JP2014060234A - ダイボンダ及びボンディング方法 - Google Patents
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Abstract
本発明は、ボンディングするための移動時間を短縮し、スループットの高いダイボンダ及びボンディング方法を提供することである。
【解決手段】
本発明は、ボンディングヘッドでダイをウェハからピックアップし、ピックアップした該ダイを斜め上方にあるボンディングする位置に向けて斜め移動し、前記ダイを基板にボンディングし、該ボンディング後、斜め下方にあるピックアップする位置に向けて斜めに移動する。
【選択図】図3
Description
本発明は、ダイを吸着し基板に該ダイをボンディングするボンディングヘッドと、ボンディング位置より所定の落差を有し、ボンディング位置から水平方向に離間した距離に存在するピックアップ位置に前記ダイを供給するピックアップ装置と、該落差と該離間距離に起因するボンディングヘッドの2方向の移動を同時に行う斜め方向駆動部と、を備えることを特徴とする。
さらに、前記落差と前記離間距離に起因するボンディングヘッドの前記2方向の移動は、又は前記第1の移動ステップと前記第2の移動ステップは、一端に前記ボンディングヘッド固定し、前記斜めの角度で設けられたステージを移動させて行ってもよい。
さらに、前記落差と前記離間距離に起因するボンディングヘッドの前記2方向の移動は、又は前記第1の移動ステップと前記第2の移動ステップは、前記斜め方向に沿って、前記水平方向移動させながら、昇降させてもよい。
図1は、本発明の実施形態であるダイボンダ10を上から見た概念図である。ダイボンダ10は大別してウェハ供給部1と、ワーク供給・搬送部2と、ダイボンディング部3と、各部及び後述する各実施例におけるボンディングフローを制御する制御装置4とを備える。
(実施例1)
図3は、斜め方向駆動部50の第1の実施例50Aを示す図で、図2に実施例50Aを付加した図である。図3において、斜め方向駆動部50Aにおいて、実線はボンディングヘッド35がボンディング位置にいる状態を示し、破線はピックアップ位置にいる状態を示す。
高さ調整手段としては、リニアガイドの他、X方向に作用する力よって伸縮する機構、例えば、ピストンタイプでもよい。
逆に、破線で示ピックアップ位置から実線に示すボンディング位置に移動する場合は、斜めガイド51rは、斜めスライダ51sを斜め上方向に摺動し、ボンディング35は、斜めに上昇していく。
図4は、斜め方向駆動部50の第2の実施例50Bを示す図で、図2に実施例50Bを付加した図である。第1の実施例では、ピックアップ装置12に可動範囲と干渉しないように搬送路である2本のフレームフィーダ22のサイドに、斜め方向駆動部50Aを設けた。第2の実施例の斜め方向駆動部50Bでは、ピックアップ位置からボンディング位置の上部に設けられた前記ダイボンダの構造部に設けられた固定ガイド53と、ボンディングヘッド35を固定ガイド53に沿って移動させる駆動部54とを備える。具体的には、固定ガイド53として、ダイボンダ10の構造部に固定され、前述の所定の角度で傾斜した斜めガイド53を設ける。駆動部はリニアモータ54で構成する。リニアモータ54は、斜めガイド53に設けられたリニア固定部54kと、ボンディングヘッド35が垂直になるように固定されたリニア可動部54uとを備える。
その他の駆動部として、例えば、斜めガイド53にボールネジを設け、ボンディングヘッド35をボールネジ上を移動するナットに固定するボールネジ・ナット方式を用いてもよい。
図5は、斜め方向駆動部50の第3の実施例50Cを示す図である。図5(a)は、図2に実施例50Cを付加した図である。図5(b)は、図5(a)において、矢印Aの方向から見た図である。図5(c)は、図5(a)において、矢印Bの方向から見た図である。
図6は、斜め方向駆動部50の第4の実施例50Dを示す図で、図2に実施例50Dを付加した図である。第4の実施例50Dは、第1の方法を実現する実施例1乃至3とは異なり、第2の従来存在するボンディングヘッドのX、Z駆動軸を、ピックアップ位置とボンディング位置との落差と両者の離間距離に応じて協調制御する実施例である。実施例4は、実施例1に対応する実施例で、基本的には実施例1の斜めに設けられた斜めガイド51rを水平にした水平ガイド56rと、水平ガイド56rを水平に移動させる水平ガイド(X)駆動部57と、水平ガイド56rに固定されたボンディングヘッド35を昇降させるZ駆動部58を備える。
3:ダイボンディング部 4:制御装置
10:ダイボンダ 11:ウエハカセットリフタ
12:ピックアップ装置 12T:突上装置
22:フレームフィーダ 35:ボンディングヘッド
50、50A、50B、50C、50D:斜め方向駆動部
51r:斜めガイド 51s:斜めスライダ
52:斜めガイド駆動部 52d:X駆動部
52f:固定部 52g: Zリニアガイド
52r:連結部 53:斜めガイド
54:リニアモータ 54k:リニア固定部
54u:リニア可動部 55k:斜め固定部
55r:斜めガイド 56r:水平ガイド
57:水平ガイド駆動部 57d:X駆動部
57r;連結部 58:Z駆動部
D:ダイ(半導体チップ) P:基板
W:ウェハ
Claims (11)
- ダイを吸着し基板に該ダイをボンディングするボンディングヘッドと、
ボンディング位置より所定の落差を有し、前記ボンディング位置から水平方向に離間した距離に存在するピックアップ位置に前記ダイを供給するピックアップ装置と、
該落差と該離間距離に起因する前記ボンディングヘッドの2方向の移動を同時に行う斜め方向駆動部と、
を備えることを特徴とするダイボンダ。 - 請求項1記載のダイボンダであって、
前記斜め方向駆動部は、前記落差と前記離間距離に基づいて斜めに設けられたガイドと、前記2方向の移動を同時に行う単一駆動部とを備える、
ことを特徴とするダイボンダ。 - 請求項2記載のダイボンダであって、
前記ガイドは前記ボンディングヘッドを一端側に固定する移動ガイドであって、
前記単一駆動部は、該移動ガイドを傾斜に沿って移動させることを特徴とするダイボンダ。 - 請求項3記載のダイボンダであって、
前記斜め方向駆動部は、前記ダイボンダの構造部に固定され、前記傾斜で前記移動ガイドをスライドさせるスライダと、前記移動ガイドの他端側に設けられた移動力が作用する作用部の高さ位置を調整する高さ調整手段と、を備えたことを特徴とするダイボンダ。 - 請求項3記載のダイボンダであって、
前記斜め方向駆動部は、前記移動ガイドを移動させるリニアレールと、前記移動ガイドを該リニアレール上で移動させる駆動部とを備えることを特徴とするダイボンダ。 - 請求項2記載のダイボンダであって、
前記ガイドは前記ピックアップ位置からボンディング位置の上部に設けられた前記ダイボンダの構造部に設けられた固定ガイドであって、
前記斜め方向駆動部は、前記ボンディングヘッドを該固定ガイドに沿って移動させる駆動部を備えることを特徴とするダイボンダ。 - 請求項1記載のダイボンダであって、
前記斜め方向駆動部は、前記ボンディングヘッドを昇降させる昇降軸と、前記水平方向に移動させる水平軸とを備え、該昇降軸と該水平軸とを前記落差と前記離間距離に応じて協調制御することを特徴とするダイボンダ。 - ボンディングヘッドでダイをウェハからピックアップするステップと、
ピックアップした該ダイを斜め上方にあるボンディングする位置に向けて斜めに移動する第1の移動ステップと、
前記ダイを基板にボンディングするボンディングステップと、
該ボンディング後、斜め下方にあるピックアップする位置に向けて斜めに移動する第2の移動ステップと、
を備えることを特徴とするボンディング方法。 - 請求項8記載のボンディング方法であって、
前記第1の移動ステップと前記第2の移動ステップは、一端側に前記ボンディングヘッド固定し、斜めの角度で設けられたステージを移動させて行うことを特徴とするボンディング方法。 - 請求項8記載のボンディング方法であって、
前記第1の移動ステップと前記第2の移動ステップは、前記ピックアップする位置からボンディングする位置の上部に前記斜めに設けられた固定ガイドに沿って前記ボンディングヘッド移動させることを特徴とするボンディング方法。 - 請求項8記載のボンディング方法であって、
前記第1の移動ステップと前記第2の移動ステップは、前記斜め方向に沿って、前記水平方向移動させながら、昇降させることを特徴とするボンディング方法。
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JP2012203832A JP2014060234A (ja) | 2012-09-18 | 2012-09-18 | ダイボンダ及びボンディング方法 |
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JP2014060234A true JP2014060234A (ja) | 2014-04-03 |
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Citations (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2002343815A (ja) * | 2001-05-15 | 2002-11-29 | Shibaura Mechatronics Corp | ダイボンディング装置 |
JP2007012929A (ja) * | 2005-06-30 | 2007-01-18 | Yamaha Motor Co Ltd | 表面実装機の干渉チェック方法、干渉チェック装置、同装置を備えた表面実装機、及び実装システム |
-
2012
- 2012-09-18 JP JP2012203832A patent/JP2014060234A/ja active Pending
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