JP2013026267A - 2軸駆動機構及びダイボンダ並びにダイボンダの運転方法 - Google Patents
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Abstract
本発明は、電源喪失時にリニアモータの昇降軸の落下を防ぎ、信頼性高い昇降軸を含む2軸駆動機構並びにそれを用いた信頼性の高いダイボンダ及びダイボンダの運転方法を提供することにある。
【解決手段】
本発明は、処理部と、前記処理部を第1のリニアガイドに沿って昇降する第1の可動部と第1の固定部とを備える第1のリニアモータ部と、前記処理部を前記昇降する方向とは垂直な水平方向に移動させる第2の可動部と第2の固定部とを備える第2のリニアモータ部とを備えた2軸駆動軸と、前記2軸駆動軸に電源を供給する主電源と、前記主電源の電源喪失時に、前記ダイの可動部の落下を防止する昇降軸落下防止手段と、を有する。
【選択図】図2
Description
本発明は、処理部と、前記処理部を第1のリニアガイドに沿って昇降する第1の可動部と第1の固定部とを備える第1のリニアモータ部と、前記処理部を前記昇降する方向とは垂直な水平方向に移動させる第2の可動部と第2の固定部とを備える第2のリニアモータ部とを備えた2軸駆動軸と、前記2軸駆動軸に電源を供給する主電源と、前記主電源の電源喪失時に、前記ダイの可動部の落下を防止する昇降軸落下防止手段と、を有することを第1の特徴とする。
さらに、本発明は、前記2軸駆動軸は、前記第2の可動部に前記第1のリニアモータ部を固定し、前記第1のリニアモータ部の前記水平方向の移動をガイドする第3のリニアガイドを有することを第3の特徴とする。
さらに、本発明は、前記支持駆動部を前記第1の固定部或いは前記第2の固定部の両端側又はその付近の固定部材に設けたことを第5の特徴とする。
さらに、本発明は、前記所定の位置で支持する支持動作は、前記主電源とは別に設けられた別電源で行われることを第7の特徴とする。
さらに、本発明は、第1乃至第8の特徴に記載の2軸駆動機構を備え、前記処理部によって基板に処理することを第9の特徴とする。
さらに、本発明は、主電源を有し、前記主電源の供給によってボンディングヘッドをリニアモータによって昇降させてダイを吸着し、基板に前記ダイを装着するステップと、前記主電源の喪失時に、前記ボンディングヘッドの落下を防ぐ落下防止ステップと、を有することを第11の特徴とする。
図1は、本発明の第1の実施形態であるダイボンダ10を上から見た概念図である。ダイボンダは大別してウェハ供給部1と、ワーク供給・搬送部2と、ダイボンディング部3と、電源部9と、これ等を制御する制御部7とを有する。
ダイボンディング部3はプリフォーム部(ダイペースト塗布装置)31とボンディングヘッド部32とを有する。プリフォーム部31はフレームフィーダ22により搬送されてきたワーク、例えばリードフレームにニードルでダイ接着剤を塗布する。ボンディングヘッド部32は、ピックアップ装置12からダイをピックアップして上昇し、ダイをフレームフィーダ22上のボンディングポイントまで水平移動させる。そして、ボンディングヘッド部32はボンディングポイントでダイを下降させ、ダイ接着剤が塗布されたワーク上にダイをボンディングする。
第1の実施例であるZY駆動軸60は、Y駆動軸40と、Z駆動軸50と、Y駆動軸40のY軸可動部41とZ駆動軸50のZ軸可動部51を連結する連結部61と、処理部であるボンディングヘッド35と、電源喪失時にボンディングヘッド35の落下を防止する昇降軸落下防止手段80と、これら全体を支える横L字状の支持体62とを有する。なお、以下の説明を分かり易くするために、支持体62に固定されている部分は斜線で、Y軸可動部41、X軸可動部51及び連結部61と一体になって移動する部分を白抜きで示している。また、支持体62は上部支持体62aと、側部支持体62bと、下部支持体62cとを有する。
その結果、図4(a)に示すように、プッシャソレノイド82が作動し、プッシュバー82aが突出し、ストッパ81を支持し、ボンディングヘッド35の基板Pヘの落下を防ぐことができる。
この結果、ボンディングヘッドや基板の破損を防ぐことができる。
この結果、昇降軸落下防止手段の第2の実施例においてもボンディングヘッドや基板の破損を防ぐことができる。
また、以上説明した第5の実施例の昇降軸落下防止手段80Dによれば、今までの実施例同様に、ボンディングヘッド35の落下を防止できる。
第6の実施例の昇降軸落下防止手段80Eは、電源喪失時に、制御部9が別電源92によって、例えば図2に示す固定電磁石部57を制御し、ボンディングヘッド35(Z軸可動部52)を上昇させる又はその状態で維持し、ボンディングヘッド35を所定の位置に保持する。
3:ダイボンディング部 10:ダイボンダ
32:ボンディングヘッド部 35:ボンディングヘッド
40,40A:Y駆動軸 41:Y軸可動部
42:Y軸固定部 43:Y軸リニアガイド
44:Y軸ガイド 45:Y軸可動部固定部
47:固定電磁石部 50,50A:Z駆動軸
51:Z軸可動部 52:Z軸固定部
53:Z軸リニアガイド 54:接続部
55:保持体 57:固定電磁石部
60、60A、60B:ZY駆動軸 61:連結部
62:支持体 70:X駆動軸
80,80A,80B、80C、80D、80E:昇降軸落下防止手段
81:ストッパ 82:プッシャソレノイド
82a:プッシャバー 84:プルソレノイド
84a:プルバー 85:バネ
86:作動バー 181:中空ケース
182:弾性体 184:形状記憶合金
185:ブレーキ棒 186:バネ
187:電磁石 188:電磁石
189:ガイド棒 281:作動棒
Claims (16)
- 処理部と、
前記処理部を第1のリニアガイドに沿って昇降する第1の可動部と第1の固定部とを備える第1のリニアモータ部と、前記処理部を前記昇降する方向とは垂直な水平方向に移動させる第2の可動部と第2の固定部とを備える第2のリニアモータ部とを備えた2軸駆動軸と、
前記2軸駆動軸に電源を供給する主電源と、
前記主電源の電源喪失時に、前記ダイの可動部の落下を防止する昇降軸落下防止手段と、
を有することを特徴とする2軸駆動機構。 - 前記2軸駆動軸は、前記第1の可動部を前記第1のリニアガイドを介して連結し、前記第2の可動部を直接的又は間接的に連結する連結部と、前記第1の可動部、前記第2の可動部及び前記連結部を一体となって前記水平方向に移動させる第2のリニアガイドと、前記第1の固定部と前記第2の固定部を前記水平方向に所定の長さで互いに平行に固定する支持体とを、有することを特徴とする請求項1に記載の2軸駆動機構。
- 前記2軸駆動軸は、前記第2の可動部に前記第1のリニアモータ部を固定し、前記第1のリニアモータ部の前記水平方向の移動をガイドする第3のリニアガイドを有することを特徴とする請求項1に記載の2軸駆動機構。
- 前記昇降軸落下防止手段は、前記第1の可動部と共に移動する第1の可動体部に設けたストッパと、前記電源喪失時に前記ストッパを所定の位置で支持する支持駆動部と、有することを特徴とする請求項2又3に記載の2軸駆動機構。
- 前記支持駆動部を前記第1の固定部に設けたことを特徴とする請求項4に記載の2軸駆動機構。
- 前記支持駆動部を前記第2の固定部の両端側又はその付近の固定部材に設けたことを特徴とする請求項4に記載の2軸駆動機構。
- 前記支持駆動部は、電源の有無によって突出するバーを備えたソレノイド、又はシリンダロットを備えたエアシリンダであることを特徴とする請求項5又は6に記載の2軸駆動機構。
- 前記支持駆動部は、前記処理部が有する又は前記処理部に設けた突起部を囲むように設けられた弾性体と、前記弾性体を収縮させる手段とを有することを特徴とする請求項5に記載の2軸駆動機構。
- 前記所定の位置で支持する支持動作は、前記主電源とは別に設けられた別電源で行われることを特徴とする請求項7に記載の2軸駆動機構。
- 前記支持駆動部は、前記無電源時に突出可能とするバーを備えたソレノイドと、バネと、前記バーと前記バネとを連結し、支点を中心にシーソのように回転し、前記電源喪失時に前記バーを前記バネによって突出させる作動部とを有することを特徴とする請求項5又は6に記載の2軸駆動機構。
- 前記支持駆動部は、前記主電源とは別に設けられた別電源によって突出可能なバーを備えたソレノイドと、電磁石と、前記電磁石に前記主電源の供給によって吸着され前記バーに接続された動作部とを有することを特徴とする請求項5又は6に記載の2軸駆動機構。
- 前記電源喪失時に前記主電源とは別に設けられた別電源で第1の可動部を上昇させる又はその状態で維持する制御手段を有することを特徴とする請求項2又3に記載の2軸駆動機構。
- 請求項1乃至12のいずれかに記載の2軸駆動機構を備え、前記処理部によって基板に処理することを特徴とするダイボンダ。
- 前記処理部はダイをウェハからピックアップし前記基板にボンディングするボンディングヘッドであることを特徴とする請求項13に記載のダイボンダ。
- 前記処理部は、前記基板にダイ接着剤を塗布するニードルであることを特徴とする請求項13に記載のダイボンダ。
- 主電源を有し、前記主電源の供給によってボンディングヘッドをリニアモータによって昇降させてダイを吸着し、基板に前記ダイを装着するステップと、
前記主電源の喪失時に、前記ボンディングヘッドの落下を防ぐ落下防止ステップと、を有することを特徴とするダイボンダの運転方法。
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