JP2002018758A - 部品吸着装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【課題】部品吸着時には低負荷による吸着を行い、実装
時にはそれより大きな荷重を付加できる部品吸着装置を
提供する。 【解決手段】部品Ｗを真空吸着するノズル１３と、ノズ
ル１３を上下方向に相対移動可能に支持し、上下に昇降
駆動される作動部１０とを備えた部品吸着装置であっ
て、作動部１０とノズル１３との間に、ノズル１３を作
動部１０に対して相対的に上方へ付勢する荷重軽減用バ
ネ１７と、ノズル１３を作動部１０に対して相対的に下
方へ付勢する荷重付加用バネ２２とを設ける。荷重軽減
用バネ１７のノズル１３に対する付勢力の作用範囲を、
荷重付加用バネ２２のノズル１３に対する付勢力の作用
範囲に比べて、ノズル１３の可動範囲の下方に位置させ
た。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、部品の実装や組立
を行うのに使用される部品吸着装置に関するものであ
る。

【０００２】

【従来の技術】従来、小型の電子部品を回路基板に自動
実装する際に、実装機が広く用いられている。実装機
は、部品を真空吸着するノズルと、このノズルを上下方
向に相対移動可能に支持する作動部とを備えており、作
動部をボイスコイルモータ、シリンダ、カム機構などを
用いて上下に移動させることで、ノズルを部品に接触さ
せ、部品の吸着あるいは実装を行うようになっている。

【０００３】

【発明が解決しようとする課題】一般に、従来の部品吸
着装置では、作動部とノズルとの間に、作動部が上下に
移動した時にノズルが動かないようにするためばねが介
装されており、ばねによってノズルは作動部に対して下
方へ押し付けられいる。そのため、ノズルが部品に接触
する際、または部品を吸着したノズルが対象物（回路基
板など）に接触する際に発生する衝撃荷重は、ノズルの
重量とばねによる荷重とが加算されて作用し、部品に対
する荷重が過大となり、小型／薄型の部品では、部品の
割れ，欠けなどが発生する。特に、粘着シート上にある
部品を吸着する場合には、吸着時の押圧荷重が大きい
と、部品が粘着シートに再粘着され、ピックアップミス
につながる。逆に、ノズルの重量およびばね荷重を最小
にし、部品への荷重を最小にすれば、部品吸着時の問題
は解消されるが、実装時の荷重が低くなり過ぎ、実装信
頼性が低下する。通常、実装時には吸着時の数倍の荷重
を必要とする。このように、取り扱う部品の特性、吸着
条件、実装条件により、吸着時および実装時にノズルが
部品に与える荷重を可変させる必要がある。

【０００４】そこで、本発明の目的は、部品吸着時には
低負荷による吸着を行い、実装時にはそれより大きな荷
重を付加できる部品吸着装置を提供することにある。

【０００５】

【課題を解決するための手段】上記目的は、請求項１ま
たは４に記載の発明によって達成される。すなわち、請
求項１に係る発明は、部品を真空吸着するノズルと、こ
のノズルを上下方向に相対移動可能に支持し、上下に昇
降駆動される作動部とを備えた部品吸着装置において、
上記作動部とノズルとの間に、上記ノズルを作動部に対
して相対的に上方へ付勢する第１の弾性体と、上記ノズ
ルを作動部に対して相対的に下方へ付勢する第２の弾性
体とを設け、上記第１の弾性体の上記ノズルに対する付
勢力の作用範囲を、第２の弾性体の上記ノズルに対する
付勢力の作用範囲に比べて、上記ノズルの可動範囲の下
方に位置させたことを特徴とする部品吸着装置である。
また、請求項４に係る発明は、部品を真空吸着するノズ
ルと、このノズルを上下方向に相対移動可能に支持し、
上下に昇降駆動される作動部とを備えた部品吸着装置に
おいて、上記作動部とノズルとの間に、上記ノズルを作
動部に対して相対的に上方へ付勢する第１の弾性体と、
上記ノズルを作動部に対して相対的に下方へ付勢する第
２の弾性体とを設けるとともに、第２の弾性体を上記ノ
ズルに対して付勢力を作用させる作用状態と、作用させ
ない非作用状態とに切り替える切替手段を設け、上記切
替手段を第２の弾性体の非作用状態としたとき、作動部
の降下に伴って上記ノズルに第１の弾性体の付勢力のみ
が作用するようにし、上記切替手段を第２の弾性体の作
用状態としたとき、作動部の降下に伴って上記ノズルに
第１の弾性体と第２の弾性体の付勢力が相反方向に作用
するようにしたことを特徴とする部品吸着装置である。

【０００６】図１は請求項１に係る発明の作動原理を示
す。図１の（ａ）のように、作動部Ａを降下させると、
ノズルＢが部品Ｗに接触し、ノズルＢが作動部Ａに対し
て相対的に上方へ移動する。このノズルＢの可動範囲で
は、第１の弾性体Ｃの付勢力Ｆ２のみがノズルＢに対し
て上方へ作用するので、ノズルの自重Ｆ１が第１の弾性
体Ｃの付勢力Ｆ２によって軽減され、ノズルＢを部品Ｗ
に対して低荷重で接触させることができる。このときの
荷重Ｆａは、 Ｆａ＝Ｆ１−Ｆ２ である。図１の（ｂ）のように、作動部Ａをさらに降下
させると、ノズルＢは作動部Ａに対して相対的にさらに
上方へ移動し、ノズルＢは第１の弾性体Ｃから離れ、第
２の弾性体Ｄと接触する。このノズルＢの可動範囲で
は、第１の弾性体Ｃの付勢力Ｆ２が減少または０とな
り、代わって第２の弾性体Ｄの付勢力Ｆ３がノズルＢに
対して下方へ作用する。そのため、ノズルＢの自重Ｆ１
に第２の弾性体Ｄの付勢力Ｆ３が加算され、強い押圧力
によってノズルを部品に押しつけることができる。この
ときの荷重Ｆｂは、 Ｆｂ＝Ｆ１＋Ｆ３ である。このように作動部Ａの降下量によって、ノズル
Ｂから部品Ｗにかかる荷重を段階的に可変することがで
きる。

【０００７】請求項２のように、ノズルの重量を第１の
弾性体が発生する最大付勢力と同等またはそれより大き
くするのが望ましい。これにより、ノズルが部品に接触
する瞬間に、部品にはノズルの重量から第１の弾性体の
付勢力を差し引いた力が作用する。そのため、低荷重で
ノズルを部品に接触させることができる。

【０００８】請求項３のように、部品吸着時には作動部
を第２の弾性体がノズルに対して付勢力を与えない範囲
で下降させ、部品実装時には作動部を第２の弾性体がノ
ズルに対して付勢力を与える範囲に下降させる作動手段
を備えるのがよい。つまり、部品吸着時には第１の弾性
体の作用によって、ノズルから部品にかかる負荷を軽減
し、部品の割れ、欠けを防止するとともに、部品実装時
には第２の弾性体の作用によって部品にかかる負荷を高
くし、実装信頼性を向上させることができる。

【０００９】図２は請求項４に係る発明の作動原理を示
す。図２の（ａ）のように、切替手段Ｅによって第２の
弾性体Ｄを上方位置に保持しておき、第２の弾性体Ｄを
ノズルＢに対して非接触状態（非作用状態）とする。こ
こで作動部Ａを降下させると、ノズルＢが部品Ｗに接触
し、ノズルＢが作動部Ａに対して相対的に上方へ移動す
る。ここでは、第１の弾性体Ｃの付勢力Ｆ２のみがノズ
ルＢに対して上方へ作用するので、ノズルの自重Ｆ１が
第１の弾性体Ｃの付勢力Ｆ２によって軽減され、ノズル
Ｂを部品Ｗに対して低荷重で接触させることができる。
このときの荷重Ｆａは、図１の（ａ）のＦａと同様に、 Ｆａ＝Ｆ１−Ｆ２ である。次に、図２の（ｂ）のように、切替手段Ｅによ
って第２の弾性体Ｄを下方位置へ移動させ、ノズルＢに
対して接触状態（作用状態）とすると、ノズルＢには第
１の弾性体Ｃの付勢力Ｆ２と第２の弾性体Ｄの付勢力Ｆ
３とが相反方向に作用する。そのため、作動部Ａを降下
させると、ノズルＢから部品Ｗに対して作用する荷重Ｆ
ｂは次式のようになり、荷重を大きくすることができ
る。 Ｆｂ＝Ｆ１−Ｆ２＋Ｆ３ このように作動部３の降下量はほぼ同じでも、切替手段
Ｅを切り替えることによって、ノズルＢから部品Ｗに加
える荷重を可変することができる。

【００１０】請求項５のように、切替手段を、第２の弾
性体を非作用状態とする上端位置と、第２の弾性体の上
面を押圧して作用状態とする下端位置との間を作動部に
対して相対移動可能な移動部材と、移動部材を上端位置
と下端位置との間で作動部に対して上下に相対移動させ
る手段とを備え、移動部材を上端位置へ移動させること
で、第２の弾性体を非作用状態とし、移動部材を下端位
置へ移動させることで、第２の弾性体の付勢力をノズル
に対して作用状態としてもよい。この場合には、移動部
材を上端位置と下端位置とに移動させることで、第２の
弾性体の付勢力を作用状態と非作用状態とに切り替える
ので、切替動作を確実に行うことができる。

【００１１】請求項６のように、作動部は水平方向へ駆
動され、固定部には第１のカム面と第２のカム面とを設
け、作動部には第１のカム面に接触し、作動部の水平移
動に伴って下方へ作動される第１のカムフォロワを設
け、移動部材には第２のカム面に接触し、作動部の水平
移動に伴って下方へ作動される第２のカムフォロワを設
けるのがよい。すなわち、作動部を水平方向に移動させ
るだけで、カム機構の作用により作動部の上下動と、移
動部材の上下動とを同時に行うことができるので、作動
機構を簡素に構成できる。

【００１２】

【発明の実施の形態】図３，図４は本発明にかかる部品
吸着装置の第１の実施形態を示す。図３は部品吸着時、
図４は実装時を示す。この部品吸着装置１は、上下方向
に延びるベース板１０を備えており、ベース板１０は例
えばＸＹロボットのヘッド部にＺ軸昇降機構を介して取
り付けられる。Ｚ軸昇降機構としては、例えばエアシリ
ンダ、ボイスコイルモータ、カム機構などが用いられ、
上下に昇降駆動される。ベース板１０の側面にはボール
スライド１１を介してノズルホルダ１２が上下動自在に
取り付けられている。ノズルホルダ１２の下端部にはノ
ズル１３が固定され、ノズル１３はエアーチューブ１４
を介して真空吸引装置（図示せず）と接続されている。
ベース板１０の側面に固定された支持台１５にはネジ軸
１６が垂設されており、このネジ軸１６に第１の弾性体
である荷重軽減用バネ１７が挿通されている。ネジ軸１
６の下端には、ノズルホルダ１２の下限位置を規定する
ストッパ１８が固定され、ネジ軸１６の途中にはばね受
けを兼ねる調整ネジ１９が螺合し、荷重軽減用バネ１７
のばね力を調整可能としてある。

【００１３】ベース板１０の側面には、ガイド具２０に
よってネジ軸２１が上下動自在にガイドされており、ネ
ジ軸２１には第２の弾性体である荷重付加用バネ２２が
挿通されている。ネジ軸２１の途中には、ばね受けを兼
ねる調整ネジ２３が螺合し、荷重付加用バネ２２のばね
力を調整可能としてある。

【００１４】次に、上記構成よりなる部品吸着装置１の
作動を説明する。部品吸着時には、図３に示すように、
ノズル１３が部品Ｗに接触した後、ベース板１０の降下
量を少なくする。すなわち、ノズル１３がベース板１０
に対して相対的に上方へ移動するが、ノズル１３の相対
移動量が少ないので、ノズルホルダ１２の上面が荷重付
加用バネ２２によって下方へ付勢されたネジ軸２１の下
端に接触しない。そのため、荷重軽減用バネ１７のばね
力のみがノズル１３に対して上方へ作用し、ノズル１３
の自重が荷重軽減用バネ１７のばね力によって軽減さ
れ、ノズル１３を部品Ｗに対して低荷重で接触させるこ
とができる。

【００１５】実装時には、図４に示すように、ノズル１
３が部品Ｗに接触した後、ベース板１０の降下量を大き
くする。すなわち、ベース板１０を図３の状態からさら
に降下させると、ノズル１３はベース板１０に対して相
対的にさらに上方へ移動し、ノズルホルダ１２が荷重軽
減用バネ１７から離れ、荷重付加用バネ２２によって下
方へ付勢されたネジ軸２１の下端に接触する。そのた
め、ノズル１３には、荷重軽減用バネ１７のばね力が作
用せず、代わって荷重付加用バネ２２のばね力がノズル
１３に対して下方へ作用する。そのため、ノズル１３の
自重に荷重付加用バネ２２のばね力が加算され、強い押
圧力によって部品Ｗを回路基板Ｐなどに押しつけること
ができる。そのため、実装信頼性を向上させることがで
きる。

【００１６】図５は、上記部品吸着装置１の下降ストロ
ークと荷重との変化を示す。ベース板１０の下降ストロ
ークが０の位置は、ノズル１３が部品Ｗに接触した位置
を示す。ストロークが０〜Ｓ１までの範囲は、荷重軽減
用バネ１７のばね力だけがノズル１３に対して作用して
おり、Ｓ１〜Ｓ２の範囲は、荷重軽減用バネ１７および
荷重付加用バネ２２の双方が作用していない。さらに、
Ｓ２以後は、荷重付加用バネ２２のばね力だけがノズル
１３に対して作用している。吸着時には部品Ｗに加える
荷重を５〜１０ｇｆ程度とし、実装時には部品Ｗに加え
る荷重を４０〜５０ｇｆ程度とするのが望ましい。これ
により、部品Ｗの割れや欠けの発生率をほぼ０％にで
き、ピックアップ不良率を０．２％以下に低減でき、か
つ実装信頼性を高めることができる。そこで、吸着時に
ベース板１０の下降ストロークを０〜Ｓａの範囲に制御
すれば、部品Ｗに加える荷重を５〜１０ｇｆの範囲に制
御でき、また実装時にベース板１０の下降ストロークを
Ｓｂ〜Ｓｃの範囲に制御すれば、部品Ｗに加える荷重を
４０〜５０ｇｆとすることができる。このように、ベー
ス板１０の下降ストロークを制御することにより、ノズ
ル１３の部品Ｗに対する荷重を所望の値に制御すること
ができる。

【００１７】図６，図７は本発明にかかる部品吸着装置
の第２の実施形態を示す。図６は部品吸着時、図７は実
装時を示す。この部品吸着装置３０は、例えば図８に示
すようなロータリマウンタのヘッド部を構成している。
部品吸着装置３０はベース板３１を備えており、ベース
板３１は回転板３２に固定された取付板３３にボールス
ライダ３４を介して上下動自在に取り付けられており、
取付板３３とベース板３１との間には、ベース板３１を
上方へ付勢するスプリング３５が設けられている。この
スプリング３５は、ベース板３１の上端部に取り付けら
れたカムフォロワ３６をカム面３７に接触させる機能を
有する。カム面３７はロータリマウンタの固定部に設け
られている。そのため、ベース板３１を回転板３２によ
って水平方向に回転させることにより、カム面３７が変
化し、カムフォロワ３６を介してベース板３１を上下に
昇降させることができる。

【００１８】ベース板３１の側面にはボールスライド３
８を介してノズルホルダ３９が上下動自在に取り付けら
れている。ノズルホルダ３９の下端部にはノズル４０が
固定され、ノズル４０はエアーチューブ４１を介して真
空吸引装置（図示せず）と接続されている。ベース板３
１の側面に固定された支持台４２にはネジ軸４３が垂設
されており、このネジ軸４３の下端部に螺着されたナッ
ト４４とノズルホルダ３９との間に荷重軽減用バネ４５
が配置されている。ナット４４によって、荷重軽減用バ
ネ４５のばね力を調整可能である。

【００１９】ベース板３１の上部には、上下方向にスラ
イド自在なスライダ４６が設けられている。このスライ
ダ４６にはカムフォロワ４７が取り付けられ、カムフォ
ロワ４７はロータリマウンタの固定部に設けられたカム
溝４８に係合している。したがって、ベース板３１を回
転板３２によって水平方向に回転させると、カム溝４８
とカムフォロワ４７との係合位置が変化し、スライダ４
６をベース板３１に対して相対的に上下に移動させるこ
とができる。スライダ４６は磁性体によって形成されて
おり、スライダ４６の上下面に対向する支持台５０の下
面と別の支持台５２の上面には、それぞれ永久磁石５
１，５３が固定されている。そのため、スライダ４６は
永久磁石５１によって吸着された上端位置と、永久磁石
５３によって吸着された下端位置との２位置に保持可能
である。

【００２０】スライダ４６にはシャフト５４が挿通され
ており、シャフト５４のフランジ部５４ａの下面をつり
下げ支持している。シャフト５４には荷重付加用バネ５
５が挿通されており、バネ５５の下端は、シャフト５４
に螺合した調整ナット５６によって受けられている。な
お、シャフト５４の下端部は、支持台４２によって上下
動自在にガイドされ、上端部は、ベース板３１の側面に
固定された支持台５０によって上下動自在にガイドされ
ている。

【００２１】図８は、上記部品吸着装置３０が適用され
る実装機の一例を示す。この実装機は、上面に基板６１
を載置し、Ｘ，Ｙ方向に移動可能なＸＹステージ６０
と、部品Ｗを装填した複数のフィーダ６３を持ち、部品
吸着位置へ所望のフィーダ６３をＸ方向に移動させる部
品供給装置６２と、複数のヘッド部（部品吸着装置）３
０を持ち、吸着位置から実装位置までの間を移動し、部
品Ｗをフィーダ６３から吸着して基板６１に実装するロ
ータリーヘッド６４とを備える。

【００２２】ここで、上記構成よりなる部品吸着装置３
０の作動を説明する。部品吸着時には、ロータリヘッド
６４のヘッド部３０を部品吸着位置へ回転させることに
より、図６に示すように、カム面３７によってカムフォ
ロワ３６を介してベース板３１が降下する。一方、部品
吸着位置におけるカム溝４８は高い位置にあるので、カ
ムフォロワ４７も高い位置を維持し、スライダ４６は永
久磁石５１によって吸着された上端位置にある。そのた
め、シャフト５４の下端面はノズルホルダ３９と離れて
おり、荷重付加用バネ５５のばね力はノズルホルダ３９
には作用しない。一方、荷重軽減用バネ４５のばね力は
ノズルホルダ３９に対して上方へ作用し、ノズル４０お
よびノズルホルダ３９の自重をキャンセルするので、ノ
ズル４０を部品Ｗに対して低荷重で接触させることがで
きる。

【００２３】実装時には、ロータリヘッド６４のヘッド
部６５を実装位置へ回転させることにより、図７に示す
ように、カム面３７によってカムフォロワ３６を介して
ベース板３１が降下すると共に、実装位置におけるカム
溝４８も低い位置へ変化するので、カムフォロワ４７も
低い位置へ移動し、スライダ４６は永久磁石５３によっ
て吸着された下端位置へ移動する。そのため、スライダ
４６によって荷重付加用バネ５５の上面が下方へ押さ
れ、シャフト５４の下端面はノズルホルダ３９の上面を
押圧する。つまり、ノズルホルダ３９には、荷重軽減用
バネ４５のばね力が上方に向かって作用し、荷重付加用
バネ５５のばね力が下方に向かって作用することにな
る。ノズル４０が上方へ移動するにつれて、荷重軽減用
バネ４５のばね力は減少し、荷重付加用バネ５５のばね
力は増大する。そのため、ノズル４０の自重に両方のバ
ネ４５，５５のばね力の差分が加算され、強い押圧力に
よって部品Ｗを基板Ｐに実装することができる。

【００２４】図９は、上記部品吸着装置３０の下降スト
ロークと荷重との変化を示す。Ｃ１は部品吸着時のスト
ローク−荷重特性であり、Ｃ２は実装時のストローク−
荷重特性である。吸着時に部品Ｗに加える荷重を５〜１
０ｇｆとするには、ベース板３１のストロークがＳ３〜
Ｓ５の範囲になるようにし、実装時に部品Ｗに加える荷
重を４０〜５０ｇｆとするには、ベース板３１のストロ
ークがＳ４〜Ｓ５の範囲になるようにカム面３７の高さ
を調整すればよい。

【００２５】このように、第２の実施形態では、部品吸
着時と実装時とでベース板３１の下降ストロークはほぼ
同等でも、カム溝４８によってスライダ４６を上端位置
と下端位置とに切り替えることで、部品Ｗに対する加圧
力を可変することができる。特に、実装時のストローク
量が比較的小さくて済むので、実装時間を短縮できる利
点がある。また、ベース板３１を部品吸着位置と実装位
置との間を水平移動させることにより、カム面３７およ
びカム溝４８を利用して、ベース板３１を昇降させると
ともに、スライダ４６をベース板３１とは独自に昇降さ
せるようにしたので、シリンダやボイスコイルモータな
どの昇降機構を利用した場合に比べて、機構が非常に簡
単になるという利点がある。

【００２６】上記実施形態は、本発明のほんの数例を示
すに過ぎない。したがって、本発明の趣旨を逸脱しない
範囲で種々変更が可能である。図１の（ｂ）では、第１
の弾性体ＣがノズルＢから離れる例を示したが、接触し
ていてもよい。この場合には、部品ｗに作用する荷重Ｆ
ｂは次式のようになる。 Ｆｂ＝Ｆ１−Ｆ２＋Ｆ３ また、図２の（ｂ）では、第１の弾性体Ｃと第２の弾性
体Ｄとが同時にノズルＢに接触した例を示したが、切替
手段Ｅによって第１の弾性体ＣをノズルＢから離すこと
も可能である。その場合には、部品ｗに作用する荷重Ｆ
ｂは次式のようになる。 Ｆｂ＝Ｆ１＋Ｆ３ 第２の実施形態では、カム面３７およびカム溝４８を用
いてベース板（作動 部）の水平移動に伴って、ベース
板とスライダとを上下に移動させるようにしたが、他の
公知の昇降機構（例えばエアーシリンダ、ボイスコイル
モータ、直動機構など）を用いてもよいことは勿論であ
る。また、カム溝４８に代えてカム面を用いてもよい。
本発明にかかる弾性体としては、コイルばねの他、板ば
ね、皿ばね、弾性ゴムなど、種々の弾性体を使用するこ
とができる。

【００２７】

【発明の効果】以上の説明で明らかなように、請求項１
に記載の発明によれば、作動部とノズルとの間に、ノズ
ルを作動部に対して相対的に上方へ付勢する第１の弾性
体と、ノズルを作動部に対して相対的に下方へ付勢する
第２の弾性体とを設け、第１の弾性体のノズルに対する
付勢力の作用範囲を、第２の弾性体のノズルに対する付
勢力の作用範囲に比べて、ノズルの可動範囲の下方に位
置させたので、作動部の降下ストロークに応じてノズル
の部品に対する荷重を可変できる。したがって、部品吸
着時には低負荷による吸着を行い、実装時には適切な荷
重を付加できる。

【００２８】また、請求項４に係る発明によれば、作動
部とノズルとの間に第１の弾性体と第２の弾性体とを設
け、第２の弾性体をノズルに対して付勢力を作用させる
作用状態と作用させない非作用状態とに切り替える切替
手段を設け、切替手段を第２の弾性体の非作用状態とし
たとき、作動部の降下に伴ってノズルに第１の弾性体の
付勢力のみを作用させ、切替手段が第２の弾性体を作用
状態としたとき、作動部の降下に伴ってノズルに第１の
弾性体と第２の弾性体の付勢力を相反方向に作用させた
ので、請求項１と同様に、部品吸着時には低負荷による
吸着を行い、実装時には適切な荷重を付加できる。ま
た、作動部の降下ストローク量を大きく変えずに、切替
手段Ｅを切り替えることによって、ノズルから部品に加
える荷重を可変することができる。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明の請求項１に係る発明の作動原理を示す
概略図である。

【図２】本発明の請求項４に係る発明の作動原理を示す
概略図である。

【図３】第１の実施形態における部品吸着装置の部品吸
着時の構造図である。

【図４】第１の実施形態における部品吸着装置の実装時
の構造図である。

【図５】第１の実施形態における部品吸着装置のストロ
ーク−荷重特性図である。

【図６】第２の実施形態における部品吸着装置の部品吸
着時の構造図である。

【図７】第２の実施形態における部品吸着装置の実装時
の構造図である。

【図８】第２の実施形態における部品吸着装置が適用さ
れる実装機の一例の平面図である。

【図９】第２の実施形態における部品吸着装置のストロ
ーク−荷重特性図である。

【符号の説明】

Ｗ 部品 １，３０ 部品吸着装置 １０，３１ ベース板（作動部） １３，４０ ノズル １７，４５ 荷重軽減用バネ（第１の弾性体） ２２，５５ 荷重付加用バネ（第２の弾性体） ３６ カムフォロワ ３７ カム面 ４６ スライダ（移動部材） ４７ カムフォロワ ４８ カム面

Claims (6)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】部品を真空吸着するノズルと、このノズル
   を上下方向に相対移動可能に支持し、上下に昇降駆動さ
   れる作動部とを備えた部品吸着装置において、上記作動
   部とノズルとの間に、上記ノズルを作動部に対して相対
   的に上方へ付勢する第１の弾性体と、上記ノズルを作動
   部に対して相対的に下方へ付勢する第２の弾性体とを設
   け、上記第１の弾性体の上記ノズルに対する付勢力の作
   用範囲を、第２の弾性体の上記ノズルに対する付勢力の
   作用範囲に比べて、上記ノズルの可動範囲の下方に位置
   させたことを特徴とする部品吸着装置。
2. 【請求項２】上記ノズルの重量は第１の弾性体が発生す
   る最大付勢力と同等またはそれより大きいことを特徴と
   する請求項１に記載の部品吸着装置。
3. 【請求項３】部品吸着時には上記作動部を第２の弾性体
   がノズルに対して付勢力を与えない範囲で下降させ、部
   品実装時には上記作動部を第２の弾性体がノズルに対し
   て付勢力を与える範囲に下降させる作動手段を備えたこ
   とを特徴とする請求項１または２に記載の部品吸着装
   置。
4. 【請求項４】部品を真空吸着するノズルと、このノズル
   を上下方向に相対移動可能に支持し、上下に昇降駆動さ
   れる作動部とを備えた部品吸着装置において、上記作動
   部とノズルとの間に、上記ノズルを作動部に対して相対
   的に上方へ付勢する第１の弾性体と、上記ノズルを作動
   部に対して相対的に下方へ付勢する第２の弾性体とを設
   けるとともに、第２の弾性体を上記ノズルに対して付勢
   力を作用させる作用状態と、作用させない非作用状態と
   に切り替える切替手段を設け、上記切替手段を第２の弾
   性体の非作用状態としたとき、作動部の降下に伴って上
   記ノズルに第１の弾性体の付勢力のみが作用するように
   し、上記切替手段を第２の弾性体の作用状態としたと
   き、作動部の降下に伴って上記ノズルに第１の弾性体と
   第２の弾性体の付勢力が相反方向に作用するようにした
   ことを特徴とする部品吸着装置。
5. 【請求項５】上記切替手段は、第２の弾性体を非作用状
   態とする上端位置と、第２の弾性体の上面を押圧して作
   用状態とする下端位置との間を作動部に対して相対移動
   可能な移動部材と、上記移動部材を上端位置と下端位置
   との間で作動部に対して上下に相対移動させる手段とを
   備え、上記移動部材を上端位置へ移動させることで、第
   ２の弾性体を非作用状態とし、上記移動部材を下端位置
   へ移動させることで、第２の弾性体の付勢力をノズルに
   対して作用状態とすることを特徴とする請求項４に記載
   の部品吸着装置。
6. 【請求項６】上記作動部は水平方向へ駆動され、固定部
   には第１のカム面と第２のカム面とが設けられ、上記作
   動部には上記第１のカム面に接触し、作動部の水平移動
   に伴って下方へ作動される第１のカムフォロワが設けら
   れ、上記移動部材には上記第２のカム面に接触し、作動
   部の水平移動に伴って下方へ作動される第２のカムフォ
   ロワが設けられていることを特徴とする請求項５に記載
   の部品吸着装置。