JP4222179B2 - 電子部品搭載装置および電子部品搭載方法 - Google Patents
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クタ8はチップ突き上げ用のエジェクタピン(図示省略)を昇降させるピン昇降機構を備えており、後述する搭載ヘッドによってウェハリング5からチップ6をピックアップする際には、エジェクタピンによってウェハリング5の下方からチップ6を突き上げることにより、チップ6はウェハリング5に展張されたシートから剥離される。エジェクタ8は、チップ6をウェハリング5に展張されたシートから剥離するシート剥離機構となっている。
ビーム部材30の右側の側端部にはナット部材23bが突設されており、ナット部材23bに螺合した送りねじ23aは、第1のY軸ベース20A上に水平方向で配設されたY軸モータ22によって回転駆動される。Y軸モータ22を駆動することにより、センタービーム部材30は第1方向ガイド21に沿ってY方向に水平移動する。
ド21に沿って移動させる第1方向駆動機構(Y軸モータ24,送りねじ25aおよびナット部材25b)と、第1のカメラ34を第2ガイド45に沿って移動させる第2方向駆動機構(X軸モータ43,送りねじ44aおよびナット部材44b)とは、第1のカメラ34を基板保持部10の上方で移動させる第1のカメラ移動機構を構成する。
カメラ移動機構を、X軸モータ46,Y軸モータ26は、第2のカメラ35を移動させる第2のカメラ移動機構をそれぞれ駆動する。
aを撮像して画像を取り込み、その後第1のカメラ34をこの基板16の上方から退避させる。
、大型サイズのウェハを対象とする場合にあっても、安定したウェハ交換作業が実現される。
3 ウェハ保持テーブル
5 ウェハリング
6 チップ
10 基板保持部
16 基板
17 ウェハ供給部
30 センタービーム部材
31 第1ビーム部材
32 第2ビーム部材
33 搭載ヘッド
34 第1のカメラ
35 第2のカメラ
49 治具交換機構
49a チャック部
49b チャック部昇降機構
Claims (2)
- 部品保持治具に平面状に複数個並べて保持された電子部品を供給する電子部品供給部と、前記電子部品供給部から第1方向へ離れた位置に配置された基板保持部と、前記電子部品供給部からピックアップした電子部品を保持し、保持した電子部品を前記基板保持部に保持された基板に搭載する搭載ヘッドと、前記搭載ヘッドを前記電子部品供給部と前記基板保持部との間で移動させる搭載ヘッド移動機構と、前記電子部品供給部の電子部品を撮像する部品撮像カメラと、前記部品撮像カメラで撮像した画像を処理して前記電子部品供給部の電子部品の位置を求める部品認識処理部と、前記部品撮像カメラを保持し部品撮像カメラ移動機構によって前記電子部品供給部の上方で第1方向に移動する両持ち支持型の移動ビームと、前記移動ビームに装着され前記部品保持治具を把持して第1方向に移動させることにより前記電子部品供給部の部品保持治具を交換する治具交換機構とを備えたことを特徴とする電子部品搭載装置。
- 部品保持治具に平面状に複数個並べて保持された電子部品を供給する電子部品供給部と、前記電子部品供給部から第1方向へ離れた位置に配置された基板保持部と、前記電子部品供給部からピックアップした電子部品を保持し、保持した電子部品を前記基板保持部に保持された基板に搭載する搭載ヘッドと、前記搭載ヘッドを前記電子部品供給部と前記基板保持部との間で移動させる搭載ヘッド移動機構と、前記電子部品供給部の電子部品を撮像する部品撮像カメラと、前記部品撮像カメラで撮像した画像を処理して前記電子部品供給部の電子部品の位置を求める部品認識処理部と、前記部品撮像カメラを保持し部品撮像カメラ移動機構によって前記電子部品供給部の上方で第1方向に移動する両持ち支持型の移動ビームと、前記移動ビームに装着され前記部品保持治具を把持して第1方向に移動させることにより前記電子部品供給部の部品保持治具を交換する治具交換機構とを備えた電子部品搭載装置による電子部品搭載方法であって、
前記部品撮像カメラ移動機構により前記部品撮像カメラを前記電子部品供給部に移動させて電子部品を撮像し、その後部品撮像カメラをこの電子部品供給部の上方から退避させるカメラ退避ステップと、前記部品撮像カメラで撮像した画像を前記部品認識処理部で処理して前記複数の電子部品の位置を求める部品認識ステップと、前記部品認識処理部で求めた複数の電子部品の位置に基づいて前記搭載ヘッドを複数の電子部品に順次位置決めする位置決め動作を前記搭載ヘッド移動機構に行わせながら前記搭載ヘッドで複数の電子部品を順次ピックアップする部品取り出しステップと、前記搭載ヘッドを前記搭載ヘッド移動機構によって移動させながら前記搭載ヘッドに保持されている電子部品を前記基板保持部に保持された基板に順次搭載する部品搭載ステップと、この搭載中に前記部品撮像カメラを再び電子部品供給部の上方に進出させて次にピックアップされる複数の電子部品を撮像するカメラ進出ステップを含み、
前記カメラ退避ステップを反復実行する過程において前記治具交換機構によって電子部品供給部から前記部品保持治具を搬出し、前記カメラ進出ステップを反復実行する過程において前記治具交換機構によって電子部品供給部に前記部品保持治具を搬入することを特徴とする電子部品搭載方法。
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