため、第１、
第２移動機構２１、２２も簡単に構築することができ
る。
は、２個の移動体１９、２０と、これらの移動体１９、
２０を載置台１２と同期させて移動させる第１、第２移
動機構２１、２２とを有するため、制振機構１４を簡単
な構成で構築することができる。しかも、制振機構１４
の第１、第２移動機構２１、２２がそれぞれ個別にＸ、
Ｙ方向移動機構１３に同期して駆動するため、制振機構
１４の制御プログラムは従来のＸ、Ｙ方向移動機構１３
の制御プログラムに準じて簡単に構築することができ
る。また、第１、第２移動機構２１、２２は、移動体１
９、２０と螺合するボールネジ２１Ａ、２２Ａと、これ
らのボールネジを２１Ａ、２２Ａを正逆させるサーボモ
ータ２１Ｃ、２２Ｃとを有する構成であるため、第１、
第２移動機構２１、２２も簡単に構築することができ
る。
【００２９】また、図４の（ａ）、（ｂ）はそれぞれ本
発明の他の実施形態の制振機構の要部を示す平面図であ
る。本実施形態の検査装置は制振機構４０を異にする以
外は上記実施形態に準じて構成されている。本実施形態
の制振機構４０は、例えば図４の（ａ）、（ｂ）に示す
ように、上下にそれぞれ二系列の移動体１９、２０及び
第１、第２移動機構２１、２２を備え、各移動体１９、
２０が第１、第２移動機構２１、２２を介して載置台１
２と同期して載置台１２とは逆向きに移動する。本実施
形態の場合には各移動体１９、２０はそれぞれ載置台１
２の約半分の重さで形成されている。そして、上下の二
系列の各移動体１９、２０はそれぞれ載置台１２に基づ
く振動を抑制する配置であれば、各移動体１９，２０間
の距離を適宜設定することができる。このように二系列
の移動体１９、２０がそれぞれ離れた二箇所の位置から
載置台１２と同期して逆向きに移動することによって載
置台１２の振動をバランス良く抑制することができ、更
に短時間で載置台１２を完全停止させることができる。
発明の他の実施形態の制振機構の要部を示す平面図であ
る。本実施形態の検査装置は制振機構４０を異にする以
外は上記実施形態に準じて構成されている。本実施形態
の制振機構４０は、例えば図４の（ａ）、（ｂ）に示す
ように、上下にそれぞれ二系列の移動体１９、２０及び
第１、第２移動機構２１、２２を備え、各移動体１９、
２０が第１、第２移動機構２１、２２を介して載置台１
２と同期して載置台１２とは逆向きに移動する。本実施
形態の場合には各移動体１９、２０はそれぞれ載置台１
２の約半分の重さで形成されている。そして、上下の二
系列の各移動体１９、２０はそれぞれ載置台１２に基づ
く振動を抑制する配置であれば、各移動体１９，２０間
の距離を適宜設定することができる。このように二系列
の移動体１９、２０がそれぞれ離れた二箇所の位置から
載置台１２と同期して逆向きに移動することによって載
置台１２の振動をバランス良く抑制することができ、更
に短時間で載置台１２を完全停止させることができる。
【００３０】尚、本発明は上記実施形態に何等制限され
るものではなく、必要に応じて各構成要素を適宜設計変
更することができる。例えば、本実施形態では一系列及
び二系列の移動体１９、２０とそれぞれの第１、第２移
動機構２１、２２を有する制振機構１４について説明し
たが、移動体及び第１、第２移動機構は三系列以上備え
たものであっても良い。
るものではなく、必要に応じて各構成要素を適宜設計変
更することができる。例えば、本実施形態では一系列及
び二系列の移動体１９、２０とそれぞれの第１、第２移
動機構２１、２２を有する制振機構１４について説明し
たが、移動体及び第１、第２移動機構は三系列以上備え
たものであっても良い。
【００３１】
【発明の効果】本発明の請求項１〜請求項６に記載の発
明によれば、載置台の停止時の振動を抑制して遅延時間
を短縮し、スループットを高めることができる検査装置
及び検査方法を提供することができる。
明によれば、載置台の停止時の振動を抑制して遅延時間
を短縮し、スループットを高めることができる検査装置
及び検査方法を提供することができる。
【図１】本発明の検査装置の一実施形態の要部を概念的
に示す正面図である。
に示す正面図である。
【図２】図１に示す検査装置の要部を示す平面図で、
（ａ）は載置台及びＸ、Ｙ方向移動機構を示す図、
（ｂ）は制振機構を示す平面図である。
（ａ）は載置台及びＸ、Ｙ方向移動機構を示す図、
（ｂ）は制振機構を示す平面図である。
【図３】（ａ）、（ｂ）はそれぞれ本発明の検査装置の
他の実施形態の上下の制振機構を示す平面図である。
他の実施形態の上下の制振機構を示す平面図である。
【図４】図２の（ａ）、（ｂ）に示すＸテーブルを移動
させる時の時間とＸ、Ｙ移動機構のモータの回転数（Ｐ
ＰＳ）との関係及び移動体と移動機構のモータの回転数
（ＰＰＳ）との関係を示すグラフである。
させる時の時間とＸ、Ｙ移動機構のモータの回転数（Ｐ
ＰＳ）との関係及び移動体と移動機構のモータの回転数
（ＰＰＳ）との関係を示すグラフである。
【図５】従来の検査装置の一例の要部を拡大して示す模
式図である。
式図である。
１０ 検査装置
１２ 載置台
１３ Ｘ、Ｙ方向移動機構
１４、４０ 制振機構
１５ 制御装置
１６ Ｘ方向移動機構
１７ Ｙ方向移動機構
１９、２０ 移動体
２１、２２ 移動機構
２１Ａ、２２Ａ ボールネジ
２１Ｃ、２２Ｃ サーボモータ
Ｗ ウエハ（被処理体）
Claims (6)
- 【請求項１】 被検査体を載置する載置台と、この載置
台をＸ、Ｙ方向へ移動させるＸ、Ｙ方向移動機構とを備
え、上記載置台を上記Ｘ、Ｙ方向移動機構を介して移動
させて上記被検査体の電気的特性検査を行う検査装置に
おいて、上記載置台を移動させる時の駆動力とは逆向き
の駆動力を移動体に加えて上記載置台の停止時に残る振
動を抑制する制振機構を設けたことを特徴とする検査装
置。 - 【請求項２】 上記制振機構は、少なくとも二つの移動
体と、これらの移動体をＸ方向及びＹ方向に上記載置台
と同期させて個別に移動させる少なくとも二つの移動機
構とを有することを特徴とする請求項１に記載の検査装
置。 - 【請求項３】 上記移動機構は、上記移動体と螺合する
ボールネジと、このボールネジを正逆回転させるモータ
とを有することを特徴とする請求項１または請求項２に
記載の検査装置。 - 【請求項４】 上記制振機構は、上記Ｘ、Ｙ方向移動機
構の下方に配置されていることを特徴とする請求項１〜
請求項３のいずれか１項に記載の検査装置。 - 【請求項５】 被検査体を載置する載置台をＸ、Ｙ方向
へ移動させて上記被検査体の電気的特性検査を行う検査
方法において、上記電気的特性検査を行う際に上記載置
台に基づく振動を抑制する方向に移動体を同期移動させ
ることを特徴とする検査方法。 - 【請求項６】 上記移動体を上記載置台とは逆方向の駆
動力を加えて移動させることを特徴とする請求項５に記
載の検査方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2002056455A JP3817633B2 (ja) | 2002-03-01 | 2002-03-01 | 検査装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2002056455A JP3817633B2 (ja) | 2002-03-01 | 2002-03-01 | 検査装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JP2003258046A true JP2003258046A (ja) | 2003-09-12 |
| JP3817633B2 JP3817633B2 (ja) | 2006-09-06 |
Family
ID=28667024
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP2002056455A Expired - Fee Related JP3817633B2 (ja) | 2002-03-01 | 2002-03-01 | 検査装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP3817633B2 (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| KR100981648B1 (ko) | 2006-02-23 | 2010-09-10 | 씨에스전자(주) | 수동식 반도체 웨이퍼 검사장치 |
Families Citing this family (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| KR101641081B1 (ko) * | 2015-06-23 | 2016-07-20 | 강유신 | 분동식 압력계의 피스톤 회전장치 |
-
2002
- 2002-03-01 JP JP2002056455A patent/JP3817633B2/ja not_active Expired - Fee Related
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| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| KR100981648B1 (ko) | 2006-02-23 | 2010-09-10 | 씨에스전자(주) | 수동식 반도체 웨이퍼 검사장치 |
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|---|---|
| JP3817633B2 (ja) | 2006-09-06 |
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