JP3797121B2 - 部品吸着装置および部品の移載方法 - Google Patents
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Description
【発明の属する技術分野】
本発明は微小部品の移載や実装、組立などに適した部品吸着装置に関するものである。
【0002】
【従来の技術】
従来、小型の電子部品を回路基板に自動実装する場合や、電子部品をパレットとフィーダとの間で移載する場合などに、部品吸着装置が広く用いられている。部品吸着装置は、部品を真空吸着するノズルと、このノズルを上下方向および水平方向に作動させる作動手段とを備えており、作動手段はノズルを上下方向に移動させるボイスコイルモータ、シリンダ、カム機構などの昇降機構と、ノズルを含む昇降機構全体を水平方向へ移動させるXYロボットなどの移動機構とで構成されている。上記作動手段によってノズルを上下方向および水平方向に移動させることで、部品の吸着,実装,移載などの作業を行うことができる。
【0003】
従来の部品吸着装置では、吸着された電子部品の移動中の姿勢を安定化させるために、吸着ノズルの吸引圧を高くしたり、吸引穴を大きくするなどの対策がとられている。
また、吸着された電子部品をリリースする場合には、吸着ノズルから圧縮エアーを吹き出すのが通例である。
【0004】
【発明が解決しようとする課題】
しかし、吸着ノズルの吸引圧を高くすると、部品が圧電部品のような脆弱な部品である場合、部品の割れや欠けなどを招きやすく、部品の信頼性が低下する。
また、吸引穴の径を大きくすると、微小部品を取り扱う場合には、部品とノズルとの相対位置がずれた時に部品が吸引穴に入り込んでしまうという問題がある。さらに、リリース時にノズルから圧縮エアーを吹き出すと、部品の姿勢が悪化するという問題がある。特に、高精度な位置決めを必要とする実装時には、回路との接続不良を招く可能性がある。
複数のノズルを用いて複数の部品を一括して移載するマルチノズルタイプの部品吸着装置の場合には、個々のノズルで圧縮エアーの吹き出し量にばらつきがあると、部品のリリースタイミングにずれを生じ、能力低下を招く欠点がある。
【0005】
圧縮エアーの吹き出しに代えて、ノズルに対して横方向から掻き取り部材を作動させることで、ノズルに付着している電子部品を掻き取る方法もあるが、この場合にはノズルの近傍に掻き取り機構を設ける必要があるので、機構が複雑になり、コスト上昇を招く欠点がある。
【0006】
そこで、本発明の目的は、部品を吸着して移動している間、部品姿勢を保ったまま移動でき、かつリリース時に圧縮エアーの吹き出しを必要としない機構の簡単な部品吸着装置および部品の移載方法を提供することにある。
【0007】
【課題を解決するための手段】
上記目的は、請求項1または7に記載の発明によって達成される。
請求項1に係る発明は、真空吸引装置と接続されたノズル本体と、上記ノズル本体から下方へ垂設され、下端部に部品を直接真空吸着する吸引穴を有する吸着ノズルと、上記吸着ノズルが摺動自在に挿通される貫通穴を持ち、かつ吸着ノズルに対して上下方向に相対移動自在に設けられたブレーキ板と、上記ブレーキ板の下面が吸着ノズルの下端面より下方になるようにブレーキ板の下方向のストロークを規制し、ブレーキ板の下面が吸着ノズルの下端面と一致する高さまでブレーキ板の上昇を可能とし、かつブレーキ板の下面が吸着ノズルによる部品吸着力より低い力で部品の上面に接触するようにブレーキ板を支持するストローク規制手段と、を備えたことを特徴とする部品吸着装置である。
【0008】
また、請求項7に係る発明は、真空吸引装置と接続されたノズル本体と、上記ノズル本体から下方へ垂設され、下端部に部品を直接真空吸着する吸引穴を有する吸着ノズルと、上記吸着ノズルが摺動自在に挿通される貫通穴を持ち、かつ吸着ノズルに対して上下方向に相対移動自在に設けられたブレーキ板と、上記ブレーキ板の下面が吸着ノズルの下端面より下方になるようにブレーキ板の下方向のストロークを規制し、ブレーキ板の下面が吸着ノズルの下端面と一致する高さまでブレーキ板の上昇を可能とし、かつブレーキ板の下面が吸着ノズルによる部品吸着力より低い力で部品の上面に接触するようにブレーキ板を支持するストローク規制手段と、上記ノズル本体を第1の位置と第2の位置との間で移動させる作動手段とを備えた部品吸着装置を用い、第1の位置に配置された部品を吸着ノズルで吸着するとともに、ブレーキ板を部品の上面に接触させる工程と、吸着ノズルにより部品を吸着し、かつ部品の上面にブレーキ板を所定の力で接触させた状態で、ノズル本体を第1の位置から第2の位置に移動させる工程と、第2の位置で吸着ノズルの吸引を停止することにより、ブレーキ板の押し付け力により部品を吸着ノズルから引き離し、部品を第2の位置にリリースする工程と、を有することを特徴とする部品の移載方法を提供する。
【0009】
本発明の部品吸着装置を用いて部品を第1の位置から第2の位置へ移載する動作を説明する。
まず、第1の位置に配置された部品の上方にノズル本体を移動させると、ブレーキ板が吸着ノズルより下方へ突出しているので、ブレーキ板が部品の上面に先に接触する。この状態で、吸着ノズルにより部品を吸着すると、吸着ノズルの吸着力の方がブレーキ板による部品への押し付け力より大きいので、ブレーキ板が持ち上げられ、ブレーキ板が部品に所定の力で接触する。
この状態でノズル本体を第2の位置の方向へ移動させると、ブレーキ板が部品の上面に接触しているので、ブレーキ板と部品との摩擦力により部品の姿勢が変化することがない。そのため、ノズル本体を高速で移動させることが可能となる。
ノズル本体を第2の位置まで移動させた後、吸着ノズルの吸引を停止すると、ブレーキ板を持ち上げていた吸引力がなくなるので、ブレーキ板の押し付け力により部品は吸着ノズルから引き離される。つまり、圧縮エアーを吹き出さなくても部品は吸着ノズルから簡単に離れる。そして、吸着ノズルから離れた部品は第2の位置へリリースされる。部品を第2の位置へリリースした後もブレーキ板が部品を押えるようにすれば、リリース時の部品の姿勢が一層安定する。
【0010】
請求項2のように、ノズル本体を第1の位置と第2の位置との間で移動させる作動手段を設け、第1の位置に配置された部品を吸着して第2の位置へリリースするよう真空吸引装置および作動手段を制御する制御手段を設ければ、部品を第1の位置から第2の位置へ自動的に移載できる。
【0011】
請求項3のように、ノズル本体に複数本の吸着ノズルを平行に垂設し、ブレーキ板に各吸着ノズルが摺動自在に挿通される複数の穴を設けるのが望ましい。
この場合には、複数のノズルを用いて複数の部品を一括して移載するマルチノズルタイプの部品吸着装置を容易に構成できる。ブレーキ板は単一板で構成できるので、構造を簡素化できる。
複数のノズルを備えた従来のマルチノズルタイプの場合には、各ノズルの圧縮エアーの吹き出し量のばらつきのため、部品のリリースタイミングにずれを生じる問題があったが、請求項3ではブレーキ板が単一板で構成できるので、リリースタイミングのずれを解消できる。
【0012】
請求項4のように、ストローク規制手段を吊り下げボルトで構成してもよい。
この場合には、ブレーキ板は重力によって吸着ノズルに対して下方へ移動しようとするので、吊り下げボルトによって下限位置を規定すれば、ブレーキ板の下限位置を常に正確に設定できる。この場合、ブレーキ板が部品の上面に接する圧力は、ブレーキ板の重量によって決定される。
【0013】
請求項5のように、ストローク規制手段を引張スプリングで構成してもよい。この場合には、ブレーキ板が部品の上面に接する圧力は、ブレーキ板の重量と引張スプリングのばね力との差によって決定される。そのため、ブレーキ板の部品に対する圧力を小さくすることができ、部品への負荷を軽減できる。
【0014】
請求項6のように、ブレーキ板を下方へ付勢する圧縮スプリングを設け、ブレーキ板が、その重量による力とスプリングの圧縮力との和に応じた圧力で部品の上面に接するようにしてもよい。すなわち、吸着ノズルの吸引圧が高い場合、リリース時に部品が吸着ノズルの吸引穴に強く付着して離れない可能性があるが、ブレーキ板を下方へ付勢する圧縮スプリングを設けることで、吸着ノズルから部品を強制的に引き離すことができ、圧縮エアーの吹き出しを必要としない。また、圧縮スプリングは移動時におけるブレーキ板の振動を抑制する機能も有する。
【0015】
【発明の実施の形態】
図1〜図3は本発明にかかる部品吸着装置の第1実施例を示す。
この実施例はマルチノズルタイプの部品吸着装置を示し、複数本(ここでは5本)の吸着ノズル2を有するノズル本体1を備えている。各吸着ノズル2はノズル本体1から下方へ一定ピッチ間隔xで垂設されており、ノズル本体1の内部から各吸着ノズル2の下端部に形成された吸引穴2aへ通じるエアー通路3が設けられている。エアー通路3はエアー配管4を介して真空吸引装置5に接続されている。ノズル本体1はXYロボット等よりなる作動機構6によってX,Y方向およびZ方向に作動される。すなわち、ノズル本体1はZ軸作動機構6aによってZ軸方向(上下方向)に作動され、Z軸作動機構6aはY軸作動機構6bによってY軸方向に作動され、Y軸作動機構6bはX軸作動機構6cによってX軸方向に作動される。これら作動機構6a,6b,6cには、例えばエアーシリンダ、ボイスコイルモータ,モータおよびボールネジ機構などが用いられる。真空吸引装置5および作動機構6は、電子制御回路よりなる制御装置7によって制御される。制御装置7には、図示しない位置センサからノズル2の位置情報や部品Wの姿勢情報などが入力される。
なお、作動機構6にノズル本体1の回転位置の補正を行うθ軸機構を設けてもよい。
【0016】
ノズル本体1の下部には、吸着ノズル2に対して上下方向に相対移動自在なブレーキ板8が設けられている。ブレーキ板8は平板状の板材よりなり、各吸着ノズル2の周囲を取り囲みかつ摺動自在に挿通される複数の穴8aを備えている。これら穴8aが吸着ノズル2の外周面に摺接することで、ブレーキ板8は上下方向にのみガイドされている。部品Wとの摩擦抵抗を高めるため、ブレーキ板8の下面に微小な凹凸や粗面を形成してもよい。ブレーキ板8は引張スプリング9を介してノズル本体1から吊り下げ支持されており、引張スプリング9によってブレーキ板8の下限位置が吸着ノズル2の下端面より所定高さhだけ下方になるようにブレーキ板8の上下方向のストロークが規制されている。この高さhは、ブレーキ板8の厚みdより小さく設定されている。
【0017】
図1において、Pは第1の位置に配置されたパレットであり、パレットPには所定ピッチx間隔で複数の部品収納穴Rが形成され、各穴Rには部品Wがそれぞれ収納されている。部品収納穴Rのピッチxは、吸着ノズル2のピッチ間隔xに等しく設定されている。
また、Fは第2の位置に配置されたフィーダであり、フィーダFには部品搬送溝f1が形成され、この溝f1にそって部品Wは矢印方向Aに搬送される。部品搬送溝f1の溝幅は、ブレーキ板8の幅よりやや広く設定されている。この実施例では、部品搬送溝f1の深さを部品Wの高さより深くしたが、部品搬送溝fの深さを部品Wの高さと同じまたは浅くしてもよい。この場合には、部品搬送溝f1の溝幅がブレーキ板8の幅より狭くても構わない。
【0018】
ここで、上記構成よりなる部品吸着装置の作動について、図2,図3を参照して説明する。ここでは、第1の位置にあるパレットPから、第2の位置にあるフィーダFへ複数の部品Wを一括して移載する動作について説明する。
図2は第1の位置に配置されたパレットPの上方へノズル本体1を移動させた状態を示す。ブレーキ板8は吸着ノズル2の下端面より所定高さhだけ下方に位置している。
次に、図3の(a)のように、作動機構6によってノズル本体1を降下させ、吸着ノズル2の吸引穴2aからエアー吸引を行い、部品Wを吸着する。この時、ブレーキ板8が吸着ノズル2より下方へ突出しているので、吸着ノズル2が部品Wに接触する前にブレーキ板8が接触し、部品Wの姿勢を安定化させる。ブレーキ板8の部品Wに接する圧力は、ブレーキ板8の重量による力と引張スプリング9のばね力との差の力で与えられ、吸着ノズル2による部品吸着力に比べて低く設定されているので、吸着ノズル2が部品Wを吸着すると同時に、ブレーキ板8は高さh(図2参照)だけ持ち上げられる。
次に、図3の(b)のように、作動機構6によってノズル本体1を上昇させ、第2の位置へ移動させる。移動中、吸着ノズル2による部品吸着力に比べて、部品Wに接するブレーキ板8の圧力の方が低く設定されているので、部品Wが吸着ノズル2から落下することがない。また、部品Wの上面にブレーキ板8が接触することで、接触面積が増加し、部品Wの横ずれや回転などの姿勢悪化を防止できる。そのため、ノズル本体1を高速移動させることが可能である。
次に、図3の(c)のように、ノズル本体1が第2の位置へ到達した後、作動機構6によってブレーキ板8がフィーダFの部品搬送溝f1の中に入る位置までノズル本体1を降下させ、吸着ノズル2のエアー吸引を停止する。吸引停止により、ブレーキ板8を持ち上げていた吸引力がなくなるので、ブレーキ板8の圧力(重量による力−ばね力)により部品Wは吸着ノズル2から引き離される。そのため、圧縮エアーを吹き出さなくても部品Wは吸着ノズル2から簡単に離れ、部品WはフィーダF上にリリースされる。
部品WをフィーダFの部品搬送溝f1の底面上にリリースすると、フィーダFに移載された部品Wは、その上面がブレーキ板8によってカバーされるので、部品Wの跳ね上がりが防止される。その後、部品Wは部品搬送溝f1にそって所定位置へ搬送される。
【0019】
上記のようにブレーキ板8は、移動中、吸着ノズル2とともに部品Wに接触しているので、移動中における部品Wの姿勢変化を防止でき、高精度な移載、実装を行うことが可能である。特に、吸着ノズル2の断面積が部品Wの表面積に比べてかなり小さい場合でも、ブレーキ板8が部品Wの表面に接することで、部品Wとの接触面積が増加し、部品Wの回転などの姿勢悪化を防止できる。
なお、部品Wをリリースする場合には、ノズル本体1の降下位置を次に示す式(1)の関係に設定すると、部品Wが吸着ノズル2から離れた後もブレーキ板8が部品Wを載置面に押えつけるので、リリース時の部品Wの姿勢を一層安定させることができる。
k<s<h+k ・・・(1)
但し、s:リリース時の吸着ノズル2と載置面との距離
k:部品の高さ
【0020】
図4は本発明にかかる部品吸着装置の第2実施例を示す。
この実施例もマルチノズルタイプの部品吸着装置であり、第1実施例と同一部品には同一符号を付して重複説明を省略する。
この実施例では、ノズル本体1の端部に複数本の吊り下げボルト10が垂設され、これらボルト10はブレーキ板8の端部に形成された貫通穴8bに挿通されている。ブレーキ板8はボルト10の頭部10aによって下方へ抜け止めされるとともに、下限位置が吸着ノズル2の下端面より下方になるように上下方向のストロークが規制されている。
なお、ブレーキ板8の貫通穴8bは上方へ屈曲したフランジ部8cに形成されているので、ボルト10の頭部10aは吸着ノズル2の下端面より上方に位置している。その理由は、部品Wの吸着時やリリース時にボルト10の頭部10aが載置面や部品Wと干渉するのを防止するためである。
ボルト10には圧縮スプリング11が挿通されており、このスプリング11のばね力によりブレーキ板8は常時ボルト10の頭部10aに接触している。
【0021】
この実施例では、吸着ノズル2が部品Wを吸着した時、ブレーキ板8が部品Wの上面にその重量による力とスプリング11のばね力との和に相当する圧力で接触することになるが、この圧力は部品吸着力より小さく設定されている。そのため、部品Wが吸着ノズル2から脱落することがない。
また、ブレーキ板8がその重量より大きな圧力で部品Wに接触するので、部品Wを吸着した状態で移動している時、ブレーキ板8と部品Wとの間に働く摩擦力が大きくなり、部品Wの姿勢が一層安定する。また、リリース時に吸着ノズル2の吸引力を解除した時、ブレーキ板8の圧力は部品Wを吸着ノズル2から引き離す力として作用するので、部品Wのリリースが容易となる。
さらに、圧縮スプリング11によってブレーキ板8をボルト10の頭部10aに押し付けることで、部品吸着時以外はブレーキ板8を常に下限位置に保持でき、ブレーキ板8の位置が安定する。
【0022】
なお、第2実施例において、吊り下げボルト10にブレーキ板8を下方へ付勢する圧縮スプリング11を挿通したが、この圧縮スプリング11を省略することも可能である。
この場合には、部品に接するブレーキ板8の圧力を、ブレーキ板8の重量に応じた圧力とすることができる。
【0023】
上記実施形態は、本発明のほんの数例を示すに過ぎず、本発明の趣旨を逸脱しない範囲で種々変更が可能である。
上記実施例ではノズル本体に複数本の吸着ノズルを設けたマルチノズルタイプについて説明したが、ノズル本体に1本の吸着ノズルを設けたシングルノズルタイプにも同様に適用できる。
上記実施例ではノズル本体に吸着ノズルを一体に設けたが、吸着ノズルが部品に接触した時の衝撃を和らげるため、吸着ノズルをノズル本体に対して上下動自在とし、スプリングなどによって吸着ノズルを下方へ付勢するようにしてもよい。また、作動機構がノズル本体をX,YおよびZ方向に移動させる例について説明したが、部品を移載する相手の部材が水平方向(X,Y方向)に作動される場合には、作動機構としては、ノズル本体を上下方向(z方向)に作動させるだけでもよい。
本発明の部品吸着装置は、上記実施例のようなパレットとフィーダとの間の部品の移載作業だけでなく、部品供給装置から回路基板への実装作業など、あらゆる移載作業に用いることができることは言うまでもない。
【0024】
【発明の効果】
以上の説明で明らかなように、請求項1に記載の発明によれば、吸着ノズルに対してブレーキ板を上下方向に相対移動自在に、かつ吸着ノズルによる部品吸着力より低い力で部品の上面に接するように設け、ブレーキ板の下面が吸着ノズルの下端面より下方になる位置と吸着ノズルの下端面と一致する位置との間でブレーキ板の上下方向のストロークを規制したので、部品を吸着して移動している間、ブレーキ板が吸着ノズルとともに部品に接触する。そのため、部品とブレーキ板との接触面積が増加し、部品の回転などの姿勢悪化を防止できる。したがって、高速移動を行っても部品の姿勢変化を防止でき、高精度で高速な移載、実装を行うことができる。
また、吸着ノズルの吸引力を停止すると、ブレーキ板の押し付け力が吸着ノズルから部品を引き離す力として作用するので、リリース時に圧縮エアーの吹き出しを必要とせず、吸着ノズルから部品を容易に引き離すことができる。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明に係る部品吸着装置の第1実施例の全体斜視図である。
【図2】図1に示す部品吸着装置の要部構造図である。
【図3】図1に示す部品吸着装置の動作説明図である。
【図4】本発明に係る部品吸着装置の第2実施例の構造図である。
【符号の説明】
W 部品
1 ノズル本体
2 吸着ノズル
5 真空吸引装置
6 作動機構
7 制御装置
8 ブレーキ板
8a 穴
9 引張スプリング(ストローク規制手段)
Claims (7)
- 真空吸引装置と接続されたノズル本体と、
上記ノズル本体から下方へ垂設され、下端部に部品を直接真空吸着する吸引穴を有する吸着ノズルと、
上記吸着ノズルが摺動自在に挿通される貫通穴を持ち、かつ吸着ノズルに対して上下方向に相対移動自在に設けられたブレーキ板と、
上記ブレーキ板の下面が吸着ノズルの下端面より下方になるようにブレーキ板の下方向のストロークを規制し、ブレーキ板の下面が吸着ノズルの下端面と一致する高さまでブレーキ板の上昇を可能とし、かつブレーキ板の下面が吸着ノズルによる部品吸着力より低い力で部品の上面に接触するようにブレーキ板を支持するストローク規制手段と、を備えたことを特徴とする部品吸着装置。 - 上記ノズル本体を第1の位置と第2の位置との間で移動させる作動手段が設けられ、
第1の位置に配置された部品を吸着して第2の位置へリリースするよう真空吸引装置および作動手段を制御する制御手段が設けられていることを特徴とする請求項1に記載の部品吸着装置。 - 上記ノズル本体には複数本の吸着ノズルが平行に垂設され、
上記ブレーキ板には各吸着ノズルが摺動自在に挿通される複数の貫通穴が設けられていることを特徴とする請求項1または2に記載の部品吸着装置。 - 上記ストローク規制手段は吊り下げボルトで構成されていることを特徴とする請求項1ないし3のいずれかに記載の部品吸着装置。
- 上記ストローク規制手段は引張スプリングで構成されていることを特徴とする請求項1ないし3のいずれかに記載の部品吸着装置。
- 上記ブレーキ板を下方へ付勢する圧縮スプリングが設けられ、
上記ブレーキ板は、その重量による力とスプリングの圧縮力との和に応じた力で部品の上面に接することを特徴とする請求項1ないし4のいずれかに記載の部品吸着装置。 - 真空吸引装置と接続されたノズル本体と、
上記ノズル本体から下方へ垂設され、下端部に部品を直接真空吸着する吸引穴を有する吸着ノズルと、
上記吸着ノズルが摺動自在に挿通される貫通穴を持ち、かつ吸着ノズルに対して上下方向に相対移動自在に設けられたブレーキ板と、
上記ブレーキ板の下面が吸着ノズルの下端面より下方になるようにブレーキ板の下方向のストロークを規制し、ブレーキ板の下面が吸着ノズルの下端面と一致する高さまでブレーキ板の上昇を可能とし、かつブレーキ板の下面が吸着ノズルによる部品吸着力より低い力で部品の上面に接触するようにブレーキ板を支持するストローク規制手段と、
上記ノズル本体を第1の位置と第2の位置との間で移動させる作動手段とを備えた部品吸着装置を用い、
第1の位置に配置された部品を吸着ノズルで吸着するとともに、ブレーキ板を部品の上面に接触させる工程と、
吸着ノズルにより部品を吸着し、かつ部品の上面にブレーキ板を所定の力で接触させた状態で、ノズル本体を第1の位置から第2の位置に移動させる工程と、
第2の位置で吸着ノズルの吸引を停止することにより、ブレーキ板の押し付け力により部品を吸着ノズルから引き離し、部品を第2の位置にリリースする工程と、を有することを特徴とする部品の移載方法。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2001064931A JP3797121B2 (ja) | 2001-03-08 | 2001-03-08 | 部品吸着装置および部品の移載方法 |
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Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2002264063A JP2002264063A (ja) | 2002-09-18 |
JP3797121B2 true JP3797121B2 (ja) | 2006-07-12 |
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ID=18923681
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
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Country Status (1)
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---|---|
JP (1) | JP3797121B2 (ja) |
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN104476568A (zh) * | 2014-12-16 | 2015-04-01 | 贵州联合光电股份有限公司 | 用于取放电子元件的可调式气动装置 |
Families Citing this family (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2008171915A (ja) * | 2007-01-10 | 2008-07-24 | Juki Corp | 部品実装装置用ヘッド |
FR2997031B1 (fr) * | 2012-10-23 | 2016-07-01 | Bel Fromageries | Dispositif de prehension d'au moins un produit deformable. |
CN115284097B (zh) * | 2022-09-27 | 2023-02-17 | 眉山博雅新材料股份有限公司 | 一种抛光装置 |
-
2001
- 2001-03-08 JP JP2001064931A patent/JP3797121B2/ja not_active Expired - Lifetime
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---|---|---|---|---|
CN104476568A (zh) * | 2014-12-16 | 2015-04-01 | 贵州联合光电股份有限公司 | 用于取放电子元件的可调式气动装置 |
CN104476568B (zh) * | 2014-12-16 | 2015-11-18 | 贵州联合光电股份有限公司 | 用于取放电子元件的可调式气动装置 |
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Publication number | Publication date |
---|---|
JP2002264063A (ja) | 2002-09-18 |
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Legal Events
Date | Code | Title | Description |
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A977 | Report on retrieval |
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|
A131 | Notification of reasons for refusal |
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A02 | Decision of refusal |
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A521 | Written amendment |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20060110 |
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A911 | Transfer to examiner for re-examination before appeal (zenchi) |
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A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
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R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
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FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20090428 Year of fee payment: 3 |
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FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
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