JP2010016271A - 電子部品ボンディング装置 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】基板位置決めステージ4と電子部品供給ステージ3との間に中継ステージ5を配置し、ピックアップヘッド6によって電子部品供給ステージ3から取り出され中継ステージ5に載置された電子部品をボンディングヘッド10Aによって基板位置決めステージ4に移送する形態または電子部品供給ステージ3から直接取り出した電子部品をボンディングヘッド10Aによって基板位置決めステージ4に移送する形態とを選択可能な構成において、ピックアップヘッド6を移動させるピックアップヘッド移動機構7をベース部2の端部に配置された門型フレーム8のビーム部材8bの下面に縣吊状態で結合し、ピックアップヘッド移動機構7の下方に電子部品供給ステージ3の一部が進入可能な空間Sを確保する。
【選択図】図2
Description
仮置きして位置ずれを補正するための載置部を別途設ける必要があり、設備専有面積の削減は困難であった。また特許文献2に示す先行技術においても同様に、フェイスダウン姿勢でのボンディング形態には対応することができず、またヘッド相互の動作の干渉を防止するための移送ヘッドを別途設ける必要があり、同様に設備専有面積の削減は困難であった。
は昇降自在となっている(矢印c)。
採用している。
プレート51はX方向に水平移動する(矢印h)。前述のように、Y軸駆動機構50およびZ軸駆動機構60は結合プレート51に結合された構成となっており、結合プレート51をX方向に移動させることにより、Y軸駆動機構50およびZ軸駆動機構60も、ともにX方向に移動する。したがって上記構成において、結合プレート51は、上下方向駆動機構であるZ軸駆動機構60および第1方向駆動機構であるY軸駆動機構50が結合された駆動部結合部材として機能している。
。また第2のカメラ37によって中継ステージ5の載置テーブル26に載置された電子部品Pを撮像して得られた認識結果に基づいて、制御部80がX軸移動テーブル25およびヘッド移動機構9を制御することにより、載置テーブル26に載置された状態における電子部品Pの位置ずれを補正した状態でこの電子部品Pをボンディングヘッド10Aに保持させることができる。
ってX方向のみの位置補正が行われ、Y方向の位置補正はボンディングヘッド10Aによって電子部品Pを保持する際に行われる。これとともに、ボンディング作業位置[P4]にて第3のカメラ38によって基板24を撮像することにより(矢印ph4)、基板24における接着剤28の塗布状態の良否を判定するための検査が行われる。なおこの塗布状態の検査は必須ではなく省略してもよい。
待機位置に移動する。そしてボンディングノズル10aに電子部品Pを保持したボンディングヘッド10Aは、ピックアップ作業位置[P1]から基板位置決めステージ4の上方へ向かって移動する(矢印u)。これとともに、ボンディング作業位置[P4]にて第3のカメラ38によって基板24を撮像することにより(矢印ph8)、基板24における接着剤28の塗布状態の良否を判定するための検査が行われる。なおこの塗布状態の検査は必須ではなく省略してもよい。
おいては、塗布ヘッド10Bがボンディング作業位置[P4]へ移動して基板24に対して下降することにより(矢印y)、塗布ノズル10bを基板24の部品搭載点24aに接近させて塗布動作を行う。
2 ベース部
3 電子部品供給ステージ
4 基板位置決めステージ
5 中継ステージ
6 ピックアップヘッド
7 ピックアップヘッド移動機構
8 門型フレーム
8b ビーム部材(水平部)
9 ヘッド移動機構
10A ボンディングヘッド
10B 塗布ヘッド
24 基板
41 反転駆動部
42 ヘッド移動部材
50 Y軸駆動機構
51 結合プレート
54 Y軸移動部材
60 Z軸駆動機構
64 Z軸移動部材
70 X軸駆動機構
Claims (4)
- 電子部品供給ステージから取り出した電子部品を基板位置決めステージに位置決めされた基板にボンディングする電子部品ボンディング装置であって、
前記基板位置決めステージおよび電子部品供給ステージが平面視して第1方向に横並びで配置されたベース部と、
前記ベース部において前記第1方向と直交する第2方向の端部に配置され、下面が前記基板位置決めステージおよび電子部品供給ステージよりも高所に位置して前記第1方向に沿って延伸する水平部を有し、且つ前記水平部の正面を前記ベース部の中央側へ向けた姿勢で配置された門型フレームと、
前記基板位置決めステージと前記電子部品供給ステージとの間に配置され前記電子部品供給ステージから取り出された電子部品が載置される中継ステージと、
前記電子部品供給ステージから前記電子部品をピックアップして前記中継ステージに移送するピックアップヘッドと、
前記ピックアップヘッドを前記電子部品供給ステージの上方と前記中継ステージの上方との間で移動させるとともに、前記ピックアップヘッドを前記第2方向に進退させるピックアップヘッド移動機構と、
前記電子部品供給ステージの電子部品または前記中継ステージ上に前記ピックアップヘッドによって移送された電子部品を保持して前記基板位置決めステージに位置決めされた前記基板にボンディングするボンディングヘッドと、
前記門型フレームの前記水平部の正面に前記第1方向に沿って配設され、前記ボンディングヘッドを前記電子部品供給ステージまたは前記中継ステージの上方と前記基板位置決めステージの上方との間で移動させるボンディングヘッド移動機構とを備え、
前記ピックアップヘッド移動機構を前記門型フレームの水平部の下面に縣吊状態で結合し、前記ピックアップヘッド移動機構の下方に前記電子部品供給ステージの一部が進入可能な空間を確保したことを特徴とする電子部品ボンディング装置。 - 前記ピックアップヘッド移動機構は、
前記ピックアップヘッドを前記第1方向、第2方向および上下方向に移動させるヘッド移動部材と、
上下方向駆動機構によって駆動されて上下方向に移動し前記ヘッド移動部材に前記第1方向への相対移動を許容された状態で結合された上下動部材と、
第1方向駆動機構によって駆動されて第1方向に移動し前記ヘッド移動部材に前記上下方向への相対移動を許容された状態で結合された第1方向移動部材と、
前記上下方向駆動機構および前記第1方向駆動機構が結合された駆動部結合部材と、
前記水平部の下面に縣吊状態で結合され、前記駆動部結合部材を前記第2方向へ移動させる第2方向駆動機構とを備えたことを特徴とする請求項1記載の電子部品ボンディング装置。 - 前記ピックアップヘッドは、前記ヘッド移動部材に反転駆動機構を介して装着され、第2方向の水平軸廻りに反転自在となっていることを特徴とする請求項2記載の電子部品ボンディング装置。
- 前記第1方向駆動機構、第2方向駆動機構および上下動駆動機構が、前記水平部の下面から水平方向にはみ出さない位置に配設されていることを特徴とする請求項2または3のいずれかに記載の電子部品ボンディング装置。
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