JP2010123825A - 部品実装装置および部品実装方法 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】部品実装装置において半導体チップ6aを吸着保持して基板保持部に保持された基板7に実装する実装ヘッドに、部品保持ツール6aが基板保持部へ移動するヘッド移動過程において、アクチュエータ45によって進退する進退軸部材45aの先端部の嵌合部46を、ツール軸35に設けられた位置規制部35bに対して横方向から当接させてツール軸35の上下方向の位置を固定し、半導体チップ6aの上下方向の位置変動を抑制する。これにより、小サイズの部品を対象として実装ヘッドによる押圧荷重を低荷重に設定した場合にあっても、部品保持ツールの位置を安定させることができる。
【選択図】図5
Description
た場合には、部品保持ツールの位置を安定させることが困難で認識精度の低下などの不具合を招くという課題があった。
体チップ6aが配列された半導体ウェハ6が保持されている。基板保持ステージ5は、基板7を保持する基板保持テーブル5aをXYテーブル機構32(図2参照)によって水平駆動する構成となっており、基板7には半導体チップ6aが実装される。
Y方向に水平移動させることにより、ウェハシート6bに貼着された複数の半導体チップ6aのうち、取り出し対象となる所望の半導体チップ6aをピックアップ作業位置[P1]に位置させる。なおここでは、部品供給ステージ3として、ウェハシート6bに貼着されたウェハ状態の部品を供給する方式のウェハテーブルを用いる例を示したが、複数の部品を所定の平面配列で供給する部品トレイを、ウェハテーブルと交換自在に部品供給ステージ3に配置するようにしてもよい。
おり、さらに給気配管36はオンオフバルブ37、レギュレータ38を介して空圧供給源39に接続されている。空圧供給源39を作動させた状態で、オンオフバルブ37、レギュレータ38を制御部43によって制御することにより、シリンダ室33a内に所望の圧力のエアを、所望のオンオフタイミングで供給することができる。これにより、ツール軸35には所望のタイミングで所望の大きさの下向きの加圧力が付与される。
、図4(a)に示す押付力Fもボンディング荷重と同様に小さくなることから、部品保持ツール19aに半導体チップ6aを保持した搭載ユニット19を移動させる際に、半導体チップ6aの位置を固定する力が弱くなり、部品保持ツール19aの位置が不安定となりやすい。
置された半導体チップ6aを搭載ユニット19によって吸着保持して、基板7に移送して実装する動作例を示している。すなわち、図2に示す第1ヘッド11を移動させることにより、図6(a)に示すように、搭載ユニット19をユニット集合ステージ4の中継ステージ16の上方に移動させ、次いで部品保持ツール19aを下降させて半導体チップ6aに当接させる。このとき、搭載ユニット19においては、進退軸部材45aが位置規制部35bから退行した状態にあって、ツール軸35にアクチュエータ45による位置規制作用が及ばない位置固定OFF状態となっている。したがって半導体チップ6aには図4(b)に示す圧力P1による適正な押付力が作用し、良好な部品保持動作が実現される。
り、進退軸部材47aは押下げレバー49に当接して下方に押し下げる。
位置固定OFF状態となる。また半導体チップ6aを部品保持ツール19aによって保持した搭載ユニット19Bが上昇して移動するときには、図8(b)に示すように、給気配管53からシリンダ室51a内に圧力P2のエアを供給する(矢印m)。これにより、ツール軸35には圧力P2に応じた加圧力が伝達され、ピストン34の下面が底部33cを押し付ける押付力には、上述のボンディング荷重に加えて圧力P2に応じた加圧力が付加される。これによりツール軸35の上下方向の位置を固定する位置固定力が増大して位置固定ON状態となり、搭載ユニット19Bの移動状態におけるツール軸35の位置を安定的に固定することができる。
3 部品供給ステージ
4 ユニット集合ステージ
5 基板保持ステージ
6 半導体ウェハ
6a 半導体チップ
7 基板
9 ヘッド移動機構
11 第1ヘッド
12 第2ヘッド
19、19A、19B 搭載ユニット
19a 部品保持ツール
33 ヘッド本体部
34 ピストン
35 ツール軸
35b 位置規制部
45、47 アクチュエータ
45a、47a 進退軸部材
51 サブシリンダ
Claims (8)
- 部品を供給する部品供給部と、基板を保持する基板保持部と、前記部品供給部によって供給された前記部品を吸着保持して前記基板保持部に保持された基板に実装する実装ヘッドとを備え、
前記実装ヘッドは、昇降機構によって昇降自在に設けられたヘッド本体部と、前記ヘッド本体部に上下動自在に設けられたツール軸と、このツール軸の下端部に装着され前記部品に当接してこの部品を吸着保持する部品保持ツールと、前記ヘッド本体部に設けられ、前記ツール軸に下向きの加圧力を付与する加圧手段とを有し、
さらに前記部品を吸着保持した部品保持ツールが前記基板保持部へ移動するヘッド移動過程において、前記ツール軸の上下方向の位置を固定することにより前記部品の上下方向の位置変動を抑制する位置固定手段を前記実装ヘッドに設けたことを特徴とする部品実装装置。 - 前記位置固定手段は、前記ツール軸に対して位置規制部材を横方向から当接させることによりこのツール軸の上下方向の位置を規制する位置規制機構であることを特徴とする請求項1記載の部品実装装置。
- 前記位置固定手段は、前記加圧手段とは別個に設けられて前記ツール軸に下向きの位置固定用の付加加圧力を付与する付加加圧手段であることを特徴とする請求項1記載の部品実装装置。
- 前記付加加圧手段は、前記加圧手段と同軸に設けられて前記ツール軸に空圧による下向きの位置固定用の付加加圧力を付与する空圧式付加加圧手段であることを特徴とする請求項3記載の部品実装装置。
- 部品を供給する部品供給部と、基板を保持する基板保持部と、前記部品供給部によって供給された前記部品を吸着保持して前記基板保持部に保持された基板に実装する実装ヘッドとを備え、前記実装ヘッドは、昇降機構によって昇降自在に設けられたヘッド本体部と、前記ヘッド本体部に昇降自在に設けられたツール軸と、このツール軸の下端部に装着され前記部品に当接してこの部品を吸着保持する部品保持ツールと、前記ヘッド本体部に設けられ、前記ツール軸に下向きの加圧力を付与する加圧手段とを有する構成の部品実装装置によって部品供給部から取り出された部品を基板に実装する部品実装方法であって、
前記部品を吸着保持した部品保持ツールが前記基板保持部へ移動するヘッド移動過程において、前記実装ヘッドに設けられた位置固定手段によって前記ツール軸の上下方向の位置を固定することにより、前記部品の上下方向の位置変動を抑制することを特徴とする部品実装方法。 - 前記ツール軸の上下方向の位置を固定するに際し、前記ツール軸に対して位置規制部材を横方向から当接させることによりこのツール軸の上下方向の位置を規制することを特徴とする請求項5記載の部品実装方法。
- 前記ツール軸の上下方向の位置を固定するに際し、前記加圧手段とは別個に設けられた付加加圧手段によって前記ツール軸に下向きの位置固定用の付加加圧力を付与することを特徴とする請求項5記載の部品実装方法。
- 前記加圧手段と同軸に設けられた空圧式付加加圧手段によって空圧による下向きの付加加圧力を付与することを特徴とする請求項7記載の部品実装方法。
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