JP2013115428A - 半導体チップの実装装置 - Google Patents
半導体チップの実装装置 Download PDFInfo
- Publication number
- JP2013115428A JP2013115428A JP2012241517A JP2012241517A JP2013115428A JP 2013115428 A JP2013115428 A JP 2013115428A JP 2012241517 A JP2012241517 A JP 2012241517A JP 2012241517 A JP2012241517 A JP 2012241517A JP 2013115428 A JP2013115428 A JP 2013115428A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- support table
- head
- semiconductor chip
- substrate
- camera
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 title claims abstract description 71
- 239000000758 substrate Substances 0.000 claims abstract description 41
- 238000005070 sampling Methods 0.000 claims description 19
- 238000000034 method Methods 0.000 abstract description 6
- 239000011888 foil Substances 0.000 description 4
- 230000008901 benefit Effects 0.000 description 2
- 238000003908 quality control method Methods 0.000 description 1
- 238000000926 separation method Methods 0.000 description 1
Classifications
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L21/00—Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
- H01L21/02—Manufacture or treatment of semiconductor devices or of parts thereof
- H01L21/04—Manufacture or treatment of semiconductor devices or of parts thereof the devices having potential barriers, e.g. a PN junction, depletion layer or carrier concentration layer
- H01L21/50—Assembly of semiconductor devices using processes or apparatus not provided for in a single one of the subgroups H01L21/06 - H01L21/326, e.g. sealing of a cap to a base of a container
-
- H—ELECTRICITY
- H05—ELECTRIC TECHNIQUES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H05K—PRINTED CIRCUITS; CASINGS OR CONSTRUCTIONAL DETAILS OF ELECTRIC APPARATUS; MANUFACTURE OF ASSEMBLAGES OF ELECTRICAL COMPONENTS
- H05K13/00—Apparatus or processes specially adapted for manufacturing or adjusting assemblages of electric components
- H05K13/04—Mounting of components, e.g. of leadless components
- H05K13/0404—Pick-and-place heads or apparatus, e.g. with jaws
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L21/00—Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
- H01L21/67—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere
- H01L21/67005—Apparatus not specifically provided for elsewhere
- H01L21/67011—Apparatus for manufacture or treatment
- H01L21/67144—Apparatus for mounting on conductive members, e.g. leadframes or conductors on insulating substrates
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L24/00—Arrangements for connecting or disconnecting semiconductor or solid-state bodies; Methods or apparatus related thereto
- H01L24/74—Apparatus for manufacturing arrangements for connecting or disconnecting semiconductor or solid-state bodies
- H01L24/75—Apparatus for connecting with bump connectors or layer connectors
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L2224/00—Indexing scheme for arrangements for connecting or disconnecting semiconductor or solid-state bodies and methods related thereto as covered by H01L24/00
- H01L2224/74—Apparatus for manufacturing arrangements for connecting or disconnecting semiconductor or solid-state bodies and for methods related thereto
- H01L2224/75—Apparatus for connecting with bump connectors or layer connectors
- H01L2224/757—Means for aligning
- H01L2224/75701—Means for aligning in the lower part of the bonding apparatus, e.g. in the apparatus chuck
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L2224/00—Indexing scheme for arrangements for connecting or disconnecting semiconductor or solid-state bodies and methods related thereto as covered by H01L24/00
- H01L2224/74—Apparatus for manufacturing arrangements for connecting or disconnecting semiconductor or solid-state bodies and for methods related thereto
- H01L2224/75—Apparatus for connecting with bump connectors or layer connectors
- H01L2224/757—Means for aligning
- H01L2224/75702—Means for aligning in the upper part of the bonding apparatus, e.g. in the bonding head
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L2224/00—Indexing scheme for arrangements for connecting or disconnecting semiconductor or solid-state bodies and methods related thereto as covered by H01L24/00
- H01L2224/74—Apparatus for manufacturing arrangements for connecting or disconnecting semiconductor or solid-state bodies and for methods related thereto
- H01L2224/75—Apparatus for connecting with bump connectors or layer connectors
- H01L2224/758—Means for moving parts
- H01L2224/75801—Lower part of the bonding apparatus, e.g. XY table
- H01L2224/75804—Translational mechanism
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L2224/00—Indexing scheme for arrangements for connecting or disconnecting semiconductor or solid-state bodies and methods related thereto as covered by H01L24/00
- H01L2224/74—Apparatus for manufacturing arrangements for connecting or disconnecting semiconductor or solid-state bodies and for methods related thereto
- H01L2224/75—Apparatus for connecting with bump connectors or layer connectors
- H01L2224/758—Means for moving parts
- H01L2224/75821—Upper part of the bonding apparatus, i.e. bonding head
- H01L2224/75822—Rotational mechanism
-
- Y—GENERAL TAGGING OF NEW TECHNOLOGICAL DEVELOPMENTS; GENERAL TAGGING OF CROSS-SECTIONAL TECHNOLOGIES SPANNING OVER SEVERAL SECTIONS OF THE IPC; TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
- Y10—TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC
- Y10T—TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER US CLASSIFICATION
- Y10T29/00—Metal working
- Y10T29/53—Means to assemble or disassemble
- Y10T29/5313—Means to assemble electrical device
- Y10T29/53174—Means to fasten electrical component to wiring board, base, or substrate
- Y10T29/53178—Chip component
Landscapes
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Manufacturing & Machinery (AREA)
- Microelectronics & Electronic Packaging (AREA)
- Computer Hardware Design (AREA)
- Power Engineering (AREA)
- Physics & Mathematics (AREA)
- Condensed Matter Physics & Semiconductors (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Die Bonding (AREA)
- Wire Bonding (AREA)
- Supply And Installment Of Electrical Components (AREA)
- Container, Conveyance, Adherence, Positioning, Of Wafer (AREA)
Abstract
【解決手段】半導体チップ12を実装するための装置は、ダイレクト・モードおよびパラレル・モードで作動し、ダイレクト・モードでは、キャリッジ6が第1の位置にあり、制御ユニット9は、接合ヘッド5が半導体チップ12をウェーハ・テーブル1から基板2へ設置するようピック・アンド・プレース・システム4を作動させる。パラレル・モードでは、キャリッジ6が第2の位置にあり、制御ユニット9は、採取ヘッド7、サポート・テーブル8およびピック・アンド・プレース・システム4を、採取ヘッド7が半導体チップ12をウェーハ・テーブル1からサポート・テーブル8へ設置する、および、接合ヘッド5が半導体チップ12をサポート・テーブル8から基板2へ設置する方法で、作動させる。
【選択図】図1
Description
図面は非比例尺である。
図面の説明は以下の通りである:
−キャリッジ6は、第1の位置にあり、
−制御ユニット9は、ピック・アンド・プレース・システム4を、接合ヘッド5が、半導体チップ12をウェーハ・テーブル1から次々に採取し、同じものを基板2に設置するような方法で作動させる。
したがって、採取ヘッド7およびサポート・テーブル8は、ダイレクト・モードでは用いられない。
−キャリッジ6は、第2の位置あり、
−制御ユニット9は、採取ヘッド7、サポート・テーブル8およびピック・アンド・プレース・システム4を、採取ヘッド7が半導体チップ12をウェーハ・テーブル1から次々に採取し、同じものをサポート・テーブル8に設置し、および、接合ヘッド5が半導体チップ12をサポート・テーブル8から次々に採取し、同じものを基板2に設置する。
−採取位置Aに次の半導体チップ12を供給するためにウェーハ・テーブル1を移動する。
−供給された半導体チップ12の画像を第1のカメラ10で撮る。
−採取ヘッド7をその第1の首振り位置に枢動させ、ウェーハ・テーブル1から供給された半導体チップを採取する。
−サポート・テーブル8を、その第1の端位置まで移動させる。
この状態を、図3に示す。
−採取ヘッド7をその第2の首振り位置に枢動させ、サポート・テーブル8上に半導体チップ12を設置する。
−次の半導体チップ12を採取位置Aに供給するために、ウェーハ・テーブル1を移動させる。
−供給された半導体チップ12の画像を第1のカメラ10で撮る。
第1のカメラ10の視野を、破線によって示す。
この状態を、図4に示す。
−サポート・テーブル8をその第2の端位置に移動させる。
−第2のカメラ11を、その視野がサポート・テーブルの方を向く位置に移動させる。
−半導体チップ12を所定の方向に位置合わせするために、必要に応じてサポート・テーブル8を回転させる。
−第2のカメラ11で、サポート・テーブル8に配置された半導体チップ12の画像を撮る。記録中の第2のカメラ11の視野を、破線で示す。
この状態を、図5に示す。
−第2のカメラ11を、その視野が、半導体チップ12が設置されるべき基板位置の方を向く位置に移動させる。
−接合ヘッド5をサポート・テーブル8へ移動し、サポート・テーブル8から半導体チップ12を採取する。
−第2のカメラ11で、半導体チップ12が設置されるべき基板位置の画像を撮る。
記録中の第2のカメラ11の視野を、破線によって示す。
この状態を、図6に示す。
−品質管理のためのオプションとして、第2のカメラ11で、前回の半導体チップ12が設置されていた基板位置の画像を撮る。
−接合ヘッド5を基板位置へ移動し、基板位置上に半導体チップ12を設置する。
「基板」という用語は、明細書および請求項の用語の範囲内で、広義に解釈される。
すなわち、例えば、基板は、半導体チップがすでに実装されている基板であることができ、そこでは、更なる半導体チップが、すでに実装されている半導体チップの上に実装される。これに対する例は、例えば、メモリ・チップで用いられる、いわゆる「積層ダイ」への適用である。
2 基板
3 搬送方向
4 ピック・アンド・プレース・システム
5 接合ヘッド
6 キャリッジ
7 採取ヘッド
8 サポート・テーブル
9 制御ユニット
10 第1のカメラ
11 第2のカメラ
12 半導体チップ
13 キャリア箔
14 チップ・エジェクタ
15 静止キャリア
16 方向
17 軸
18 軸
19 支持面
Claims (2)
- 半導体チップ(12)を実装するための装置であって、
単一の接合ヘッド(5)を有するピック・アンド・プレース・システム(4)と、
単一の採取ヘッド(7)と、
サポート・テーブル(8)と、
制御ユニット(9)と、を有し、
前記採取ヘッド(7)および前記サポート・テーブル(8)は、キャリッジ(6)に取り付けられ、
前記キャリッジ(6)は、第1の位置と第2の位置との間で往復運動で移動可能である装置であって、
前記装置は、ダイレクト・モードおよびパラレル・モードで作動するように構成され、前記ダイレクト・モードにおいて、
前記キャリッジ(6)は、駐在位置である前記第1の位置にあり、この位置で、前記サポート・テーブル(8)および前記採取ヘッド(7)は、前記ピック・アンド・プレース・システム(4)の前記接合ヘッド(5)の作業領域の外側にあり、および、前記制御ユニット(9)は、前記接合ヘッド(5)が半導体チップ(12)をウェーハ・テーブル(1)から次々に採取し、同じものを基板(2)に設置するような方法で、前記ピック・アンド・プレース・システム(4)を作動させ、
および、前記パラレル・モードにおいて、
前記キャリッジ(6)は、前記第2の位置にあり、前記制御ユニット(9)は、前記採取ヘッド(7)、前記サポート・テーブル(8)および前記ピック・アンド・プレース・システム(4)を、前記採取ヘッド(7)が半導体チップ(12)を前記ウェーハ・テーブル(1)から次々に採取し、同じものを前記サポート・テーブル(8)に設置し、および、前記接合ヘッド(5)が半導体チップ(12)を前記サポート・テーブル(8)から次々に採取し、同じものを前記基板(2)に設置するような方法で、作動させる、装置。 - 請求項1に記載の装置であって、前記装置はたった2つのカメラ(10、11)、すなわち第1のカメラ(10)および第2のカメラ(11)を有し、
前記サポート・テーブル(8)は、第1の端位置と第2の端位置との間を往復運動で移動可能であり、
前記パラレル・モードで、前記制御ユニット(9)は、前記サポート・テーブル(8)を前記第1の端位置(この位置で、前記採取ヘッド(7)は、前記採取された半導体チップ(12)を前記サポート・テーブル(8)の上に設置する)に移動させ、
それから、前記サポート・テーブル(8)を前記第2の端位置(この位置で、前記接合ヘッド(5)は、前記半導体チップ(12)を前記サポート・テーブル(8)から採取する)に移動させるように構成され
前記第1のカメラ(10)の視野は、前記ウェーハ・テーブル(1)上の採取位置の方に向けられ、および、
前記第2のカメラ(11)は、前記第2のカメラ(11)の視野を、前記サポート・テーブル(8)がその第2の端位置にあるときには前記サポート・テーブル(8)の方に、
または、前記半導体チップ(12)が設置される前記基板位置の方に、向けるために移動可能に取り付けられる、装置。
Applications Claiming Priority (2)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
CH01886/11A CH705802B1 (de) | 2011-11-25 | 2011-11-25 | Einrichtung für die Montage von Halbleiterchips. |
CH01886/11 | 2011-11-25 |
Publications (3)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2013115428A true JP2013115428A (ja) | 2013-06-10 |
JP2013115428A5 JP2013115428A5 (ja) | 2015-12-17 |
JP6217958B2 JP6217958B2 (ja) | 2017-10-25 |
Family
ID=48366057
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2012241517A Active JP6217958B2 (ja) | 2011-11-25 | 2012-11-01 | 半導体チップの実装装置 |
Country Status (10)
Country | Link |
---|---|
US (1) | US9603294B2 (ja) |
JP (1) | JP6217958B2 (ja) |
KR (1) | KR101991965B1 (ja) |
CN (1) | CN103137526B (ja) |
CH (1) | CH705802B1 (ja) |
DE (1) | DE102012110604B4 (ja) |
FR (1) | FR2983344B1 (ja) |
MY (1) | MY160071A (ja) |
SG (1) | SG190511A1 (ja) |
TW (1) | TWI555110B (ja) |
Families Citing this family (9)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN105531809B (zh) * | 2013-09-13 | 2019-03-15 | 豪锐恩科技私人有限公司 | 用于将半导体芯片对于键合头定位的系统和方法、热键合系统和方法 |
US9136243B2 (en) * | 2013-12-03 | 2015-09-15 | Kulicke And Soffa Industries, Inc. | Systems and methods for determining and adjusting a level of parallelism related to bonding of semiconductor elements |
WO2016017029A1 (ja) * | 2014-08-01 | 2016-02-04 | 富士機械製造株式会社 | 部品装着方法および部品装着装置 |
DE102016113328B4 (de) | 2015-08-31 | 2018-07-19 | Besi Switzerland Ag | Verfahren für die Montage von mit Bumps versehenen Halbleiterchips auf Substratplätzen eines Substrats |
CH711536B1 (de) * | 2015-08-31 | 2019-02-15 | Besi Switzerland Ag | Verfahren für die Montage von mit Bumps versehenen Halbleiterchips auf Substratplätzen eines Substrats. |
DE102015220746A1 (de) * | 2015-10-23 | 2017-04-27 | Ersa Gmbh | Verfahren und Vorrichtung zur Platzierung elektronischer Bauteile |
JP7164314B2 (ja) * | 2017-04-28 | 2022-11-01 | ベシ スウィッツァーランド エージー | 部品を基板上に搭載する装置及び方法 |
JP7340774B2 (ja) * | 2019-05-23 | 2023-09-08 | パナソニックIpマネジメント株式会社 | 部品圧着装置および部品圧着方法 |
CN113471107B (zh) * | 2021-06-29 | 2022-04-19 | 深圳新益昌科技股份有限公司 | 固晶机及固晶方法 |
Citations (6)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH09186180A (ja) * | 1995-09-16 | 1997-07-15 | Samsung Aerospace Ind Ltd | ダイボンディング装置 |
JP2003086611A (ja) * | 2001-09-07 | 2003-03-20 | Heiwa Kinzoku Kogyo Kk | Icダイボンド装置 |
JP2004179517A (ja) * | 2002-11-28 | 2004-06-24 | Shinkawa Ltd | ボンディング装置、ボンディング方法及びボンディングプログラム |
JP2010016271A (ja) * | 2008-07-07 | 2010-01-21 | Panasonic Corp | 電子部品ボンディング装置 |
JP2010123770A (ja) * | 2008-11-20 | 2010-06-03 | Panasonic Corp | 部品実装装置および部品実装方法 |
JP4496007B2 (ja) * | 2003-05-21 | 2010-07-07 | イーエスイーシー トレイディング エスエー | 半導体の実装装置 |
Family Cites Families (20)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US5251266A (en) * | 1990-08-27 | 1993-10-05 | Sierra Research And Technology, Inc. | System for placement and mounting of fine pitch integrated circuit devices using a split mirror assembly |
KR0175267B1 (ko) * | 1995-09-30 | 1999-04-01 | 김광호 | 회전운동을 하는 픽업 툴을 구비하는 다이 본딩 장치 |
DE59603376D1 (de) | 1996-02-29 | 1999-11-18 | Alphasem Ag Berg | Verfahren und vorrichtung zum aufnehmen, orientieren und montieren von bauelementen |
JP2002271093A (ja) * | 2001-03-07 | 2002-09-20 | Fuji Mach Mfg Co Ltd | 電気部品装着システム |
JP3636127B2 (ja) * | 2001-10-12 | 2005-04-06 | 松下電器産業株式会社 | 電子部品実装装置および電子部品実装方法 |
KR20030046306A (ko) | 2001-12-05 | 2003-06-12 | 에섹 트레이딩 에스에이 | 반도체 칩을 설치하기 위한 장치 |
SG104292A1 (en) | 2002-01-07 | 2004-06-21 | Advance Systems Automation Ltd | Flip chip bonder and method therefor |
US7033842B2 (en) * | 2002-03-25 | 2006-04-25 | Matsushita Electric Industrial Co., Ltd. | Electronic component mounting apparatus and electronic component mounting method |
TWI231561B (en) | 2003-05-21 | 2005-04-21 | Esec Trading Sa | Apparatus for mounting semiconductors |
JP4156460B2 (ja) * | 2003-07-09 | 2008-09-24 | Tdk株式会社 | ワークのピックアップ方法及びその装置、実装機 |
WO2005041630A1 (en) * | 2003-10-24 | 2005-05-06 | Matsushita Electric Industrial Co. Ltd. | Electronic component mounting apparatus and electronic component mounting method |
JP4111160B2 (ja) * | 2004-03-26 | 2008-07-02 | 松下電器産業株式会社 | 電子部品搭載装置および電子部品搭載方法 |
US8137050B2 (en) | 2005-09-29 | 2012-03-20 | Semiconductor Energy Laboratory Co., Ltd. | Pickup device and pickup method |
US8914971B2 (en) * | 2006-04-12 | 2014-12-23 | Kulicke & Soffa Die Bonding Gmbh | Method and apparatus for the placement of electronic components, in particular semi conductor chips on a substrate |
KR20080041471A (ko) | 2006-11-07 | 2008-05-13 | 삼성전자주식회사 | 다이 본더 |
CH698718B1 (de) * | 2007-01-31 | 2009-10-15 | Oerlikon Assembly Equipment Ag | Vorrichtung für die Montage eines Flipchips auf einem Substrat. |
WO2009047214A2 (en) | 2007-10-09 | 2009-04-16 | Oerlikon Assembly Equipment Ag, Steinhausen | Method for picking up semiconductor chips from a wafer table and mounting the removed semiconductor chips on a substrate |
US8215005B2 (en) | 2007-12-03 | 2012-07-10 | Panasonic Corporation | Chip mounting system |
CN101842000B (zh) * | 2009-03-19 | 2014-04-30 | 鸿富锦精密工业(深圳)有限公司 | 贴附装置及使用该贴附装置的贴附方法 |
JP4766144B2 (ja) * | 2009-04-08 | 2011-09-07 | パナソニック株式会社 | 電子部品実装装置 |
-
2011
- 2011-11-25 CH CH01886/11A patent/CH705802B1/de not_active IP Right Cessation
-
2012
- 2012-09-13 US US13/614,622 patent/US9603294B2/en active Active
- 2012-10-04 SG SG2012074092A patent/SG190511A1/en unknown
- 2012-10-09 MY MYPI2012700751A patent/MY160071A/en unknown
- 2012-11-01 JP JP2012241517A patent/JP6217958B2/ja active Active
- 2012-11-06 DE DE102012110604.5A patent/DE102012110604B4/de active Active
- 2012-11-08 FR FR1260577A patent/FR2983344B1/fr active Active
- 2012-11-23 KR KR1020120133579A patent/KR101991965B1/ko active IP Right Grant
- 2012-11-23 TW TW101143833A patent/TWI555110B/zh active
- 2012-11-23 CN CN201210483718.1A patent/CN103137526B/zh active Active
Patent Citations (6)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH09186180A (ja) * | 1995-09-16 | 1997-07-15 | Samsung Aerospace Ind Ltd | ダイボンディング装置 |
JP2003086611A (ja) * | 2001-09-07 | 2003-03-20 | Heiwa Kinzoku Kogyo Kk | Icダイボンド装置 |
JP2004179517A (ja) * | 2002-11-28 | 2004-06-24 | Shinkawa Ltd | ボンディング装置、ボンディング方法及びボンディングプログラム |
JP4496007B2 (ja) * | 2003-05-21 | 2010-07-07 | イーエスイーシー トレイディング エスエー | 半導体の実装装置 |
JP2010016271A (ja) * | 2008-07-07 | 2010-01-21 | Panasonic Corp | 電子部品ボンディング装置 |
JP2010123770A (ja) * | 2008-11-20 | 2010-06-03 | Panasonic Corp | 部品実装装置および部品実装方法 |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
KR101991965B1 (ko) | 2019-06-21 |
TW201330154A (zh) | 2013-07-16 |
KR20130058628A (ko) | 2013-06-04 |
MY160071A (en) | 2017-02-15 |
FR2983344B1 (fr) | 2019-01-25 |
US9603294B2 (en) | 2017-03-21 |
CN103137526B (zh) | 2017-12-19 |
TWI555110B (zh) | 2016-10-21 |
JP6217958B2 (ja) | 2017-10-25 |
CH705802B1 (de) | 2016-04-15 |
CH705802A1 (de) | 2013-05-31 |
CN103137526A (zh) | 2013-06-05 |
DE102012110604B4 (de) | 2024-05-23 |
US20130133188A1 (en) | 2013-05-30 |
DE102012110604A1 (de) | 2013-05-29 |
SG190511A1 (en) | 2013-06-28 |
FR2983344A1 (fr) | 2013-05-31 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JP6217958B2 (ja) | 半導体チップの実装装置 | |
KR101614204B1 (ko) | 다이 픽업 유닛, 이를 포함하는 다이 본딩 장치 및 방법 | |
SG173943A1 (en) | Rotary die bonding apparatus and methodology thereof | |
TWI287841B (en) | Method and apparatus for mounting semiconductor chips | |
JP6513226B2 (ja) | 電子部品ハンドリングユニット | |
US20120210554A1 (en) | Apparatus and method for picking up and mounting bare dies | |
US10388555B2 (en) | Bonding apparatus and bonding method | |
JP2010073924A (ja) | 部品実装装置 | |
KR20170042955A (ko) | 다이 본딩 장치 | |
JP2023169199A (ja) | ダイ取り付けシステム、およびダイを基板に取り付ける方法 | |
JP5185739B2 (ja) | 部品実装装置 | |
CN1898789A (zh) | 半导体预装件的传送机制和传送方法 | |
CN113561630B (zh) | 一种用于太阳能电池的印刷装置 | |
KR101372503B1 (ko) | 칩 이송장치 및 그 제어 방법 | |
JP2019114785A (ja) | 装置及びシステム | |
JP2019149399A (ja) | ボンディング装置 | |
JP2004349697A (ja) | 半導体の実装装置 | |
KR101584328B1 (ko) | 향상된 칩 이송 속도를 갖는 칩 이송장치 | |
KR20170042957A (ko) | 반도체 다이들을 이송하기 위한 다이 셔틀 및 이를 포함하는 다이 본딩 장치 | |
KR102231171B1 (ko) | 다이 픽업 유닛 및 이를 갖는 다이 본딩 장치 | |
KR102539924B1 (ko) | 전자 부품의 실장 장치 | |
KR102552469B1 (ko) | 전자 부품의 실장 장치 | |
JP4222179B2 (ja) | 電子部品搭載装置および電子部品搭載方法 | |
KR101543843B1 (ko) | 다이 본딩 장치 | |
JP5479961B2 (ja) | 電子部品の実装装置及び実装方法 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20151028 |
|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20151028 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20160113 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20160607 |
|
A02 | Decision of refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A02 Effective date: 20161220 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20170331 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20170510 |
|
A911 | Transfer to examiner for re-examination before appeal (zenchi) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A911 Effective date: 20170703 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20170815 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20170913 |
|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Ref document number: 6217958 Country of ref document: JP Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |