JP2004349697A - 半導体の実装装置 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】ウエハ・テーブル4は、基板テーブル10の支持面9に対して斜めに傾いており、ウエハ・テーブル4の一部が基板テーブル10の下方に位置している。ピック・アンド・プレイス・システム7は、首振りアーム13を有するシャトル12を備え、首振りアーム13が、接合ヘッド15を保持している。首振りアーム13は、所定の2つの首振り位置の間を振り子状に往復可能であり、第1の首振り位置において、首振りアーム13の長手軸17が基板テーブル10の支持面9の垂線18に対し角度φを有し、第2の首振り位置において、首振りアーム13の長手軸17が基板テーブル10の支持面9に直交して走る。角度φは、10°〜50°の範囲にある。
【効果】短い経路が実現でき、かつ半導体チップが移動する高さの差は、無視できる。
【選択図】図1
Description
・首振りアーム13が第1の首振り位置へと首振りされ、シャトル12が、首振りアーム13の長手軸17が位置Aに合致する位置yAに向かって移動する。
・チップ把持具16が、位置Aに提示されている半導体チップをウエハ・テーブル4から採取する。
・首振りアーム13が第2の首振り位置へと首振りされ、シャトル12が、首振りアーム13の長手軸17が半導体チップ2の基板3上への設置位置Bkに合致する位置ykに向かって移動する。首振りアーム13の首振り動作とシャトル12の移動は、互いに組み合わされる。
・把持具16が、採取した半導体チップ2を、位置Bkにおいて基板3上に設置する。
・採取位置Aから実装位置Bkまでの搬送経路が短い。
・首振りアーム13の半径に沿って測定すると、採取位置Aが、基板テーブル10の支持面9のごくわずか上方または下方に位置するため、搬送経路が乗り越えるべき高さの差が全くない、あるいは無視できるほどわずかしかない。半径方向の高さの差は、角度φ、首振りアーム13の長さ、およびウエハ・テーブル4の位置によって決まる。この例では、例えば2個または3個の(異なる)半導体チップが互いに重ねて実装されるいわゆる「スタックド・ダイ」に用いた場合においても、接合ヘッド15の首振りアーム13の長手軸17に沿った動きが最大約±15mm、好ましくは±10mmよりも小さくても位置Aで半導体チップを採取して位置Bkへと置くことができるよう、半径方向の高さの差が小さい値に設定されている。
・首振りアーム13の首振り動作が、シャトル12の位置yAから位置ykへの移動と同時に行われる。このため、首振り動作のために、シャトル12が移動に必要とする最大の時間が利用可能である。これは、揺れの抑制および首振りアーム13の位置決め時間確保に好ましい効果がある。
・採取位置Aから基板位置Bkまでの経路が短いので、ピック・アンド・プレイス・システム7をコンパクトな構成にでき、したがって機械的剛性を高めることが容易であり、これはすなわち、揺れに対する感受性を小さくできることを意味する。
Claims (4)
- 基板(3)のための支持面(9)を備える基板テーブル(10)、
半導体チップ(2)を第1の位置に提示するためのウエハ・テーブル(4)、および
第1の位置に提示された半導体チップ(2)を採取し、該半導体チップ(2)を基板(3)上に設置するピック・アンド・プレイス・システム(7)
からなる半導体の実装装置であって、
ウエハ・テーブル(4)が、基板テーブル(10)の支持面(9)に対して所定の角度φで斜めに位置し、さらにウエハ・テーブル(4)の一部が、基板テーブル(10)の直下に位置し、
ピック・アンド・プレイス・システム(7)が、首振りアーム(13)を保持し所定の方向(y)に移動可能なシャトル(12)を備え、
第1の位置に提示された半導体チップ(2)を採取するため、シャトル(12)が第1の位置へと動かされるとともに首振りアーム(13)が第1の首振り位置へと振り子状に動かされ、首振りアーム(13)の長手軸(17)が基板テーブル(10)の支持面(9)の垂線(28)と角度φを形成し、
半導体チップ(2)を基板(3)上に設置するため、シャトル(12)がもう1つの位置へと動かされるとともに首振りアーム(13)が第2の首振り位置へと振り子状に動かされ、首振りアーム(13)の長手軸(17)が基板テーブル(10)の支持面(9)に直交して走る
半導体の実装装置。 - 角度φが10°〜50°の範囲にあることを特徴とする請求項1に記載の装置。
- 角度φが20°〜35°の範囲にあることを特徴とする請求項1に記載の装置。
- 首振りアーム(13)の第1および第2の首振り位置が、首振りアーム(13)の第1および第2の首振り位置において互いに展張位置にある2本のレバー(19、20)によって決定されることを特徴とする請求項1〜3のいずれか一項に記載の装置。
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